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一種檢測玻璃基板破損和裂紋的裝置及方法與流程

文檔序號:11197356閱讀:1786來源:國知局
一種檢測玻璃基板破損和裂紋的裝置及方法與流程

本發(fā)明是應(yīng)用于液晶面板生產(chǎn)過程中的一種檢測玻璃基板破損和裂紋的裝置及方法。



背景技術(shù):

液晶面板在生產(chǎn)過程中,玻璃基板需要進行涂布、曝光、顯影、烘烤等制程,由于經(jīng)過的設(shè)備多,且生產(chǎn)流程長,容易造成玻璃基板邊角破裂和裂紋,如果未及時發(fā)現(xiàn),會流入后制程污染設(shè)備,造成設(shè)備損傷,并且不易查到造成破裂的真正原因。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

為了避免玻璃基板在生產(chǎn)過程中邊角破裂和裂紋現(xiàn)象發(fā)生不易被發(fā)現(xiàn)造成破裂的現(xiàn)象發(fā)生,設(shè)置一種檢測玻璃基板破損和裂紋的裝置及方法,提高玻璃基板的制程良率。

一種檢測玻璃基板破損和裂紋的裝置,其特征在于,包括,光感應(yīng)系統(tǒng)、玻璃基板加工單元以及控制所述光感應(yīng)系統(tǒng)和玻璃基板加工單元的中央控制系統(tǒng);

其中,所述光感應(yīng)系統(tǒng)設(shè)置在玻璃基板加工單元入口處,玻璃基板進入玻璃基板加工單元時光感應(yīng)系統(tǒng)得到感應(yīng),將感應(yīng)信號反饋至中央控制系統(tǒng)。

所述的檢測玻璃基板破損和裂紋的裝置,其中,所述光感應(yīng)系統(tǒng)包括光源發(fā)射器和光源接收器,所述光源發(fā)射器和光源接收器成對設(shè)置在玻璃基板加工單元入口處玻璃基板經(jīng)過區(qū)域的上下兩邊,光源發(fā)射器發(fā)射的光穿過玻璃基板后被光源接收器接收。

所述的檢測玻璃基板破損和裂紋的裝置,其中,所述光源發(fā)射器和光源接收器設(shè)置在玻璃基板加工單元入口處位于玻璃基板待檢測邊的上下位置,所述玻璃基板待測邊為平行于玻璃基板運動方向的兩個邊。

所述的檢測玻璃基板破損和裂紋的裝置,其中,所述光源發(fā)射器能夠發(fā)出紅外線,所述光源接收器能夠檢測紅外線能量變化。

所述的檢測玻璃基板破損和裂紋的裝置,其中,所述玻璃基板由機械手臂運送至玻璃基板加工單元,所述光源發(fā)射器和光源接收器為多對,且避開所述機械手臂的正上下方位置設(shè)置。

所述的檢測玻璃基板破損和裂紋的裝置,其中,所述機械手臂包括三個支撐玻璃基板的支撐臂,所述支撐臂寬度不超過3cm。

所述的檢測玻璃基板破損和裂紋的裝置,其中,所述光源發(fā)射器發(fā)射的光的能量可調(diào)節(jié)。

一種檢測玻璃基板破損和裂紋的方法,包括以下步驟:

步驟一、中央控制系統(tǒng)控制光源發(fā)射器發(fā)出光,光源接收器接收光并將原始光能量信息m1反饋至中央控制系統(tǒng);

步驟二、玻璃基板進入玻璃基板加工單元并從光源發(fā)射器和光源接收器之間穿過,光源接收器將正常玻璃基板穿過過程中接收的光能信息m2反饋至中央控制系統(tǒng);

步驟三、當(dāng)玻璃基板邊緣有裂紋時,光源發(fā)射器發(fā)射的光穿過有裂紋的地方,此時光源接收器接收的光能信息m3反饋至中央控制系統(tǒng);

步驟四、中央控制系統(tǒng)對光能量信息m2和光能量信息m3進行處理。

所述的檢測玻璃基板破損和裂紋的方法,其中,步驟四中,中央控制系統(tǒng)通過對比光能量信息m2和m3是否相等判斷是否停止玻璃基板加工單元的運行。

所述的檢測玻璃基板破損和裂紋的方法,其中,所述光能量信息m2和光能量信息m3相同,所述玻璃基板加工單元繼續(xù)運行,所述光能量信息m2和光能量信息m3不同,中央控制系統(tǒng)控制玻璃基板加工單元停止運行。

本發(fā)明具有以下優(yōu)點:在玻璃基板加工單元入口處設(shè)置光源發(fā)射器和光源接收器,通過檢測發(fā)射器發(fā)出的光是否能量變化來判斷玻璃基板被檢測區(qū)域是否有裂紋或破損,并停止玻璃基板加工單元運行,有效排除了裂紋破碎的玻璃基板,提高產(chǎn)品的制程良率。

在平行于玻璃基板運動方向的兩個邊上下位置設(shè)置光源發(fā)射器和光源接收器,一能夠全面排除裂紋破碎的玻璃基板。

設(shè)置多對光源發(fā)射器和光源接收器不僅可以在裂紋破碎發(fā)生率高的玻璃基板邊緣處檢測玻璃基板是否存在瑕疵,也可以在玻璃基板中央位置檢測是否存在裂紋破碎現(xiàn)象的發(fā)生,全面排除裂紋破碎基板。

附圖說明

在下文中將基于實施例并參考附圖來對本發(fā)明進行更詳細的描述。其中:

圖1是本發(fā)明檢測玻璃基板破損和裂紋的裝置主視圖;

圖2是本發(fā)明檢測玻璃基板破損和裂紋的裝置俯視圖。

在附圖中,相同的部件使用相同的附圖標(biāo)記。附圖并未按照實際的比例。

具體實施方式

下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步說明。

如圖1所示,為本發(fā)明一種檢測玻璃基板破損和裂紋的裝置的主視圖,包括:光感應(yīng)系統(tǒng)(圖中未繪制出)、玻璃基板加工單元1以及控制所述光感應(yīng)系統(tǒng)和玻璃基板加工單元1的中央控制系統(tǒng)(圖中未繪制出);其中,所述光感應(yīng)系統(tǒng)設(shè)置在玻璃基板加工單元1入口處,玻璃基板2進入玻璃基板加工單元1時接觸光感應(yīng)系統(tǒng),光感應(yīng)系統(tǒng)將信號反饋至中央控制系統(tǒng)。所述光感應(yīng)系統(tǒng)包括,光源發(fā)射器4、光源接收器5、所述光源發(fā)射器4和光源接收器5成對設(shè)置在玻璃基板加工單元1入口處玻璃基板2經(jīng)過區(qū)域的上下兩邊,光源發(fā)射器4發(fā)射的光穿過玻璃基板2后被光源接收器5接收。

其中,機械手臂3承載玻璃基板2進入玻璃基板加工單元1,所述光源發(fā)射器4和光源接收器5垂直相對應(yīng)分別設(shè)置在玻璃基板加工單元入口處玻璃基板經(jīng)過區(qū)域的上下兩邊,且避開正對機械手臂的上下位置,光源發(fā)射器4發(fā)射的光穿過玻璃基板后3被光源接收器5接收。

如圖2所示,為本發(fā)明檢測玻璃基板破損和裂紋的裝置俯視圖,在一個實施例中,所述光源發(fā)射器4和光源接收器5設(shè)置在玻璃基板加工單元2入口處位于玻璃基板待檢測邊的上下位置。所述玻璃基板待測邊為平行于玻璃基板運動方向的兩個邊。圖中箭頭方向為玻璃基板運動方向。

所述的檢測玻璃基板破損和裂紋的裝置,其中,所述光源發(fā)射器為可發(fā)出紅外線的設(shè)備,所述光源接收器為檢測紅外線能量的設(shè)備。

在一個實施例中,所述光源發(fā)射器和光源接收器為多對,分別設(shè)置在玻璃基板加工單元入口處玻璃基板經(jīng)過區(qū)域的上下兩邊,且避開正對機械手臂的上下位置。

所述的檢測玻璃基板破損和裂紋的裝置,其中,所述機械手臂3包括三個支撐玻璃基板的支撐臂:第一支撐臂31、第二支撐臂32以及第三支撐臂33,所述支撐臂寬度不超過3cm。

所述的檢測玻璃基板破損和裂紋的裝置,其中,所述光源發(fā)射器發(fā)射的光的能量可調(diào)節(jié)。

一種檢測玻璃基板破損和裂紋的方法,包括以下步驟:

步驟一、中央控制系統(tǒng)控制光源發(fā)射器發(fā)出光,光源接收器接收光并將原始光能量信息m1反饋至中央控制系統(tǒng);

步驟二、玻璃基板進入玻璃基板加工單元并從光源發(fā)射器和光源接收器之間穿過,光源接收器將正常玻璃基板穿過過程中接收的光能信息m2反饋至中央控制系統(tǒng);

步驟三、當(dāng)玻璃基板邊緣有裂紋時,光源發(fā)射器發(fā)射的光穿過有裂紋的地方,此時光源接收器接收的光能信息m3反饋至中央控制系統(tǒng);

步驟四、中央控制系統(tǒng)對光能量信息m2和光能量信息m3進行處理。

所述的檢測玻璃基板破損和裂紋的方法,其中,步驟四中,中央控制系統(tǒng)通過對比光能量信息m2和m3是否相等判斷是否停止玻璃基板加工單元的運行。

所述的檢測玻璃基板破損和裂紋的方法,其中,所述光能量信息m2和光能量信息m3相同,所述玻璃基板加工單元繼續(xù)運行,所述光能量信息m2和光能量信息m3不同,中央控制系統(tǒng)控制玻璃基板加工單元停止運行。

當(dāng)玻璃在機械手臂的取放時,玻璃邊緣接觸到光源發(fā)射器發(fā)出的光,如果玻璃邊緣有裂紋或者破損,光穿過玻璃基板,能量會發(fā)生變化,設(shè)備報警并停止。如果玻璃基板邊緣無裂紋或者破損,光穿過玻璃基板能量不會發(fā)生變化,加工設(shè)備則正常運行。

用這種檢測玻璃基板破損和裂紋的方法,使得每張玻璃基板都會進行裂紋和破裂檢查,不會造成漏檢;當(dāng)檢查出有裂紋時,設(shè)備能及時報警并停止,保證檢出及時性;不會講有裂紋的玻璃流入下制程設(shè)備中,減少設(shè)備污染的風(fēng)險性;能及時發(fā)現(xiàn)和鎖定異常,并幫助理清真因。

在玻璃基板加工單元入口處設(shè)置光源發(fā)射器和光源接收器,通過檢測發(fā)射器發(fā)出的光是否能量變化來判斷玻璃基板被檢測區(qū)域是否有裂紋或破損,并停止玻璃基板加工單元運行,有效排除了裂紋破碎的玻璃基板,提高產(chǎn)品的制程良率。

在平行于玻璃基板運動方向的兩個邊上下位置設(shè)置光源發(fā)射器和光源接收器,一能夠全面排除裂紋破碎的玻璃基板。

設(shè)置多對光源發(fā)射器和光源接收器不僅可以在裂紋破碎發(fā)生率高的玻璃基板邊緣處檢測玻璃基板是否存在瑕疵,也可以在玻璃基板中央位置檢測是否存在裂紋破碎現(xiàn)象的發(fā)生,全面排除裂紋破碎基板。

雖然已經(jīng)參考優(yōu)選實施例對本發(fā)明進行了描述,但在不脫離本發(fā)明的范圍的情況下,可以對其進行各種改進并且可以用等效物替換其中的部件。尤其是,只要不存在結(jié)構(gòu)沖突,各個實施例中所提到的各項技術(shù)特征均可以任意方式組合起來。本發(fā)明并不局限于文中公開的特定實施例,而是包括落入權(quán)利要求的范圍內(nèi)的所有技術(shù)方案。

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