一種玻璃基板自動研磨裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于玻璃基板研磨技術(shù)設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種玻璃基板自動研磨裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著玻璃基板產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，其生產(chǎn)設(shè)備的自動化和環(huán)保要求越來越高，其中玻璃基板的邊研磨是本產(chǎn)業(yè)要求自動化和環(huán)保的重要部分。它要求在物流線上實現(xiàn)上料、對位、研磨移載、研磨翻轉(zhuǎn)、下料等動作的自動化，同時，對研磨產(chǎn)生的塵埃磨肩和清洗冷卻用水進(jìn)行封閉式清除，以保證環(huán)境的潔凈度。目前，歐洲、日本和韓國等先進(jìn)國家這方面的技術(shù)比較成熟，但整機(jī)結(jié)構(gòu)復(fù)雜、價格昂貴。國內(nèi)一些生產(chǎn)線的自動化程度較低，難以與國外相比，且清潔度也不能滿足要求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種玻璃基板自動研磨裝置，通過在研磨裝置中增設(shè)換向調(diào)整機(jī)構(gòu)和位置微調(diào)機(jī)構(gòu)，可實現(xiàn)對玻璃基板的高精度磨削要求，其具有結(jié)構(gòu)簡單、性能可靠的特點。
[0004]本實用新型采用的技術(shù)方案是:一種玻璃基板自動研磨裝置，結(jié)構(gòu)中包括帶有X向直線驅(qū)動機(jī)構(gòu)的機(jī)架底座、設(shè)置在X向直線驅(qū)動機(jī)構(gòu)上的移載平臺以及配套的研磨機(jī)構(gòu)，所述研磨裝置中還包括設(shè)置在X向直線驅(qū)動機(jī)構(gòu)和移載平臺之間的位置微調(diào)機(jī)構(gòu)、設(shè)置在機(jī)架底座上并與位置微調(diào)機(jī)構(gòu)配合的檢測對位機(jī)構(gòu)以及設(shè)置在機(jī)架底座上方并與移載平臺配合的換向調(diào)整機(jī)構(gòu)。
[0005]進(jìn)一步:位置微調(diào)機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在X向直線驅(qū)動機(jī)構(gòu)上的微調(diào)底板、以微調(diào)底板中心為旋轉(zhuǎn)中心的呈環(huán)形陣列分布的一組微調(diào)機(jī)構(gòu)，微調(diào)機(jī)構(gòu)包括微調(diào)電機(jī)、受微調(diào)電機(jī)驅(qū)動的滾珠絲杠、與絲母安裝座固連的滑座總成以及設(shè)置于滑座總成上的交叉滾柱軸環(huán)，移載平臺固定于交叉滾柱軸環(huán)的外圈上，移載平臺借助微調(diào)電機(jī)對滑座總成的驅(qū)動具有水平面內(nèi)的X軸向、Y軸向及旋轉(zhuǎn)自由度。
[0006]滑座總成包括滑動底座、中間滑座及滑動上座，滑動底座與中間滑座之間裝有一組第一交叉滾柱導(dǎo)軌，中間滑座與滑動上座之間裝有一組第二交叉滾柱導(dǎo)軌，第一交叉滾柱導(dǎo)軌與第二交叉滾柱導(dǎo)軌呈垂直設(shè)置，中間滑座與絲母安裝座固連，滑動上座上設(shè)置有交叉滾柱軸環(huán)，所述交叉滾柱軸環(huán)結(jié)構(gòu)中的內(nèi)圈借助交叉滾柱軸環(huán)壓蓋定位于滑動上座上，移載平臺借助交叉滾柱軸環(huán)下座與外圈固定。
[0007]移載平臺包括設(shè)置在交叉滾柱軸環(huán)的外圈上的移載底板、設(shè)置在移載底板上結(jié)構(gòu)相同的X向夾持機(jī)構(gòu)和Y向夾持機(jī)構(gòu)以及借助支撐板設(shè)置在移載底板上方的吸附平臺，所述X向夾持機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在移載底板上的X向?qū)蚧?、設(shè)置在X向?qū)蚧壣系腦向夾持定位桿以及配套的X向驅(qū)動機(jī)構(gòu)。
[0008]吸附平臺包括借助支撐板設(shè)置在移載底板上方的吸附板以及設(shè)置在吸附板上的真空吸附盤組，所述吸附板上設(shè)有與X向夾持定位桿和Y向夾持定位桿配合的導(dǎo)向槽。
[0009]換向調(diào)整機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在機(jī)架底座上并由支撐柱和橫梁組成的換向機(jī)架以及配套的換向機(jī)構(gòu)，所述換向機(jī)構(gòu)包括借助Y向位移機(jī)構(gòu)和升降機(jī)構(gòu)設(shè)置在橫梁上的承載板、借助旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)軸設(shè)置在承載板下方的旋轉(zhuǎn)框架以及配套設(shè)置在旋轉(zhuǎn)框架上的真空吸盤，所述Y向位移機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在橫梁上的安裝板、對稱設(shè)置在安裝板上的Y向滑軌以及借助Y向直線驅(qū)動機(jī)構(gòu)在Y向滑軌上具有位移自由度的移動框架，所述移動框架由上、下支撐板以及設(shè)置在上、下支撐板之間的支撐桿構(gòu)成，上支撐板設(shè)置在Y向滑軌上，在安裝板上設(shè)置有與支撐桿配合的長條狀通孔，所述升降機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在下支撐板上的豎直導(dǎo)向桿和升降氣缸，所述承載板與升降氣缸的活塞桿和豎直導(dǎo)向桿的下端連接、具有升降自由度。
[0010]檢測對位機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在機(jī)架底座上的支架、對稱設(shè)置在支架上的X向直線驅(qū)動機(jī)械手、設(shè)置在X向直線驅(qū)動機(jī)械手上的Y向精密滑臺、設(shè)置在Y向精密滑臺上的Z向精密滑臺以及設(shè)置在Z向精密滑臺上的檢測相機(jī)。
[0011]研磨機(jī)構(gòu)設(shè)置在研磨機(jī)架上、并分為結(jié)構(gòu)相同的粗研磨機(jī)構(gòu)和精研磨機(jī)構(gòu)，所述粗研磨機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在研磨機(jī)架上的Y軸向粗研磨導(dǎo)軌、設(shè)置在Y軸向粗研磨導(dǎo)軌上的Z軸向粗研磨導(dǎo)軌、設(shè)置在Z軸向粗研磨導(dǎo)軌上的粗研磨安裝板以及設(shè)置在粗研磨安裝板上的粗研磨機(jī)，粗研磨機(jī)借助Y軸向粗研磨驅(qū)動機(jī)構(gòu)和Z軸向粗研磨驅(qū)動機(jī)構(gòu)在研磨機(jī)架上具有Y軸向、Z軸向位移自由度。
[0012]采用本實用新型產(chǎn)生的有益效果:I)本實用新型具有結(jié)構(gòu)簡單、自動化程度高、操作維護(hù)方便的特點；2)本實用新型的換向調(diào)整機(jī)構(gòu)保證能同時實現(xiàn)對玻璃基板四個邊的粗磨與拋光功能，一機(jī)多用，減少了投資成本;3)本實用新型的檢測對位機(jī)與位置微調(diào)機(jī)構(gòu)在進(jìn)行調(diào)整時的有力配合，保證了玻璃基板四個邊的垂直度和平行度要求，進(jìn)而保證了玻璃基板的高精度磨削要求;4)機(jī)架底座上設(shè)置的高精度的X向直線驅(qū)動機(jī)構(gòu)，保證了玻璃基板四個邊的磨削直線度要求。
【附圖說明】
[0013]圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)不意圖；
[0014]圖2是圖1中B的放大示意圖；
[0015]圖3是位置微調(diào)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖4是圖3中C的放大不意圖；
[0017]圖5是移載平臺的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖6是吸附板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖7是換向調(diào)整機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖8是圖7中D的放大不意圖；
[0021 ]圖9是圖7的正視不意圖；
[0022I圖10是圖9中E的放大示意圖；
[0023]圖11是檢測對位機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖12是圖11中F的放大示意圖；
[0025]圖13是圖1中A的放大示意圖；
[0026I圖14是粗研磨機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]附圖中:I是機(jī)架底座，1-1是X向直線驅(qū)動機(jī)構(gòu)，2是位置微調(diào)機(jī)構(gòu)，2_1是微調(diào)底板，2_2是微調(diào)機(jī)構(gòu)，2_2_1是微調(diào)電機(jī)，2_2_2是滾珠絲杠，2_2_3是絲母安裝座，2_2_4是交叉滾柱軸環(huán)，2-2-5是滑動底座，2-2-6是中間滑座，2-2-7是滑動上座，2_2_8是第一交叉滾柱導(dǎo)軌，2-2-9是第二交叉滾柱導(dǎo)軌，2-2-10是交叉滾柱軸環(huán)壓蓋，2-2-11是交叉滾柱軸環(huán)下座，3是移載平臺，3_1是移載底板，3_2是X向夾持機(jī)構(gòu)，3-2-1是X向?qū)蚧墸?_2_2是X向夾持定位桿，3-2-3是X向驅(qū)動機(jī)構(gòu)，3-3是Y向夾持機(jī)構(gòu)，3-3-1是Y向?qū)蚧墸?_3_2是Y向夾持定位桿，3-3-3是Y向驅(qū)動機(jī)構(gòu)，3-4是支撐板，3-5是吸附平臺，3_5_1是吸附板，3_5_2是真空吸附盤，3-5-3是導(dǎo)向槽，4是換向調(diào)整機(jī)構(gòu)，4-1是換向機(jī)架，4-1-1是支撐柱，4-1-2是橫梁，4-2是承載板，4-3是旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)，4-4是旋轉(zhuǎn)軸，4-5是旋轉(zhuǎn)框架，4_6是真空吸盤，4-7是安裝板，4-8是Y向滑軌，4-9是Y向直線驅(qū)動機(jī)構(gòu)，4-10是移動框架，4-10-1是上支撐板，
4-10-2是下支撐板，4-10-3是支撐桿，4-11是豎直導(dǎo)向桿，4-12是升降氣缸，5是檢測對位機(jī)構(gòu)，5-1是支架，5-2是X向直線驅(qū)動機(jī)械手，5-3是Y向精密滑臺，5-4是Z向精密滑臺，5-5是檢測相機(jī)，6是研磨機(jī)構(gòu)，6-1是研磨機(jī)架，6-2是粗研磨機(jī)構(gòu)，6-2-1是Y軸向粗研磨導(dǎo)軌，6-2-2是Z軸向粗研磨導(dǎo)軌，6-2-3是粗研磨安裝板，6-2-4是粗研磨機(jī)，6-2-5是Y軸向粗研磨驅(qū)動機(jī)構(gòu)，6-2-6是Z軸向粗研磨驅(qū)動機(jī)構(gòu)，6-3是精研磨機(jī)構(gòu)，6-3-1是Y軸向精研磨導(dǎo)軌，6-3-2是Z軸向精研磨導(dǎo)軌，6-3-3是精研磨安裝板，6-3-4是精研磨機(jī)，6-3-5是Y軸向精研磨驅(qū)動機(jī)構(gòu)，6-3-6是Z軸向精研磨驅(qū)動機(jī)構(gòu)。
【具體實施方式】
[0028]參看附圖1-14為一種玻璃基板自動研磨裝置的具體實施例，結(jié)構(gòu)中包括帶有X向直線驅(qū)動機(jī)構(gòu)1-1的機(jī)架底座1、設(shè)置在X向直線驅(qū)動機(jī)構(gòu)1-1上