專利名稱：：交聯(lián)性預(yù)聚物及其制造方法及用途的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及交聯(lián)性預(yù)聚物、該交聯(lián)性預(yù)聚物的制造方法、含有該交聯(lián)性預(yù)聚物的負(fù)型感光性組合物及該交聯(lián)性預(yù)聚物的用途。
背景技術(shù)：
：關(guān)于主鏈具有聚芳基醚結(jié)構(gòu)的聚合物，例如在下述專利文獻(xiàn)1中提出了使具有酚性羥基或氟取代芳環(huán)和交聯(lián)性官能團(tuán)的化合物、氟取代芳香族化合物及具有3個(gè)以上的酚性羥基的化合物縮合，制造主鏈具有聚芳基醚結(jié)構(gòu)且導(dǎo)入了交聯(lián)性官能團(tuán)的交聯(lián)性預(yù)聚物的方法。具有防水性，防油性的材料被廣泛地用于納米壓印、障壁材料、氣體阻擋膜、光刻膠等用途(例如，參照下述專利文獻(xiàn)2)。一般作為其圖案形成方法(圖案(凹凸形狀)形成方法)，可例示干式刻蝕法、濕式刻蝕法、絲網(wǎng)印刷、噴墨印刷或利用了材料本身的感光性的光刻法。本身具有感光性的材料不需要將非感光性材料圖案化時(shí)所必須的光刻膠，因此可期待制造工序數(shù)的減少及原料利用率的提高等生產(chǎn)性的提高。此外，由于轉(zhuǎn)變?yōu)槿軇┑挠昧靠蓽p少等對(duì)環(huán)境影響小的工序，因此備受注目。專利文獻(xiàn)1:日本專利特開2005-105115號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2:日本專利特開2005-60515號(hào)公報(bào)發(fā)明的揭示專利文獻(xiàn)1的交聯(lián)性預(yù)聚物所形成的固化物雖然耐熱性良好，但因用途的不同并不能夠說具備足夠的防油性和防水性。本發(fā)明是鑒于上述情況完成的發(fā)明，提供可形成耐熱性良好且防油性及防水性良好的固化物的預(yù)聚物及其制造方法及用途。本發(fā)明還提供不釆用光刻膠就可方便地形成耐熱性良好、防油性和防水性良好且表面具有凹凸形狀的物品的新的負(fù)型感光性組合物，采用該負(fù)型感光性組合物制造固化膜的方法，以及該負(fù)型感光性組合物的用途。本發(fā)明具有以下技術(shù)要點(diǎn)。1.交聯(lián)性預(yù)聚物，它是主鏈具有聚芳基醚結(jié)構(gòu)的聚合物，該交聯(lián)性預(yù)聚物的特征在于，具有交聯(lián)性官能團(tuán)，且具有下述通式(I)Rf-CH2-0-.(I)表示的側(cè)鏈，式(I)中，Rf表示碳數(shù)350的可含有醚結(jié)合性氧原子的含氟烷基。2.上述1記載的交聯(lián)性預(yù)聚物，所述主鏈具有與芳環(huán)結(jié)合的氫原子的一部分或全部被鹵原子取代的鹵素取代芳環(huán)，所述通式(I)表示的側(cè)鏈與該鹵素取代芳環(huán)結(jié)合。3.上述2記載的交聯(lián)性預(yù)聚物，在前體(P21)導(dǎo)入上述通式(I)表示的側(cè)鏈而形成，所述前體(P21)由具有交聯(lián)性官能團(tuán)及酚性羥基的化合物(Y-1)和具有交聯(lián)性官能團(tuán)及被可與酚性羥基反應(yīng)的氟原子取代的芳環(huán)的化合物(Y-2)的任一方或雙方，與下述通式(l)表示的含氟芳香族化合物(B)和具有3個(gè)以上的酚性羥基的化合物(C)，在脫氟化氫劑的存在下進(jìn)行縮合反應(yīng)而得；式(1)中，n表示02的整數(shù)，a、b分別獨(dú)立地表示03的整數(shù)，Rfi及R^分別獨(dú)立地表示碳數(shù)8以下的含氟烷基，RP或R^存在多個(gè)時(shí)，可以互相相同也可互不相同，芳環(huán)內(nèi)的F表示與該芳環(huán)結(jié)合的氫原子全部被氟原子取代。4.上述2記載的交聯(lián)性預(yù)聚物，在前體(P11)導(dǎo)入上述通式(I)表示的側(cè)鏈后再導(dǎo)入交聯(lián)性官能團(tuán)而形成；所述前體(P11)由上述通式(1)表示的含氟芳香族化合物(B)和具有3個(gè)以上的酚性羥基的化合物(C)，在脫氟化氫劑的存在下進(jìn)行縮合反應(yīng)而得。5.上述4記載的交聯(lián)性預(yù)聚物，交聯(lián)性官能團(tuán)的導(dǎo)入方法是具有交聯(lián)性官能團(tuán)及酚性羥基的化合物(Y-1)和具有交聯(lián)性官能團(tuán)及被可與酚性羥基反應(yīng)的氟原子取代的芳環(huán)的化合物(Y-2)的任一方或雙方在脫氟化氫劑的存在下進(jìn)行的縮合反應(yīng)。6.交聯(lián)性預(yù)聚物的制造方法，該方法的特征在于，使具有交聯(lián)性官能團(tuán)且主鏈具有被可與酚性羥基反應(yīng)的鹵原子取代的芳環(huán)的前體(P2)與下述通式(II)Rf-CH2-OH(II)表示的醇(Q)在脫氟化氫劑的存在下反應(yīng)；所述前體(P2)是主鏈具有聚芳基醚結(jié)構(gòu)的聚合物；式(II)中，Rf表示碳數(shù)350的可含有醚結(jié)合性氧原子的含氟垸基。7.上述6記載的交聯(lián)性預(yù)聚物的制造方法，作為前體(P2)使用前體(P21);所述前體(P21)通過具有交聯(lián)性官能團(tuán)及酚性羥基的化合物(Y-1)和具有交聯(lián)性官能團(tuán)及被可與酚性羥基反應(yīng)的氟原子取代的芳環(huán)的化合物(Y-2)的任一方或雙方，與上述通式(1)表示的含氟芳香族化合物(B)和具有3個(gè)以上的酚性羥基的化合物(C)，在脫氟化氫劑的存在下進(jìn)行縮合反應(yīng)而得。8.交聯(lián)性預(yù)聚物的制造方法，該方法的特征在于，使主鏈具有被可與酚性羥基反應(yīng)的鹵原子取代的芳環(huán)的前體(P1)與上述通式(II)表示的醇(Q)在脫氟化氫劑的存在下反應(yīng)后再導(dǎo)入交聯(lián)性官能團(tuán)；所述前體(P1)是主鏈具有聚芳基醚結(jié)構(gòu)的聚合物。9.上述8記載的交聯(lián)性預(yù)聚物的制造方法，作為前體(P1)使用前體(P11);所述前體(P11)通過上述通式(1)表示的含氟芳香族化合物(B)和具有3個(gè)以上的酚性羥基的化合物(C)在脫氟化氫劑的存在下進(jìn)行縮合反應(yīng)而得。10.上述8或9記載的交聯(lián)性預(yù)聚物的制造方法，交聯(lián)性官能團(tuán)的導(dǎo)入方法是具有交聯(lián)性官能團(tuán)及酚性羥基的化合物(Y-1)和具有交聯(lián)性官能團(tuán)及被可與酚性羥基反應(yīng)的氟原子取代的芳環(huán)的化合物(Y-2)的任一方或雙方在脫氟化氫劑的存在下進(jìn)行的縮合反應(yīng)。11.交聯(lián)性預(yù)聚物的制造方法，其特征在于，具備工序(S1)，工序(S2)和工序(S3);工序(S1)是使上述通式(1)表示的含氟芳香族化合物(B)和具有3個(gè)以上的酚性羥基的化合物(C)在脫氟化氫劑的存在下進(jìn)行縮合反應(yīng)的工序；工序(S2)是使具有交聯(lián)性官能團(tuán)及酚性羥基的化合物(Y-1)和具有交聯(lián)性官能團(tuán)及被可與酚性羥基反應(yīng)的氟原子取代的芳環(huán)的化合物(Y-2)的任一方或雙方在脫氟化氫劑的存在下進(jìn)行縮合反應(yīng)，導(dǎo)入交聯(lián)性官能團(tuán)的工序；工序(S3)是使上述通式(II)表示的醇(Q)在脫氟化氫劑的存在下反應(yīng)，導(dǎo)入側(cè)鏈的工序。12.固化物，通過使上述15中任一項(xiàng)記載的交聯(lián)性預(yù)聚物固化而形成。13.涂布用組合物，包含上述15中任一項(xiàng)記載的交聯(lián)性預(yù)聚物及溶劑。14.固化膜，通過將上述13記載的涂布用組合物涂布于基材形成濕潤(rùn)膜，除去該濕潤(rùn)膜中的溶劑，然后或者在溶劑的除去的同時(shí)，使?jié)駶?rùn)膜中的交聯(lián)性預(yù)聚物固化而得。15.物品，具有上述14記載的固化膜。16.負(fù)型感光性組合物，其特征在于，含有上述15中任一項(xiàng)記載的交聯(lián)性預(yù)聚物、感光劑和溶劑。17.上述16記載的負(fù)型感光性組合物，所述感光劑含有光引發(fā)劑或光交聯(lián)劑。18.固化膜的制造方法，其特征在于，具備在基材上形成由上述16或17記載的負(fù)型感光性組合物構(gòu)成的涂膜的工序；將該涂膜的一部分選擇性地曝光，在該曝光部使所述交聯(lián)性官能團(tuán)產(chǎn)生反應(yīng)的曝光工序；在該曝光工序后顯影的工序。19.固化膜，由上述18記載的制造方法制得。20.物品，具有上述19記載的固化膜。通過本發(fā)明可獲得能夠形成耐熱性良好且防油性及防水性良好的固化物的交聯(lián)性預(yù)聚物。本發(fā)明的固化物可同時(shí)實(shí)現(xiàn)良好的耐熱性和防油性及防水性。利用本發(fā)明的涂布用組合物，可形成耐熱性良好且防油性及防水性良好的固化膜。本發(fā)明的固化膜可同時(shí)實(shí)現(xiàn)良好的耐熱性和防油性及防水性。本發(fā)明的物品具有耐熱性良好且防油性及防水性良好的膜。此外，本發(fā)明的負(fù)型感光性組合物由于本身具有感光性，因此可采用光刻法獲得形成有負(fù)型的凹凸形狀的固化膜。另外，由于含有上述特定的交聯(lián)性預(yù)聚物，因此可獲得具有防水性及防油性的固化膜。通過采用了本發(fā)明的負(fù)型感光性組合物的固化膜的制造方法，可獲得具備在曝光工序中被曝光的曝光部與凸部對(duì)應(yīng)、未被曝光的未曝光部與凹部對(duì)應(yīng)的凹凸形狀的固化膜。所得固化膜在具有凹凸形狀的同時(shí)具有防水性及防油性。此外，通過本發(fā)明，可在不釆用光刻膠且未另外實(shí)施賦予防水性及防油性的工序的條件下方便地獲得具備形成有凹凸形狀且具有防水性及防油性的固化膜的物品，可獲得高生產(chǎn)性。此外，所得的固化膜同時(shí)滿足低介電常數(shù)、低吸水率及高耐熱性。因此，在用于例如各種存儲(chǔ)器等的存儲(chǔ)元件、微處理器等的理論電路元件等時(shí)，可實(shí)現(xiàn)元件的電特性的提高。另外，由于不易受水分的影響、熱的影響，在提高電特性的同時(shí)還能夠提高可靠性。所得的固化膜的耐堿性良好。g卩，即使暴露在堿性氣氛中，也可維持良好的防水性、防油性。本發(fā)明的交聯(lián)性預(yù)聚物可形成撓性良好的固化膜，因此可獲得對(duì)彎曲等外力的耐受性強(qiáng)的膜，且易形成厚膜。實(shí)施發(fā)明的最佳方式〈交聯(lián)性預(yù)聚物〉本發(fā)明的交聯(lián)性預(yù)聚物(以下有時(shí)簡(jiǎn)稱為預(yù)聚物)是主鏈具有聚芳基醚結(jié)構(gòu)的聚合物，具有交聯(lián)性官能團(tuán)且具有上述通式(I)表示的側(cè)鏈。[主鏈]本發(fā)明中，聚芳基醚結(jié)構(gòu)是指2個(gè)芳環(huán)通過醚鍵(-O-)結(jié)合的結(jié)構(gòu)重復(fù)而得的聚合物結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的芳環(huán)是指具有芳香族特性的環(huán)狀有機(jī)化合物中的環(huán)結(jié)構(gòu)，如無特別限定，包含具有任意的取代基的芳環(huán)。主鏈具有聚芳基醚結(jié)構(gòu)是指構(gòu)成聚芳基醚結(jié)構(gòu)的各芳環(huán)中，成環(huán)的碳原子的2個(gè)以上是構(gòu)成主鏈的碳鏈(2個(gè)芳環(huán)間的醚鍵可看作是構(gòu)成主鏈的碳鏈的一部分。即，2個(gè)芳環(huán)間可存在醚鍵。下同)中的碳原子。本發(fā)明的交聯(lián)性預(yù)聚物中，構(gòu)成主鏈的碳鏈可以分支。本發(fā)明中，即使是分支的碳鏈(支鏈)，含聚芳基醚結(jié)構(gòu)的部分或含2個(gè)以上的碳原子為碳鏈中的碳原子的芳環(huán)的部分可看作是主鏈的一部分，將不含這些結(jié)構(gòu)的末端部分稱為側(cè)鏈。主鏈的聚芳基醚結(jié)構(gòu)中，介以醚鍵結(jié)合的2個(gè)芳環(huán)的一方優(yōu)選為與芳環(huán)結(jié)合的氫原子的一部分或全部被鹵原子取代的鹵素取代芳環(huán)。所述鹵素取代芳環(huán)中的鹵原子優(yōu)選為氟原子。所述鹵素取代芳環(huán)較好為與芳環(huán)結(jié)合的全部氫原子被鹵原子取代，更好為該氫原子的全部被氟原子取代的全氟芳環(huán)。主鏈除了具有構(gòu)成聚芳基醚結(jié)構(gòu)的芳環(huán)以外，還可具有其它的芳環(huán)。該其它的芳環(huán)較好為所述鹵素取代芳環(huán)，更好為所述全氟芳環(huán)。[交聯(lián)性官能團(tuán)]本發(fā)明中的交聯(lián)性官能團(tuán)是在預(yù)聚物制造時(shí)實(shí)質(zhì)上不引發(fā)反應(yīng)，在制作膜、薄膜或成形體等固化物時(shí)或制作后的任意的時(shí)間點(diǎn)通過賦予外部能量而發(fā)生反應(yīng)，引起預(yù)聚物分子間的交聯(lián)或鏈轉(zhuǎn)移的反應(yīng)性官能團(tuán)。作為外部能量，可例舉熱能、光能、電子射線等?？蓪⑺鼈儾⒂?。作為外部能量采用熱能時(shí)，優(yōu)選在4(TC50(TC的溫度下反應(yīng)的反應(yīng)性官能團(tuán)。反應(yīng)溫度如果過低，則預(yù)聚物或含該預(yù)聚物的涂布用組合物的保存時(shí)的穩(wěn)定性無法確保，如果過高，則反應(yīng)時(shí)預(yù)聚物本身發(fā)生熱分解，因此優(yōu)選在所述范圍內(nèi)。更好的是6(TC40(TC，最好為7(TC35(TC。此外，作為外部能量采用光能(化學(xué)射線)時(shí)，預(yù)聚物或含預(yù)聚物的涂布用組合物中最好含有感光劑。這種情況下，通過在曝光工序中選擇性地照射化學(xué)射線，可將曝光部的預(yù)聚物高分子量化，同時(shí)可根據(jù)需要在曝光及顯影工序后賦予化學(xué)射線或熱能等外部能量，進(jìn)一步使預(yù)聚物高分子量化。作為交聯(lián)性官能團(tuán)的具體例，可例舉乙烯基、烯丙基、甲基丙烯酰(氧)基、丙烯酰(氧)基、乙烯氧基、三氟乙烯基、三氟乙烯氧基、乙炔基、1-氧代環(huán)戊-2,5-二烯-3-基、氰基、烷氧基甲硅烷基、二芳基羥基甲基、羥基芴基等。從反應(yīng)性高，獲得高交聯(lián)密度的角度考慮，較好為乙烯基、甲基丙烯酰(氧)基、丙烯酰(氧)基、三氟乙烯氧基、乙炔基，從所得固化物具有良好的耐熱性的角度考慮，最好為乙烯基、乙炔基。甲基丙烯酰(氧)基是指甲基丙烯酰基或甲基丙烯酰氧基，丙烯酰(氧)基同樣如此。以上例舉的交聯(lián)性官能團(tuán)的例子都是在感光劑的存在下照射化學(xué)射線時(shí)及在4050(TC的溫度下被加熱時(shí)這兩種情況下可發(fā)生反應(yīng)的官能團(tuán)。交聯(lián)性官能團(tuán)可存在于主鏈中也可存在于側(cè)鏈中。主鏈中存在交聯(lián)性官能團(tuán)是指構(gòu)成交聯(lián)性官能團(tuán)的碳原子的1個(gè)以上(可含醚結(jié)合性氧原子)為構(gòu)成主鏈的碳鏈中的碳原子。從原料易獲得的角度考慮，優(yōu)選交聯(lián)性官能團(tuán)存在于側(cè)鏈中，主鏈中不具有交聯(lián)性官能團(tuán)的情況。本發(fā)明的預(yù)聚物中的交聯(lián)性官能團(tuán)的含量是相對(duì)于lg預(yù)聚物，交聯(lián)性官能團(tuán)較好為0.14毫摩爾，更好為0.23毫摩爾。該含量如果為0.1毫摩爾以上，則可提高固化物的耐熱性及耐溶劑性，如果為4毫摩爾以下，則易將脆性控制在低水平。所述通式(I)中，Rf表示碳數(shù)350的含氟烷基，該含氟垸基可含有醚結(jié)合性氧原子。作為Rf的含氟烷基表示與垸基的碳原子結(jié)合的氫原子的一部分或全部被氟原子取代的烷基。該含氟垸基可以是鏈狀垸基也可以是環(huán)垸基。Rf可以是直鏈狀、支鏈狀或環(huán)狀。Rf優(yōu)選為與垸基的碳原子結(jié)合的氫原子的全部被氟原子取代的全氟烷基。作為所述通式(I)表示的側(cè)鏈中的直鏈狀側(cè)鏈，優(yōu)選為下述通式(I-1)或下述通式(I-2)表示的側(cè)鏈。下述通式(I-1)中，m表示l5的整數(shù)，Rfa表示碳數(shù)450的含氟烷基，該含氟烷基可含醚結(jié)合性氧原子。m更好為l3的整數(shù)。作為下述通式(I-1)表示的側(cè)鏈的更好的例子，可例舉下述通式(I-1-1)表示的一價(jià)基團(tuán)或下述通式(I-l-2)表示的一價(jià)基團(tuán)。Rfa-0-(CF2)m-CH2-0-'(I-1)CF3(OCF2CF2)k-0-CF2-CH2-0-(1-1-1)(式中，k表示l10的整數(shù))CpF2p+1OCF2CF2-0-CF2-CH2-0-(1-1-2)(式中，p表示l10的整數(shù))CF3(CF2)j-CH2-0-,(1-2)(式中，j表示240的整數(shù))此外，作為所述通式(I)表示的側(cè)鏈中的支鏈狀側(cè)鏈，優(yōu)選為下述通式(I-3)或(I-4)表示的一價(jià)基團(tuán)。CF3C2F40[CF(CF3)CF20]iCF(CF3)-CH2-0-(I陽(yáng)3)(式中，i表示010的整數(shù))F[CF2CF(CF3)C2F4]hCF2CF(CF3)CF2-CH2-0-(1-4)(式中，h表示010的整數(shù))作為所述通式(I)表示的側(cè)鏈中的環(huán)狀側(cè)鏈，優(yōu)選為下式(I-5)、(I-6)或(I-7)表示的一價(jià)基團(tuán)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage14</formula>對(duì)被導(dǎo)入通式(I)表示的側(cè)鏈的位置無特別限定，從制造方面考慮，優(yōu)選為該側(cè)鏈與主鏈中的鹵素取代芳環(huán)結(jié)合。S卩，優(yōu)選為鹵素取代芳環(huán)存在于主鏈中，通式(I)表示的側(cè)鏈與該芳環(huán)結(jié)合。該側(cè)鏈所結(jié)合的鹵素取代芳環(huán)可以是構(gòu)成聚芳基醚結(jié)構(gòu)的芳環(huán)，也可以是除此以外的其它芳環(huán)。從易制造預(yù)聚物的角度考慮，更好的是通式(I)表示的側(cè)鏈結(jié)合于作為后者的不構(gòu)成聚芳基醚結(jié)構(gòu)的鹵素取代芳環(huán)。另外，該側(cè)鏈所結(jié)合的鹵素取代芳環(huán)更好為全氟芳環(huán)。1分子的預(yù)聚物中存在的通式(I)表示的側(cè)鏈可以是1種也可以是2種以上。本發(fā)明的預(yù)聚物中的通式(I)表示的側(cè)鏈的含量相對(duì)于lg預(yù)聚物較好為0.01lg，更好為0.050.5g。該含量如果為上述范圍的下限值以上，則能夠很好地獲得提高防水性和防油性的效果。如果為上限值以下，則耐熱性良好?！搭A(yù)聚物的制造方法〉本發(fā)明的預(yù)聚物可通過以下的具備工序(S1)、工序(S2)和工序(S3)的方法制得。即，工序(S1)是使所述通式(1)表示的含氟芳香族化合物(B)和具有3個(gè)以上的酚性羥基的化合物(C)在脫氟化氫劑的存在下進(jìn)行縮合的工序；工序(S2)是使具有交聯(lián)性官能團(tuán)及酚性羥基的化合物(Y-1)和具有交聯(lián)性官能團(tuán)及被可與酚性羥基反應(yīng)的氟原子取代的芳環(huán)的化合物(Y-2)的任一方或雙方在脫氟化氫劑的存在下進(jìn)行縮合反應(yīng)，導(dǎo)入交聯(lián)性官能團(tuán)的工序；工序(S3)是使所述通式(II)表示的醇(Q)在脫氟化氫劑的存在下反應(yīng)，導(dǎo)入側(cè)鏈的工序。以下的說明中，有時(shí)將化合物(Y-1)和化合物(Y-2)統(tǒng)稱為化合物(Y)。更具體來講，優(yōu)選實(shí)施工序(S1)和工序(S2)后實(shí)施工序(S3)的方法，或者實(shí)施工序(S1)和工序(S3)后實(shí)施工序(S2)的方法。實(shí)施工序(S1)和工序(S2)可以是實(shí)施工序(S1)后實(shí)施工序(S2)，也可以是同時(shí)實(shí)施工序(S1)和工序(S2)。工序(S1)和工序(S3)的情況同樣如此。工序(S1)、(S2)及(S3)都是在脫氟化氫劑(以下有時(shí)也稱為脫HF劑)的存在下進(jìn)行的縮合反應(yīng)。這些縮合反應(yīng)可以是在一個(gè)階段完全反應(yīng)也可以分多階段進(jìn)行反應(yīng)。此外，可以使反應(yīng)原料中特定的化合物優(yōu)先反應(yīng)后再使其它化合物反應(yīng)?？s合反應(yīng)分多階段進(jìn)行時(shí)，途中獲得的中間生成物可從反應(yīng)體系分離精制后用于后續(xù)的反應(yīng)(縮合反應(yīng))。原料化合物可一下子被投入反應(yīng)器中，也可連續(xù)地投入或間歇地投入。作為本發(fā)明的預(yù)聚物的制造方法，優(yōu)選使主鏈具有被可與酚性羥基反應(yīng)的鹵原子取代的芳環(huán)的前體(P1)與所述通式(II)表示的醇(Q)在脫氟化氫劑的存在下反應(yīng)后再導(dǎo)入交聯(lián)性官能團(tuán)；所述前體(P1)是主鏈具有聚芳基醚結(jié)構(gòu)的聚合物。具體來講，進(jìn)行工序(S1)獲得前體(P1)，使該前體(P1)與醇(Q)進(jìn)行縮合反應(yīng)，再使化合物(Y)進(jìn)行縮合反應(yīng)，藉此獲得本發(fā)明的預(yù)聚物。該制造方法通過先制造前體(P1)，易實(shí)現(xiàn)預(yù)聚物的分子量的控制。另外，醇(Q)的反應(yīng)性低于化合物(Y)的反應(yīng)性時(shí)，有利于使所需量的醇(Q)反應(yīng)。艮P，有利于控制所需量的通式(I)表示的側(cè)鏈的導(dǎo)入。此外，有時(shí)由于原料選擇上的關(guān)系，如果導(dǎo)入交聯(lián)性官能團(tuán)，則會(huì)因進(jìn)行交聯(lián)反應(yīng)而導(dǎo)致預(yù)聚物的貯藏穩(wěn)定性下降。這種情況下，作為中間生成物不導(dǎo)入交聯(lián)性官能團(tuán)的階段可實(shí)現(xiàn)貯藏，預(yù)聚物的原料利用率的提高被期待。更具體來講，優(yōu)選作為前體(P1)使用前體(P11)，所述前體(P11)通過所述通式(1)表示的含氟芳香族化合物(B)和具有3個(gè)以上的酚性羥基的化合物(C)在脫氟化氫劑的存在下進(jìn)行縮合反應(yīng)而得。即，較好的是實(shí)施工序(S1)后實(shí)施工序(S3)導(dǎo)入通式(I)表示的側(cè)鏈，之后實(shí)施工序(S2)導(dǎo)入交聯(lián)性官能團(tuán)。[采用前體(P2)的制造方法]作為本發(fā)明的預(yù)聚物的其它制造方法，優(yōu)選使具有交聯(lián)性官能團(tuán)且主鏈具有被可與酚性羥基反應(yīng)的鹵原子取代的芳環(huán)的前體(P2)與所述通式(II)表示的醇(Q)在脫氟化氫劑的存在下反應(yīng)；所述前體(P2)是主鏈具有聚芳基醚結(jié)構(gòu)的聚合物。具體來講，進(jìn)行工序(S1)和工序(S2)獲得前體(P2)，使該前體(P2)與醇(Q)進(jìn)行縮合反應(yīng)，藉此獲得本發(fā)明的預(yù)聚物。該制造方法通過先制造前體(P2)，有利于簡(jiǎn)化預(yù)聚物的制造工序。更具體來講，作為前體(P2)，優(yōu)選采用通過具有交聯(lián)性官能團(tuán)及酚性羥基的化合物(Y-1)和具有交聯(lián)性官能團(tuán)及被可與酚性羥基反應(yīng)的氟原子取代的芳環(huán)的化合物(Y-2)的任一方或雙方，與上述通式(1)表示的含氟芳香族化合物(B)和具有3個(gè)以上的酚性羥基的化合物(C)，在脫氟化氫劑的存在下進(jìn)行縮合反應(yīng)而得的前體(P21)。g卩，優(yōu)選實(shí)施工序(S1)和工序(S2)導(dǎo)入交聯(lián)性官能團(tuán)后，實(shí)施工序(S3)導(dǎo)入側(cè)鏈。前體(P2)也可以在獲得前體(P1)后使化合物(Y)反應(yīng)而制得。被可與酚性羥基反應(yīng)的鹵原子取代的芳環(huán)較好是與芳環(huán)結(jié)合的氫原子的2個(gè)以上被鹵原子取代的芳環(huán)，更好是該氫原子的全部被鹵原子取代。該鹵原子優(yōu)選氟原子，被可與酚性羥基反應(yīng)的鹵原子取代的芳環(huán)最好是全氟芳環(huán)。作為該全氟芳環(huán)的例子，可例舉全氟苯基、全氟聯(lián)苯基等。此外，被可與酚性羥基反應(yīng)的鹵原子取代的芳環(huán)通過含氟芳香族化合物(B)或化合物(Y-2)被導(dǎo)入預(yù)聚物。因此，通式(I)表示的側(cè)鏈被導(dǎo)入來自含氟芳香族化合物(B)或化合物(Y-2)的芳環(huán)。本發(fā)明的預(yù)聚物的制造方法中的縮合反應(yīng)如下式(2)所示，由酚性羥基衍生的苯氧基攻擊含氟芳香族化合物(B)的氟原子所結(jié)合的碳原子及/或(Y-2)的氟原子(或鹵原子)所結(jié)合的碳原子，然后通過氟原子脫離的反應(yīng)機(jī)理等生成醚鍵。此外，化合物(C)及/或(Y-1)具有鄰位關(guān)系的2個(gè)酚性羥基時(shí)，通過同樣的反應(yīng)機(jī)理等，如下式(3)所示，存在生成二嚼烯(7'才々*v)骨架的可能性。作為制造本發(fā)明的預(yù)聚物的單體，采用具有交聯(lián)性官能團(tuán)的化合物(Y-1)或(Y-2)，可獲得被導(dǎo)入了交聯(lián)性官能團(tuán)的預(yù)聚物。藉此，使本發(fā)明的預(yù)聚物固化時(shí)，發(fā)生預(yù)聚物分子間的交聯(lián)或鏈延長(zhǎng)反應(yīng)，耐熱性大幅提高。此外，通過使用具有交聯(lián)性官能團(tuán)的化合物(Y-l)或(Y-2)，還獲得固化物的耐溶劑性提高的效果。另外，通過使用具有3個(gè)以上的酚性羥基的化合物(C)，在聚合物鏈導(dǎo)入支鏈結(jié)構(gòu)，可獲得分子結(jié)構(gòu)被三維化的預(yù)聚物。藉此，可在預(yù)聚物的分子量不下降的條件下在預(yù)聚物中導(dǎo)入交聯(lián)基團(tuán)或所述式(I)表示的側(cè)鏈。另外，通過使用所述通式(1)表示的含氟芳香族化合物(B)，可使固化物的撓性提高。將該化合物(B)作為單體使用的預(yù)聚物與將本身具有支鏈結(jié)構(gòu)的含氟芳香族化合物作為單體使用而制得的含氟芳香族聚合物相比，醚鍵的密度提高，主鏈的柔軟性提高。藉此，本發(fā)明的預(yù)聚物的固化物可獲得良好的撓性。此外，固化物的撓性良好這一特性在固化物為固化膜的形態(tài)時(shí)特別有用。含氟芳香族化合物(B)是所述通式(1)表示的含氟芳香族化合物。即，含氟芳香族化合物(B)是具有被可與酚性羥基反應(yīng)的氟原子取代的芳環(huán)的化合物。此外，含氟芳香族化合物(B)在與醇(Q)的縮合反應(yīng)中還是具有所述通式(I)表示的側(cè)鏈可結(jié)合的芳環(huán)的化合物。該式(1)中，RP及R^分別獨(dú)立地表示碳數(shù)8以下、較好為碳數(shù)3以下的含氟垸基。l種含氟芳香族化合物(B)中存在多個(gè)Rf時(shí)，它們可以相同也可以不同。同樣地存在多個(gè)RfS時(shí)，它們可以相同也可以不同。作為R^或Rf"的含氟垸基表示與垸基的碳原子結(jié)合的氫原子的一部分或全部被氟原子取代的烷基。從耐熱性的角度考慮，優(yōu)選全氟烷基。作為具體例，可例舉全氟甲基、全氟乙基、全氟丙基、全氟丁基、全氟己基、全氟辛基。如果Rf及Rp較多，則含氟芳香族化合物(B)的制造變得困難。因此，Rf1的數(shù)目(式中的a)為03，較好為02，最好為O。此外，RfS的數(shù)目(式中的n個(gè)b)為06，較好為02，最好為0。所述通式(l)中，n為02的整數(shù)，較好為0或1，最好為l。作為含氟勞香族化合物(B)的具體例，優(yōu)選例示以下的化合物。n二0時(shí)，可例舉全氟苯、全氟甲苯、全氟二甲苯；n=l時(shí)，可例舉全氟聯(lián)苯；n-2時(shí)，可例舉全氟三聯(lián)苯；n-3時(shí)，可例舉全氟(l，3,5-三苯基苯)、全氟(l,2,4-三苯基苯)。特好的是全氟苯、全氟聯(lián)苯、全氟(l,3,5-三苯基苯)、全氟(l,2,4-三苯基苯)。它們可單獨(dú)使用也可2種以上混合使用。11=3時(shí)，由于預(yù)聚物中導(dǎo)入了支鏈結(jié)構(gòu)，因此可使固化物的耐熱性提高。從所得固化物的介電常數(shù)和耐熱性的平衡良好，且固化物的撓性提高得較多考慮，作為含氟芳香族化合物(B)，最好為全氟聯(lián)苯?；衔?C)是具有3個(gè)以上的酚性羥基的化合物。本發(fā)明中，具有交聯(lián)性官能團(tuán)的化合物不包含在該化合物(C)中。作為化合物(C)的具體例，可例舉三羥基苯、三羥基聯(lián)苯、三羥基萘、l,l，l-三(4-羥基苯基)乙烷、三(4-羥基苯基)苯、四羥基苯、四羥基聯(lián)苯、四羥基聯(lián)二萘、四羥基螺茚滿類等。由于所得固化物的撓性提高，因此，作為化合物(C)優(yōu)選具有3個(gè)酚性羥基的化合物。其中更好的是1,1，1-三(4-羥基苯基)乙烷、三羥基苯。前體(P1l)通過使化合物(B)和化合物(C)在脫HF劑存在下進(jìn)行縮合反應(yīng)而制得。然后進(jìn)行所述通式(I)表示的側(cè)鏈的導(dǎo)入和交聯(lián)性官能團(tuán)的導(dǎo)入。交聯(lián)性官能團(tuán)的導(dǎo)入優(yōu)選釆用化合物(Y-1)或化合物(Y-2)。前體(P21)通過下述(i)或(ii)的方法的任一方或雙方來制造。(i)使化合物(B)和化合物(C)和化合物(Y-l)在脫HF劑存在下進(jìn)行縮合反應(yīng)的方法。(ii)使化合物(B)和化合物(C)和化合物(Y-2)在脫HF劑存在下進(jìn)行縮合反應(yīng)的方法。利用所述(i)及(ii)雙方制造前體(P21)時(shí)，使含氟芳香族化合物(B)、化合物(C)、化合物(Y-l)及化合物(Y-2)在脫HF劑存在下進(jìn)行縮合反應(yīng)。如果在前體(P21)中導(dǎo)入所述通式(I)表示的側(cè)鏈，則獲得主鏈具有與芳環(huán)結(jié)合的氫原子的一部分或全部被氟原子取代的芳環(huán)、所述通式(I)表示的側(cè)鏈與該含氟芳環(huán)結(jié)合的預(yù)聚物?；衔?Y-1)是具有交聯(lián)性官能團(tuán)和酚性羥基的化合物?；衔?Y-1)不具有被可與酚性羥基反應(yīng)的氟原子取代的芳環(huán)。作為化合物(Y-1)，優(yōu)選具有1個(gè)酚性羥基的化合物(Y-1-1)及具有2個(gè)酚性羥基的化合物(Y-l-2)。(Y-1-l)作為一官能性化合物發(fā)揮作用，如果使用該化合物，則可獲得側(cè)鏈具有交聯(lián)性官能團(tuán)的預(yù)聚物。(Y-l-2)作為二官能性化合物發(fā)揮作用，如果使用該化合物，則可獲得主鏈具有交聯(lián)性官能團(tuán)的前體預(yù)聚物。也可使用(Y-l-l)和(Y-l-2)雙方，這種情況下，可獲得主鏈及側(cè)鏈具有交聯(lián)性官能團(tuán)的預(yù)聚物?；衔?Y-1)中的酚性羥基可在反應(yīng)體系中產(chǎn)生。具體來講，在堿存在下通過水解變?yōu)榉有粤u基的得到了保護(hù)的酚性羥基也被認(rèn)為是與所述酚性羥基相同的基團(tuán)。更具體來講，在脫氟化氫劑的存在下產(chǎn)生酚性羥基的酯等化合物也包括在(Y-1)中。如上所述，本發(fā)明的預(yù)聚物優(yōu)選僅在側(cè)鏈具有交聯(lián)性官能團(tuán)，因此更好的是僅使用(Y-1-1)。此外，(Y-l-l)及(Y-l-2)各自的交聯(lián)性官能團(tuán)的數(shù)目?jī)?yōu)選為1。作為化合物(Y-1-1)的具體例，可例舉4-羥基苯乙烯等具有反應(yīng)性雙鍵的苯酚類，3-乙炔基苯酚、4-苯基乙炔基苯酚、4-(4-氟苯基)乙炔基苯酚等乙炔基苯酚類。此外，作為酚性羥基得到了保護(hù)的化合物的具體例，可例舉4-乙酰氧基苯乙烯等。它們可單獨(dú)使用也可2種以上混合使用。較好的是作為交聯(lián)性官能團(tuán)具有乙烯基或乙炔基的芳香族化合物，更好的是具有乙烯基的芳香族化合物。4-(4-氟苯基)乙炔基苯酚具有與芳環(huán)結(jié)合的1個(gè)氫原子被氟原子取代的芳環(huán)，但該氟原子實(shí)質(zhì)上不與酚性羥基反應(yīng)。如上所述，即使是氟原子與芳環(huán)結(jié)合的化合物，但只要該氟原子不與酚性羥基反應(yīng)，則該化合物包括在化合物(Y-l-l)中。作為化合物(Y-l-2)的具體例，可例舉2，2，-雙(苯基乙炔基)-5,5，-二羥基聯(lián)苯、2,2，-雙(苯基乙炔基)-4,4，-二羥基聯(lián)苯等雙(苯基乙炔基)二羥基聯(lián)苯類，4，4'-二羥基二苯乙炔、3,3，-二羥基二苯乙炔等二羥基二苯基乙炔類等。它們可單獨(dú)使用也可2種以上混合使用?；衔?Y-2)是具有交聯(lián)性官能團(tuán)及被可與酚性羥基反應(yīng)的氟原子取代的芳環(huán)的化合物?；衔?Y-2)不具有酚性羥基?；衔?Y-2)中的被可與酚性羥基反應(yīng)的氟原子取代的芳環(huán)較好為與芳環(huán)結(jié)合的氫原子的2個(gè)以上被氟原子取代的芳環(huán)，更好為該氫原子的全部都被氟原子取代的全氟芳環(huán)。作為該全氟芳環(huán)的例子，可例舉全氟苯基、全氟聯(lián)苯基等。(Y-2)中的可與酚性羥基反應(yīng)的氟原子為l個(gè)時(shí)，(Y-2)作為一官能性化合物發(fā)揮作用，為2個(gè)時(shí)，(Y-2)作為二官能性化合物發(fā)揮作用。使用任意的一種都能夠獲得在側(cè)鏈被導(dǎo)入了交聯(lián)性官能團(tuán)的預(yù)聚物。(Y-2)中的交聯(lián)性官能團(tuán)的數(shù)目?jī)?yōu)選為1。作為化合物(Y-2)的具體例，可例舉五氟苯乙烯、丙烯酸五氟苯甲基酯、甲基丙烯酸五氟苯甲基酯、丙烯酸五氟苯基酯、甲基丙烯酸五氟苯基酯、全氟苯乙烯、五氟苯基三氟乙烯基醚、3-(五氟苯基)五氟-l-丙烯等具有反應(yīng)性雙鍵的含氟芳基類，五氟卞腈等具有氰基的含氟芳基類，五氟苯基乙炔、九氟聯(lián)苯基乙炔等含氟芳基乙炔類，苯基乙炔基五氟苯、苯基乙炔基九氟聯(lián)苯、十氟二苯乙炔等含氟二芳基乙炔類。它們可單獨(dú)使用也可2種以上混合使用。由于在較低溫度下進(jìn)行交聯(lián)反應(yīng)，且所得預(yù)聚物的固化物的耐熱性提高，因此作為化合物(Y-2)，優(yōu)選五氟苯基乙炔等含氟芳基乙炔類，五氟苯乙烯等具有反應(yīng)性雙鍵的含氟芳基類。作為制造前體(P1)、前體(P2)時(shí)所用的脫氟化氫劑(脫HF劑)，優(yōu)選堿性化合物，特好為堿金屬的碳酸鹽、碳酸氫鹽或氫氧化物。作為具體例，可例舉碳酸鈉、碳酸鉀、碳酸氫鈉、碳酸氫鉀、氫氧化鈉、氫氧化鉀等。作為制造前體(Pl)、前體(P2)時(shí)所用的脫氟化氫劑，更好的是碳酸鈉、氫氧化鉀或碳酸鉀。脫HF劑的用量相對(duì)于待反應(yīng)的酚性羥基的摩爾數(shù)，需要以摩爾比計(jì)為1倍以上的量，較好為1.13倍。S卩，相對(duì)于具有酚性羥基的化合物(C)的羥基的量或化合物(C)及化合物(Y-1)的羥基的合計(jì)量，以摩爾比計(jì)需要1倍以上的量，較好為1.13倍。所述縮合反應(yīng)優(yōu)選在極性溶劑中進(jìn)行。作為極性溶劑，較好為含有AN-二甲基乙酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、N-甲基吡咯烷酮、二甲亞砜、環(huán)丁砜等非質(zhì)子性極性溶劑的溶劑。在不使生成的預(yù)聚物的溶解性下降，不會(huì)對(duì)縮合反應(yīng)造成不良影響的范圍內(nèi)，極性溶劑中可含有甲苯、二甲苯、苯、四氫呋喃、三氟甲苯(benzotrifluoride)、六氟化二甲苯(xylenehexafluoride)等。通過含有這些化合物，溶劑的極性(介電常數(shù))發(fā)生變化，可對(duì)反應(yīng)速度進(jìn)行控制。作為縮合反應(yīng)條件，較好是在1020(TC反應(yīng)180小時(shí)。更好是在2018(TC反應(yīng)260小時(shí)，最好是在5016(TC反應(yīng)348小時(shí)。預(yù)聚物的數(shù)均分子量為1X1()35X105，較好為1.5X1()31X105的范圍。如果在該范圍內(nèi)，則含本發(fā)明的預(yù)聚物的涂布用組合物的涂布特性良好，所得固化膜具有良好的耐熱性、機(jī)械特性及耐溶劑性等。在電子設(shè)備用絕緣膜的用途中，被要求在基底的微細(xì)間隔之間充分地浸透，且使表面實(shí)現(xiàn)平滑的特性(所謂的埋入平坦性)，預(yù)聚物的數(shù)均分子量最好為1.5X1035X1()4的范圍。在使用化合物(Y-1)的制造方法中，預(yù)聚物的數(shù)均分子量可通過改變化合物(C)、化合物(Y-1)及醇(Q)的合計(jì)量和含氟芳香族化合物(B)的使用比例來控制。這里，預(yù)聚物中無羥基殘存時(shí)防水性及防油性提高，因此優(yōu)選。所述縮合反應(yīng)中，含氟芳香族化合物(B)通常作為二官能性化合物發(fā)揮作用。因此，分子量的控制最好在化合物(C)、化合物(Y-1)及醇(Q)的羥基的合計(jì)摩爾數(shù)不超過含氟芳香族化合物(B)的摩爾數(shù)的2倍的范圍內(nèi)進(jìn)行調(diào)整。使用化合物(Y-2)的制造方法中的預(yù)聚物的數(shù)均分子量可通過改變含氟芳香族化合物(B)及化合物(Y-2)的合計(jì)量和化合物(C)及醇(Q)的合計(jì)量的使用比例來控制。這里，與前述同樣，化合物(Y-2)作為一官能性化合物發(fā)揮作用時(shí)，分子量的控制最好在羥基的合計(jì)摩爾數(shù)不超過含氟芳香族化合物(B)的摩爾數(shù)的2倍和化合物(Y-2)的摩爾數(shù)的合計(jì)的范圍內(nèi)進(jìn)行調(diào)整?；衔?Y-2)作為二官能性化合物發(fā)揮作用時(shí)，分子量的控制最好在羥基的合計(jì)摩爾數(shù)不超過含氟芳香族化合物(B)和化合物(Y-2)的合計(jì)摩爾數(shù)的2倍的范圍內(nèi)進(jìn)行調(diào)整。此外，使用化合物(Y-2)的制造方法中，含氟芳香族化合物(B)和化合物(Y-2)的反應(yīng)速度不同時(shí)，有時(shí)因添加順序的緣故，所得前體或預(yù)聚物的分子量和組成也會(huì)不同。例如，對(duì)于由化合物(C)的酚性羥基衍生的苯氧基的反應(yīng)速度(B)〉(Y-2)時(shí)，如果同時(shí)加入含氟芳香族化合物(B)和化合物(Y-2)，則在化合物(Y-2)完全被消耗之前，所有的苯氧基已經(jīng)被含氟芳香族化合物(B)消耗，有時(shí)會(huì)有未反應(yīng)的化合物(Y-2)殘存。這種情況下，為了提高化合物(Y-2)的反應(yīng)率，較好是先加入化合物(Y-2)再加入含氟芳香族化合物(B)。但是，該方法存在所得前體的分子鏈間的組成差異變大的傾向。在必須使所得前體的分子鏈間的組成差異變小時(shí)，最好一下子全部加入來進(jìn)行制造。使用化合物(Y-1)的制造方法中，化合物(C)的用量相對(duì)于含氟芳香族化合物(B)以摩爾比計(jì)較好為0.11倍，更好為0.30.6倍，化合物(Y-1)的用量相對(duì)于含氟芳香族化合物(B)以摩爾比計(jì)較好為0.12倍，更好為0.21.5倍。使用化合物(Y-2)的制造方法中，化合物(C)的用量相對(duì)于含氟芳香族化合物(B)以摩爾比計(jì)較好為0.52倍，更好為0.61.5倍，化合物(Y-2)的用量相對(duì)于含氟芳香族化合物(B)以摩爾比計(jì)較好為0.12倍，更好為0.21.5倍。各值如果在所述范圍內(nèi)，則所得的本發(fā)明的預(yù)聚物具有高耐熱性，因此比較理想。根據(jù)使本發(fā)明的預(yù)聚物固化而得的固化物的耐熱性、撓性等物性而適當(dāng)選擇化合物(Y-1)、(Y-2)，可制得能夠獲得所要物性的固化物的預(yù)聚物。本發(fā)明的預(yù)聚物最好在其中間工序中，在縮合反應(yīng)后(例如，合成前體后或?qū)胨鐾ㄊ?I)表示的側(cè)鏈后)通過中和、再沉淀、萃取、過濾等方法適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行精制。釆用預(yù)聚物制得的固化物的耐熱性不充分，由該固化物形成的膜或薄膜具有脆性時(shí)，為了提高固化物的耐熱性及改善撓性，可在預(yù)聚物的制造時(shí)添加所述(BXC)(Y-1)(Y-2XQ)以外的其它的共縮成分。為了提高固化膜的撓性，作為其它的共縮成分，可例舉除(Y-1)以外的具有2個(gè)酚性羥基的化合物(Z)。作為所述具有2個(gè)酚性羥基的化合物(Z)，可例舉二羥基苯、二羥基聯(lián)苯、二羥基聯(lián)三苯、二羥基萘、二羥基蒽、二羥基菲(phenanthracene)、二羥基-9，9-二苯基荷、二羥基二苯并呋喃、二羥基二苯基醚、二羥基二苯基硫醚、二羥基二苯甲酮、二羥基-2,2-二苯基丙烷、二羥基-2,2-二苯基六氟丙烷、二羥基聯(lián)萘等2官能苯酚類。它們可單獨(dú)使用也可2種以上混合使用。[斷Q)]本發(fā)明中，為了導(dǎo)入通式(I)表示的側(cè)鏈，最好采用通式(II)表示的醇(Q)。特好是在脫氟化氫劑的存在下使被可與酚性羥基反應(yīng)的鹵原子取代的芳環(huán)和醇(Q)反應(yīng)。被可與酚性羥基反應(yīng)的鹵原子取代的芳環(huán)和醇(Q)的反應(yīng)與所述式(2)表示的反應(yīng)同樣，由醇(Q)的羥基衍生的烷氧基攻擊被可與酚性羥基反應(yīng)的鹵原子取代的芳環(huán)的鹵原子所結(jié)合的碳原子，然后利用鹵原子脫離的反應(yīng)機(jī)理等生成醚鍵。通過該反應(yīng)，由醇(Q)的羥基除去了氫的側(cè)鏈，即，所述通式(I)表示的側(cè)鏈被導(dǎo)入預(yù)聚物。所述通式(II)中的Rf與所述通式(I)中的Rf相同。作為所述通式(II)表示的醇(Q)的更好的具體例，例舉如下。如果使用下述通式(II-1)表示的醇，則獲得具有所述通式(I-1)表示的側(cè)鏈的預(yù)聚物，使用以下的其它的醇時(shí)也獲得具有對(duì)應(yīng)的側(cè)鏈的預(yù)聚物。醇(Q)可以使用l種也可2種以上并用。作為所述通式(II)表示的醇(Q沖的直鏈狀醇，優(yōu)選以下的通式(II-1)或以下的通式(II-2)表示的醇。以下的通式(II-1)中，m表示l5的整數(shù)，Rfa表示碳數(shù)450的可含有醚結(jié)合性氧原子的含氟烷基，m更好為13的整數(shù)。作為以下的通式(II-1)表示的醇(Q)的更好的例子，可例舉以下的通式(n-i-i)表示的醇或以下的通式(n-i-2)表示的醇。Rfa-0-(CF2)m-CH2-OH.(II-l)CF3(OCF2CF2)k-0-CF2-CH2-OH(II-l-l)(式中，k表示110的整數(shù))CpF2p+1OCF2CF2-0-CF2-CH2-OH(II-1-2)(式中，p表示l10的整數(shù))CF3(CF2)j-CH2-OH(II-2)(式中，j表示240的整數(shù))此外，作為所述通式(II)表示的醇(Q)中的支鏈狀醇，優(yōu)選以下的通式(II-3)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage25</formula>作為使醇(Q)反應(yīng)時(shí)所用的脫氟化氫劑，可使用與用于所述化合物(B)、化合物(C)、化合物(Y)的縮合反應(yīng)的脫HF劑同樣的試劑。g卩，作為脫HF劑，優(yōu)選堿性化合物，特好的是堿金屬的氫化物、碳酸鹽、碳酸氫鹽或氫氧化物。作為具體例，可例舉氫化鈉、氫化鉀、碳酸鈉、碳酸鉀、碳酸銫、碳酸氫鈉、碳<formula>formulaseeoriginaldocumentpage25</formula>酸氫鉀、氫氧化鈉、氫氧化鉀、氫氧化銫等。作為使醇(Q)反應(yīng)時(shí)所用的脫氟化氫劑，更好的是氫化鈉、碳酸銫、氫氧化鈉、氫氧化鉀或氫氧化銫。脫HF劑的用量相對(duì)于所用斷Q)的羥基的摩爾數(shù)，以摩爾比計(jì)必須為1倍以上的量，更好為U3倍。使醇(Q)反應(yīng)時(shí)，最好在極性溶劑中實(shí)施。作為極性溶劑，優(yōu)選含有四氫呋喃、1,4-二嗯烷等醚性溶劑，N,N-二甲基乙酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、N-甲基吡咯垸酮、二甲亞砜、環(huán)丁砜等非質(zhì)子性極性溶劑的溶劑。作為反應(yīng)條件，優(yōu)選為在020(TC反應(yīng)180小時(shí)，更好為在20180。C反應(yīng)260小時(shí)，最好為在3010(TC反應(yīng)348小時(shí)。<固化物>本發(fā)明的預(yù)聚物如果被賦予外部能量，則交聯(lián)性官能團(tuán)發(fā)生反應(yīng)，導(dǎo)致交聯(lián)預(yù)聚物分子間的交聯(lián)或鏈延長(zhǎng)，形成為固化物。對(duì)固化物的形狀無特別限定。例如，膜、薄膜、成形體等。特別是調(diào)制含本發(fā)明的預(yù)聚物及溶劑的液狀涂布用組合物，將該涂布用組合物涂于基材上，使其固化成形為膜狀時(shí)，交聯(lián)性官能團(tuán)的反應(yīng)易均一地進(jìn)行，可獲得均質(zhì)的固化物(固化膜)。因此，本發(fā)明的預(yù)聚物適用于固化膜的制造?！赐坎加媒M合物〉本發(fā)明的涂布用組合物含有本發(fā)明的預(yù)聚物和溶劑。含有本發(fā)明的預(yù)聚物的涂布用組合物可通過將預(yù)聚物溶解或分散于溶劑而獲得。本發(fā)明的涂布用組合物適用于固化膜或固化薄膜的制造。本發(fā)明的涂布用組合物還可根據(jù)需要含有其它成分?！锤泄庑越M合物〉本發(fā)明的負(fù)型感光性組合物是所述涂布用組合物中含感光劑的組合物。即，本發(fā)明的負(fù)型感光性組合物含有所述預(yù)聚物、感光劑和溶劑。<感光劑>被用于本發(fā)明的感光劑是具有通過化學(xué)射線的照射使預(yù)聚物的交聯(lián)性官能團(tuán)的反應(yīng)發(fā)生或進(jìn)行的作用的試劑。該交聯(lián)性官能團(tuán)的反應(yīng)是預(yù)聚物分子間的交聯(lián)反應(yīng)或預(yù)聚物分子的鏈延長(zhǎng)反應(yīng)，通過該反應(yīng)實(shí)現(xiàn)預(yù)聚物的高分子量化。作為該化學(xué)射線，可例舉X射線、電子射線、紫外線、可見光線等。作為感光劑，較好的是至少使用光引發(fā)劑(光自由基發(fā)生劑)或光交聯(lián)劑。也可以兩者并用。因交聯(lián)基的種類的不同，作為感光劑還可使用酸發(fā)生劑或堿發(fā)生劑。光引發(fā)劑是通過光照射產(chǎn)生自由基，使交聯(lián)性官能團(tuán)的反應(yīng)發(fā)生的物質(zhì)。作為光引發(fā)劑，可例舉苯偶姻烷基醚衍生物、二苯甲酮衍生物、a-氨基烷基苯酮類、肟酯(oximeester)衍生物、噻噸酮衍生物、蒽醌衍生物、?；蹯⒀苌?、乙醛酸酯(glyoxyester)衍生物、有機(jī)過氧化物類、三鹵代甲基三嗪衍生物、二茂鈦(titanocene)衍生物等。具體可例舉IRGACURE651、IRGACURE184、DAROCURE1173、IRGACURE500、IRGACURE2959、IRGACURE754、IRGACURE907、IRGACURE369、IRGACURE1300、IRGACURE819、IRGACURE819DW、IRGACURE1880、IRGACURE1870、DAROCURETPO、DAROCURE4265、IRGACURE784、IRGACUREOXE01、IRGACUREOXE02、IRGACURE250(汽巴精化公司制)，KAYACUREDETX-S、KAYACURECTX、KAYACUREBMS、KAYACURE2-EAQ(日本化藥株式會(huì)社制)，TAZ-lOl、TAZ-102、TAZ-l(B、TAZ-104、TAZ-106、TAZ-107、TAZ-108、TAZ-110、TAZ-113、TAZ-114、TAZ-118、TAZ-122、TAZ-123、TAZ-140、TAZ陽(yáng)204(綠(^p^)化學(xué)株式會(huì)社制)等。這些光引發(fā)劑可單獨(dú)使用也可2種以上并用。特別是從能夠以低照射能量固化的角度考慮，優(yōu)選高靈敏度引發(fā)劑。作為高靈敏度引發(fā)劑，優(yōu)選IRGACURE907(a-氨基烷基苯酮類)、IRGACURE369(a-氨基烷基苯酮類)、IRGACUREOXEOl(膀酯衍生物)、IRGACUREOXE02(肟酯衍生物)，特好的是IRGACUREOXEO1、IRGACUREOXE02。作為光酸發(fā)生劑，可例舉重氮二砜類、三苯基锍類、碘輸鹽類、二砜類、砜類等。具體可例舉TPS-105、DPI-102、DPI-105、DPI-106、DPI-109、DPI-201、BI-105、MPI-103、MPI-105、MPI-106、MPI-109、BBI-102、BBI-103、BBI-105、BBI-106、BBI-109、BBI-110、BBI-201、BBI-301、TPS-102、TPS-103、TPS-105、TPS-106、TPS-109、TPS-IOOO、MDS-103、MDS-105、MDS-109、^凝鏈/s歉每扭一&^s鵬凝Mte:^卓紫宋醣灰&f汰農(nóng)噸二Ara「ltw一&g裕卜涯^a虔鵬癡M^fe鵬璲M脈^K^-紫^酸灰^與一&^浪M。逸卜逝-邀敏s務(wù)髮^崎坩械4>酬^:^姬紫暴嵌磨^超WSH溫舭逝、^W別扭為賠、S激為補(bǔ)^S務(wù)銜H^酸婦1TJqTii。鵬凝M^^(卓堪宋酸)卓堪忌淤寂#3運(yùn)為賠、務(wù)*/1^酸岳浪嗚坩灰瞎^^添1^別運(yùn)「餘^塌。匾3長(zhǎng)糊，寸-糊裝腔，^(糊棖喊*-寸)-￡〕^-9^^2坂紫4械。她^Ek糊棖H喊,r-y寸，雌碟條-寸。1-喊瞓.^2,械截"糊li3E辨喊喇-,寸M7,被喊唰r-、寸，g糊嵌贓唰區(qū)，s糊橫喊瞓灰，匾s^糊K-寸-〖糊凝EZE-2-(郴械喊喇-寸K〗xk-9J,lis^糊7-寸-糊裝腔3E-s-(糊棖喊喇-寸)-dKk-9K,匿s^糊i-寸-糊裝腔3E-N-(糊械喊5-寸HKK-9K長(zhǎng)〔糊裝E3K-N-(糊掛喊唰-寸)-d釤-9"橋翠！a。截^ST図"鵬凝M跑碌賦^詔累^:I&^銀喊喇。切^蹈"扭一&^^WY魃s徵H-3灰^切^堪忌岳雜^灰股繼扭超蹈$照|&h裝喊趙艇^州紫^糊喊瞓寂賠、s激蹤抓^婦短累蹈Mg^銀喊,。銀(3PISS!q)喊瞓掩「私^"累蹈wg^^e。s班龍鄰W翠釙^驗(yàn))SI6NV,10I-3eN,H0-sdl^fl4xa教^。*^鄰敏橋,鄰暨觀i糊滅，瓶觀經(jīng)綴^,紫鬆如統(tǒng)堪00橋「私xa^累別扭攀g^^e。她(泰站,；^奪3H嫁眾g,SK9s國(guó)ovdAV,9￡￡-ovdAV,lsz-ovdM,661-ovdM,OZJ-ovdAV,s寸l-ovdM;泰站鄰W悉抓？十驗(yàn))60I-IN,90l-IN,SI-IN,Iol-IN,寸OOI-IN"OOI-IN,SOI-IN,IorIN,寸S-ZVJL,￡o"ZVJL,IO"zvl,o寸rzvl,s-zvl,3-zvl,SI〖-ZV1,寸lrzvl,nl-zvl,OH-zvl,60I-zv卜，SOI-ZV卜，卜orzvl,901-zvl,寸ol-zvl,SI-zvl,§-zvl二2-ZVI,oorzvl,IOI-aM二05NG,OOI-.aAdM0￡-ZSA1,IOZ-zgw,lorzes,觀觀磐械i環(huán)攀械，IOZ-sva,IOI-IVN,寸oot-IVN,SOI-IVN,Z,IVM,CKH-IVN二OOI-Ivd,901-Ivd,lol-Ivd,601-IaN,90l-I。N"01-IaN,IOI-IaN,60I-Id,srld,60I-IS,90I-IS,SI-IS二orls,Iors。,oors。"91-saN,6SI-SGN,S-SGN,SI-saN,§-saN,SI-SIXI,￡ol-SIXI,srsla,601-sae,§-scsK3/s城浮輝一S.ss61008i00s劑。通過并用光引發(fā)助劑和光引發(fā)劑，與單獨(dú)使用光引發(fā)劑時(shí)相比更能夠促進(jìn)引發(fā)反應(yīng)。具體可例舉胺類、砜類、膦類等。更具體可例舉三乙醇胺、甲基二乙醇胺、三異丙醇胺、米蚩酮、4,4，-二乙基氨基苯酮、4-二甲基氨基苯甲酸乙酯等。敏化劑是吸收光引發(fā)劑不吸收的放射光譜并激發(fā)，將該吸收能量傳遞至光引發(fā)劑，由光引發(fā)劑引起引發(fā)反應(yīng)的試劑。作為敏化劑，可例舉二苯甲酮衍生物、蒽醌衍生物、乙酰苯衍生物等。本發(fā)明的感光性組合物中的感光劑的含量只要是通過曝光可降低預(yù)聚物在顯影液中的溶解性的量以上即可，無特別限定。較好的是相對(duì)于感光性組合物中所含的預(yù)聚物100質(zhì)量份，感光劑的含量為0.130質(zhì)量份，更好的是lIO質(zhì)量份。感光劑的含量如果在上述范圍的下限值以上，則曝光工序所必須的化學(xué)射線的照射能量不會(huì)過多，如果在上述范圍的上限值以下，則可防止對(duì)固化物的電特性和機(jī)械特性造成不良影響。<溶劑>本發(fā)明的涂布用組合物，特別是感光性組合物中的溶劑只要可溶解或分散預(yù)聚物、感光劑及根據(jù)需要添加的添加劑類即可。優(yōu)選采用可使本發(fā)明的涂布用組合物具備以下所述性狀的溶劑通過所希望的方法可形成具有所希望的膜厚、且膜厚的均一性良好、根據(jù)需要還具有埋入平坦性的涂膜。作為溶劑，可例舉例如芳烴類、偶極非質(zhì)子系溶劑類、酮類、酯類、醚類、鹵代烴類。該溶劑可以與所述預(yù)聚物制造時(shí)的反應(yīng)溶劑相同也可不同。使用不同的溶劑時(shí)，可通過再沉淀法等將預(yù)聚物從反應(yīng)溶液回收后溶解或分散于不同溶劑，或者采用蒸發(fā)法、超濾法等公知方法進(jìn)行溶劑置換。作為芳烴類，可例舉苯、甲苯、二甲苯、乙基苯、枯烯、來、四氫化萘、甲基萘等。作為偶極非質(zhì)子系溶劑類，可例舉N-甲基吡咯烷酮、N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、Y-丁內(nèi)酯、二甲亞砜等。作為酮類，可例舉環(huán)戊酮、環(huán)己酮、環(huán)庚酮、環(huán)辛酮、甲基氨基酮等。作為醚類，可例舉四氫呋喃、吡喃、二噁垸、二甲氧基乙垸、二乙氧基乙烷、二苯基醚、苯甲醚、苯乙醚、二甘醇二甲醚、三甘醇二甲醚等。作為酯類，可例舉乳酸乙酯、苯甲酸甲酯、苯甲酸乙酯、苯甲酸丁酯、苯甲酸苯甲酯、甲基溶纖劑乙酸酯、乙基溶纖劑乙酸酯、丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、丙二醇單丙醚、丙二醇單丁醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、二丙二醇單甲醚乙酸酯、二丙二醇單乙醚乙酸酯等。作為鹵代烴類，可例舉四氯化碳、氯仿、二氯甲烷、四氯乙烯、氯苯、二氯苯等。溶劑的用量以可將本發(fā)明的涂布用組合物中的預(yù)聚物的固形成分濃度調(diào)整為150質(zhì)量％為條件來設(shè)定，更好為540質(zhì)量％?！雌渌煞帧当景l(fā)明的感光性組合物以提高預(yù)聚物固化時(shí)的反應(yīng)速度或減少反應(yīng)缺陷等為目的最好添加各種催化劑或添加劑。例如，預(yù)聚物作為交聯(lián)性官能團(tuán)含有乙炔基時(shí)，作為催化劑，優(yōu)選苯胺、三乙胺、氨基苯基三烷氧基硅垸、氨基丙基三垸氧基硅垸等胺類或含有鉬、鎳等的有機(jī)金屬化合物等。作為添加劑，優(yōu)選雙環(huán)戊二烯酮衍生物。乙炔基和環(huán)戊二烯酮基(1-氧代環(huán)戊-2，5-二烯-3-基)因熱通過狄爾斯-阿德耳反應(yīng)而形成加成物后進(jìn)行脫一氧化碳反應(yīng)形成芳環(huán)。因此，如果使用雙環(huán)戊二烯酮衍生物，則形成芳環(huán)為結(jié)合部位的交聯(lián)或鏈延長(zhǎng)。作為雙環(huán)戊二烯酮衍生物的具體例，可例舉1，4-雙(1-氧代-2，4，5-三苯基-環(huán)戊-2，5-二烯-3-基)苯、4，4，-雙(1-氧代-2，4，5-三苯基-環(huán)戊-2，5-二烯-3-基)聯(lián)苯、4，4，-雙(1-氧代-2，4，5-三苯基-環(huán)戊-2,5-二烯-3-基)1，1，-氧雙苯、4,4，-雙(l-氧代-2,4,5-三苯基-環(huán)戊-2，5-二烯-3-基)l，r-硫雙苯、1，4-雙(卜氧代-2,5-二-[4-氟苯基]-4-苯基-環(huán)戊-2，5-二烯-3-基)苯、4，4'-雙(1-氧代-2，4，5-三苯基-環(huán)戊-2,5-二烯-3-基)l，1，-(1,2-亞乙基)雙苯、4，4，-雙(l-氧代-2，4，5-三苯基-環(huán)戊-2，5-二烯-3-基)1，1'(1,3-亞丙基)雙苯等。從耐熱性的角度考慮，這些雙環(huán)戊二烯酮衍生物中，優(yōu)選全芳香族骨架的雙環(huán)戊二烯酮衍生物。它們可單獨(dú)使用也可并用2種以上。本發(fā)明的涂布用組合物中，除了催化劑及/或添加劑以外，還可摻入選自紫外線吸收劑、防氧化劑、防熱聚合劑等穩(wěn)定劑類，均化劑、消泡劑、防沉淀劑、分散劑等表面活性劑類，交聯(lián)劑，增塑劑，增粘劑等在涂布領(lǐng)域周知的各種添加劑中的至少l種添加劑。此外，形成具有空孔的膜或薄膜時(shí)，可適當(dāng)摻入后述的中空體或薄膜形成后可除去的物質(zhì)等。主要形成感光性組合物的預(yù)聚物、感光劑及溶劑的配比是，預(yù)聚物160質(zhì)量％，較好為250質(zhì)量％，感光劑O.120質(zhì)量％，較好為0.510質(zhì)量%，溶劑2099質(zhì)量％，較好為3098質(zhì)量％。<固化膜>對(duì)于固化物的制造方法，作為固化物的優(yōu)選例子，例舉固化膜。將本發(fā)明的涂布用組合物涂布于適當(dāng)?shù)幕谋砻嫘纬蓾駶?rùn)膜后，將溶劑通過揮發(fā)等方法除去后或者在除去溶劑的同時(shí)實(shí)施固化處理，可通過使預(yù)聚物中的交聯(lián)性官能團(tuán)發(fā)生交聯(lián)反應(yīng)而形成固化膜。作為濕潤(rùn)膜的形成方法，優(yōu)選釆用涂布法或印刷法。作為涂布法，可例舉例如旋涂法、浸涂法、噴涂法、模涂法、棒涂法、刮刀涂布法、擠壓涂布法、掃描涂布法、刷涂法、澆注涂布法等公知的涂布方法。作為印刷法，可例舉例如納米印刷法、絲網(wǎng)印刷、凹版印刷、噴墨印刷等。預(yù)聚物含有常溫下具有實(shí)質(zhì)性的蒸氣壓的低分子量體時(shí)，為了防止烘烤時(shí)的揮發(fā)，在對(duì)涂布用組合物進(jìn)行涂布前，也可在溶液中使交聯(lián)性官能團(tuán)的一部分事先反應(yīng)。作為其方法，優(yōu)選加熱。作為加熱條件，較好是5(TC25(TC加熱150小時(shí)，更好是70200。C加熱120小時(shí)。從防止溶液中的預(yù)聚物的凝膠化的角度考慮，交聯(lián)性官能團(tuán)在溶液中的反應(yīng)率較好是不足50%，更好是不足30%。由涂布用組合物形成的濕潤(rùn)膜的厚度可根據(jù)所要制造的目的固化膜的形狀適當(dāng)設(shè)定。例如以制造薄膜為目的時(shí)，較好是在基板上形成0.01500um左右的濕潤(rùn)膜，更好是O.1300nm。固化處理中，賦予使交聯(lián)性官能團(tuán)發(fā)生反應(yīng)的外部能量。該外部能量可根據(jù)預(yù)聚物中存在的交聯(lián)性官能團(tuán)的種類來選擇。較好的是采用因熱發(fā)生反應(yīng)的交聯(lián)性官能團(tuán)，通過烘烤(加熱)進(jìn)行固化處理。加熱條件較好是于15045(TC加熱1120分鐘左右，更好是于160350T:加熱260分鐘左右。作為加熱裝置，優(yōu)選熱板、烘箱、加熱爐，加熱氣氛可例舉氮?dú)饣驓鍤獾榷栊詺怏w氣氛、空氣、氧氣、減壓等。優(yōu)選惰性氣體氣氛及減壓。為了確保薄膜的表面平滑性，或者使薄膜的微細(xì)間隔埋入性提高，最好追加5025(TC左右的預(yù)烘烤工序或?qū)⒓訜峁ば蚍蛛A段實(shí)施。固化處理后所得的固化膜中的交聯(lián)性官能團(tuán)的反應(yīng)率較好為30100摩爾％。通過使反應(yīng)率達(dá)到30摩爾％以上，可提高固化膜的耐熱性及耐化學(xué)品性。從這一角度考慮，反應(yīng)率更好為50摩爾％以上，特好為70摩爾％以上。由本發(fā)明的涂布用組合物獲得的固化膜也可從基材剝離作為薄膜單體使用，或者直接以接合于基材上的狀態(tài)作為防水，防油膜等涂膜等使用。為后者時(shí)，為了提高固化膜和基材的接合性，也可使用接合促進(jìn)劑(接合性提高劑)。作為接合促進(jìn)劑，可例舉硅烷類偶聯(lián)劑、鈦酸酯類偶聯(lián)劑、鋁類偶聯(lián)劑等。更好的是乙烯基硅烷類、丙烯?；枸?、苯乙烯基硅烷類、環(huán)氧基硅烷類、氨基硅烷類等硅垸類偶聯(lián)劑。作為乙烯基硅烷類，可例示乙烯基三氯硅烷、乙烯基三甲氧基硅垸、乙烯基三乙氧基硅烷等。作為苯乙烯基硅烷類，可例示對(duì)苯乙烯基三甲氧基硅垸、對(duì)苯乙烯基三乙氧基硅烷等。作為丙烯?；枸?，可例示3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅垸、3-甲基丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅垸、3-甲基丙烯酰氧基丙基甲基二甲氧基硅垸、3-甲基丙烯酰氧基丙基甲基二乙氧基硅烷等。作為環(huán)氧基硅烷類，可例示2-(3，4-環(huán)氧基環(huán)己基)乙基三甲氧基硅烷、3-環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、3-環(huán)氧丙氧基丙基甲基二乙氧基硅烷、3-環(huán)氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷。作為氨基硅烷類，可例舉3-氨基丙基甲基二乙氧基硅垸、3-氨基丙基三乙氧基硅垸等脂肪族氨基硅垸類，氨基苯基三甲氧基硅烷、氨基苯基三乙氧基硅烷、N-苯基-3-氨基丙基三甲氧基硅垸等含芳香族基團(tuán)的氨基硅烷類。作為接合促進(jìn)劑的應(yīng)用方法，優(yōu)選在涂布用組合物的涂布前用接合促進(jìn)劑對(duì)基材進(jìn)行處理的方法或在涂布用組合物中添加接合促進(jìn)劑的方法。作為用接合促進(jìn)劑對(duì)基材進(jìn)行處理的方法，以氨基硅垸類為例，可例舉作為0.013質(zhì)量％的醇類溶液旋涂于基材的方法。作為醇，優(yōu)選甲醇、乙醇、異丙醇。在將接合促進(jìn)劑添加入預(yù)聚物溶液中的方法中，接合促進(jìn)劑的添加量相對(duì)于所含有的預(yù)聚物較好為0.0510質(zhì)量％，更好為O.15質(zhì)量％。接合促進(jìn)劑的添加量如果少，則接合性提高的效果不充分，如果過多，則耐熱性下降。<利用光刻法制造固化膜的方法>采用本發(fā)明的感光性組合物，可通過光刻法制得形成有負(fù)型的凹凸形狀的固化膜。艮口，經(jīng)過在基材上形成由本發(fā)明的感光性組合物構(gòu)成的涂膜的工序、將該涂膜曝光的工序及曝光后顯影的工序，可制得形成有曝光部與凸部對(duì)應(yīng)的凹凸形狀的固化膜。首先，將感光性組合物涂布于基材上形成濕潤(rùn)膜。通過將該濕潤(rùn)膜預(yù)烘烤、干燥而形成涂膜。作為該濕潤(rùn)膜的形成方法，優(yōu)選采用所述涂布方法。將最終獲得的固化膜作為電子設(shè)備用絕緣膜使用時(shí)，從膜厚的均一性的角度考慮，優(yōu)選旋涂法或掃描涂布法。濕潤(rùn)膜的厚度可根據(jù)所要的固化膜的形狀來適當(dāng)決定。例如，較好的是在基材上形成厚度為0.01500nra左右的濕潤(rùn)膜，更好為0.1300"m。將濕潤(rùn)膜預(yù)烘烤時(shí)的加熱條件較好是溶劑揮發(fā)且預(yù)聚物的交聯(lián)性官能團(tuán)或感光劑、光引發(fā)助劑、敏化劑等添加劑實(shí)質(zhì)上不發(fā)生反應(yīng)的溫度，具體來講是在5025(TC加熱30秒10分鐘。然后，對(duì)形成于基材上的涂膜進(jìn)行曝光。曝光工序中，按照所要的圖案形狀照射化學(xué)射線(本說明書中有時(shí)也稱為曝光光線)，藉此，在照射化學(xué)射線的曝光部中因交聯(lián)性官能團(tuán)的反應(yīng)而發(fā)生預(yù)聚物分子間的交聯(lián)及/或鏈延長(zhǎng)等。其結(jié)果是，在該曝光部和未照射化學(xué)射線的未曝光部產(chǎn)生在顯影液中的溶解性差異。作為化學(xué)射線，可采用感光性組合物所包含的感光劑對(duì)其具有靈敏度的光線。具體可例舉X射線、電子射線、紫外線、可見光線等。其中，優(yōu)選紫外線或可見光線，更好為波長(zhǎng)200500nm的光線。最好的光源是超高壓水銀弧光。照射的線量可根據(jù)涂膜的厚度及感光性組合物所包含的感光劑的種類等作適當(dāng)?shù)淖兓沟闷毓獠亢臀雌毓獠吭陲@影液中的溶解性差值在理想范圍內(nèi)。例如，涂膜的厚度為10ura時(shí)，合適的線量為1002000mJ/ctn2。具體來講，采用對(duì)準(zhǔn)器或分檔器等曝光裝置，在增壓模式、真空接觸模式、趨近模式等中介以掩模曝光，藉此在涂膜形成曝光部和未曝光部的圖案。也可以在照射曝光光線后連續(xù)進(jìn)行曝光后烘烤工序。如果進(jìn)行該曝光后烘烤工序，則可提高因曝光光線的照射而在涂膜中通過光化學(xué)原理生成的長(zhǎng)壽命的反應(yīng)性中間體的反應(yīng)速度。目卩，在曝光后烘烤工序中，存在于涂膜中的該反應(yīng)性中間體的移動(dòng)被促進(jìn)，因此該反應(yīng)性中間體和反應(yīng)部位的接觸概率提高，反應(yīng)率上升。曝光后烘烤工序中的加熱溫度因所述反應(yīng)性中間體的種類而異，優(yōu)選為5025(TC。加熱時(shí)間優(yōu)選為30秒10分鐘左右。此外，在曝光中通過加熱也可促進(jìn)該反應(yīng)性中間體的移動(dòng)。曝光中進(jìn)行加熱時(shí)，因該加熱使感光劑等的靈敏度提高。曝光中進(jìn)行烘烤時(shí)的加熱溫度因所述反應(yīng)性中間體的種類而異，優(yōu)選5025(TC。[顯影]接著，用顯影液將曝光后的涂膜顯影。作為顯影方法，可例舉噴霧法、靜態(tài)式("卜"》)法、浸漬法、超聲波法等方法。顯影液采用不溶解或僅略微溶解曝光部的涂膜、可溶解未曝光部的涂膜的溶劑。作為顯影液的具體例，可例舉與作為所述感光性組合物中的溶劑所例舉的溶劑同樣的芳烴類、偶極非質(zhì)子系溶劑類、酮類、酯類、醚類、鹵代烴類。顯影工序中的顯影液的濃度和顯影時(shí)間等條件可根據(jù)曝光部及未曝光部中的涂膜在顯影液中的溶解速度，適當(dāng)?shù)卦O(shè)定為可獲得所要的凹凸形狀的程度。通過顯影將未曝光部的涂膜按照所希望的程度溶解后，可根據(jù)需要進(jìn)行清洗。清洗液只要具有與顯影液相同的涂膜溶解性且與顯影液相溶即可，無特別限定，其涂膜溶解性也可比顯影液低?？衫e例如醇類、所述酮類、所述酯類等。作為清洗液的醇類的具體例，可例舉甲醇、乙醇、1-丙醇、2-丙醇、l-丁醇、2-丁醇、1-戊醇、2-戊醇、3-戊醇、叔氨基醇、環(huán)己醇等。根據(jù)需要對(duì)顯影后的膜進(jìn)行清洗后使其干燥。干燥例如可通過高速旋轉(zhuǎn)來完成。此外，優(yōu)選進(jìn)行顯影后烘烤工序以除去溶劑。顯影后烘烤工序可在熱板上或烘箱中進(jìn)行。加熱條件較好為8020(TC進(jìn)行0.560分鐘。如上所述獲得表面形成有凹凸形狀的膜。如果將該膜固化到所要程度就可直接作為固化膜使用。如果固化程度不夠，則可進(jìn)一步施加外部能量，使存在于該膜中的未反應(yīng)的交聯(lián)性官能團(tuán)反應(yīng)，藉此進(jìn)一步實(shí)施固化。象這樣通過使交聯(lián)性官能團(tuán)追加反應(yīng)，預(yù)聚物進(jìn)一步交聯(lián)或鏈延長(zhǎng)，因此膜的耐熱性和耐溶劑性提高。作為所述外部能量，可例舉熱能或化學(xué)射線。釆用化學(xué)射線時(shí)，以感光性組合物中存在對(duì)該化學(xué)射線具有靈敏度的感光劑的狀態(tài)照射該射線。該化學(xué)射線的波長(zhǎng)可以與曝光工序中所用的曝光光線的波長(zhǎng)相同也可不同。所述外部能量最好為熱能。通過加熱而固化時(shí)的加熱條件較好是在20045(TC加熱1120分鐘左右，更好是在25040(TC加熱260分鐘左右。作為加熱裝置，優(yōu)選熱板、烘箱、加熱爐。加熱氣氛可例示氮?dú)饣驓鍤獾榷栊詺怏w氣氛、空氣、氧氣、減壓等。特好的是惰性氣體氣氛及減壓。此外，較好是加熱工序分階段實(shí)施。由此而得的固化膜中的交聯(lián)性官能團(tuán)的反應(yīng)率較好為30100摩爾％。通過使反應(yīng)率達(dá)到30摩爾％以上，可提高固化膜的耐熱性及耐化學(xué)品性。從這一角度考慮，反應(yīng)率更好為50摩爾％以上，最好為70摩爾％以上。在所得的固化膜中，有時(shí)因曝光、顯影條件的緣故，在未曝光部會(huì)殘存不需要的膜。這種情況下，可根據(jù)需要實(shí)施對(duì)未曝光部進(jìn)行刻蝕的除浮渣工序。作為除浮渣工序中的刻蝕氣體，可例舉氧氣、氬氣、碳氟化合物類氣體等。作為刻蝕條件，優(yōu)選可除去不需要的膜且對(duì)曝光部的膜的影響為最低限的條件。較好的是氣體流量10200sccm(單位是規(guī)定溫度下每1分鐘的體積(cm3)流量)、處理壓力150Pa、輸出功率101000W、處理時(shí)間1600秒等的條件?！垂袒锏挠猛尽低ㄟ^本發(fā)明，獲得主鏈具有聚芳基醚結(jié)構(gòu)且具有交聯(lián)性官能團(tuán)及所述通式(I)表示的特定側(cè)鏈的預(yù)聚物，使該預(yù)聚物固化而獲得的固化物可同時(shí)實(shí)現(xiàn)良好的耐熱性、高防水性和高防油性。用本發(fā)明的預(yù)聚物制得的固化物或固化膜適用于被要求耐熱性、防水性及防油性的用途。特別是用本發(fā)明的感光性組合物制得的固化膜的表面具有凹凸形狀，適用于被要求防水性和防油性的用途。表面具有凹凸形狀的固化膜的表面的凹凸形狀中，在凹部可殘留來自本發(fā)明的感光性組合物的膜，在凹部的底面的一部分或全部可有基材露出。在希望凹部的底面也具備防水性和防油性的情況下，最好用來自本發(fā)明的感光性組合物的膜覆蓋凹部的底面。作為用途的具體例，可例舉模具、模型類的脫模材料(特別是熱凹凸印刷及納米印刷，光刻等微細(xì)圖案形成用)，噴墨印刷頭、傳感器等MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))設(shè)備用表面保護(hù)膜，復(fù)印機(jī)定影輥涂層，液體透鏡用構(gòu)件的涂層，油封材料，接合構(gòu)件或密封材料的涂層，汽車用噴射器涂層，防油防水性通氣過濾器，密封劑，障壁材料，樹脂添加劑，家電、廚具用防水防油膜，耐候性涂膜，防濕涂層，各種保護(hù)膜(耐熱，防水膜、耐熱，防油膜)，各種薄膜(耐熱，防水薄膜、耐熱，防油薄膜)等。特別是被導(dǎo)入了所述通式(I)表示的側(cè)鏈的預(yù)聚物可形成滿足耐熱性、防水性、防油性、非粘合性、低摩擦性、耐摩擦性、低介電常數(shù)及低雙折射率的要求的固化物或固化膜，因此除適用于所述用途，也同樣適用于除此以外的用途。作為本發(fā)明的預(yù)聚物的固化物或固化膜的用途的具體例，可例舉燃料電池等各種電池用膜材料，汽車用引擎活塞、復(fù)印機(jī)定影部軸承、空調(diào)用壓縮機(jī)軸承、汽車引擎軸承、汽車壓縮機(jī)斜盤、汽車用滑動(dòng)軸承等的涂層，功率半導(dǎo)體用散熱板絕緣涂層，電子設(shè)備用或多層配線板用絕緣膜，電子用構(gòu)件，LCD定向膜，光波導(dǎo)，非線形光學(xué)材料等。<物品>此外，對(duì)具有本發(fā)明的固化膜的物品無特別限定，作為優(yōu)選例子，可例舉模具、模型類游別是熱凹凸印刷及納米印刷，光刻等微細(xì)圖案形成用)，噴墨印刷頭、傳感器等MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))設(shè)備，復(fù)印機(jī)定影輥，液體透鏡用構(gòu)件，油封材料，接合構(gòu)件或密封材料，汽車用噴射器，防油防水性通氣過濾器，密封劑，障壁材料，家電、廚具用防水防油構(gòu)件，耐候性涂膜，防濕涂層，各種保護(hù)膜(耐熱，防水膜、耐熱，防油膜)，各種薄膜(耐熱，防水薄膜、耐熱*防油薄膜)，燃料電池等各種電池用膜材料，汽車用引擎活塞，復(fù)印機(jī)定影部軸承，空調(diào)用壓縮機(jī)軸承，汽車引擎軸承，汽車壓縮機(jī)斜盤，汽車用滑動(dòng)軸承，功率半導(dǎo)體用散熱板絕緣涂層，電子設(shè)備用或多層配線板用絕緣膜，電子用構(gòu)件，LCD定向膜，光波導(dǎo)，非線形光學(xué)材料等。實(shí)施例以下，采用實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步說明，但本發(fā)明并不限定于這些實(shí)施例。各測(cè)定項(xiàng)目按照以下方法測(cè)定。[分子量]用凝膠滲透色譜法(GPC法)求得經(jīng)過真空干燥的預(yù)聚物粉末的聚苯乙烯換算的數(shù)均分子量。載體溶劑使用四氫呋喃。曝光采用UL-7000(昆特(Quintel)公司制)照射超高壓水銀燈的光線來實(shí)施。對(duì)于未曝光部分，用金屬箔或掩模形成遮光部分。[醚鍵的確認(rèn)]用IR測(cè)定經(jīng)過真空干燥的預(yù)聚物粉末，由在1300cm1附近有吸收這一情況確認(rèn)醚鍵。將經(jīng)過真空干燥的預(yù)聚物粉末溶于氘代丙酮，測(cè)定應(yīng)R，由在規(guī)定區(qū)域有信號(hào)這一情況確認(rèn)交聯(lián)性官能團(tuán)。交聯(lián)性官能團(tuán)為乙烯基時(shí)，在8=5.07.0ppm出現(xiàn)信號(hào)，為乙炔基時(shí)，在5二4.5ppm附近出現(xiàn)信號(hào)。使用化合物(B)、(C)及(Y-2)，通過制造方法(ii)制得前體(P2-l)。艮P，在裝有迪姆羅回流冷凝器、攪拌片的50mL雙口燒瓶中裝入作為化合37物(Y-2)的五氟苯基乙炔1.15g(0.006摩爾)、作為化合物(C)的1，3，5-三羥基苯0.65g(0.005摩爾)、作為化合物(B)的全氟聯(lián)苯2.00g(0.006摩爾)和作為溶劑的DMAc(N,N-二甲基乙酰胺)34.22g。在攪拌的同時(shí)于油浴上加溫至6(TC，快速地添加作為脫HF劑的碳酸鈉3.23g(0.03摩爾)，一邊繼續(xù)攪拌一邊于6(TC加熱22小時(shí)。然后，將反應(yīng)液冷卻至室溫，慢慢地投入至劇烈攪拌著的0.5N鹽酸水溶液150mL中，出現(xiàn)微褐色的粉狀物沉淀。過濾該微褐色粉狀物，再用純水洗滌2次后于8(TC進(jìn)行12小時(shí)的真空干燥，獲得2.58g灰白色粉末狀的前體(P2-1)。使用化合物(B)、(C)及(Y-2)，通過制造方法(ii)制得前體(P2-2)。在裝有迪姆羅回流冷凝器、熱電偶溫度計(jì)、機(jī)械攪拌器的100mL玻璃制四口燒瓶中裝入作為化合物(Y-2)的五氟苯乙烯2.2g(0.01摩爾)、作為化合物(C)的1，1，l-三(4-羥基苯基)乙烷3.3g(0.01摩爾)和作為溶劑的DMAc49.2g。在攪拌的同時(shí)于油浴上加溫，在液溫達(dá)到6(TC時(shí)快速地添加作為脫HF劑的碳酸鈉5.lg(O.05摩爾)。一邊繼續(xù)攪拌一邊于6(TC加熱24小時(shí)。然后，加入將作為化合物(B)的全氟聯(lián)苯4.Og(O.01摩爾)溶于DMAc36.0g而形成的溶液，再于6(TC加熱17小時(shí)。將反應(yīng)液冷卻至室溫后，將其慢慢地滴入劇烈攪拌著的0.5N鹽酸水溶液約300mL中，進(jìn)行再沉淀。過濾后用純水洗滌2次，再于6(TC進(jìn)行12小時(shí)的真空干燥，獲得7.5g白色粉末狀的前體(P2-2)。使用化合物(B)、(C)制得前體(Pl-l)。艮P，在裝有迪姆羅回流冷凝器、攪拌片的200mL雙口燒瓶中裝入作為化合物(C)的1，3,5-三羥基苯1.79g(0.014摩爾)、作為化合物(B)的全氟聯(lián)苯10.0g(0.030摩爾)和作為溶劑的DMAc106.14g。在攪拌的同時(shí)于油浴上加溫至4(TC，快速地添加作為脫HF劑的碳酸鉀8,84g(0.064摩爾)，一邊繼續(xù)攪拌一邊于4(TC加熱24小時(shí)。然后，將反應(yīng)液冷卻至室溫，慢慢地投入至劇烈攪拌著的0.5N鹽酸水溶液300mL中，出現(xiàn)白色粉狀物沉淀。過濾該白色粉狀物，再用純水洗滌2次后于8(TC進(jìn)行12小時(shí)的真空干燥，獲得9.84g白色粉末狀的前體(P1-1)。在裝有迪姆羅回流冷凝器、熱電偶溫度計(jì)、機(jī)械攪拌器的50mL"'<^>夕》(注冊(cè)商標(biāo))制四口燒瓶中裝入合成例1獲得的前體(P2-1)3g、作為醇(Q)的CF3(0CF2CF丄0CF2CH20H(平均分子量1000)(Q-1)0.45g(0.0005摩爾)和作為溶劑的四氫呋喃(THF)31.lg。于室溫?cái)嚢璧耐瑫r(shí)添加作為脫HF劑的氫化鈉(55%礦物油分散物)0.06g(O.OOl摩爾)。添加后邊攪拌邊在油浴上加溫至3(TC，攪拌45小時(shí)。然后，將反應(yīng)液冷卻至室溫，慢慢地投入至經(jīng)過劇烈攪拌的含鹽酸水溶液的甲醇120g(鹽酸6g和甲醇114g的混合液)中，出現(xiàn)微褐色粉狀物沉淀。過濾該微褐色粉狀物，用甲醇洗滌3次后用己垸洗滌3次，于6(TC進(jìn)行12小時(shí)的真空干燥，獲得2.4g灰白色粉末狀的預(yù)聚物A。本例獲得的預(yù)聚物A的NMR譜如下所示。該NMR譜數(shù)據(jù)是作為表觀化學(xué)位移范圍所示的數(shù)據(jù)(下同)。以下用TMS表示四甲基硅垸?！葱裄譜〉'H-麗R(300.4MHz，溶劑丙酮-d6，基準(zhǔn)TMS)5(ppm):4.50(CC-H)，5.08(CF2-CH2-0)，6.697.24(Ph-H)。，-麗R(282.7MHz，溶劑丙酮-d6，基準(zhǔn)CFC13)S(ppm):-55.2(CF。，-77.9(-CF廠CH20),-88.2—90.3(CF2-0),-137.2-161.9(Ph-F)。在與所述實(shí)施例1同樣的四口燒瓶中裝入合成例2獲得的前體(P2-2)3g、與實(shí)施例1同樣的醇(Q-l)0.45g(0.0005摩爾)、與實(shí)施例1同樣的溶劑(THF)32.2g。室溫下攪拌的同時(shí)添加與實(shí)施例1同樣的脫HF劑0.06g(0.001摩爾)。添加后邊攪拌邊于油浴上加溫至5(TC，攪拌24小時(shí)。然后，將反應(yīng)液冷卻至室溫，實(shí)施與實(shí)施例1同樣的操作，獲得2.8g灰白色粉末狀的預(yù)聚物B。本例獲得的預(yù)聚物B的醒R譜如下所示?！碞MR譜>'H-NMR(300.4MHz，溶劑丙酮-d6，基準(zhǔn)TMS)5(ppm):2.19(C-CH3)，5.08(CF2-CH廠0)，5.77(Ph—CH=CH2)，6,08(Ph-CH=CH2)，6.73(Ph-CH=CH2)，6.907.21(Ph-H)。19F-NMR(282.7MHz，溶劑丙酮-d6，基準(zhǔn)CFC13)S(ppm):-55.2(CF3)，-77.9(-CF2-CH20),-88.2—90.3(CF2—0)'—138.3-161.9(Ph-F)。[實(shí)施例3:向前體(P2-2)導(dǎo)入側(cè)鏈]在與所述實(shí)施例1同樣的四口燒瓶中裝入合成例2獲得的前體(P2-2)3g、作為醇(Q)的CF3CF2CF2CF2OCF2CF2OCF2CH2OH(Q-2)0.75g(0.002摩爾)、與實(shí)施例1同樣的溶劑33.8g。室溫下攪拌的同時(shí)添加與實(shí)施例1同樣的脫HF劑0.23g(0.005摩爾)。添加后邊攪拌邊于油浴上加溫至5(TC，攪拌94小時(shí)。然后，將反應(yīng)液冷卻至室溫，實(shí)施與實(shí)施例1同樣的操作，獲得3.1g灰白色粉末狀的預(yù)聚物C。所得預(yù)聚物具有醚鍵、作為交聯(lián)性官能團(tuán)的乙烯基及含氟側(cè)鏈。在與所述實(shí)施例1同樣的四口燒瓶中裝入合成例2獲得的前體(P2-2)2.5g、作為醇(Q)的CF3CF2CF2CF2CF2CF2OCF2CF2OCF2CH2OH(Q-3)0.63g(0.001摩爾)、與實(shí)施例1同樣的溶劑28.lg。室溫下攪拌的同時(shí)添加與實(shí)施例1同樣的脫HF劑0.16g(0.004摩爾)。添加后邊攪拌邊于油浴上加溫至5(TC，攪拌69小時(shí)。然后，將反應(yīng)液冷卻至室溫，實(shí)施與實(shí)施例1同樣的操作，獲得2.5g灰白色粉末狀的預(yù)聚物D。所得預(yù)聚物具有醚鍵、作為交聯(lián)性官能團(tuán)的乙烯基及含氟側(cè)鏈。在與所述實(shí)施例1同樣的四口燒瓶中裝入合成例2獲得的前體(P2-2)3.0g、作為醇(Q)的CF3CF2CF20CF(CF3)CF20CF(CF3)CH2OH(Q-4)0.75g(0.002摩爾)、與實(shí)施例1同樣的溶劑33.8g。室溫下攪拌的同時(shí)添加與實(shí)施例1同樣的脫HF劑0.20g(0.005摩爾)。添加后邊攪拌邊于油浴上加溫至5(TC，攪拌17小時(shí)。然后，將反應(yīng)液冷卻至室溫，實(shí)施與實(shí)施例l同樣的操作，獲得3.lg灰白色粉末狀的預(yù)聚物E。所得預(yù)聚物具有醚鍵、作為交聯(lián)性官能團(tuán)的乙烯基及含氟側(cè)鏈。[實(shí)施例6:向前體(P2-2)導(dǎo)入側(cè)鏈]在與所述實(shí)施例1同樣的四口燒瓶中裝入合成例2獲得的前體(P2-2)2.0g、作為醇(Q)的FAdCH20H(Q-5)0.50g(0.001摩爾)、與實(shí)施例1同樣的溶劑22.5g。室溫下攪拌的同時(shí)添加與實(shí)施例1同樣的脫HF劑0.15g(0.003摩爾)。添加后邊攪拌邊于油浴上加溫至5(TC，攪拌45小時(shí)。然后，將反應(yīng)液冷卻至室溫，實(shí)施與實(shí)施例l同樣的操作，獲得1.9g灰白色粉末狀的預(yù)聚物F。所得預(yù)聚物具有醚鍵、作為交聯(lián)性官能團(tuán)的乙烯基及含氟側(cè)鏈。在裝有迪姆羅回流冷凝器、熱電偶溫度計(jì)、機(jī)械攪拌器的50mL八°<k.夕義(注冊(cè)商標(biāo))制四口燒瓶中裝入合成例3獲得的前體(P1-1)3g、與實(shí)施例l同樣的醇(Q-1)0.75g(0.001摩爾)和作為溶劑的麗c33.8g。于攪拌的同時(shí)在油浴上加溫至60°C，快速地添加作為脫HF劑的碳酸銫0.94g(0.003摩爾)后，邊繼續(xù)攪拌邊于6(TC加熱46小時(shí)。然后，將反應(yīng)液冷卻至室溫，將其慢慢地投入至經(jīng)過劇烈攪拌的0.5摩爾/升的鹽酸120g中，出現(xiàn)灰白色粉狀物沉淀。過濾該灰白色粉狀物，用水洗滌3次后，于6(TC進(jìn)行12小時(shí)的真空干燥，獲得3.lg灰白色粉末狀的聚合物。接著，在裝有迪姆羅回流冷凝器、熱電偶溫度計(jì)、機(jī)械攪拌器的50mL"<k,77(注冊(cè)商標(biāo))制四口燒瓶中裝入以上反應(yīng)獲得的聚合物2g、4-乙酰氧基苯乙烯0.35g(0.002摩爾)、作為溶劑的二甘醇二甲基醚21.2g。于攪拌的同時(shí)快速地添加氫氧化鉀(48%水溶液)0.76g(0.006摩爾)，攪拌22小時(shí)。然后，將反應(yīng)液慢慢地投入至經(jīng)過劇烈攪拌的0.5摩爾/升的鹽酸100g中，出現(xiàn)灰白色粉狀物沉淀。過濾該灰白色粉狀物，用水洗滌3次后，于60"C進(jìn)行12小時(shí)的真空干燥，獲得2.0g灰白色粉末狀的預(yù)聚物G。所得預(yù)聚物具有醚鍵、作為交聯(lián)性官能團(tuán)的乙烯基及含氟側(cè)鏈。在裝有迪姆羅回流冷凝器、熱電偶溫度計(jì)、機(jī)械攪拌器的50raL"4夕》(注冊(cè)商標(biāo))制四口燒瓶中裝入合成例3獲得的前體(P1-1)3g、與實(shí)施例l同樣的醇(Q-1)0.45g(0.0004摩爾)和作為溶劑的DMAc31.lg。于攪拌的同時(shí)在油浴上加溫至6(TC，快速地添加作為脫HF劑的碳酸銫0.56g(0.002摩爾)后，邊繼續(xù)攪拌邊于6(TC加熱41小時(shí)。然后，將反應(yīng)液冷卻至室溫，實(shí)施與實(shí)施例7同樣的操作，獲得2.8g灰白色粉末狀的聚合物。接著，在裝有迪姆羅回流冷凝器、熱電偶溫度計(jì)、機(jī)械攪拌器的50mL"<k,夕^(注冊(cè)商標(biāo))制四口燒瓶中裝入以上反應(yīng)獲得的聚合物2.5g、4-乙酰氧基苯乙烯0.50g(0.003摩爾)、作為溶劑的二甘醇二甲基醚27.lg。于攪拌的同時(shí)快速地添加氫氧化鉀(48%水溶液)1.lg(O.009摩爾)，攪拌25小時(shí)。然后，實(shí)施與實(shí)施例7同樣的操作，獲得2.5g灰白色粉末狀的預(yù)聚物H。所得預(yù)聚物具有醚鍵、作為交聯(lián)性官能團(tuán)的乙烯基及含氟側(cè)鏈。[實(shí)施例9:向前體(P1-l)導(dǎo)入側(cè)鏈]在裝有迪姆羅回流冷凝器、熱電偶溫度計(jì)、機(jī)械攪拌器的50mL八'<夕》(注冊(cè)商標(biāo))制四口燒瓶中裝入合成例3獲得的前體(Pl-l)3g、與實(shí)施例l同樣的醇(Q-1)0.45g(0.0004摩爾)和作為溶劑的DMAc31.lg。于攪拌的同時(shí)在油浴上加溫至60°C，快速地添加作為脫HF劑的碳酸銫0.56g(0，002摩爾)后，邊繼續(xù)攪拌邊于6(TC加熱41小時(shí)。然后，將反應(yīng)液冷卻至室溫，實(shí)施與實(shí)施例7同樣的操作，獲得2.8g灰白色粉末狀的聚合物。接著，在裝有迪姆羅回流冷凝器、熱電偶溫度計(jì)、機(jī)械攪拌器的50mL〃<^》(注冊(cè)商標(biāo))制四口燒瓶中裝入以上反應(yīng)獲得的聚合物2.5g、4-乙酰氧基苯乙烯0.38g(0.002摩爾)、作為溶劑的二甘醇二甲基醚25.9g。于攪拌的同時(shí)快速地添加氫氧化鉀(48%水溶液)0.82g(0，007摩爾)，攪拌44小時(shí)。然后，實(shí)施與實(shí)施例7同樣的操作，獲得2.4g灰白色粉末狀的預(yù)聚物I。所得預(yù)聚物具有醚鍵、作為交聯(lián)性官能團(tuán)的乙烯基及含氟側(cè)鏈。[實(shí)施例10:向前體(P1-l)導(dǎo)入側(cè)鏈]在裝有迪姆羅回流冷凝器、熱電偶溫度計(jì)、機(jī)械攪拌器的50mL〃<夕》(注冊(cè)商標(biāo))制四口燒瓶中裝入合成例3獲得的前體(P1-1)3g、與實(shí)施例l同樣的醇(Q-1)0.45g(0.0004摩爾)和作為溶劑的DMAc31.lg。于攪拌的同時(shí)在油浴上加溫至6CTC，快速地添加作為脫HF劑的碳酸銫0.56g(0.002摩爾)后，邊繼續(xù)攪拌邊于6(TC加熱41小時(shí)。然后，將反應(yīng)液冷卻至室溫，實(shí)施與實(shí)施例7同樣的操作，獲得2.8g灰白色粉末狀的聚合物。接著，在裝有迪姆羅回流冷凝器、熱電偶溫度計(jì)、機(jī)械攪拌器的50mL〃<k,，》(注冊(cè)商標(biāo))制四口燒瓶中裝入以上反應(yīng)獲得的聚合物2.5g、4-乙酰氧基苯乙烯0.25g(0.002摩爾)、作為溶劑的二甘醇二甲基醚24.8g。于攪拌的同時(shí)快速地添加氫氧化鉀(48%水溶液)0.55g(0.005摩爾)，攪拌44小時(shí)。然后，實(shí)施與實(shí)施例7同樣的操作，獲得2.4g灰白色粉末狀的預(yù)聚物J。所得預(yù)聚物具有醚鍵、作為交聯(lián)性官能團(tuán)的乙烯基及含氟側(cè)鏈。[實(shí)施例lh向前體(P1-l)導(dǎo)入側(cè)鏈]在裝有迪姆羅回流冷凝器、熱電偶溫度計(jì)、機(jī)械攪拌器的50mL八°<".夕》(注冊(cè)商標(biāo))制四口燒瓶中裝入合成例3獲得的前體(P1-1)4g、與實(shí)施例l同樣的醇(Q-1)0.20g(0.0002摩爾)和作為溶劑的DMAc37.8g。于攪拌的同時(shí)在油浴上加溫至60°C，快速地添加作為脫HF劑的碳酸銫0.25g(0.001摩爾)后，邊繼續(xù)攪拌邊于60。C加熱46小時(shí)。然后，將反應(yīng)液冷卻至室溫，實(shí)施與實(shí)施例7同樣的操作，獲得3.9g灰白色粉末狀的聚合物。接著，在裝有迪姆羅回流冷凝器、熱電偶溫度計(jì)、機(jī)械攪拌器的50mL〃<k,，》(注冊(cè)商標(biāo))制四口燒瓶中裝入以上反應(yīng)獲得的聚合物2g、4-乙酰氧基苯乙烯0.52g(0.003摩爾)、作為溶劑的二甘醇二甲基醚22.7g。于攪拌的同時(shí)快速地添加氫氧化鉀(48%水溶液)1.lg(0.010摩爾)，攪拌22小時(shí)。然后，實(shí)施與實(shí)施例7同樣的操作，獲得2.1g灰白色粉末狀的預(yù)聚物K。所得預(yù)聚物具有醚鍵、作為交聯(lián)性官能團(tuán)的乙烯基及含氟側(cè)鏈。[實(shí)施例12:向前體(P1-l)導(dǎo)入側(cè)鏈]在裝有迪姆羅回流冷凝器、熱電偶溫度計(jì)、機(jī)械攪拌器的50raL八'^k.夕》(注冊(cè)商標(biāo))制四口燒瓶中裝入合成例3獲得的前體(P1-1)4g、與實(shí)施例l同樣的醇(Q-l)O.20g(0.0002摩爾)和作為溶劑的DMAc37.8g。于攪拌的同時(shí)在油浴上加溫至6CTC，快速地添加作為脫HF劑的碳酸銫0.25g(0.001摩爾)后，邊繼續(xù)攪拌邊于6(TC加熱46小時(shí)。然后，將反應(yīng)液冷卻至室溫，實(shí)施與實(shí)施例7同樣的操作，獲得3.9g灰白色粉末狀的聚合物。接著，在裝有迪姆羅回流冷凝器、熱電偶溫度計(jì)、機(jī)械攪拌器的50mL〃<k,7》(注冊(cè)商標(biāo))制四口燒瓶中裝入以上反應(yīng)獲得的聚合物3g、4-乙酰氧基苯乙烯0.57g(0.004摩爾)、作為溶劑的二甘醇二甲基醚32.2g。于攪拌的同時(shí)快速地添加氫氧化鉀(48%水溶液)1.2g(0.011摩爾)，攪拌23小時(shí)。然后，實(shí)施與實(shí)施例7同樣的操作，獲得2.7g灰白色粉末狀的預(yù)聚物L(fēng)。所得預(yù)聚物具有醚鍵、作為交聯(lián)性官能團(tuán)的乙烯基及含氟側(cè)鏈。[實(shí)施例13:向前體(P1-l)導(dǎo)入側(cè)鏈]在裝有迪姆羅回流冷凝器、熱電偶溫度計(jì)、機(jī)械攪拌器的50mL"^h.夕》(注冊(cè)商標(biāo))制四口燒瓶中裝入合成例3獲得的前體(P1-1)4g、與實(shí)施例l同樣的醇(Q-1)0.20g(0.0002摩爾)和作為溶劑的DMAc37.8g。于攪拌的同時(shí)在油浴上加溫至6(TC，快速地添加作為脫HF劑的碳酸銫0.25g(0.001摩爾)后，邊繼續(xù)攪拌邊于60。C加熱46小時(shí)。然后，將反應(yīng)液冷卻至室溫，實(shí)施與實(shí)施例7同樣的操作，獲得3.9g灰白色粉末狀的聚合物。接著，在裝有迪姆羅回流冷凝器、熱電偶溫度計(jì)、機(jī)械攪拌器的50mL〃<^(注冊(cè)商標(biāo))制四口燒瓶中裝入以上反應(yīng)獲得的聚合物3g、4-乙酰氧基苯乙烯0.38g(0.002摩爾)、作為溶劑的二甘醇二甲基醚30.4g。于攪拌的同時(shí)快速地添加氫氧化鉀(48%水溶液)0.82g(0.007摩爾)，攪拌24小時(shí)。然后，實(shí)施與實(shí)施例7同樣的操作，獲得2.8g灰白色粉末狀的預(yù)聚物M。所得預(yù)聚物具有醚鍵、作為交聯(lián)性官能團(tuán)的乙烯基及含氟側(cè)鏈。[接觸角的評(píng)價(jià)]用合成例1、2獲得的前體P2-1、P2-2及實(shí)施例16獲得的預(yù)聚物AF的真空干燥物(樹脂粉末)形成固化膜，用以下的方法測(cè)定該固化膜的接觸角。測(cè)定結(jié)果示于表l。使合成例1、2及實(shí)施例16獲得的真空干燥物(樹脂粉末)溶于環(huán)己酮，形成15重量％的溶液，用孔徑0.5iim的PTFE(四氟乙烯樹脂)制過濾器過濾該溶液。通過旋涂法將所得濾液涂布在硅晶片上，形成厚約lum的濕潤(rùn)膜。旋涂條件是每分鐘2000轉(zhuǎn)，歷時(shí)30秒。然后，用熱板進(jìn)行10(TC(90秒)下的預(yù)烘烤和20(TC(90秒)下的預(yù)烘烤。再用立式爐于25(TC(1小時(shí))進(jìn)行氮?dú)夥障碌淖罱K烘烤，獲得固化膜。在所得固化膜滴下約luL的水，測(cè)定接觸角(防水性評(píng)價(jià))。此外，在所得固化膜上滴下正癸烷，測(cè)定接觸角(防油性評(píng)價(jià))。接觸角的測(cè)定采用協(xié)和界面科學(xué)株式會(huì)社制CA-A(商品名)在25。C的條件下通過液滴法來實(shí)施。以實(shí)施例l、2獲得的真空干燥物(樹脂粉末)為試樣，用默克(MacScience)公司制MTC1000S(商品名)進(jìn)行熱重分析。分析條件是從室溫至60(TC以每分鐘l(TC的速度升溫。其結(jié)果示于表l。[表1]防油性防水性耐熱性正癸烷水接觸角1%重量3%重量5%重量接觸角減少溫度減少溫度減少溫度前體P2-1io度以下87度N/AN/AN/A前體P2-2io度以下87度N/AN/AN/A預(yù)聚物A46度108度349°C404°C426°C預(yù)聚物B51度113度418。C447°C457°C預(yù)聚物c36度N/AN/AN/AN/A預(yù)聚物D40度N/AN/AN/AN/A預(yù)聚物E46度108度N/AN/AN/A預(yù)聚物F21度101度N/AN/AN/A如表l的結(jié)果所示，預(yù)聚物A、B的耐熱性良好，預(yù)聚物A與前體P2-1相比，預(yù)聚物BF與P2—2相比，預(yù)聚物AF的防油性和防水性均大幅度提廣i-用實(shí)施例713獲得的預(yù)聚物G-M的真空干燥物(樹脂粉末)形成固化膜。然后，將所得固化膜浸入堿性水溶液，用以下的方法測(cè)定浸漬前后的該固化膜的接觸角。測(cè)定結(jié)果示于表2。使實(shí)施例713獲得的真空干燥物(樹脂粉末)溶于環(huán)己酮，形成15重量%的溶液，用孔徑0.5pm的PTFE(四氟乙烯樹脂)制過濾器過濾該溶液。通過旋涂法將所得濾液涂布在玻璃上，形成厚約lwm的濕潤(rùn)膜。旋涂條件是每分鐘2000轉(zhuǎn)，歷時(shí)30秒。然后，用熱板進(jìn)行IO(TC(90秒)下的預(yù)烘烤，再用立式爐于20(TC(1小時(shí))進(jìn)行氮?dú)夥障碌淖罱K烘烤，獲得固化膜。在所得固化膜滴下約1"L的水，測(cè)定接觸角(防水性評(píng)價(jià))。此外，在所得固化膜上滴下正癸垸和二甲苯，測(cè)定接觸角(防油性評(píng)價(jià))。接觸角的測(cè)定采用協(xié)和界面科學(xué)株式會(huì)社制DM700(商品名)在25'C的條件下通過液滴法來實(shí)施。將利用與上述同樣的方法所得的固化膜浸漬于0.1摩爾/升的氫氧化鈉水溶液后，于6(TC加熱3天。然后，冷卻，用純水洗滌后于室溫下干燥，再用與上述同樣的方法測(cè)定接觸角。其結(jié)果示于表2。[表2]<table>tableseeoriginaldocumentpage47</column></row><table>如表2的結(jié)果所示，預(yù)聚物GM的堿性試驗(yàn)前后的防油性和防水性良好，具有耐堿性。[例14]將實(shí)施例2所得的預(yù)聚物B溶于丙二醇單甲基醚乙酸酯(以下PGMEA)，調(diào)制預(yù)聚物的濃度為25質(zhì)量％的溶液(稱為預(yù)聚物溶液Bl)。在試樣瓶中裝入預(yù)聚物溶液B110g，添加作為感光劑的IRGACURE369(汽巴精化公司制)0.05g使其溶解，獲得感光性組合物。以每分鐘1000轉(zhuǎn)歷時(shí)30秒將該感光性組合物旋涂于硅晶片上后，于10(TC用熱板進(jìn)行90秒預(yù)烘烤，形成涂膜。對(duì)該涂膜實(shí)施照射能量1530mJ/cr^的曝光。曝光后于14(TC進(jìn)行1分鐘的曝光后烘烤，用PGMEA進(jìn)行40秒的靜態(tài)顯影，再用PGMEA進(jìn)行30秒的清洗。接著，以每分鐘2000轉(zhuǎn)進(jìn)行30秒旋轉(zhuǎn)干燥，再于熱板上顯影后進(jìn)行烘烤。加熱條件分為10(TC90秒和20(TC90秒先后兩個(gè)階段。藉此，獲得形成有曝光部與凸部對(duì)應(yīng)、未曝光部與凹部對(duì)應(yīng)的凹凸形狀的膜。測(cè)定該膜的膜厚，曝光部的膜厚為0.82ixm，未曝光部的膜厚不足O.lOym。曝光后進(jìn)行顯影工序前的參照膜厚為2.0um。除了將例14中的照射能量或曝光后烘烤條件按照表3所示改變以外，其它操作與例14相同，獲得形成有凹凸形狀的膜。所得膜的曝光部的膜厚及未曝光部的膜厚的測(cè)定結(jié)果示于表3。<table>tableseeoriginaldocumentpage48</column></row><table>如表3的結(jié)果所示，例1418中形成了凹凸形狀。此外，比較例14、17及18可知，雖然曝光能量都相同，但曝光后烘烤中的加熱時(shí)間越長(zhǎng)曝光部的膜厚越大。例15由于曝光能量小，因此曝光部和未曝光部的膜厚差小。例16的曝光部的膜厚不均一。這是因?yàn)槠毓饽芰坎怀浞值木壒?。由以上的結(jié)果可知，可根據(jù)曝光能量及曝光后烘烤條件來調(diào)整曝光部在顯影液中的溶解性。對(duì)于例14獲得的形成有凹凸形狀的膜，進(jìn)一步用立式爐于30(TC在氮?dú)夥障录訜?0分鐘，使其進(jìn)一步固化，獲得最終的固化膜。對(duì)于所得固化膜，分別測(cè)定曝光部及未曝光部的接觸角。其結(jié)果示于表4。<table>tableseeoriginaldocumentpage48</column></row><table>從表4的結(jié)果可確認(rèn)，由采用本發(fā)明的感光性組合物所形成的膜構(gòu)成的曝光部與幾乎無該膜殘留的未曝光部相比，防水性和防油性都更好。此外，采用與表2記載的評(píng)價(jià)方法同樣的方法，對(duì)以上獲得的膜的曝光部進(jìn)行了耐堿性試驗(yàn)。其結(jié)果示于表5。<table>tableseeoriginaldocumentpage48</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage49</column></row><table>從表5的結(jié)果可知，由釆用本發(fā)明的感光性組合物形成的膜構(gòu)成的曝光部在堿性試驗(yàn)后的防油性和防水性良好，具有耐堿性。[例20]將例19所得的固化膜形成粉末狀物作為試樣，用默克公司制MTC1000S(商品名)進(jìn)行熱重分析。分析條件是從室溫至60(TC以每分鐘l(TC的速度升溫。其結(jié)果如下所示。1%重量減少溫度418°C。3%重量減少溫度447°C。5%重量減少溫度457°C。由該結(jié)果可知，例19獲得的固化膜具有良好的耐熱性。這里，引用2006年6月2日提出申請(qǐng)的日本專利申請(qǐng)2006-154515號(hào)及2006年11月22日提出申請(qǐng)的日本專利申請(qǐng)2006-315359號(hào)的說明書、權(quán)利要求書以及摘要的全部?jī)?nèi)容作為本發(fā)明的說明書的揭示。權(quán)利要求1.交聯(lián)性預(yù)聚物，它是主鏈具有聚芳基醚結(jié)構(gòu)的聚合物，其特征在于，具有交聯(lián)性官能團(tuán)，且具有下述通式(I)Rf-CH2-O-···(I)表示的側(cè)鏈，式(I)中，Rf表示碳數(shù)3～50的可含有醚結(jié)合性氧原子的含氟烷基。2.如權(quán)利要求1所述的交聯(lián)性預(yù)聚物，其特征在于，所述主鏈具有與芳環(huán)結(jié)合的氫原子的一部分或全部被鹵原子取代的鹵素取代芳環(huán)，所述通式(I)表示的側(cè)鏈與該鹵素取代芳環(huán)結(jié)合。3.如權(quán)利要求2所述的交聯(lián)性預(yù)聚物，其特征在于，在前體(P21)導(dǎo)入下述通式(I)Rf-CH2-0-(I)表示的側(cè)鏈而形成，式(I)中，Rf表示碳數(shù)350的可含有醚結(jié)合性氧原子的含氟烷基；所述前體(P21)由具有交聯(lián)性官能團(tuán)及酚性羥基的化合物(Y-1)和具有交聯(lián)性官能團(tuán)及被可與酚性羥基反應(yīng)的氟原子取代的芳環(huán)的化合物(Y-2)的任一方或雙方，與下述通式(l)表示的含氟芳香族化合物(B)和具有3個(gè)以上的酚性羥基的化合物(C)，在脫氟化氫劑的存在下進(jìn)行縮合反應(yīng)而得；式(1)中，n表示02的整數(shù)，a、b分別獨(dú)立地表示03的整數(shù)，Rf^及R^分別獨(dú)立地表示碳數(shù)8以下的含氟烷基，Rf^或Rf存在多個(gè)時(shí)，可以互相相同也可互不相同，芳環(huán)內(nèi)的F表示與該芳環(huán)結(jié)合的氫原子全部被氟原子取代。4.如權(quán)利要求2所述的交聯(lián)性預(yù)聚物，其特征在于，在前體(P11)導(dǎo)入下述通式(I)Rf-CH2-0-(I)表示的側(cè)鏈后再導(dǎo)入交聯(lián)性官能團(tuán)而形成，式(I)中，Rf表示碳數(shù)350的可含有醚結(jié)合性氧原子的含氟垸基；所述前體(Pll)由下述通式(l)表示的含氟芳香族化合物(B)和具有3個(gè)以上的酚性羥基的化合物(C)，在脫氟化氫劑的存在下進(jìn)行縮合反應(yīng)而得；式(1)中，n表示02的整數(shù)，a、b分別獨(dú)立地表示03的整數(shù)，R^及R^分別獨(dú)立地表示碳數(shù)8以下的含氟烷基，Rf或Rf存在多個(gè)時(shí)，可以互相相同也可互不相同，芳環(huán)內(nèi)的F表示與該芳環(huán)結(jié)合的氫原子全部被氟原子取代。5.如權(quán)利要求4所述的交聯(lián)性預(yù)聚物，其特征在于，交聯(lián)性官能團(tuán)的導(dǎo)入方法是具有交聯(lián)性官能團(tuán)及酚性羥基的化合物(Y-1)和具有交聯(lián)性官能團(tuán)及被可與酚性羥基反應(yīng)的氟原子取代的芳環(huán)的化合物(Y-2)的任一方或雙方在脫氟化氫劑的存在下進(jìn)行的縮合反應(yīng)。6.交聯(lián)性預(yù)聚物的制造方法，其特征在于，使具有交聯(lián)性官能團(tuán)且主鏈具有被可與酚性羥基反應(yīng)的鹵原子取代的芳環(huán)的前體(P2)與下述通式(n)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>(II)表示的醇(Q)在脫氟化氫劑的存在下反應(yīng)；所述前體(P2)是主鏈具有聚芳基醚結(jié)構(gòu)的聚合物；式(II)中，Rf表示碳數(shù)350的可含有醚結(jié)合性氧原子的含氟烷基。7.如權(quán)利要求6所述的交聯(lián)性預(yù)聚物的制造方法，其特征在于，作為前體(P2)使用前體(P21);所述前體(P21)通過具有交聯(lián)性官能團(tuán)及酚性羥基的化合物(Y-1)和具有交聯(lián)性官能團(tuán)及被可與酚性羥基反應(yīng)的氟原子取代的芳環(huán)的化合物(Y-2)的任一方或雙方，與下述通式(l)表示的含氟芳香族化合物(B)和具有3個(gè)以上的酚性羥基的化合物(C)，在脫氟化氫劑的存在下進(jìn)行縮合反應(yīng)而得；式(1)中，n表示02的整數(shù)，a、b分別獨(dú)立地表示03的整數(shù)，Rf^及Rf"分別獨(dú)立地表示碳數(shù)8以下的含氟烷基，Rfi或Rf"存在多個(gè)時(shí)，可以互相相同也可互不相同，芳環(huán)內(nèi)的F表示與該芳環(huán)結(jié)合的氫原子全部被氟原子取代。8.交聯(lián)性預(yù)聚物的制造方法，其特征在于，使主鏈具有被可與酚性羥基反應(yīng)的鹵原子取代的芳環(huán)的前體(Pl)與下述通式(II)Rf-CH2-OH(II)表示的醇(Q)在脫氟化氫劑的存在下反應(yīng)后再導(dǎo)入交聯(lián)性官能團(tuán)；所述前體(P1)是主鏈具有聚芳基醚結(jié)構(gòu)的聚合物；式(II)中，Rf表示碳數(shù)350的可含有醚結(jié)合性氧原子的含氟垸基。9.如權(quán)利要求8所述的交聯(lián)性預(yù)聚物的制造方法，其特征在于，作為前體(P1)使用前體(P11);所述前體(Pll)通過下述通式(l)表示的含氟芳香族化合物(B)和具有3個(gè)以上的酚性羥基的化合物(C)在脫氟化氫劑的存在下進(jìn)行縮合反應(yīng)而得；式(1)中，n表示02的整數(shù)，a、b分別獨(dú)立地表示03的整數(shù)，R^及Rf"分別獨(dú)立地表示碳數(shù)8以下的含氟烷基，Rfi或Rf^存在多個(gè)時(shí)，可以互相相同也可互不相同，芳環(huán)內(nèi)的F表示與該芳環(huán)結(jié)合的氫原子全部被氟原子取代。10.如權(quán)利要求8或9所述的交聯(lián)性預(yù)聚物的制造方法，其特征在于，交聯(lián)性官能團(tuán)的導(dǎo)入方法是具有交聯(lián)性官能團(tuán)及酚性羥基的化合物(Y-1)和具有交聯(lián)性官能團(tuán)及被可與酚性羥基反應(yīng)的氟原子取代的芳環(huán)的化合物(Y-2)的任一方或雙方在脫氟化氫劑的存在下進(jìn)行的縮合反應(yīng)。11.交聯(lián)性預(yù)聚物的制造方法，其特征在于，具備工序(S1)，工序(S2)和工序(S3);工序(Sl)是使下述通式(l)表示的含氟芳香族化合物(B)和具有3個(gè)以上的酚性羥基的化合物(C)在脫氟化氫劑的存在下進(jìn)行縮合反應(yīng)的工序，式(1)中，n表示02的整數(shù)，a、b分別獨(dú)立地表示03的整數(shù)，Rf1及Rf^分別獨(dú)立地表示碳數(shù)8以下的含氟烷基，Rf或Rf存在多個(gè)時(shí)，可以互相相同也可互不相同，芳環(huán)內(nèi)的F表示與該芳環(huán)結(jié)合的氫原子全部被氟原子取代；工序(S2)是使具有交聯(lián)性官能團(tuán)及酚性羥基的化合物(Y-1)和具有交聯(lián)性官能團(tuán)及被可與酚性羥基反應(yīng)的氟原子取代的芳環(huán)的化合物(Y-2)的任一方或雙方在脫氟化氫劑的存在下進(jìn)行縮合反應(yīng)，導(dǎo)入交聯(lián)性官能團(tuán)的工序；工序(S3)是使下述通式(U)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>(II)表示的醇(Q)在脫氟化氫劑的存在下反應(yīng)，導(dǎo)入側(cè)鏈的工序，式(n)中，Rf表示碳數(shù)350的可含有醚結(jié)合性氧原子的含氟垸基。12.固化物，其特征在于，通過使權(quán)利要求15中任一項(xiàng)所述的交聯(lián)性預(yù)聚物固化而形成。13.涂布用組合物，其特征在于，包含權(quán)利要求15中任一項(xiàng)所述的交聯(lián)性預(yù)聚物及溶劑。14.固化膜，其特征在于，通過將權(quán)利要求13所述的涂布用組合物涂布于基材形成濕潤(rùn)膜，除去該濕潤(rùn)膜中的溶劑，然后或者在溶劑的除去的同時(shí)，使?jié)駶?rùn)膜中的交聯(lián)性預(yù)聚物固化而得。15.物品，其特征在于，具有權(quán)利要求14所述的固化膜。16.負(fù)型感光性組合物，其特征在于，含有權(quán)利要求15中任一項(xiàng)所述的交聯(lián)性預(yù)聚物、感光劑和溶劑。17.如權(quán)利要求16所述的負(fù)型感光性組合物，其特征在于，所述感光劑含有光引發(fā)劑或光交聯(lián)劑。18.固化膜的制造方法，其特征在于，具備在基材上形成由權(quán)利要求16或17所述的負(fù)型感光性組合物構(gòu)成的涂膜的工序；將該涂膜的一部分選擇性地曝光，在該曝光部使所述交聯(lián)性官能團(tuán)產(chǎn)生反應(yīng)的曝光工序；在該曝光工序后顯影的工序。19.固化膜，其特征在于，由權(quán)利要求18所述的制造方法制得。20.物品，其特征在于，具有權(quán)利要求19所述的固化膜。全文摘要本發(fā)明提供可形成耐熱性良好且防油性及防水性良好的固化物的預(yù)聚物。該預(yù)聚物是主鏈具有聚芳基醚結(jié)構(gòu)的聚合物，是具有交聯(lián)性官能團(tuán)且具有R^f-CH₂-O-表示的側(cè)鏈的交聯(lián)性預(yù)聚物。所述R^f表示可含醚結(jié)合性氧原子的碳數(shù)3～50的含氟烷基。文檔編號(hào)C08G65/40GK101454375SQ20078001963公開日2009年6月10日申請(qǐng)日期2007年5月31日優(yōu)先權(quán)日2006年6月2日發(fā)明者伊藤昌宏,橫塚俊亮,江里口武,鶴岡薰申請(qǐng)人:旭硝子株式會(huì)社