一種用于區(qū)熔爐的晶體切割裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型創(chuàng)造提供一種用于區(qū)熔爐的晶體切割裝置，包括切割裝置和夾持機(jī)構(gòu)，切割裝置包括切割片、氣動(dòng)馬達(dá)、機(jī)械臂和電機(jī)，夾持機(jī)構(gòu)包括夾持器主體、夾持片、導(dǎo)向桿、支撐片支架、夾持器托盤、支撐片和導(dǎo)向塊。在單晶生長(zhǎng)失敗后，使用切割片對(duì)晶體細(xì)頸進(jìn)行切割截?cái)?，并將截?cái)嗟腻F頭進(jìn)行收集，取消了拆爐、裝爐的過程，實(shí)現(xiàn)不拆爐、重新拉晶。對(duì)夾持機(jī)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn)，使導(dǎo)向桿能夠滿行程升降而夾持片不會(huì)滑落，并保證夾持片角度固定不變。切割裝置在停止使用時(shí)能隱藏在爐壁中，有效地避免熱輻射對(duì)裝置內(nèi)部結(jié)構(gòu)的影響。利用半圓環(huán)狀板作為對(duì)切割后錐頭的收集，以防止其掉落影響下軸的傳動(dòng)，也達(dá)到了保護(hù)作用，并可對(duì)錐頭二次利用。
【專利說明】-種用于區(qū)熔爐的晶體切割裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明創(chuàng)造涉及半導(dǎo)體材料制備【技術(shù)領(lǐng)域】，公開了一種用于區(qū)熔爐的晶體切割裝 置。

【背景技術(shù)】
[0002] 在現(xiàn)有的區(qū)熔爐拉晶生產(chǎn)工藝中，如果拉晶過程中產(chǎn)生位錯(cuò)，則會(huì)導(dǎo)致晶體生長(zhǎng) 失?。ǚQ為斷棱和斷苞），此時(shí)需要操作人員進(jìn)行拆爐，將產(chǎn)生位錯(cuò)的錐頭取出，并對(duì)區(qū)熔 爐進(jìn)行清爐后才能再次進(jìn)行單晶拉制。每次操作需要經(jīng)過拆爐--錐頭取出--裝爐-- 拉晶。這樣的生產(chǎn)工藝?yán)速M(fèi)了大量工時(shí)，且每次拆爐后需要將爐體內(nèi)的保護(hù)氣體氬氣排出， 然后裝爐、拉制單晶時(shí)，要重新向爐體內(nèi)充滿保護(hù)氣體氬氣，造成氬氣的嚴(yán)重浪費(fèi)。例如在 實(shí)際生產(chǎn)時(shí)，如果平均每臺(tái)設(shè)備每天斷棱斷包4次，每次拆裝爐需花費(fèi)時(shí)間30min，則此種 情況導(dǎo)致的每月每臺(tái)設(shè)備拆裝爐時(shí)間大約為3600min (占總工時(shí)的8. 33% )，多消耗保護(hù)氣 體氬氣7100L，造成了生產(chǎn)工時(shí)及成本的嚴(yán)重浪費(fèi)。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 本發(fā)明創(chuàng)造要解決的問題是在不影響成晶的前提下，對(duì)區(qū)熔爐爐體結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化 改造，增加機(jī)械臂、切割片等裝置，達(dá)到不拆爐就能將錐頭取走、繼續(xù)拉晶，節(jié)省工時(shí)、降低 成本的目的。
[0004] 為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明創(chuàng)造采用的技術(shù)方案是：一種用于區(qū)熔爐的晶體切 割裝置，包括區(qū)熔爐本體、切割裝置和夾持機(jī)構(gòu)，所述區(qū)熔爐本體包括爐壁和內(nèi)部腔體，所 述切割裝置和夾持機(jī)構(gòu)均位于所述內(nèi)部腔體中，
[0005] 所述切割裝置包括切割片、氣動(dòng)馬達(dá)、機(jī)械臂和電機(jī)，所述氣動(dòng)馬達(dá)與所述切割片 連接，帶動(dòng)切割片旋轉(zhuǎn)，所述氣動(dòng)馬達(dá)與機(jī)械臂的一端連接，所述電機(jī)與所述機(jī)械臂的另一 端連接，帶動(dòng)所述機(jī)械臂沿電機(jī)軸向前后移動(dòng)，所述電機(jī)位于爐壁上，所述夾持機(jī)構(gòu)包括夾 持器主體、夾持器托盤、夾持片、導(dǎo)向桿、支撐片支架、支撐片和導(dǎo)向塊，所述夾持片、導(dǎo)向 桿、支撐片支架、支撐片和導(dǎo)向塊為若干個(gè)，
[0006] 所述夾持器托盤的頂面設(shè)有所述夾持器主體和若干支撐片支架，所述若干支撐片 支架位于所述夾持器主體外圍，
[0007] 所述夾持器主體上端側(cè)面設(shè)有一圈環(huán)狀突起，所述環(huán)狀突起上設(shè)有若干穿透孔， 所述支撐片的一端穿透所述支撐片支架的頂端，且所述支撐片與所述支撐片支架的頂端活 動(dòng)連接，所述支撐片的另一端設(shè)有凸起，所述凸起伸入所述導(dǎo)向桿的頭部下端，支撐所述導(dǎo) 向桿，所述導(dǎo)向桿的頭部側(cè)壁設(shè)有凹槽，所述導(dǎo)向塊與所述支撐片設(shè)有凸起的一端相連，所 述導(dǎo)向塊與所述凹槽配合，且所述導(dǎo)向塊可在所述凹槽內(nèi)滑動(dòng)，所述導(dǎo)向桿的尾部從下向 上穿透所述環(huán)狀突起上的穿透孔，并與所述夾持片連接。
[0008] 進(jìn)一步，所述爐壁上還設(shè)有法蘭，所述內(nèi)部腔體中設(shè)有下軸，所述電機(jī)與所述法蘭 連接，所述夾持器托盤的底面與所述下軸相連，并隨其同步運(yùn)動(dòng)，所述支撐片穿透所述支撐 片支架的一端與鋼絲的一端相連，所述鋼絲的另一端連接至位于所述內(nèi)部腔體底部且與所 述下軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)的托盤上。
[0009] 進(jìn)一步，還包括兩塊半圓形狀板，所述半圓形狀板拼接組成環(huán)形盤，將下軸和鋼絲 圈在中間，所述環(huán)形盤位于所述內(nèi)部腔體中，且位于所述夾持機(jī)構(gòu)下方。
[0010] 進(jìn)一步，所述氣動(dòng)馬達(dá)為活塞式氣動(dòng)馬達(dá)。
[0011] 進(jìn)一步，所述法蘭徑深大于所述爐壁厚度。
[0012] 進(jìn)一步，所述法蘭上方還設(shè)有觀察窗。
[0013] 進(jìn)一步，所述電機(jī)為步進(jìn)電機(jī)。
[0014] 本發(fā)明創(chuàng)造具有的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是：一種用于區(qū)熔爐的晶體切割裝置，在單晶 生長(zhǎng)失敗后，使用切割片對(duì)晶體的細(xì)頸進(jìn)行切割截?cái)?，并將截?cái)嗟腻F頭進(jìn)行收集，將原有的 "拆爐一錐頭取出一裝爐一拉晶"的流程簡(jiǎn)化為"切割錐頭一重新拉晶"，取消了拆 爐、裝爐的過程，實(shí)現(xiàn)不拆爐、重新拉晶。另一方面，對(duì)夾持機(jī)構(gòu)進(jìn)行有效改進(jìn)，使支撐片能 夠滿行程升降而夾持片不會(huì)滑落，同時(shí)能夠保證夾持片角度在升降時(shí)固定不變。除此之外， 切割裝置在停止使用狀態(tài)下能隱藏在區(qū)熔爐爐壁中，可有效地避免熱輻射對(duì)裝置內(nèi)部結(jié)構(gòu) 的影響。下爐室相應(yīng)位置安裝了兩塊互相拼接的半圓環(huán)狀板，作為對(duì)切割后錐頭的收集，以 防止其掉落影響下軸的傳動(dòng)，也達(dá)到了保護(hù)作用。在拉晶結(jié)束后將板取出，可以收集里面被 切割的錐頭，并被二次利用。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0015] 圖1是本發(fā)明創(chuàng)造立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016] 圖2是切割狀態(tài)示意圖；
[0017] 圖3是導(dǎo)向塊結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018] 圖中：
[0019] 1、切割片2、氣動(dòng)馬達(dá) 3、機(jī)械臂
[0020] 4、電機(jī) 5、夾持器主體6、夾持片
[0021] 7、導(dǎo)向桿8、支撐片支架9、夾持器托盤
[0022] 10、支撐片11、導(dǎo)向塊 12、鋼絲
[0023] 13、法蘭 14、下軸 15、半圓形狀板
[0024] 16、螺桿 17、單晶

【具體實(shí)施方式】
[0025] 如圖1-3所示，一種用于區(qū)熔爐的晶體切割裝置，包括區(qū)熔爐本體、切割裝置和夾 持機(jī)構(gòu)，所述區(qū)熔爐本體包括爐壁和內(nèi)部腔體，所述切割裝置和夾持機(jī)構(gòu)均位于所述內(nèi)部 腔體中，切割裝置固定在爐體內(nèi)部腔體中，位置位于設(shè)備下爐室部分（拉晶時(shí)夾持機(jī)構(gòu)位 于中爐室）。當(dāng)需要對(duì)錐頭進(jìn)行切割時(shí)，需要將下軸14垂直向下移動(dòng)來匹配切割裝置的位 置。因此在切割時(shí)，切割裝置位于夾持機(jī)構(gòu)上方。
[0026] 所述切割裝置包括切割片1、氣動(dòng)馬達(dá)2、機(jī)械臂3和電機(jī)4,所述氣動(dòng)馬達(dá)2與所 述切割片1連接，帶動(dòng)切割片1旋轉(zhuǎn)，所述氣動(dòng)馬達(dá)2與機(jī)械臂3的一端連接，所述電機(jī)4 與所述機(jī)械臂3的另一端連接，帶動(dòng)所述機(jī)械臂3沿電機(jī)4軸向前后移動(dòng)，所述電機(jī)4位于 爐壁上，所述夾持機(jī)構(gòu)包括夾持器主體5、夾持器托盤9、夾持片6、導(dǎo)向桿7、支撐片支架8、 支撐片10和導(dǎo)向塊11，所述夾持片6、導(dǎo)向桿7、支撐片支架8、支撐片10和導(dǎo)向塊11為若 干個(gè)，所述夾持器托盤9的頂面設(shè)有所述夾持器主體5和若干支撐片支架8,所述若干支撐 片支架8位于所述夾持器主體5外圍，所述夾持器主體5上端側(cè)面設(shè)有一圈環(huán)狀突起，所述 環(huán)狀突起上設(shè)有若干穿透孔，所述支撐片10的一端穿透所述支撐片支架8的頂端，且所述 支撐片10與所述支撐片支架8的頂端活動(dòng)連接，所述支撐片10的另一端設(shè)有凸起，所述凸 起伸入所述導(dǎo)向桿7的頭部下端，支撐所述導(dǎo)向桿7,所述導(dǎo)向桿7的頭部側(cè)壁設(shè)有凹槽，所 述導(dǎo)向塊11與所述支撐片10設(shè)有凸起的一端相連，所述導(dǎo)向塊11與所述凹槽配合，且所 述導(dǎo)向塊11可在所述凹槽內(nèi)滑動(dòng)，所述導(dǎo)向桿7的尾部從下向上穿透所述環(huán)狀突起上的穿 透孔，并與所述夾持片6連接。
[0027] 所述爐壁上還設(shè)有法蘭13,所述內(nèi)部腔體中設(shè)有下軸14,所述電機(jī)4與所述法蘭 13連接，所述夾持器托盤9的底面與所述下軸14相連，并隨其同步運(yùn)動(dòng)，所述支撐片10穿 透所述支撐片支架8的一端與鋼絲12的一端相連，所述鋼絲12的另一端連接至位于所述 內(nèi)部腔體底部且與所述下軸14同步轉(zhuǎn)動(dòng)的托盤上。
[0028] 還包括兩塊半圓形狀板15,所述半圓形狀板15拼接組成環(huán)形盤，將下軸14和鋼絲 12圈在中間，所述環(huán)形盤位于所述內(nèi)部腔體中，且位于所述夾持機(jī)構(gòu)下方。
[0029] 所述氣動(dòng)馬達(dá)2為活塞式氣動(dòng)馬達(dá)。
[0030] 所述法蘭13徑深大于所述爐壁厚度。
[0031] 所述法蘭13上方還設(shè)有觀察窗。
[0032] 所述電機(jī)4為步進(jìn)電機(jī)。
[0033] 單晶17生長(zhǎng)失敗后，使用切割片1對(duì)晶體的細(xì)頸進(jìn)行切割截?cái)?，并將截?cái)嗟腻F頭 進(jìn)行收集，將原有的"拆爐--錐頭取出--裝爐--拉晶"的流程簡(jiǎn)化為"切割錐頭-- 重新拉晶"，取消了拆爐、裝爐的過程，實(shí)現(xiàn)不拆爐、重新拉晶。切割工作過程為：
[0034] (1)當(dāng)擴(kuò)肩中發(fā)生斷棱、斷包時(shí)，將下軸14快速下降至相應(yīng)位置；
[0035] (2)打開氣動(dòng)馬達(dá)2閥門，使切割片1旋轉(zhuǎn)（輸出轉(zhuǎn)速在2000 - 2500rpm);
[0036] (3)按動(dòng)步進(jìn)電機(jī)4伸出按鈕，下爐室法蘭13處安裝的步進(jìn)電機(jī)4帶動(dòng)機(jī)械臂3 和氣動(dòng)馬達(dá)2前后移動(dòng)，使機(jī)械臂3移出至細(xì)頸處，氣動(dòng)馬達(dá)2帶動(dòng)切割片1旋轉(zhuǎn)，對(duì)細(xì)頸 進(jìn)行切割，完成切斷錐頭過程；
[0037] (4)按動(dòng)步進(jìn)電機(jī)4退回按鈕，使機(jī)械臂3退回；
[0038] (5)由于夾持機(jī)構(gòu)的可恢復(fù)性，將下軸14快速上升至相應(yīng)位置繼續(xù)拉晶。
[0039] 在對(duì)錐頭進(jìn)行切割后，需要對(duì)錐頭做相應(yīng)的收集。本發(fā)明創(chuàng)造在區(qū)熔爐下熔爐相 應(yīng)位置安裝了兩塊互相拼接的半圓環(huán)狀板15,作為對(duì)切割后錐頭的收集，以防止其掉落影 響下軸14的傳動(dòng)，也達(dá)到了一種保護(hù)作用。在拉晶結(jié)束后將環(huán)形盤取出，可以收集里面被 切割的錐頭，并被二次利用。
[0040] 本發(fā)明創(chuàng)造的另一方面，是對(duì)夾持機(jī)構(gòu)進(jìn)行了有效改進(jìn)。舊型夾持器，支撐片支架 8連接在夾持器托盤9上，夾持器托盤9與下軸14相連，并隨其同步運(yùn)動(dòng)，支撐片10的一 端與導(dǎo)向桿7頭部底面卡接，支撐片10中部使用螺桿16將支撐片10穿透安裝在支撐片支 架8上，使其能夠繞支撐片支架8轉(zhuǎn)動(dòng)，支撐片10后端連接鋼絲12,鋼絲12的另一端連接 在位于內(nèi)部腔體底部且與下軸14同步轉(zhuǎn)動(dòng)的托盤上。當(dāng)下軸14上升至上限位時(shí)，鋼絲12 繃緊，使支撐片10與導(dǎo)向桿7卡接的一端上揚(yáng)，同時(shí)支撐片10帶動(dòng)導(dǎo)向桿7在穿透夾持器 主體5上端的環(huán)狀突起的狀態(tài)下也上揚(yáng)，直到支撐片10頂緊環(huán)狀突起的底面，導(dǎo)向桿7頭 部位于穿透孔內(nèi)，尾部處于相對(duì)于環(huán)狀突起的最上限位置狀態(tài)，此時(shí)支撐片10的端部頂緊 導(dǎo)向桿7頭部底面。當(dāng)需要釋放夾持器時(shí)，下軸14開始向下運(yùn)動(dòng)，使鋼絲12從繃緊狀態(tài)逐 漸松弛，支撐片10以支撐螺桿16為軸慢速向下滑動(dòng)，使支撐片10與導(dǎo)向桿7卡接的一端 下垂，由于支撐片10下垂前，只通過其端部頂緊導(dǎo)向桿7頭部底面，因此隨著支撐片10下 垂一段距離后，支撐片10的端部會(huì)從導(dǎo)向桿7頭部底面抽出，進(jìn)而造成導(dǎo)向桿7失去支撐 力而自由下滑，直至夾持片6落在夾持器主體5上端側(cè)面的環(huán)狀突起上，在夾持器主體5上 端側(cè)面的環(huán)狀突起的支撐作用下，導(dǎo)向桿7停止下滑，此時(shí)為導(dǎo)向桿7相對(duì)于環(huán)狀突起的最 下限位置狀態(tài)，此時(shí)夾持片6夾住單晶。由于支撐片10已經(jīng)脫離導(dǎo)向桿7的頭部底面，無 法恢復(fù)對(duì)導(dǎo)向桿7的支撐作用，即對(duì)導(dǎo)向桿7的上行狀態(tài)無法自動(dòng)恢復(fù)。
[0041] 本發(fā)明創(chuàng)造在支撐片10 -端設(shè)置凸起，凸起伸入導(dǎo)向桿7頭部下端，用于支撐導(dǎo) 向桿7。導(dǎo)向桿7的頭部側(cè)壁設(shè)有凹槽，片狀導(dǎo)向塊11位于支撐片10設(shè)有凸起的一端，導(dǎo)向 塊11與凹槽相配合，且導(dǎo)向塊11可在凹槽內(nèi)滑動(dòng)。導(dǎo)向塊11不僅可以防止導(dǎo)向桿7在下 滑過程中由于左右搖晃而造成地夾持單晶17不穩(wěn)的問題。除此之外，由于加入導(dǎo)向塊11， 需要釋放夾持器時(shí)，下軸14開始向下運(yùn)動(dòng)，使鋼絲12從繃緊狀態(tài)逐漸松弛，支撐片10以支 撐螺桿16為軸慢速轉(zhuǎn)動(dòng)，使支撐片10與導(dǎo)向桿7卡接的一端下垂，由于支撐片10下垂前， 只通過其端部設(shè)置的凸起頂緊導(dǎo)向桿7頭部底面，因此隨著支撐片10下垂一段距離后，會(huì) 出現(xiàn)凸起滑出導(dǎo)向桿7頭部底面，進(jìn)而使導(dǎo)向桿7失去支撐作用，而自由下滑。但是由于導(dǎo) 向塊11的設(shè)計(jì)使用，導(dǎo)向塊11卡在導(dǎo)向桿7頭部側(cè)壁的凹槽內(nèi)，因此在導(dǎo)向塊11的卡接 作用下，使支撐片10 -直沒有脫離導(dǎo)向桿7,因此導(dǎo)向桿7 -直會(huì)受到支撐力，進(jìn)而避免了 導(dǎo)向桿7由于失去支撐作用而自由下滑，直至最底端。因此片狀導(dǎo)向塊11的設(shè)計(jì)使用，能 夠使導(dǎo)向桿7滿行程升降且能保證夾持片6的位置在升降期間不會(huì)滑落且夾持角度不會(huì)發(fā) 生改變。需要恢復(fù)位置時(shí)將下軸14上升即可。之所以要保證夾持片6的位置不變，是因?yàn)?夾持片6臨近單晶17的方向設(shè)有內(nèi)凹弧形缺口，而缺口的角度（位置）是需要保證與單晶 17中心相對(duì)的。如果沒有本發(fā)明創(chuàng)造改造后添加的導(dǎo)向塊11，很容易使夾持片6的角度 (位置）在重新升起時(shí)發(fā)生改變。支撐片10能通過端部設(shè)置的導(dǎo)向塊11伸入夾持器主體 5上端的環(huán)狀突起孔內(nèi)，保證上下移動(dòng)全行程均可恢復(fù)的狀態(tài)；同時(shí)，支撐片10與導(dǎo)向桿7 之間有片狀導(dǎo)向塊11，能夠保證夾持片6的角度在升降時(shí)固定不變。
[0042] 法蘭13安裝在區(qū)熔爐下爐室爐壁上，本發(fā)明創(chuàng)造將法蘭13孔做大做長(zhǎng)并超出爐 體，目的是為了將切割裝置藏在爐壁內(nèi)，并在相應(yīng)位置安裝觀察窗，這樣可以有效地避免熱 輻射對(duì)裝置內(nèi)部結(jié)構(gòu)的影響。
[0043] 以上對(duì)本發(fā)明創(chuàng)造的實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)說明，但所述內(nèi)容僅為本發(fā)明創(chuàng)造的較佳 實(shí)施例，不能被認(rèn)為用于限定本發(fā)明的實(shí)施范圍。凡依本發(fā)明創(chuàng)造范圍所作的均等變化與 改進(jìn)等，均應(yīng)仍歸屬于本專利涵蓋范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1. 一種用于區(qū)熔爐的晶體切割裝置，其特征在于：包括區(qū)熔爐本體、切割裝置和夾持 機(jī)構(gòu)，所述區(qū)熔爐本體包括爐壁和內(nèi)部腔體，所述切割裝置和夾持機(jī)構(gòu)均位于所述內(nèi)部腔 體中， 所述切割裝置包括切割片（1)、氣動(dòng)馬達(dá)（2)、機(jī)械臂（3)和電機(jī)（4)，所述氣動(dòng)馬達(dá) (2)與所述切割片（1)連接，帶動(dòng)切割片（1)旋轉(zhuǎn)，所述氣動(dòng)馬達(dá)（2)與機(jī)械臂（3)的一端 連接，所述電機(jī)（4)與所述機(jī)械臂（3)的另一端連接，帶動(dòng)所述機(jī)械臂（3)沿電機(jī)（4)軸向 前后移動(dòng)，所述電機(jī)（4)位于爐壁上，所述夾持機(jī)構(gòu)包括夾持器主體（5)、夾持器托盤（9)、 夾持片（6)、導(dǎo)向桿（7)、支撐片支架（8)、支撐片（10)和導(dǎo)向塊（11)，所述夾持片（6)、導(dǎo)向 桿（7)、支撐片支架（8)、支撐片（10)和導(dǎo)向塊（11)為若干個(gè)， 所述夾持器托盤（9)的頂面設(shè)有所述夾持器主體（5)和若干支撐片支架（8)，所述若 干支撐片支架（8)位于所述夾持器主體（5)外圍，所述夾持器主體（5)上端側(cè)面設(shè)有一圈 環(huán)狀突起，所述環(huán)狀突起上設(shè)有若干穿透孔，所述支撐片（10)的一端穿透所述支撐片支架 (8)的頂端，且所述支撐片（10)與所述支撐片支架（8)的頂端活動(dòng)連接，所述支撐片（10) 的另一端設(shè)有凸起，所述凸起伸入所述導(dǎo)向桿（7)的頭部下端，支撐所述導(dǎo)向桿（7)，所述 導(dǎo)向桿⑵的頭部側(cè)壁設(shè)有凹槽，所述導(dǎo)向塊（11)與所述支撐片（10)設(shè)有凸起的一端相 連，所述導(dǎo)向塊（11)與所述凹槽配合，且所述導(dǎo)向塊（11)可在所述凹槽內(nèi)滑動(dòng)，所述導(dǎo)向 桿（7)的尾部從下向上穿透所述環(huán)狀突起上的穿透孔，并與所述夾持片（6)連接。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于區(qū)熔爐的晶體切割裝置，其特征在于：所述爐壁上 還設(shè)有法蘭（13)，所述內(nèi)部腔體中設(shè)有下軸（14)，所述電機(jī)（4)與所述法蘭（13)連接，所 述夾持器托盤（9)的底面與所述下軸（14)相連，并隨其同步運(yùn)動(dòng)，所述支撐片（10)穿透所 述支撐片支架（8)的一端與鋼絲（12)的一端相連，所述鋼絲（12)的另一端連接至位于所 述內(nèi)部腔體底部且與所述下軸（14)同步轉(zhuǎn)動(dòng)的托盤上。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于區(qū)熔爐的晶體切割裝置，其特征在于：還包括兩塊 半圓形狀板（15)，所述半圓形狀板（15)拼接組成環(huán)形盤，將下軸（14)和鋼絲（12)圈在中 間，所述環(huán)形盤位于所述內(nèi)部腔體中，且位于所述夾持機(jī)構(gòu)下方。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于區(qū)熔爐的晶體切割裝置，其特征在于：所述氣動(dòng)馬 達(dá)（2)為活塞式氣動(dòng)馬達(dá)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于區(qū)熔爐的晶體切割裝置，其特征在于：所述法蘭 (13)徑深大于所述爐壁厚度。
6. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于區(qū)熔爐的晶體切割裝置，其特征在于：所述法蘭 (13)上方還設(shè)有觀察窗。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于區(qū)熔爐的晶體切割裝置，其特征在于：所述電機(jī)（4) 為步進(jìn)電機(jī)。
【文檔編號(hào)】C30B13/00GK203999899SQ201420438574
【公開日】2014年12月10日 申請(qǐng)日期:2014年8月6日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月6日
【發(fā)明者】馮嘯桐, 劉嘉, 劉錚, 趙宏波, 王遵義, 孫昊 申請(qǐng)人:天津市環(huán)歐半導(dǎo)體材料技術(shù)有限公司