專利名稱：一種藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐的階梯狀熱屏的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種晶體生長(zhǎng)領(lǐng)域的熱屏，尤其涉及一種藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐的階梯狀熱屏。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐一般采用平行放置的熱屏，包括頂部熱屏、底部熱屏和側(cè)部熱屏，通常這種熱屏為多片結(jié)構(gòu)，每片的形狀結(jié)構(gòu)相同。晶體生長(zhǎng)放肩階段時(shí)，現(xiàn)有底部熱屏存在明顯的不足:藍(lán)寶石生長(zhǎng)時(shí)，需要避免坩堝邊緣結(jié)晶，以防止多晶產(chǎn)生，從而避免出現(xiàn)過(guò)多晶界，現(xiàn)有頂部熱屏肩部通過(guò)熱輻射向頂部散熱，導(dǎo)致邊緣散熱過(guò)快，進(jìn)而邊緣結(jié)晶，產(chǎn)生大量的晶界，嚴(yán)重時(shí)導(dǎo)致開(kāi)裂；在退火階段時(shí)，由于晶體導(dǎo)熱較差，所以晶體中間溫度高于邊緣溫度，再加上平行熱屏的熱輻射作用，使得內(nèi)外溫差過(guò)大，也容易導(dǎo)致晶體開(kāi)裂等嚴(yán)重問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明目的:本發(fā)明的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐的階梯狀熱屏，不但可以減少長(zhǎng)晶過(guò)程中晶界的產(chǎn)生，而且可以減少由于退火溫差過(guò)大而引起的晶體開(kāi)裂，提聞晶體成品率。技術(shù)方案:為了實(shí)現(xiàn)以上目的，本發(fā)明所述的一種藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐的階梯狀熱屏，其特征在于:所述熱屏包括由若干鎢片同軸疊置而成的第一鎢片組，所述鎢片中央設(shè)有開(kāi)孔，所述開(kāi)孔直徑由上往下依次減小。在本發(fā)明的一個(gè)具體實(shí)施例中，所述熱屏還包括由若干相同的鎢片同軸疊置而成的第二鎢片組，所述第二鎢片組置于第一鎢片組鎢片開(kāi)孔較小一側(cè)，所述第二鎢片組鎢片開(kāi)孔直徑不大于第一鎢 片組鎢片開(kāi)孔的最小直徑。在本發(fā)明的另一個(gè)具體實(shí)施例中，所述鎢片間設(shè)有隔離彈簧。在本發(fā)明的再一個(gè)具體實(shí)施例中，所述隔離彈簧是首尾相連的彈簧圈，所述彈簧圈同軸分布在鎢片之間。在本發(fā)明的又一個(gè)具體實(shí)施例中，所述隔離彈簧垂直于鎢片表面均勻分布在鎢片之間。有益效果:本發(fā)明提供的藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐的階梯狀熱屏，由于該熱屏由內(nèi)到外逐漸增加內(nèi)徑，可以增加中心區(qū)域的散熱，減少邊緣區(qū)域的輻射散熱。退火時(shí)，可以增加中心區(qū)域的降溫速率，使晶體溫度分布更加均勻，最大溫差減小，從而減少晶體開(kāi)裂。增加保溫效果，降低運(yùn)行功率，節(jié)約成本，提高晶體成品率。


圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意 圖2為本發(fā)明中每層彈簧圈同軸排布示意圖；圖3為本發(fā)明中隔離彈簧豎向排布結(jié)構(gòu)局部示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例，進(jìn)一步闡明本發(fā)明。本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例為如圖1所示，以藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐的階梯狀底部熱屏為例，該階梯狀熱屏包括由若干鎢片3同軸疊置而成的第一鎢片組I和由若干相同的鎢片3同軸疊置而成的第二鎢片組2，第二鎢片組2置于第一鎢片組I下方。第一鎢片組I和第二鎢片組2的鎢片3中央都設(shè)有開(kāi)孔4，其中第一鎢片組鎢片開(kāi)孔4直徑由上往下依次減小，第二鎢片組鎢片的開(kāi)孔4直徑小于等于第一鎢片組最底層一片鎢片3的開(kāi)孔4直徑。各個(gè)鎢片3間設(shè)有隔離彈簧5進(jìn)行均勻隔離。如圖2所示，隔離彈簧5選用了首尾相連的彈簧圈，每?jī)善u片3之間布置多個(gè)這樣的彈簧圈，這些彈簧圈具有共同的軸心，多個(gè)彈簧圈形成了同心圓的結(jié)構(gòu)。頂部熱屏結(jié)構(gòu)為底部熱屏結(jié)構(gòu)的垂直翻轉(zhuǎn)，即第二鎢片組2置于第一鎢片組I上方，第一鎢片組鎢片開(kāi)孔4直徑由上往下依次增大。頂部熱屏可固定在爐蓋上，底部熱屏可上下移動(dòng)。本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例結(jié)構(gòu)與上一實(shí)施例結(jié)構(gòu)差別在于，如圖3所示的，隔離彈簧5選用了長(zhǎng)度較短的彈簧，隔離彈簧5垂直布置在鎢片3之間，且分布均勻，達(dá)到均勻支撐鶴片3的目的。該階梯狀熱屏，呈均勻分布，使得爐內(nèi)溫度分布為由中心到邊緣逐漸升高的趨勢(shì)，底部熱屏可上下移動(dòng)，在長(zhǎng)晶過(guò)程中保持不動(dòng)，退火時(shí)，可根據(jù)熱場(chǎng)需要，自行升降底部熱屏。整個(gè)熱屏增加保溫效果，降低運(yùn)行功率，節(jié)約成本，提高晶體成品率。上述實(shí)施例只為說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的是讓熟悉該技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠了解本發(fā)明的內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，并不能以此來(lái)限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。凡根據(jù)本發(fā)明精神實(shí)質(zhì)所作出的等同 變換或修飾，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐的階梯狀熱屏，其特征在于:所述熱屏包括由若干鎢片(3)同軸疊置而成的第一鎢片組(I)，所述鎢片(3)中央設(shè)有開(kāi)孔(4)，所述開(kāi)孔(4)直徑由上往下依次減小。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐的階梯狀熱屏，其特征在于:所述熱屏還包括由若干相同的鎢片(3)同軸疊置而成的第二鎢片組(2)，所述第二鎢片組(2)置于第一鎢片組(I)鎢片開(kāi)孔較小一側(cè)，所述第二鎢片組鎢片開(kāi)孔(4)直徑不大于第一鎢片組鎢片開(kāi)孔(4)的最小直徑。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐的階梯狀熱屏，其特征在于:所述鎢片(3)間設(shè)有隔離彈簧(5)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐的階梯狀熱屏，其特征在于:所述隔離彈簧(5)是首尾相連的彈簧圈，所述彈簧圈同軸分布在鎢片(3)之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐的階梯狀熱屏，其特征在于:所述隔離彈簧(5)垂直于鶴片(3)表面均勻分布在 鶴片(3)之間。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐的階梯狀熱屏，所述熱屏包括由若干鎢片同軸疊置而成的第一鎢片組，所述鎢片中央設(shè)有開(kāi)孔，所述開(kāi)孔直徑由上往下依次減小。本發(fā)明可以增加中心區(qū)域的散熱，減少邊緣區(qū)域的輻射散熱。退火時(shí)，可以增加中心區(qū)域的降溫速率，使晶體溫度分布更加均勻，最大溫差減小，從而減少晶體開(kāi)裂。增加保溫效果，降低運(yùn)行功率，節(jié)約成本，提高晶體成品率。
文檔編號(hào)C30B15/14GK103215638SQ20131011244
公開(kāi)日2013年7月24日 申請(qǐng)日期2013年4月2日 優(yōu)先權(quán)日2013年4月2日
發(fā)明者婁中士, 方建雄, 金啟源 申請(qǐng)人:蘇州海鉑晶體有限公司