一種高精度熔融石英微殼體諧振結(jié)構(gòu)加工設(shè)備的制造方法
【專(zhuān)利摘要】一種高精度熔融石英微殼體諧振結(jié)構(gòu)加工設(shè)備，包包括XYZ三向給進(jìn)機(jī)構(gòu)、W向伺服旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、成型模具以及高溫火焰控制系統(tǒng)，所述高溫火焰控制系統(tǒng)包括高溫火焰噴槍?zhuān)庸な⑵潭ㄔ诔尚湍＞呱?，成型模具與W向伺服旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)固定連接且W向伺服旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)能夠帶動(dòng)成型模具同步高速旋轉(zhuǎn)，XYZ三向進(jìn)給機(jī)構(gòu)和W向伺服旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)用于實(shí)現(xiàn)待加工石英片與高溫火焰噴槍噴出的高溫火焰的對(duì)準(zhǔn)。本發(fā)明的熔融石英微殼體諧振結(jié)構(gòu)加工設(shè)備能顯著提升熔融石英微殼體諧振結(jié)構(gòu)的加工精度，加工效率得到明顯提升，同時(shí)該加工設(shè)備適用于多種尺寸范圍和材料的諧振結(jié)構(gòu)。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
一種高精度熔融石英微殼體諧振結(jié)構(gòu)加工設(shè)備
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明屬于機(jī)械加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種精度殼體諧振結(jié)構(gòu)的加工設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]陀螺儀是測(cè)量載體在慣性空間角運(yùn)動(dòng)的傳感器，是慣性導(dǎo)航和姿態(tài)測(cè)量系統(tǒng)的基礎(chǔ)核心器件。在精確制導(dǎo)、無(wú)人系統(tǒng)、石油勘探、穩(wěn)定平臺(tái)、空間飛行器等領(lǐng)域具有非常重要的應(yīng)用價(jià)值。
[0003]陀螺儀的綜合性能和成本是決定其發(fā)展方向的根本因素。隨著殼體振動(dòng)陀螺理論的發(fā)展和微陀螺加工技術(shù)研究的不斷深入，微型殼體振動(dòng)陀螺成為最具發(fā)展?jié)摿Φ奈⑼勇葜?。微型殼體振動(dòng)陀螺的高性能歸根于其高度對(duì)稱(chēng)的敏感結(jié)構(gòu)，工作模態(tài)的頻率裂解和品質(zhì)因數(shù)是衡量陀螺敏感結(jié)構(gòu)的重要指標(biāo)。降低頻率裂解，提高品質(zhì)因數(shù)，是制造高精度殼體振動(dòng)陀螺的關(guān)鍵技術(shù)。
[0004]目前熔融石英材料的微型殼體諧振結(jié)構(gòu)的加工方法主要有圓片級(jí)膨脹變形工藝和高溫噴燈吹制工藝。圓片級(jí)膨脹變形工藝兼容性好，適合制作低深寬比諧振結(jié)構(gòu)，但其面型控制方法單一，后續(xù)加工工藝方法有限。
[0005]高溫噴燈吹制工藝靈活方便，可加工多種形狀的諧振結(jié)構(gòu)，這種方法對(duì)加工對(duì)準(zhǔn)精度由很高的要求，通常需要大量的時(shí)間進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)，加工效率較低。高溫噴燈吹制工藝以其加工便利，可控性強(qiáng)，成本低的優(yōu)點(diǎn)，成為最有潛力的加工方法之一。加工過(guò)程中的模具加工精度、火焰對(duì)準(zhǔn)精度、火焰溫度、真空度等是影響高溫噴燈吹制工藝加工的諧振結(jié)構(gòu)精度和面型的關(guān)鍵因素。提升對(duì)準(zhǔn)精度、提高工藝可重復(fù)性和面型精度，是提升高溫噴燈吹制工藝加工精度的關(guān)鍵，也是制造高精度微殼體諧振陀螺的基礎(chǔ)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]為了克服現(xiàn)有玻璃吹制變形加工工藝的不足，本發(fā)明提供一種高精度熔融石英微殼體諧振結(jié)構(gòu)加工設(shè)備，能夠顯著提高諧振結(jié)構(gòu)加工精度、提升加工工藝穩(wěn)定性的加工設(shè)備，同時(shí)大大提高加工效率。
[0007]本發(fā)明的技術(shù)方案是:
[0008]一種高精度熔融石英微殼體諧振結(jié)構(gòu)加工設(shè)備，包括XYZ三向給進(jìn)機(jī)構(gòu)、W向伺服旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、成型模具以及高溫火焰控制系統(tǒng)，所述高溫火焰控制系統(tǒng)包括高溫火焰噴槍?zhuān)庸な⑵潭ㄔ诔尚湍＞呱?，成型模具與W向伺服旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)固定連接且W向伺服旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)能夠帶動(dòng)成型模具同步高速旋轉(zhuǎn)，XYZ三向進(jìn)給機(jī)構(gòu)和W向伺服旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)用于實(shí)現(xiàn)待加工石英片與高溫火焰噴槍噴出的高溫火焰的對(duì)準(zhǔn)。
[0009]進(jìn)一步地，所述XYZ三向給進(jìn)機(jī)構(gòu)包括XY二維進(jìn)給機(jī)構(gòu)和Z向進(jìn)給機(jī)構(gòu)，W向伺服旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、高溫火焰噴槍分別固定安裝在XY 二維進(jìn)給機(jī)構(gòu)或Z向進(jìn)給機(jī)構(gòu)上。XYZ三向進(jìn)給機(jī)構(gòu)可以使高溫火焰噴槍噴出的高溫火焰與石英片的相對(duì)位置高度控制得更為精確。高溫火焰控制系統(tǒng)可以保證火焰出口溫度在12000C?2000°C之間精確可調(diào)。
[0010]進(jìn)一步地，所述XY 二維進(jìn)給機(jī)構(gòu)包括一個(gè)X向的加載/卸載導(dǎo)軌，用于實(shí)現(xiàn)加工位置與卸載位置之間的切換，XY 二維進(jìn)給機(jī)構(gòu)固定在X向的加載/卸載導(dǎo)軌上。
[0011 ]進(jìn)一步地，所述W向伺服旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)固定在XY 二維進(jìn)給機(jī)構(gòu)上，能夠帶動(dòng)成型模具同步高速旋轉(zhuǎn)。W向伺服旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)軸與成型模具之間通過(guò)螺紋件連接，可以通過(guò)調(diào)整螺紋件的間隙保證W向伺服旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與成型模具之間的同軸度。
[0012]進(jìn)一步地，還包括真空控制系統(tǒng)，待加工石英片置于成型模具上，成型模具內(nèi)設(shè)置有成型空腔，成型空腔與真空控制系統(tǒng)連接，真空控制系統(tǒng)能夠?qū)Τ尚湍＞邇?nèi)的成型空腔進(jìn)行抽真空操作。
[0013]進(jìn)一步地，所述成型模具包括上蓋板、底座以及設(shè)置在底座內(nèi)的成型空腔，所述石英片設(shè)置在上蓋板與底座之間，所述上蓋板和底座采用石墨材料磨削加工得到。
[0014]進(jìn)一步地，所述高溫火焰噴槍固定在Z向進(jìn)給機(jī)構(gòu)上且其噴口垂直向下，高溫火焰噴槍位于成型模具的正上方。
[0015]進(jìn)一步地，還包括火焰擋板機(jī)構(gòu)，用于實(shí)現(xiàn)加熱/冷卻之間的快速切換;所述火焰擋板機(jī)構(gòu)包括火焰擋板以及實(shí)現(xiàn)火焰擋板位置切換的切換機(jī)構(gòu)，所述火焰擋板位于成型模具和高溫火焰噴槍之間。實(shí)現(xiàn)火焰擋板位置切換的切換機(jī)構(gòu)可以為各種形式，要求能夠?qū)崿F(xiàn)火焰擋板的位置切換即可，如將火焰擋板固定在一滑軌上，通過(guò)滑動(dòng)實(shí)現(xiàn)火焰擋板的位置切換。也可以直接在成型模具和高溫火焰噴槍之間搭建一個(gè)固定火焰擋板的支架，高溫火焰噴槍對(duì)石英石進(jìn)行火焰加熱時(shí)，取走火焰擋板即可。也可以在火焰擋板上連接一個(gè)彈簧開(kāi)關(guān)、鉸鏈或者合頁(yè)實(shí)現(xiàn)火焰擋板的位置切換。
[0016]基于上述高精度熔融石英微殼體諧振結(jié)構(gòu)加工設(shè)備，本發(fā)明還提供一種高精度熔融石英微殼體諧振結(jié)構(gòu)加工設(shè)備的加工方法，包括以下步驟:將一石英片置于一成型空腔之上，調(diào)節(jié)XYZ三向進(jìn)給機(jī)構(gòu)使得高溫火焰位于所述石英片的正上方的一定高度處，啟動(dòng)W向伺服旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使所述石英片和成型空腔保持高速旋轉(zhuǎn)，高溫火焰對(duì)石英片進(jìn)行快速加熱軟化，同時(shí)通過(guò)真空控制系統(tǒng)對(duì)所述成型空腔進(jìn)行抽真空，使軟化的石英片向所述成型空腔內(nèi)變形，得到高精度的熔融石英微殼體諧振結(jié)構(gòu)。
[0017]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于:
[0018]本發(fā)明的高精度熔融石英微殼體諧振結(jié)構(gòu)加工設(shè)備，包括XYZ三向進(jìn)給機(jī)構(gòu)，用于實(shí)現(xiàn)石英片與高溫火焰的精確對(duì)準(zhǔn)，大大降低了對(duì)準(zhǔn)誤差對(duì)諧振結(jié)構(gòu)精度的影響;W向伺服旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，用于消除微小的火焰對(duì)準(zhǔn)誤差，進(jìn)一步增加了石英諧振結(jié)構(gòu)的中心對(duì)稱(chēng)性;高溫火焰控制系統(tǒng)，采用氧氣+燃?xì)獾漠a(chǎn)熱方式，火焰出口溫度可以在1200°C?2000°C內(nèi)精確可調(diào)。本發(fā)明的高精度熔融石英微殼體諧振結(jié)構(gòu)加工設(shè)備由靜態(tài)的熔融石英殼體吹制變形加工設(shè)備改進(jìn)而來(lái)，克服了靜態(tài)對(duì)準(zhǔn)加工設(shè)備對(duì)準(zhǔn)誤差大、加工效率低的問(wèn)題，使熔融石英微殼體諧振結(jié)構(gòu)的加工精度得到了明顯的提升，顯著降低了石英片初始誤差(如結(jié)構(gòu)誤差、面型誤差、內(nèi)應(yīng)力等)對(duì)微殼體諧振結(jié)構(gòu)工作模態(tài)穩(wěn)定性的影響，能夠顯著降低諧振結(jié)構(gòu)頻率裂解，提高諧振結(jié)構(gòu)品質(zhì)因數(shù)。
[0019]本發(fā)明的高精度熔融石英微殼體諧振結(jié)構(gòu)加工設(shè)備，用于熔融石英諧振結(jié)構(gòu)的高溫吹制成型工藝，這種加工設(shè)備加工的殼體諧振結(jié)構(gòu)可通過(guò)后續(xù)的劃片和裝配工藝形成微型殼體諧振陀螺，極大提升了微型殼體諧振陀螺的性能。
[0020]本發(fā)明的熔融石英微殼體諧振結(jié)構(gòu)加工設(shè)備能顯著提升熔融石英微殼體諧振結(jié)構(gòu)的加工精度，加工效率得到明顯提升，同時(shí)該加工設(shè)備適用于多種尺寸范圍和材料的諧振結(jié)構(gòu)。
【附圖說(shuō)明】
[0021]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]圖2為本發(fā)明高精度熔融石英微殼體諧振結(jié)構(gòu)加工設(shè)備的結(jié)構(gòu)流程圖。
[0023]圖中標(biāo)號(hào)說(shuō)明:
[0024]10、加載/卸載導(dǎo)軌；11、XY二維進(jìn)給機(jī)構(gòu)；12、W向伺服旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；13、真空控制系統(tǒng)；14、高溫火焰控制系統(tǒng)；15、火焰擋板；16、Z向進(jìn)給機(jī)構(gòu)；17、高溫火焰噴槍;20、上蓋板；21、石英片;22、底座。
【具體實(shí)施方式】
[0025]為了使本發(fā)明所解決的技術(shù)問(wèn)題、技術(shù)方案及有益效果更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
[0026]圖1示出了本發(fā)明的高精度熔融石英微殼體諧振結(jié)構(gòu)加工設(shè)備的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖，該加工設(shè)備包括XY二維進(jìn)給機(jī)構(gòu)11、Z向進(jìn)給機(jī)構(gòu)16、W向伺服旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)12、火焰擋板15、高溫火焰控制系統(tǒng)14和真空控制系統(tǒng)13。所述XYZ三向進(jìn)給機(jī)構(gòu)用于實(shí)現(xiàn)高溫火焰與石英玻璃片的對(duì)準(zhǔn)，W向伺服旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)用于提高火焰加熱的中心對(duì)稱(chēng)精度，高溫火焰控制系統(tǒng)用于實(shí)現(xiàn)石英片表面溫度的精確控制，真空控制系統(tǒng)用于實(shí)現(xiàn)石英片成型的面型控制。
[0027]其中XY二維進(jìn)給機(jī)構(gòu)11包括一個(gè)大行程的X向的加載/卸載導(dǎo)軌10，用于實(shí)現(xiàn)加工位置與卸載位置之間的切換，XY 二維進(jìn)給機(jī)構(gòu)11固定在X向的加載/卸載導(dǎo)軌上，W向伺服旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)12固定在XY 二維進(jìn)給機(jī)構(gòu)11上。W向伺服旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)12上固定有成型模具，成型模具能夠在W向伺服旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的帶動(dòng)下同步高速旋轉(zhuǎn)。W向伺服旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)可以在保持高速可調(diào)旋轉(zhuǎn)的同時(shí)實(shí)現(xiàn)成型空腔內(nèi)部真空度的精確控制。W向伺服旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)12的驅(qū)動(dòng)軸與成型模具之間通過(guò)螺紋件連接，可以通過(guò)調(diào)整螺紋件的間隙保證W向伺服旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與成型模具之間的同軸度。高溫火焰噴槍17固定在Z向進(jìn)給機(jī)構(gòu)上且其噴口垂直向下，高溫火焰噴槍17位于成型模具的正上方。成型模具和高溫火焰噴槍17之間設(shè)有火焰擋板機(jī)構(gòu)，用于實(shí)現(xiàn)加熱/冷卻之間的快速切換?；鹧鎿醢鍣C(jī)構(gòu)包括火焰擋板15以及實(shí)現(xiàn)火焰擋板15位置切換的切換機(jī)構(gòu)，所述火焰擋板位于成型模具和高溫火焰噴槍之間。本實(shí)施例中，實(shí)現(xiàn)火焰擋板位置切換的切換機(jī)構(gòu)為一組供火焰擋板滑動(dòng)的導(dǎo)軌。
[0028]參照?qǐng)D2，成型模具包括上蓋板20、底座22以及設(shè)置在底座22內(nèi)的成型空腔，石英片21設(shè)置在上蓋板20與底座22之間。成型空腔與真空控制系統(tǒng)13連接，真空控制系統(tǒng)13能夠?qū)Τ尚湍＞邇?nèi)的成型空腔進(jìn)行抽真空操作。本發(fā)明中上蓋板20和底座22采用石墨材料磨削加工得到。
[0029]將石英片21置于成型空腔上方的底座22上，W向伺服旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)12使成型空腔和石英片保持高速旋轉(zhuǎn)，高溫火焰噴槍17對(duì)所述石英片進(jìn)行加熱，真空控制系統(tǒng)13同時(shí)對(duì)所述成型空腔進(jìn)行抽真空，將軟化的石英片吸附至所述成型空腔內(nèi)部，得到高精度熔融石英微殼體諧振結(jié)構(gòu)。
[0030]該高精度熔融石英微殼體諧振結(jié)構(gòu)加工設(shè)備由靜態(tài)的熔融石英殼體吹制變形加工設(shè)備改進(jìn)而來(lái)，這種多自由度對(duì)準(zhǔn)結(jié)構(gòu)，克服了常規(guī)的靜態(tài)對(duì)準(zhǔn)結(jié)構(gòu)對(duì)準(zhǔn)誤差大、可重復(fù)性差、加工效率低等問(wèn)題，使得石英殼體諧振結(jié)構(gòu)的加工精度有了明顯的提升，顯著降低了石英片誤差(如結(jié)構(gòu)誤差、面型誤差、內(nèi)應(yīng)力等)對(duì)微殼體諧振結(jié)構(gòu)工作模態(tài)穩(wěn)定性的影響，能夠顯著降低諧振結(jié)構(gòu)頻率裂解，提高諧振結(jié)構(gòu)品質(zhì)因數(shù)。
[0031]圖2示出了本發(fā)明的高精度熔融石英微殼體諧振結(jié)構(gòu)加工設(shè)備加工流程圖，加工過(guò)程包括以下步驟:
[0032]S1:將石英片21放置在成型空腔上方的底座22上，蓋上上蓋板20，此時(shí)成型模具從上至下依次為上蓋板20、石英片21、底座22，如圖2(a)所示。其中成型空腔與真空控制系統(tǒng)13相連接。將所述成型模具移至加載位置，調(diào)節(jié)XYZ三向進(jìn)給機(jī)構(gòu)，使高溫火焰噴槍17位于石英片21的正上方的一定高度處。
[0033]S2:啟動(dòng)W向伺服旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)12，使W向伺服旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)12保持高速旋轉(zhuǎn)，通過(guò)高溫火焰控制系統(tǒng)調(diào)整高溫火焰噴槍噴出的高溫火焰至合適狀態(tài)。打開(kāi)火焰擋板15對(duì)石英片21進(jìn)行快速加熱使其軟化，同時(shí)打開(kāi)真空控制系統(tǒng)13對(duì)成型空腔進(jìn)行抽真空操作，在內(nèi)外壓強(qiáng)差的作用下，將熔融的石英片21吸附至成型空腔內(nèi)部變形，完成石英片21的成型加工，如圖2(b)所示；
[0034]S3:依次關(guān)閉火焰擋板15、真空控制系統(tǒng)13、W向伺服旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)12，將成型模具移至卸載位置，取下上蓋板20，得到高精度熔融石英微殼體諧振結(jié)構(gòu)，如圖2(c)所示。本發(fā)明制作出來(lái)的殼體諧振結(jié)構(gòu)為中心對(duì)稱(chēng)，其面型由成型空腔輪廓、高溫火焰溫度、真空控制系統(tǒng)共同控制。
[0035]以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，本發(fā)明的保護(hù)范圍并不僅局限于上述實(shí)施例，凡屬于本發(fā)明思路下的技術(shù)方案均屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。應(yīng)該提出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明原理前提下的改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種高精度熔融石英微殼體諧振結(jié)構(gòu)加工設(shè)備，其特征在于:包括XYZ三向給進(jìn)機(jī)構(gòu)、W向伺服旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、成型模具以及高溫火焰控制系統(tǒng)，所述高溫火焰控制系統(tǒng)包括高溫火焰噴槍?zhuān)庸な⑵潭ㄔ诔尚湍＞呱?，成型模具與W向伺服旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)固定連接且W向伺服旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)能夠帶動(dòng)成型模具同步高速旋轉(zhuǎn)，XYZ三向進(jìn)給機(jī)構(gòu)和W向伺服旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)用于實(shí)現(xiàn)待加工石英片與高溫火焰噴槍噴出的高溫火焰的對(duì)準(zhǔn)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度熔融石英微殼體諧振結(jié)構(gòu)加工設(shè)備，其特征在于:所述XYZ三向給進(jìn)機(jī)構(gòu)包括XY 二維進(jìn)給機(jī)構(gòu)和Z向進(jìn)給機(jī)構(gòu)，評(píng)向伺服旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、高溫火焰噴槍分別固定安裝在XY 二維進(jìn)給機(jī)構(gòu)或Z向進(jìn)給機(jī)構(gòu)上。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高精度熔融石英微殼體諧振結(jié)構(gòu)加工設(shè)備，其特征在于:所述XY 二維進(jìn)給機(jī)構(gòu)包括一個(gè)X向的加載/卸載導(dǎo)軌，用于實(shí)現(xiàn)加工位置與卸載位置之間的切換，XY 二維進(jìn)給機(jī)構(gòu)固定在X向的加載/卸載導(dǎo)軌上。4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的高精度熔融石英微殼體諧振結(jié)構(gòu)加工設(shè)備，其特征在于:還包括真空控制系統(tǒng)，待加工石英片置于成型模具上，成型模具內(nèi)設(shè)置有成型空腔，成型空腔與真空控制系統(tǒng)連接，真空控制系統(tǒng)能夠?qū)Τ尚湍＞邇?nèi)的成型空腔進(jìn)行抽真空操作。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的高精度熔融石英微殼體諧振結(jié)構(gòu)加工設(shè)備，其特征在于:所述成型模具包括上蓋板、底座以及設(shè)置在底座內(nèi)的成型空腔，所述石英片設(shè)置在上蓋板與底座之間。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的高精度熔融石英微殼體諧振結(jié)構(gòu)加工設(shè)備，其特征在于:所述上蓋板和底座米用石墨材料磨削加工得到。7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的高精度熔融石英微殼體諧振結(jié)構(gòu)加工設(shè)備，其特征在于:所述高溫火焰噴槍固定在Z向進(jìn)給機(jī)構(gòu)上且其噴口垂直向下，高溫火焰噴槍位于成型模具的正上方。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的高精度熔融石英微殼體諧振結(jié)構(gòu)加工設(shè)備，其特征在于:還包括火焰擋板機(jī)構(gòu)，用于實(shí)現(xiàn)加熱/冷卻之間的快速切換;所述火焰擋板機(jī)構(gòu)包括火焰擋板以及實(shí)現(xiàn)火焰擋板位置切換的切換機(jī)構(gòu)，所述火焰擋板位于成型模具和高溫火焰噴槍之間。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的高精度熔融石英微殼體諧振結(jié)構(gòu)加工設(shè)備，其特征在于，實(shí)現(xiàn)火焰擋板位置切換的切換機(jī)構(gòu)為供火焰擋板滑動(dòng)的導(dǎo)軌。10.—種高精度熔融石英微殼體諧振結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，包括以下步驟: S1:將石英片放置在成型模具內(nèi)，成型模具從上至下依次為上蓋板、石英片、底座，其中底座內(nèi)的成型空腔與真空控制系統(tǒng)相連接;將所述成型模具移至加載位置，利用對(duì)準(zhǔn)夾具調(diào)節(jié)XYZ三向進(jìn)給機(jī)構(gòu)，使高溫火焰噴槍位于石英片的正上方的一定高度處； S2:使W向伺服旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)保持高速旋轉(zhuǎn)，通過(guò)高溫火焰控制系統(tǒng)調(diào)整高溫火焰至合適狀態(tài)，打開(kāi)火焰擋板，使高溫火焰噴槍對(duì)石英片進(jìn)行快速加熱使其軟化;同時(shí)打開(kāi)真空控制系統(tǒng)對(duì)成型空腔進(jìn)行抽真空操作，在內(nèi)外壓強(qiáng)差的作用下，將熔融的石英片吸附至成型空腔內(nèi)部，完成石英片的成型加工； S3:依次關(guān)閉火焰擋板、真空控制系統(tǒng)、W向伺服旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，將成型模具移至卸載位置，取下上蓋板，得到高精度熔融石英微殼體諧振結(jié)構(gòu)。
【文檔編號(hào)】C03B20/00GK106082602SQ201610389435
【公開(kāi)日】2016年11月9日
【申請(qǐng)日】2016年6月2日 公開(kāi)號(hào)201610389435.9, CN 106082602 A, CN 106082602A, CN 201610389435, CN-A-106082602, CN106082602 A, CN106082602A, CN201610389435, CN201610389435.9
【發(fā)明人】肖定邦, 吳學(xué)忠, 侯占強(qiáng), 陳志華, 吳宇列, 李微, 石巖, 盧坤
【申請(qǐng)人】中國(guó)人民解放軍國(guó)防科學(xué)技術(shù)大學(xué)