氣缸驅動式自動支撐裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及單晶硅裝備輔助設備，旨在提供氣缸驅動式自動支撐裝置。該氣缸驅動式自動支撐裝置包括氣缸、焊接安裝座、支撐滑塊、軸承安裝塊、夾緊墊塊、支撐條、導向組件、浮動接頭，兩個支撐條平行安裝在焊接安裝座的U型結構內，兩塊支撐滑塊分別安裝在支撐條上，兩個夾緊墊塊分別利用對應的軸承安裝塊固定在對應的支撐滑塊上，兩個氣缸分別安裝在焊接安裝座的兩側，氣缸的活塞桿利用浮動接頭與對應的支撐滑塊連接，導向組件使兩塊支撐滑塊在氣缸的驅動下在支撐條上作相對直線運動。本實用新型能自動支撐晶棒，限制了晶棒截斷面在水平和豎直方向上的位置，減小了晶棒在截斷過程中的細微位移，能夠有效消除現(xiàn)存晶棒截斷崩邊問題。
【專利說明】
氣缸驅動式自動支撐裝置
技術領域
[0001]本實用新型是關于單晶硅裝備輔助設備領域，特別涉及氣缸驅動式自動支撐裝置。
【背景技術】
[0002]在現(xiàn)有單晶硅棒金剛線截斷設備中，當單晶硅棒(以下簡稱晶棒)于截斷工位的一端被完全固定后，由于晶棒外表面的不規(guī)則性，使得晶棒另一端固定處于或過定位或欠定位的狀態(tài)，在晶棒被截斷的瞬間，晶棒表面因細微的位移而產(chǎn)生“崩邊”現(xiàn)象，影響截斷質量，造成硅不必要的損失。
[0003]另外，為解決上述問題，在單晶硅棒的截斷過程中，該領域的通用技術基本空白，現(xiàn)采用人工塞墊的方式，一方面由于人工塞墊的不確定性，不同人員操作的差異性，晶棒截斷質量難以保證，另一方面還大大降低了生產(chǎn)效率。
【實用新型內容】
[0004]本實用新型的主要目的在于克服現(xiàn)有技術中的不足，提供一種能減小晶棒在截斷過程中細微位移的晶棒自動支撐的夾持裝置。為解決上述技術問題，本實用新型的解決方案是:
[0005]提供氣缸驅動式自動支撐裝置，用于支撐晶棒，所述氣缸驅動式自動支撐裝置包括氣缸、焊接安裝座、支撐滑塊、軸承安裝塊、夾緊墊塊、支撐條、導向組件、浮動接頭；
[0006]所述焊接安裝座為U型安裝座，且焊接安裝座的兩側對稱各開有三個孔;所述支撐條設有兩個，分別平行安裝在焊接安裝座的U型結構內，兩塊支撐滑塊分別安裝在支撐條上，且支撐滑塊與支撐條滑動連接;軸承安裝塊和夾緊墊塊各設有兩個，兩個夾緊墊塊分別利用螺釘固定在對應的軸承安裝塊上，兩個軸承安裝塊分別固定在對應的支撐滑塊上，使軸承安裝塊和夾緊墊塊能沿著支撐條進行滑動;每個軸承安裝塊上各開有兩個孔，且兩個軸承安裝塊的兩個孔與焊接安裝座兩側上每一邊的孔，剛好能相互對應貫通；
[0007]所述氣缸設有兩個，分別(采用螺釘)安裝在焊接安裝座的兩側;兩側氣缸的活塞桿分別穿過焊接安裝座對應側面中間的孔，(利用螺紋)與對應浮動接頭的一端連接;浮動接頭的另一端與對應的支撐滑塊連接；
[0008]所述導向組件包括兩個軸組件，兩個軸組件分別安裝到軸承安裝塊、焊接安裝座的兩組相互貫通孔中；導向組件用于使兩塊支撐滑塊在氣缸的驅動下，沿軸組件作相對直線運動。
[0009]作為進一步的改進，所述導向組件采用光軸端蓋、直線軸承、光軸實現(xiàn)，導向組件設有兩組，兩組導向組件中的光軸分別安裝到軸承安裝塊、焊接安裝座的兩組相互貫通孔中，且軸承安裝塊與直線軸承螺釘連接，光軸端蓋與焊接安裝座螺釘連接。
[0010]作為進一步的改進，所述導向組件采用直線導軌、滑塊實現(xiàn)。
[0011]作為進一步的改進，所述支撐滑塊與軸承安裝塊采用螺釘連接。
[0012]作為進一步的改進，所述氣缸采用端鎖氣缸。
[0013]與現(xiàn)有技術相比，本實用新型的有益效果是:
[0014]本實用新型能自動支撐晶棒，限制了晶棒截斷面在水平和豎直方向上的位置，又使得晶棒在截斷過程中即存在自由度，減小了晶棒在截斷過程中的細微位移，能夠有效消除現(xiàn)存晶棒截斷“崩邊”問題。
【附圖說明】
[0015]圖1為本實用新型的正視圖。
[0016]圖2為圖1的剖視圖。
[0017]圖3為本實用新型的三維等軸側視圖。
[0018]圖4為氣缸不意圖。
[0019]圖中的附圖標記為:I氣缸;2焊接安裝座;3支撐滑塊;4軸承安裝塊;5夾緊墊塊;6支撐條;7光軸端蓋;8直線軸承;9光軸;10浮動接頭。
【具體實施方式】
[0020]下面結合附圖與【具體實施方式】對本實用新型作進一步詳細描述:
[0021]如圖1至圖4所示的氣缸驅動式自動支撐裝置包括氣缸1、焊接安裝座2、支撐滑塊
3、軸承安裝塊4、夾緊墊塊5、支撐條6、導向組件、浮動接頭10，用于自動支撐晶棒。
[0022]所述焊接安裝座2為U型安裝座，且焊接安裝座2的兩側對稱各開有三個孔。所述支撐條6設有兩個，分別平行安裝在焊接安裝座2的U型結構內，兩塊支撐滑塊3分別安裝在支撐條6上，且支撐滑塊3與支撐條6滑動連接。軸承安裝塊4和夾緊墊塊5各設有兩個，兩個夾緊墊塊5分別利用螺釘固定在對應的軸承安裝塊4上，兩個軸承安裝塊4分別固定在對應的支撐滑塊3上，使軸承安裝塊4和夾緊墊塊5能沿著支撐條6進行滑動;支撐滑塊3起到聯(lián)接導向組件與夾緊墊塊5的作用，其中夾緊墊塊5可根據(jù)晶棒外徑尺寸的不同調整其斜面的角度大小，以更好地貼合晶棒。每個軸承安裝塊4上各開有兩個孔，且兩個軸承安裝塊4的兩個孔與焊接安裝座2兩側上每一邊的孔，剛好能相互對應貫通。
[0023 ]所述氣缸I采用端鎖氣缸，氣缸I設有兩個，分別采用螺釘安裝在焊接安裝座2的兩偵U。兩側氣缸I的活塞桿分別穿過焊接安裝座2對應側面中間的孔，利用螺紋與對應浮動接頭1的一端連接，浮動接頭1的另一端與對應的支撐滑塊3連接。
[0024]所述導向組件包括光軸端蓋7、直線軸承8、光軸9，導向組件設有兩組。兩組導向組件中的光軸9分別安裝到軸承安裝塊4、夾緊墊塊5、焊接安裝座2的兩組相互貫通孔中，且軸承安裝塊4與直線軸承8采用螺釘連接，光軸端蓋7與焊接安裝座2螺釘連接。導向組件不局限于光軸9與直線軸承8，也可以采用直線導軌與滑塊等。
[0025]工作時，當晶棒于截斷工位的一端被完全固定后，兩個氣缸I的活塞桿推動軸承安裝塊4及夾緊墊塊5，使得夾緊墊塊5的斜面與晶棒表面以3點或以上的方式相接觸，接觸后，氣缸I由于負載不足，活塞桿無法繼續(xù)伸出，隨即氣缸I鎖定，保證晶棒無法壓迫夾緊墊塊5使得氣缸I活塞桿回縮，完全限制了晶棒截斷面在水平和豎直方向上的位置，又使得晶棒在截斷過程中即存在自由度，能夠有效消除現(xiàn)存晶棒截斷“崩邊”問題。
[0026]最后，需要注意的是，以上列舉的僅是本實用新型的具體實施例。顯然，本實用新型不限于以上實施例，還可以有很多變形。本領域的普通技術人員能從本實用新型公開的內容中直接導出或聯(lián)想到的所有變形，均應認為是本實用新型的保護范圍。
【主權項】
1.氣缸驅動式自動支撐裝置，用于支撐晶棒，其特征在于，所述氣缸驅動式自動支撐裝置包括氣缸、焊接安裝座、支撐滑塊、軸承安裝塊、夾緊墊塊、支撐條、導向組件、浮動接頭； 所述焊接安裝座為U型安裝座，且焊接安裝座的兩側對稱各開有三個孔;所述支撐條設有兩個，分別平行安裝在焊接安裝座的U型結構內，兩塊支撐滑塊分別安裝在支撐條上，且支撐滑塊與支撐條滑動連接;軸承安裝塊和夾緊墊塊各設有兩個，兩個夾緊墊塊分別利用螺釘固定在對應的軸承安裝塊上，兩個軸承安裝塊分別固定在對應的支撐滑塊上，使軸承安裝塊和夾緊墊塊能沿著支撐條進行滑動;每個軸承安裝塊上各開有兩個孔，且兩個軸承安裝塊的兩個孔與焊接安裝座兩側上每一邊的孔，剛好能相互對應貫通； 所述氣缸設有兩個，分別安裝在焊接安裝座的兩側;兩側氣缸的活塞桿分別穿過焊接安裝座對應側面中間的孔，與對應浮動接頭的一端連接;浮動接頭的另一端與對應的支撐滑塊連接； 所述導向組件包括兩個軸組件，兩個軸組件分別安裝到軸承安裝塊、焊接安裝座的兩組相互貫通孔中；導向組件用于使兩塊支撐滑塊在氣缸的驅動下，沿軸組件作相對直線運動。2.根據(jù)權利要求1所述的氣缸驅動式自動支撐裝置，其特征在于，所述導向組件采用光軸端蓋、直線軸承、光軸實現(xiàn)，導向組件設有兩組，兩組導向組件中的光軸分別安裝到軸承安裝塊、焊接安裝座的兩組相互貫通孔中，且軸承安裝塊與直線軸承螺釘連接，光軸端蓋與焊接安裝座螺釘連接。3.根據(jù)權利要求1所述的氣缸驅動式自動支撐裝置，其特征在于，所述導向組件采用直線導軌、滑塊實現(xiàn)。4.根據(jù)權利要求1所述的氣缸驅動式自動支撐裝置，其特征在于，所述支撐滑塊與軸承安裝塊采用螺釘連接。5.根據(jù)權利要求1所述的氣缸驅動式自動支撐裝置，其特征在于，所述氣缸采用端鎖氣缸。
【文檔編號】B28D5/04GK205601003SQ201620301088
【公開日】2016年9月28日
【申請日】2016年4月11日
【發(fā)明人】傅林堅, 朱亮, 曹建偉, 沈文杰, 盧嘉彬, 沈加富, 邱文杰, 楊思煒, 邱敏秀
【申請人】上虞晶信機電科技有限公司, 浙江晶盛機電股份有限公司