一種用于離子注入機(jī)的控制電路的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種控制電路，尤其涉及一種用于離子注入機(jī)的控制電路。
【背景技術(shù)】
[0002]在高能離子注入機(jī)晶圓傳送的時(shí)候，真空機(jī)械手臂會(huì)起到重要的作用，但是在現(xiàn)有的機(jī)臺(tái)設(shè)計(jì)當(dāng)中，真空機(jī)械手臂的馬達(dá)沒有斷電鎖止功能，也就是說在馬達(dá)供電突然中斷的時(shí)候，控制真空機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)的馬達(dá)轉(zhuǎn)子不會(huì)鎖死(除非馬達(dá)再次通電并且清除掉錯(cuò)誤信息)，會(huì)在壓力差或者是自身重力的作用下移動(dòng)，此時(shí)就可能會(huì)造成真空機(jī)械手臂撞擊機(jī)臺(tái)內(nèi)壁的情況發(fā)生，當(dāng)真空機(jī)械手臂正在傳送晶圓的時(shí)候，晶圓就有掉落甚至是撞碎的危險(xiǎn)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種具有斷電鎖止功能的用于離職注入機(jī)的控制電路。
[0004]本實(shí)用新型解決上述技術(shù)問題的技術(shù)方案如下:一種用于離子注入機(jī)的控制電路，包括互感器、采樣模塊、光電隔離器、交流電源和馬達(dá)，所述馬達(dá)包括馬達(dá)轉(zhuǎn)子和制動(dòng)器線圈，所述交流電源的輸出端對(duì)應(yīng)連接所述馬達(dá)轉(zhuǎn)子的電源輸入端，所述互感器的輸入端與所述交流電源輸出的一相耦合，所述互感器的輸出端連接采樣模塊，所述采樣模塊的輸出端連接所述光電隔離器的輸入端，所述光電隔離器的一個(gè)輸出端dl連接制動(dòng)器線圈的一端a，所述制動(dòng)器線圈的另一端b連接直流電源，所述光電隔離器的另一輸出端d2接地。
[0005]本實(shí)用新型的有益效果是:較現(xiàn)有技術(shù)而言，本電路引入制動(dòng)器，并將制動(dòng)器線圈與光電隔離器的輸出端dl、d2串聯(lián)于24V+和地線之間，即由光電隔離器的輸出端dl、d2的通斷來控制所述制動(dòng)器線圈是否得電。
[0006]當(dāng)三相電源輸出時(shí)，互感器采集到電源信號(hào)，并將其轉(zhuǎn)換為低壓信號(hào)發(fā)送至采樣模塊，采樣模塊輸出，所述光電隔離器的輸入端dl和d2之間產(chǎn)生電壓，二者之間連接有二極管，所述光電隔離器的輸出端dl和d2之間設(shè)有感光元件，當(dāng)所述二極管發(fā)光時(shí)，輸出端dl與d2之間導(dǎo)通。制動(dòng)器線圈得電，制動(dòng)器不對(duì)馬達(dá)轉(zhuǎn)子制動(dòng)；反之，當(dāng)三相電源無輸出時(shí)，制動(dòng)器線圈失電，制動(dòng)器對(duì)馬達(dá)轉(zhuǎn)子制動(dòng)。這種斷電強(qiáng)制鎖止功能保證晶圓傳送時(shí)的穩(wěn)定性，防止機(jī)臺(tái)硬件損傷，減少機(jī)臺(tái)報(bào)警造成的對(duì)機(jī)臺(tái)生產(chǎn)時(shí)間的損耗，降低了晶圓報(bào)廢的機(jī)率。
[0007]互感器采集高壓電源信號(hào)，并將其轉(zhuǎn)換為低壓信號(hào)發(fā)送給所述采樣模塊，通過互感器采集電源信號(hào)的方式實(shí)現(xiàn)了信號(hào)由高壓側(cè)向低壓側(cè)的過渡。通過光電隔離器實(shí)現(xiàn)了“電-光-電”的傳輸，達(dá)到了電氣隔離的目的，具有較強(qiáng)的抗干擾能力。
[0008]在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本實(shí)用新型還可以做如下改進(jìn)。
[0009]進(jìn)一步，所述馬達(dá)轉(zhuǎn)子還包括信號(hào)接收端C，所述信號(hào)接收端c與所述制動(dòng)器線圈的一端a連接，所述直流電源的電壓為24V。
[0010]采用上述進(jìn)一步方案的有益效果是，馬達(dá)轉(zhuǎn)子通過信號(hào)端接收制動(dòng)器線圈是否通電的信號(hào)，從而可以判斷是否該繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)或停止轉(zhuǎn)動(dòng)，當(dāng)制動(dòng)器機(jī)械部分出現(xiàn)問題，即制動(dòng)器線圈得電但制動(dòng)器不制動(dòng)時(shí)，馬達(dá)轉(zhuǎn)子可以主動(dòng)制動(dòng)，避免較大損失。當(dāng)信號(hào)接收端接收到24V+信號(hào)時(shí)，說明制動(dòng)器線圈不得電，此時(shí)馬達(dá)轉(zhuǎn)子主動(dòng)停止轉(zhuǎn)動(dòng)，當(dāng)信號(hào)接收端接收到OV信號(hào)時(shí)，說明制動(dòng)器線圈得電，此時(shí)馬達(dá)轉(zhuǎn)子可繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)。
【附圖說明】
[0011]圖1為本實(shí)用新型電路示意圖；
[0012]圖2為現(xiàn)有技術(shù)電路不意圖。
[0013]附圖中，各標(biāo)號(hào)所代表的部件列表如下:
[0014]1、互感器，2、采樣模塊，3、光電隔離器，4、交流電源，5、馬達(dá)轉(zhuǎn)子，6、制動(dòng)器線圈，7、馬達(dá)。
【具體實(shí)施方式】
[0015]以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的原理和特征進(jìn)行描述，所舉實(shí)例只用于解釋本實(shí)用新型，并非用于限定本實(shí)用新型的范圍。
[0016]如圖1所示，一種用于離子注入機(jī)的控制電路，包括互感器1、采樣模塊2、光電隔離器3、交流電源4和馬達(dá)7，所述馬達(dá)7包括馬達(dá)轉(zhuǎn)子5和制動(dòng)器線圈6，所述交流電源4的輸出端對(duì)應(yīng)連接所述馬達(dá)轉(zhuǎn)子5的電源輸入端，所述互感器I的輸入端與所述交流電源4輸出的一相耦合，所述互感器I的輸出端連接采樣模塊2，所述采樣模塊2的輸出端連接所述光電隔離器3的輸入端，所述光電隔離器3的一個(gè)輸出端dl連接制動(dòng)器線圈6的一端a，所述制動(dòng)器線圈6的另一端b連接直流電源，所述光電隔離器3的另一輸出端d2接地。
[0017]所述馬達(dá)轉(zhuǎn)子5還包括信號(hào)接收端C，所述信號(hào)接收端c與所述制動(dòng)器線圈6的一端a連接。
[0018]所述直流電源的電壓為24V。
[0019]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于離子注入機(jī)的控制電路，其特征在于，包括互感器(I)、采樣模塊(2)、光電隔離器(3)、交流電源⑷和馬達(dá)(7)，所述馬達(dá)(7)包括馬達(dá)轉(zhuǎn)子(5)和制動(dòng)器線圈(6)，所述交流電源(4)的輸出端對(duì)應(yīng)連接所述馬達(dá)轉(zhuǎn)子(5)的電源輸入端，所述互感器(I)的輸入端與所述交流電源(4)輸出的一相耦合，所述互感器(I)的輸出端連接采樣模塊(2)，所述采樣模塊(2)的輸出端連接所述光電隔離器(3)的輸入端，所述光電隔離器(3)的一個(gè)輸出端(dl)連接制動(dòng)器線圈(6)的一端(a)，所述制動(dòng)器線圈(6)的另一端(b)連接直流電源，所述光電隔離器(3)的另一輸出端(d2)接地。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種用于離子注入機(jī)的控制電路，其特征在于，所述馬達(dá)轉(zhuǎn)子(5)還包括信號(hào)接收端(C)，所述信號(hào)接收端(c)與所述制動(dòng)器線圈￠)的一端(a)連接。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述一種用于離子注入機(jī)的控制電路，其特征在于，所述直流電源的電壓為24V。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種控制電路，尤其涉及一種用于離子注入機(jī)的控制電路，包括交流電源、馬達(dá)轉(zhuǎn)子和互感器，所述電源的輸出端對(duì)應(yīng)連接所述馬達(dá)轉(zhuǎn)子的電源輸入端，所述互感器的輸入端與所述電源輸出的一相耦合，所述互感器的輸出端連接采樣模塊，所述采樣模塊的輸出端分別連接所述光電隔離器的輸入端，所述光電隔離器的輸出端d1連接制動(dòng)器線圈的一端a，所述制動(dòng)器線圈的另一端b連接24V+，所述光電隔離器的輸出端d2接地。本實(shí)用新型控制電路具有斷電強(qiáng)制鎖止和自動(dòng)制動(dòng)功能，可以避免斷電馬達(dá)繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)帶來的危害。
【IPC分類】H02P3/04, H01J37/317
【公開號(hào)】CN204810183
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520636399
【發(fā)明人】黃建勛
【申請(qǐng)人】武漢新芯集成電路制造有限公司
【公開日】2015年11月25日
【申請(qǐng)日】2015年8月21日