專利名稱：用于電子束加工的室體裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于電子束加工的室體裝置，特別可用于在真空中的電子 束工件焊接，特別涉及有小室體的機(jī)器。
背景技術(shù)：
電子束加工，例如電子束工件焊接，通常是在一些室體的里面進(jìn)行，其中 在這些室體的里面有一些工件托具。工件被送到這些托具上，然后通過室體上 面 一個(gè)可以閉合的孔后被放下。
在焊接裝置和工件之間進(jìn)行焊縫時(shí)需要產(chǎn)生一些相應(yīng)的移動(dòng)，例如通過電 子束的磁偏轉(zhuǎn)產(chǎn)生移動(dòng)，或通過移動(dòng)電子束發(fā)生器產(chǎn)生移動(dòng)，或利用帶有一個(gè) 或多個(gè)軸的推桿去移動(dòng)工件產(chǎn)生移動(dòng)，或同時(shí)利用上述幾種方法共同產(chǎn)生移動(dòng)。
要通過室體的小孔來更換工件通常是比較困難和耗費(fèi)時(shí)間的事情，尤其是 在小的室體里焊接小工件的時(shí)候。因此，人們已經(jīng)發(fā)明出一些機(jī)器用來大規(guī)模 制造這些小工件，在這些機(jī)器里有一個(gè)可移動(dòng)的室體底座，在室體底座上面裝 有托具和用于移動(dòng)工件的推桿，而這些室體底座同時(shí)也作為室體的蓋子，可以 被降低下來進(jìn)行工件更換。室體底座還可以被設(shè)計(jì)容納多個(gè)工件。
為了縮短昂貴的電子束焊接安裝周期，人們懂得輪流使用兩個(gè)可互換的室 體底座。這樣，可以在室體的外面的一個(gè)室體底座上更換工件，然后在室體的 里面利用第二個(gè)室體底座進(jìn)行工件焊接。因此，工件的底座是可以互換的。
在這些類似的室體裝置中，用來移動(dòng)室體內(nèi)的推桿的推桿軸的傳動(dòng)裝置通 常安裝在室體上，例如室體的底座上，并通過活動(dòng)連線提供傳動(dòng)力。
US 6 710 360 B2文件公開了一種離子植入器，其中，這種離子植入器有一 個(gè)可以產(chǎn)生離子束的離子束源，還有一個(gè)真空或植入室體，其中，室體里的工 件在擺放上使其一個(gè)工件表面可以進(jìn)行離子植入。離子植入器還有一個(gè)工件托 放結(jié)構(gòu)，這個(gè)工件托放結(jié)構(gòu)與植入室體相連，并托住工件。工件托放結(jié)構(gòu)包括 一個(gè)旋轉(zhuǎn)件，其中，旋轉(zhuǎn)件安裝在植入室體里并且能夠旋轉(zhuǎn)；工件托放結(jié)構(gòu)還 包括一個(gè)平移件，其中，平移件可移動(dòng)地與旋轉(zhuǎn)件相連。
US 6 710 360 B2文件公開了一種離子植入器，其中，這種離子植入器包括 一個(gè)可以產(chǎn)生離子束的離子束源，還有一個(gè)真空或植入室體，其中，室體里的 工件在擺放上使其一個(gè)工件表面可以進(jìn)行離子植入。離子植入器包括一個(gè)帶掃 描臂的工件托放結(jié)構(gòu)，其中這個(gè)工件托放結(jié)構(gòu)從植入室體的一個(gè)壁上的開口穿 過進(jìn)入植入室體的內(nèi)部空間。
DE 44 25 090 Cl文件公開了一種電子槍，其中，這種電子槍能夠在軸上轉(zhuǎn) 動(dòng)，用于對(duì)任何幾何形狀的工件上進(jìn)行淬水和焊接加工。在電子槍和接收器之 間有一個(gè)由兩部分組成的外殼，而這個(gè)外殼的分隔點(diǎn)是傾斜的。在分隔點(diǎn)的空 間里有一個(gè)傳動(dòng)件，該傳動(dòng)件是由中間裝有傳動(dòng)盤的兩個(gè)圓盤組成。當(dāng)傳動(dòng)盤 轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，相應(yīng)的有齒部件帶動(dòng)這些圓盤以及外殼部分隨之轉(zhuǎn)動(dòng)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種用于電子束加工的室體裝置，對(duì)小型工件進(jìn)行 高效率的加工。
按照權(quán)利要求1說明的室體裝置能夠?qū)崿F(xiàn)該目的。 從屬權(quán)利要求中說明了更多好的實(shí)施例。
本發(fā)明提供了一個(gè)室體裝置，該室體裝置包括一個(gè)室體外殼，所述室體外 殼限定一個(gè)室體空間，該室體裝置還設(shè)有至少一個(gè)送入/送出孔，還有一個(gè)圍住 送入/送出孔的圓環(huán)，其中該圓環(huán)被支撐至在室體外殼并能夠圍繞著一個(gè)相對(duì)于 送入/送出孔的轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，還有一個(gè)室體罩，該室體罩與圓環(huán)相連，用于封蓋送 入/送出孔，并且可以與圓環(huán)一起相對(duì)于送入/送出孔旋轉(zhuǎn)。本發(fā)明的一個(gè)基本 構(gòu)思就是要有一個(gè)可以圍繞著轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)的室體罩，比如說，該室體罩可以是室 體底座，從而使之成為一個(gè)推桿軸，而無須在室體內(nèi)確實(shí)地另加一支推桿。
該室體裝置的優(yōu)點(diǎn)在于包括一個(gè)旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)裝置，可以使圓環(huán)以及連接在圓 環(huán)上的室體罩一起轉(zhuǎn)動(dòng)。在許多情況下，當(dāng)室體里的空氣被排空后，僅剩下空 氣的負(fù)壓使室體罩留在圓環(huán)上。如果空氣的負(fù)壓受到巨大的相反作用力，比如 說，當(dāng)室體罩就是室體底座時(shí)，如果上面放著沉重的工件，那么比較好的做法 就是用扣鎖的方式將室體罩扣鎖在圓環(huán)上。
該室體裝置優(yōu)選包括一個(gè)泵，而且該室體外殼優(yōu)選包括一個(gè)流入/流出孔可 以將室體里的流體排出以及讓流體進(jìn)入室體內(nèi)。
該室體裝置優(yōu)選包括一個(gè)用于將室體罩提升的升起裝置，當(dāng)把室體罩與圓 環(huán)相連時(shí)就可以將室體外殼的送入/送出孔關(guān)閉，而當(dāng)降低室體罩時(shí)就可以把送 入/送出孔打開。
該室體裝置優(yōu)選包括一個(gè)外部件，該外部件可以與圓環(huán)相連圍繞著轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn) 動(dòng)的，以及一個(gè)內(nèi)部件，該內(nèi)部件在外部件面向室體的一側(cè)，并使室體罩可以 封閉送入Z送出孔。
內(nèi)部件優(yōu)選可以移動(dòng)，并且可以相對(duì)于外部件有選擇性地鎖合，這使得推 桿軸可以實(shí)現(xiàn)。
該室體裝置優(yōu)選包括一個(gè)耦合器，其中該耦合器包括 一根連接在內(nèi)部件
上不可轉(zhuǎn)動(dòng)的軸桿； 一個(gè)在外部件上的環(huán)形表面，其中該環(huán)形表面相對(duì)于軸桿
形成一個(gè)楔形的環(huán)形間隙； 一個(gè)楔形圓環(huán)，該楔形圓環(huán)與環(huán)形間隙互相補(bǔ)充， 并且被安裝成可以圍繞著軸桿的縱軸同軸移動(dòng)；以及一個(gè)彈簧，該彈簧使圓環(huán) 向軸桿的縱軸方向傾斜至環(huán)形間隙之中，從而在內(nèi)部件和外部件之間產(chǎn)生一定 的壓力，使得內(nèi)部件相對(duì)于外部件有選擇地移動(dòng)及鎖合。
該楔形圓環(huán)優(yōu)選依靠彈簧的傾斜力移動(dòng)，從而使內(nèi)部件可以相對(duì)于外部件 有選j奪地移動(dòng)。
該內(nèi)部件優(yōu)選在外部件旋轉(zhuǎn)時(shí)與外部工具相連，如提升裝置，而外部工具 則能夠使內(nèi)部件不能旋轉(zhuǎn)，或使內(nèi)部件獨(dú)立于旋轉(zhuǎn)的外部件獨(dú)自轉(zhuǎn)動(dòng)。
該室體裝置優(yōu)選包括 一個(gè)有齒圓環(huán)，該有齒圓環(huán)可安裝在外部件或內(nèi)部 件上； 一個(gè)齒輪，該齒輪對(duì)應(yīng)設(shè)置在內(nèi)部件或外部件上，與有齒圓環(huán)相嚙合，
外部件和內(nèi)部件的相對(duì)運(yùn)動(dòng)可使該齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，并且與驅(qū)動(dòng)軸桿相連(例如，——一 種工件托放工具)使之轉(zhuǎn)動(dòng)。


附圖中有更多關(guān)于本發(fā)明的特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)的實(shí)施例的清楚"i兌明。 附圖l是本發(fā)明室體裝置第一種實(shí)施例的縱向橫截面圖。
附圖2是本發(fā)明室體裝置第二種實(shí)施例的縱向橫截面圖。 附圖3是本發(fā)明室體裝置第三種實(shí)施例的縱向橫截面圖。 附圖4是本發(fā)明室體裝置第四種實(shí)施例的縱向橫截面圖。 附圖標(biāo)記說明列表
1 -室壁2 -圓環(huán)2a _外部有齒系統(tǒng)
3 -室體罩4 一傳動(dòng)裝置4a _馬達(dá)
4b-驅(qū)動(dòng)軸桿4c -小齒輪5 -密封件
6 -提升裝置7 -齒輪8 -有齒圓環(huán)
9 -軸桿10-齒條11 -凹槽
12-外部件13-軸承14 -內(nèi)部件
15 -圓環(huán)16 -彈簧17 -圓盤
18 -蟲咼才干^由19 -厶20_主軸
21 -驅(qū)動(dòng)軸桿22 --蓋23 -室體
24 -轉(zhuǎn)軸25 --平移軸26 -室體外殼
27 -耦合器28--推桿29 -推桿
BO-送入/送出孔31 -32 -流入/流出孔
SS-泵34 --圓錐形表面35 -線
36 -軸承37 --密封件38 -密封件
39-凸出部位40- 通孔41 - 凹洞
42 -通孔43 - 閉鎖裝置44 - 有齒系統(tǒng)
100--室體裝置H —提升裝置6的升高方向
S-提升裝置6的降低方向 F-外部件12和內(nèi)部件14之間的間隙
具體實(shí)施例方式
對(duì)于一些可以安裝在室體外殼附近或里面的用于電子束加工的方法，例如 電子束發(fā)生器、偏轉(zhuǎn)線圈等，附圖中并未進(jìn)行說明。
附圖1顯示的是室體裝置100的第一種實(shí)施例，根據(jù)第一種實(shí)施例所述， 室體裝置包括了一個(gè)室體外殼26，該室體外殼限定了一個(gè)室體空間23，在該室 體空間里可進(jìn)行電子束加工，例如真空電子束工件焊接。在這個(gè)實(shí)施例中，室 體外殼26包括圓柱體的室壁1、蓋22和送入/送出孔30。室壁l的圓柱軸限定 了室體空間23的縱軸。蓋22形成了室體空間23在縱軸方向的上邊界。在室體 外殼26的縱軸方向的底面上形成了送入/送出孔30，其形狀是圓形，直徑和圓 柱體的室壁1相同。
室體裝置100還包括一個(gè)圓環(huán)2。該圓環(huán)2包括一個(gè)外部有齒系統(tǒng)2a。該 圓環(huán)2由一個(gè)軸承36和環(huán)狀密封件5托放安裝在室壁1外部的室體外殼26帶 送入/送出孔30的一側(cè)，使得圓環(huán)2圍繞并限定該送入/送出孔30。該圓環(huán)2 以形狀為滾球軸承的軸岸義36圍繞著轉(zhuǎn)軸31轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)軸31的中心與送入/送出 孔30的中心對(duì)應(yīng)。在本實(shí)施例中的轉(zhuǎn)軸31相當(dāng)于室壁1的圓柱軸。密封件5 在室體外殼26和圓環(huán)2之間。例如，密封件5可以是0形密封圈，該密封圈可 以從德國魏茵海姆的Freudenberg公司購買，該公司的密封圈可在干燥或油膩 的環(huán)境下使用。
室體裝置100還帶有一個(gè)室體罩3。在本實(shí)施例中，室體罩3是一個(gè)圓盤狀 的底座。室體罩3可與圓環(huán)2相連接來封蓋送入/送出孔30。在封閉的狀態(tài)下， 圓環(huán)2的凹槽中的環(huán)形密封件37被放到圓環(huán)2和室體罩3之間。在封閉的狀態(tài) 下，室體罩3僅與圓環(huán)2相連接，與圓環(huán)2—起相對(duì)于室壁1轉(zhuǎn)動(dòng)。
室體裝置100還包括一個(gè)旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)裝置4。該旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)裝置4包括一個(gè)馬達(dá) 4a(例如電動(dòng)馬達(dá))、 一個(gè)驅(qū)動(dòng)軸桿4b和一個(gè)小齒輪4c。該小齒輪4c安裝在驅(qū) 動(dòng)軸桿仆上，不可轉(zhuǎn)動(dòng)。馬達(dá)4a控制驅(qū)動(dòng)軸桿4b轉(zhuǎn)動(dòng)。旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)裝置4安裝
在室壁1的外面，小齒輪4c與圓環(huán)2上的外部有齒系統(tǒng)2a相嚙合。
室體裝置100還進(jìn)一步包括在室壁1上的一個(gè)流入/流出孔32以及泵33。 在本實(shí)施例中，泵33安裝在室壁1的外面并通過線35與在室壁1上的流入/流 出孔32相連接，因而也與室體空間23相連接。
室體裝置100還包括一個(gè)外部裝置，在本實(shí)施例中，該外部裝置是一個(gè)提 升裝置6。舉例說，該提升裝置6可以是一個(gè)氣動(dòng)裝置。如要將室體罩3移至圓 環(huán)2,在本實(shí)施例中就要通過提升裝置6將室體罩3按方向H提升，如果要從圓 環(huán)2上移開，就要將室體罩3按方向S降低。在本實(shí)施例中，方向H和S相對(duì) 于轉(zhuǎn)軸31來說是在同一軸上的。
室體裝置IOO還可包括其他結(jié)構(gòu)。以下說明的是其他一些不同結(jié)構(gòu)的例子。 室體外殼26的壁和蓋子可以一體化。送入/送出孔30可以在室體空間的每 一側(cè)?？梢杂卸鄠€(gè)送入/送出孔，也可以將送入/送出孔30安排在室體外殼26 上的指定位置上。另外，室體外殼26可以是任何理想的形狀，比方說可以是盒 狀。室體外殼26在送入/送出孔30上包括一個(gè)環(huán)形裝置、附加裝置或類似的裝 置，可以使圓環(huán)旋緊到該裝置上。在圓環(huán)里面或附件可安裝一個(gè)閉鎖裝置(未 有說明)，例如可以在室體罩3和圓環(huán)2之間作刺刀扣狀閉鎖連接，或者加裝插 栓，用一根圓柱體插入室體罩3中穿過圓環(huán)2。
以下是對(duì)照附圖1中的第一實(shí)施例對(duì)室體裝置100的操作的說明。 提升裝置6將室體罩3按方向H提升到圓環(huán)2。這一過程使室體罩3封蓋住 送入/送出孔30。然后，開動(dòng)泵33，通過流入/流出孔32和線35,使室體空間 23內(nèi)產(chǎn)生負(fù)壓。這樣，室體罩3就會(huì)固定在圓環(huán)2的里面或上面。為了緊固室 體罩3,可以安裝附加的閉鎖裝置以防止室體罩3在負(fù)載的情況下克服室體空間 內(nèi)的負(fù)壓從圓環(huán)2上脫離，比如說在放置了沉重的工件后導(dǎo)致脫離。為了保持 室體空間23內(nèi)的負(fù)壓，在室壁1和圓環(huán)2上安裝了密封件5,而在室體罩3和 圓環(huán)2上則安裝密封件37。當(dāng)在室體空間23里產(chǎn)生了負(fù)壓以及室體罩3固定了 在圓環(huán)2的里面或上面以后，將提升裝置6從室體罩3上按方向S移開。附圖1 說明了這種狀態(tài)。
在這種狀態(tài)下，S走轉(zhuǎn)傳動(dòng)器4的馬達(dá)4a會(huì)通過傳動(dòng)軸桿4b以及與外部有 齒系統(tǒng)2a相嚙合的小齒輪4c的共同作用使圓環(huán)2轉(zhuǎn)動(dòng)。在這個(gè)過程中，圓環(huán)2 在軸承36上沿著室壁1的外部轉(zhuǎn)動(dòng)，象空氣一樣的流體在泵33的作用下穿過 線35和流入/流出孔32和/或一個(gè)并未在此顯示的閥門流入室體空間23里面， 此時(shí)，按方向S降低室體罩3即可開啟送入/送出孔30。
在第一實(shí)施例里的室體裝置，其中在內(nèi)部安裝了工件轉(zhuǎn)軸，但在室體空間 里沒有傳動(dòng)軸桿，也沒有傳動(dòng)軸桿穿過室體壁。
附圖2圖示為室體裝置100的第二種實(shí)施例。第二種實(shí)施例與第一種實(shí)施 例相似，只是室體罩3的構(gòu)造及以下說明的一些特征上有所不同。室體罩3仍 以底座的形式出現(xiàn)。在本實(shí)施例中，室體罩3包括一個(gè)外部件12、 一個(gè)內(nèi)部件 14和一個(gè)耦合器27。
正如第一種實(shí)施例中的室體罩3—樣，外部件12可以和圓環(huán)2相連接，從 而可以圍繞著轉(zhuǎn)軸31轉(zhuǎn)動(dòng)。外部件12是圓盤狀，外部的中間有一個(gè)凹洞41, 還有一個(gè)通孔42。在凹洞41上安裝有一個(gè)不可轉(zhuǎn)動(dòng)的閉鎖裝置43,在轉(zhuǎn)軸31 的里面還有一個(gè)圓錐形表面34。轉(zhuǎn)軸31相當(dāng)于圓錐形表面34的錐軸。
在室體罩3封蓋住送入/送出孔30的情況下，內(nèi)部件14 ^1安裝在外部件12 的內(nèi)部，面向室體空間23。在內(nèi)部件14朝向外部件12的一側(cè)包括了一個(gè)凸出 部位39。內(nèi)部件14還包括通孔40,這些通孔與轉(zhuǎn)軸31軸心平行。
在本實(shí)施例中，耦合器27包括軸桿9、在外部件12上的環(huán)形表面34、圓 環(huán)15和彈簧16。軸桿9不可轉(zhuǎn)動(dòng)地相連并緊固在內(nèi)部件14上。軸桿9的位置 與環(huán)形表面34相對(duì)，由此形成了楔形環(huán)狀間隙F。在軸桿9面向遠(yuǎn)離室體空間 "的一端有一個(gè)凹槽11。圓環(huán)15上有一個(gè)與環(huán)狀間隙F的凹槽相配的楔形部 分。圓環(huán)15安裝在對(duì)應(yīng)轉(zhuǎn)軸31的軸桿9的縱軸上。圓環(huán)15可移動(dòng)并與縱軸同 軸。彈簧16安裝在內(nèi)部件14面向外部件15的一側(cè)上，使圓環(huán)15偏向間隙F。
在本實(shí)施例中，室體裝置IOO進(jìn)一步包括一個(gè)有齒圓環(huán)8。該有齒圓環(huán)8在 外部件l2面向內(nèi)部件14的一側(cè)上，與外部件12上的通孔同軸。在本實(shí)施例中， 該有齒圓環(huán)8的有齒系統(tǒng)44是內(nèi)部齒輪系統(tǒng)(按軸桿9的縱軸方向及半徑向里
面方向)。
室體裝置100還包括齒輪7。該齒輪7安裝在工件托放裝置(未有說明)的 傳動(dòng)軸桿21上。該齒輪7是小齒輪，通過有齒系統(tǒng)44與有齒圓環(huán)8嚙合。傳 動(dòng)軸桿21通過通孔40延伸進(jìn)入室體空間2 3里面。
室體裝置100還包括一個(gè)環(huán)形密封件38。該密封件38安裝在內(nèi)部件14和 外部件12之間的通孔42里面，在軸桿9的縱軸周圍。舉例說，密封件38可以 是一個(gè)O形密封圏，這種密封圈可以向德國魏茵海姆的Freudenberg^^司購買。
室體罩3還包括一個(gè)軸承13,例如一個(gè)滾^^軸承。軸承13安裝在有齒圓環(huán) 8的外面，按半徑方向位于外部件12和內(nèi)部件14之間。
提升裝置6還包括齒條10。該齒條10安裝在提升裝置6上面，其形狀與凹 槽11相配。
在本實(shí)施例中，由提升裝置6控制室體罩3從而開閉送入/送出孔30、負(fù)壓 的產(chǎn)生以及流體流入室體空間23之中，這些狀態(tài)產(chǎn)生的方式均與第一實(shí)施例相同。
附圖2反映了控制室體罩3閉合送入/送出孔30、負(fù)壓在室體空間23里面 產(chǎn)生以及提升裝置6離開室體罩3的狀態(tài)。在這種狀態(tài)下，當(dāng)圓環(huán)2在轉(zhuǎn)動(dòng)裝 置的馬達(dá)通過傳動(dòng)軸桿4b和小齒輪4c的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，內(nèi)部件14和外部件12 一起轉(zhuǎn)動(dòng)。內(nèi)部件14和外部件12的同時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)是由內(nèi)部件14和外部件12之間 壓力產(chǎn)生的。這種壓力由耦合器27提供，其中彈簧16使圓環(huán)15按軸桿9的縱 軸方向偏向于間隙F里面。
為了有選擇性地使內(nèi)部件14相對(duì)于外部件12運(yùn)動(dòng)，可以讓圓環(huán)15向彈簧 16的偏向力的相反方向移動(dòng)。在本實(shí)施例中，通過按方向H升高提升裝置6來 實(shí)現(xiàn)該移動(dòng)。在這個(gè)過程中，安裝在提升裝置6上面的齒條10與凹槽11嚙合。 其結(jié)果是，圓環(huán)15向彈簣16的偏向力的相反方向移動(dòng)。在這種情況下，內(nèi)部 件M與凹槽11里的齒條10嚙合，不可轉(zhuǎn)動(dòng)。如果在這種狀態(tài)下圓環(huán)2在轉(zhuǎn)動(dòng) 裝置的馬達(dá)的傳動(dòng)軸桿仆和小齒輪4c的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)，那么外部件12就會(huì)在內(nèi) 部件M不動(dòng)的情況下轉(zhuǎn)動(dòng)。外部件12與內(nèi)部件14相互之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)使齒輪
7在有齒圓環(huán)8的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)，因此也使傳動(dòng)軸桿21被驅(qū)動(dòng)，因此都轉(zhuǎn)動(dòng)起來。
另一種情況是，內(nèi)部件14被一個(gè)設(shè)備(未有說明)帶動(dòng)，使之可以獨(dú)立于 外部件12獨(dú)自轉(zhuǎn)動(dòng)。
如果將提升裝置6按方向S降低，由于齒條10離開凹槽11,那么就會(huì)再次 產(chǎn)生內(nèi)部件14與外部件12之間的壓力，而圓環(huán)15也會(huì)在彈簧16的作用力之 下偏向于環(huán)形間隙F里面。
附圖3反映了室體裝置100的第三種實(shí)施例。第三種實(shí)施例與第二實(shí)施例 相類似，只是在以下說明的一些特征上有所不同。齒輪7與有齒圓環(huán)8相嚙合， 在有齒圓環(huán)44的外面形成了向半徑方向的有齒系統(tǒng)44。
在本實(shí)施例中，室體裝置100包括室體空間23里的一個(gè)推桿28。在本實(shí)施 例中，推桿28包括一個(gè)蝸桿軸18和一個(gè)平的圓盤17。該蝸桿軸18安裝在齒輪 7的傳動(dòng)軸桿21上。該圓盤17安裝在蝸桿軸18上，使之能夠圍繞著轉(zhuǎn)軸24轉(zhuǎn) 動(dòng)。該轉(zhuǎn)軸24與傳動(dòng)軸斥干21相垂直。
在外部件12相對(duì)于內(nèi)部件14移動(dòng)的狀態(tài)下，齒輪7被有齒圓環(huán)8帶動(dòng)， 傳動(dòng)軸桿21因此也被帶動(dòng)，這樣它們都在轉(zhuǎn)動(dòng)。然后，傳動(dòng)軸桿21通過蝸桿 軸18帶動(dòng)圓盤17,從而圍繞著轉(zhuǎn)軸24轉(zhuǎn)動(dòng)。
附圖4反映了室體裝置100的第四實(shí)施例。第四實(shí)施例與第二實(shí)施例類似， 只是在以下"i兌明的一些特征上有所不同。齒輪7與有齒圓環(huán)8相嚙合，在有齒 圓環(huán)44的外面形成了向半徑方向的有齒系統(tǒng)44。
在本實(shí)施例中，室體裝置100包括室體空間23里的一個(gè)推桿29。在本實(shí)施 例中，推桿29包括一個(gè)蝸桿軸18、 一個(gè)主軸20和一個(gè)可直線移動(dòng)的臺(tái)19。該 蝸桿軸18安裝在齒輪7的傳動(dòng)軸桿21上。該主軸20安裝在蝸桿軸18上垂直 于傳動(dòng)軸桿21,使之能夠轉(zhuǎn)動(dòng)。該臺(tái)19可在主軸20上沿著平移軸26移動(dòng)。
在外部件12相對(duì)于內(nèi)部件14移動(dòng)的狀態(tài)下，齒輪7被有齒圓環(huán)8帶動(dòng)， 傳動(dòng)軸桿21因此也^L帶動(dòng)，這樣它們都在轉(zhuǎn)動(dòng)。然后，傳動(dòng)軸桿21通過蝸桿 軸18和主軸20帶動(dòng)臺(tái)19沿著平移軸25移動(dòng)。
在進(jìn)一步的實(shí)施例中，帶有附圖3或附圖4中反映的特征的室體裝置100能夠在室體空間23內(nèi)提供一個(gè)起動(dòng)裝置(未有說明)，使外部件12和內(nèi)部件14 之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)可以傳遞至其他軸24和25上。軸24和軸25交替運(yùn)動(dòng)。另夕卜， 在軸桿9的對(duì)應(yīng)點(diǎn)上有多個(gè)凹槽11對(duì)應(yīng)于推桿28和29的多個(gè)工作位置，其中 當(dāng)提升裝置6按方向H提升時(shí)，齒條10插入這些推桿之中。
該室體裝置的進(jìn)一步的實(shí)施例，例如雙室體空間形式的裝置，每隔120°就 會(huì)有一個(gè)室體罩，這幾個(gè)室體罩輪流閉合在兩個(gè)室體空間上，用來減少加工過 程的時(shí)間，但此實(shí)施例并未在此說明。
已說明的實(shí)施例的全部特征均可以按要求合并在一起。
我們清楚說明，為了作為首次公開的內(nèi)容，也為了使所提出申請(qǐng)的發(fā)明有 別于實(shí)施例和/或權(quán)利要求書的特征內(nèi)容，在本說明書和/或權(quán)利要求書中公開 的全部特征均將被單獨(dú)及獨(dú)立地公開。我們清楚說明，為了作為首次公開的內(nèi) 容，也為了限定發(fā)明的權(quán)利要求，特別是為了限定數(shù)值范圍，實(shí)體群里的全部 數(shù)值范圍或提示已公開了全部可能存在的中間數(shù)值或中間實(shí)體。
權(quán)利要求
1.一種室體裝置(100)，用于電子束加工，包括一個(gè)室體外殼(26)，所述室體外殼限定一個(gè)室體空間(23)，至少一個(gè)送入/送出孔(30)，一個(gè)圓環(huán)(2)，所述圓環(huán)被支撐至室體的外殼(26)上并包圍著送入/送出孔(30)，并且能夠圍繞著一個(gè)相對(duì)于送入/送出孔(30)的轉(zhuǎn)軸(31)轉(zhuǎn)動(dòng)，以及一個(gè)室體罩(3)，所述室體罩與圓環(huán)(2)相連用于封蓋送入/送出孔(30)，并且可以與圓環(huán)(2)一起相對(duì)于送入/送出孔(30)轉(zhuǎn)動(dòng)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的室體裝置，其特征在于，還包括一個(gè)驅(qū)動(dòng)圓環(huán)(2 ) 轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)盤(4)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的室體裝置，其特征在于，還包括一個(gè)封口( 5 )， 設(shè)在室體外殼U6)和圓環(huán)(2)之間。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的室體裝置，其特征在于，還包括用于 閉鎖圓環(huán)(2)和室體罩(3)的閉鎖裝置。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的室體裝置，其特征在于，室體罩(3 ) 為圓盤形狀。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的室體裝置，其特征在于，室體外殼(26 ) 設(shè)有一個(gè)流入/流出孔(32)可以讓流體可以流入室體空間(23)內(nèi)，并且有一 個(gè)泵(33)把流體排出室體空間(23)。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1至6任一項(xiàng)所述的室體裝置，其特征在于，還包括一個(gè) 用于升高或降低室體罩(3)的提升裝置(6)。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1至7任一項(xiàng)所述的室體裝置，其特征在于，室體罩(3 ) 包括一個(gè)外部件(12)，該外部件(12)可與圓環(huán)(2)相連并圍繞轉(zhuǎn)軸(31) 旋轉(zhuǎn)，以及一個(gè)內(nèi)部件(14)，其中該內(nèi)部件(14)設(shè)在外部件(12)面向室體 空間(23)的一側(cè)，使室體罩(3)處于封閉送入/送出孔(30)的狀態(tài)。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的室體裝置，其特征在于，內(nèi)部件(14)可選擇性 移動(dòng)并對(duì)應(yīng)外部件(12 )鎖合。
10. 根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的室體裝置，其特征在于，還包括耦合器(27 ), 該耦合器(27)包括一根軸桿(9),不可轉(zhuǎn)動(dòng)的連接在內(nèi)部件(14)上，一個(gè)環(huán)形表面(34 ),設(shè)在外部件(U )上，該環(huán)形表面(34 )相對(duì)于軸桿 (9 )形成一個(gè)楔形的環(huán)形間隙(F )，一個(gè)楔形圓環(huán)U5),與環(huán)形間隙(F)互相補(bǔ)充，并且被安裝成可以圍繞 著軸桿(9)的縱軸同軸移動(dòng)，以及一個(gè)彈簧(16 )，該彈簧(16 )使圓環(huán)(l5 )向軸桿(9 )的縱軸方向傾斜 至環(huán)形間隙(F)之中，從而在內(nèi)部件(14)和外部件(12)之間產(chǎn)生適合的壓 力。
11. 根據(jù)權(quán)利要求IO所述的室體裝置，其特征在于，楔形圓環(huán)(15)可以 依靠彈簧(16)的傾斜力移動(dòng)，從而使內(nèi)部件(14)可以相對(duì)于外部件(12) 有選4奪地移動(dòng)。
12. 根據(jù)權(quán)利要求9至11任一項(xiàng)所述的室體裝置，其特征在于，在外部件 (12 )旋轉(zhuǎn)時(shí)，內(nèi)部件(14 )與一個(gè)外部設(shè)備(6 )相連接，該外部設(shè)備(6 )適于托住內(nèi)部件(14)使它們可以一起旋轉(zhuǎn)，或者轉(zhuǎn)動(dòng)內(nèi)部件(14)使之獨(dú)立 于外部件(12)旋轉(zhuǎn)。
13. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的室體裝置，其特征在于，外部設(shè)備是提升裝置(6) 。
14. 根據(jù)權(quán)利要求8至13任一項(xiàng)所述的室體裝置，其特征在于，還包括 一個(gè)有齒圓環(huán)(8)，安裝在外部件(12)或內(nèi)部件(14)上， 至少一個(gè)齒輪(7 ),該齒輪(7)對(duì)應(yīng)放在內(nèi)部件(14)或外部件(12)上，與有齒圓環(huán)(8)相嚙合，外部件和內(nèi)部件(12, 14)的相對(duì)運(yùn)動(dòng)可使該齒輪(7) 轉(zhuǎn)動(dòng)，以及至少一根驅(qū)動(dòng)軸桿(n )，其中該驅(qū)動(dòng)軸桿(21 )與齒輪(7 )相連旋轉(zhuǎn)。
15. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的室體裝置，其特征在于，包括一種用于在室體空間(23)內(nèi)放置工件的推桿(28, 29 ),還包括一根蝸桿軸(18),其中該蝸 桿軸與驅(qū)動(dòng)軸桿(21)相連，從而驅(qū)動(dòng)推桿(28， 29)上的轉(zhuǎn)動(dòng)軸(24)和/或 平移軸(25)。
16. 根據(jù)權(quán)利要求14至15任一項(xiàng)所述的室體裝置，其特征在于，蝸桿軸 是室體空間(23)內(nèi)的一種帶動(dòng)裝置，可以有選擇性地將驅(qū)動(dòng)軸桿(21)的旋 轉(zhuǎn)力傳遞到從動(dòng)軸(24, 25 )中一個(gè)或多個(gè)軸上。
17. 根據(jù)權(quán)利要求15至16任一項(xiàng)所述的室體裝置，其特征在于，在軸桿 (9)上的合適的點(diǎn)上面有對(duì)應(yīng)于推桿(28， 29)的多個(gè)工作位置的多個(gè)對(duì)應(yīng)的凹槽(11),運(yùn)用這種對(duì)應(yīng)的方式，當(dāng)提升裝置(6)升起時(shí)，安裝在提升裝置 (6)上的齒條(6)可以嚙合到凹槽(11)中。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種用于電子束加工的室體裝置，本裝置用于在真空中對(duì)工件進(jìn)行電子束焊接，包括一個(gè)室體外殼，其中該外殼限定了一個(gè)室體空間，包括至少一個(gè)送入/送出孔，還包括一個(gè)圓環(huán)，其中該圓環(huán)圍繞著送入/送出孔并被托至室體外殼上使之可以圍繞著對(duì)應(yīng)于送入/送出孔的轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，以及一個(gè)室體罩，其中該室體罩與圓環(huán)相連，用于封蓋送入/送出孔，而且該室體罩可以與圓環(huán)一起相對(duì)于送入/送出孔旋轉(zhuǎn)。
文檔編號(hào)B23K15/06GK101096062SQ200710127020
公開日2008年1月2日 申請(qǐng)日期2007年6月15日 優(yōu)先權(quán)日2006年6月16日
發(fā)明者法蘭茲·沃庫卡 申請(qǐng)人:全焊接技術(shù)公司