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技術(shù)編號：10483567

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隨著顯示技術(shù)的發(fā)展，對光罩(又稱掩膜版，英文名為MASK或PHOTOMASK)產(chǎn)品的潔 凈度要求也越來越高，尤其是LED、TFT行業(yè)，精度發(fā)展到了納米級別，任何細微的灰塵和臟 污附著在產(chǎn)品圖形上都會造成產(chǎn)品的不良甚至報廢。為此，光罩在出貨打包前必須進行清 洗干凈，并貼上光學(xué)膜，使光罩圖形與外部環(huán)境隔絕避免受污染，提高下游產(chǎn)品的良率。 目前，光罩行業(yè)現(xiàn)行的清洗方法主要有液體浸泡擦洗法和超聲波清洗法。其中，液 體浸泡擦洗法是將光罩泡在酸堿液中并用無塵布等工具...
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