一種激光剝離裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種激光剝離裝置，用以解決現(xiàn)有技術(shù)激光剝離時激光被遮擋的問題，提升產(chǎn)品的良率。激光剝離裝置包括：激光頭、超聲波發(fā)射頭和控制器；所述超聲波發(fā)射頭設(shè)置在所述激光頭的側(cè)面，用于對激光剝離前的基板進(jìn)行清洗；所述控制器與所述超聲波發(fā)射頭連接，用于控制所述超聲波發(fā)射頭的工作。
【專利說明】
一種激光剝離裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本實用新型涉及激光剝離技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種激光剝離裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]柔性顯示(Flexible Display)技術(shù)在近幾年有了飛速地發(fā)展，由此帶動柔性顯示裝置從屏幕的尺寸到顯示的質(zhì)量都取得了較大進(jìn)步。柔性顯示裝置又稱為可卷曲顯示裝置，是用柔性顯示面板組成的可彎曲變形的顯示裝置，與普通的剛性顯示裝置相比，柔性顯示裝置具有:耐沖擊、抗震能力強、重量輕、體積小、便于攜帶、成本低廉等諸多優(yōu)點。
[0003]如圖1所示，目前柔性有機發(fā)光二極管(Organic Light Emitting D1de，0LED)顯示面板在制作時，需要利用玻璃基板10作為載板，在玻璃基板10上涂布聚酰亞胺(PI)液，固化、干燥形成柔性基板11，然后在此柔性基板11上依次完成薄膜晶體管(Thin FilmTransistor，TFT)工藝、電致發(fā)光(Electro Luminescent，EL)工藝、薄膜封裝工藝、激光剝離工藝，激光剝離工藝使得柔性基板11與作為載板的玻璃基板10發(fā)生分離。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)在激光剝離前將玻璃基板10進(jìn)行清洗，清洗后放入激光剝離設(shè)備中進(jìn)行激光剝離，在激光剝離過程中雖然控制了激光剝離設(shè)備腔室內(nèi)的潔凈度，但在實際生產(chǎn)過程中仍然存在顆粒(particle)落在玻璃基板10表面的情況，如圖1中落在玻璃基板10表面的顆粒12。
[0005]在激光剝離時，圖中虛線箭頭方向表示激光的照射方向，落在玻璃基板10表面的顆粒12等污染物會遮擋激光，導(dǎo)致激光被遮擋位置處不能剝離，在后續(xù)將柔性基板11與玻璃基板10機械剝離時會損傷柔性基板，從而導(dǎo)致不良的產(chǎn)生，影響產(chǎn)品的良率。
【實用新型內(nèi)容】
[0006]本實用新型實施例提供了一種激光剝離裝置，用以解決現(xiàn)有技術(shù)激光剝離時激光被遮擋的問題，提升產(chǎn)品的良率。
[0007]本實用新型實施例提供的一種激光剝離裝置，包括:激光頭、超聲波發(fā)射頭和控制器；
[0008]所述超聲波發(fā)射頭設(shè)置在所述激光頭的側(cè)面，用于對激光剝離前的基板進(jìn)行清洗；
[0009]所述控制器與所述超聲波發(fā)射頭連接，用于控制所述超聲波發(fā)射頭的工作。
[0010]由本實用新型實施例提供的激光剝離裝置，包括激光頭、超聲波發(fā)射頭和控制器；本實用新型實施例通過在激光頭的側(cè)面設(shè)置超聲波發(fā)射頭，該超聲波發(fā)射頭用于對激光剝離前的基板進(jìn)行清洗，與現(xiàn)有技術(shù)相比，在激光剝離前進(jìn)行超聲清洗激光剝離前的基板表面，從而能夠保證激光剝離前的基板的清潔度，不會存在顆粒等污染物，從而能夠保證激光剝離時激光不會被遮擋，得到比較好的激光剝離效果，提升產(chǎn)品的良率。
[0011]較佳地，所述超聲波發(fā)射頭設(shè)置在與激光頭掃描方向垂直的激光頭的至少一個側(cè)面。
[0012]較佳地，設(shè)置在與激光頭掃描方向垂直的激光頭的一個側(cè)面上的所述超聲波發(fā)射頭的數(shù)量至少為一個。
[0013]較佳地，所述超聲波發(fā)射頭的上表面與所述激光頭的上表面平齊設(shè)置，所述超聲波發(fā)射頭的下表面與所述激光頭的下表面平齊設(shè)置。
[0014]較佳地，若設(shè)置在與激光頭掃描方向垂直的激光頭的一個側(cè)面上的所述超聲波發(fā)射頭的數(shù)量大于一個，相鄰的超聲波發(fā)射頭緊密設(shè)置。
[0015]較佳地，所述超聲波發(fā)射頭與激光頭掃描方向平行且不與相鄰的超聲波發(fā)射頭接觸的側(cè)面與所述激光頭與激光頭掃描方向平行的側(cè)面平齊設(shè)置。
[0016]較佳地，若設(shè)置在與激光頭掃描方向垂直的激光頭的一個側(cè)面上的所述超聲波發(fā)射頭的數(shù)量為一個，所述超聲波發(fā)射頭的尺寸與所述激光頭的尺寸相等。
[0017]較佳地，所述超聲波發(fā)射頭的截面形狀與所述激光頭的截面形狀相同。
[0018]較佳地，所述超聲波發(fā)射頭的截面形狀為矩形。
[0019 ]較佳地，所述超聲波發(fā)射頭為干式超聲波發(fā)射頭。
【附圖說明】
[0020]圖1為現(xiàn)有技術(shù)激光剝離時的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021 ]圖2為本實用新型實施例提供的激光剝離裝置的正視圖；
[0022]圖3為本實用新型實施例提供的激光剝離裝置的另一正視圖；
[0023]圖4為本實用新型實施例提供的激光剝離裝置的又一正視圖；
[0024]圖5為圖2所示的激光剝離裝置的俯視圖。
【具體實施方式】
[0025]本實用新型實施例提供了一種激光剝離裝置，用以解決現(xiàn)有技術(shù)激光剝離時激光被遮擋的問題，提升產(chǎn)品的良率。
[0026]為了使本實用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合附圖對本實用新型作進(jìn)一步地詳細(xì)描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├绢I(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其它實施例，都屬于本實用新型保護(hù)的范圍。
[0027]下面結(jié)合附圖詳細(xì)介紹本實用新型具體實施例提供的激光剝離裝置。
[0028]如圖2所示，本實用新型具體實施例提供了一種激光剝離裝置，包括:激光頭21、超聲波發(fā)射頭22和控制器23;
[0029]超聲波發(fā)射頭22設(shè)置在激光頭21的側(cè)面，用于對激光剝離前的基板進(jìn)行清洗；
[0030]控制器23與超聲波發(fā)射頭22連接，用于控制超聲波發(fā)射頭22的工作。
[0031]本實用新型具體實施例中的激光頭21的具體設(shè)計與現(xiàn)有技術(shù)激光剝離裝置的激光頭的設(shè)計相同，這里不再贅述。
[0032]具體地，本實用新型具體實施例中的超聲波發(fā)射頭22設(shè)置在與激光頭21掃描方向垂直的激光頭的至少一個側(cè)面，如圖2和圖3所示，圖中箭頭方向表示激光頭21的掃描方向。
[0033]優(yōu)選地，本實用新型具體實施例中的超聲波發(fā)射頭為干式超聲波發(fā)射頭，干式超聲波發(fā)射頭的具體結(jié)構(gòu)設(shè)計可以參照現(xiàn)有技術(shù)的干式超聲波發(fā)射頭的設(shè)計，這里不再贅述。
[0034]本實用新型具體實施例通過在激光頭的側(cè)面設(shè)置超聲波發(fā)射頭，與現(xiàn)有技術(shù)相比，在激光剝離前進(jìn)行超聲清洗玻璃基板表面，從而能夠保證玻璃基板的清潔度，不會存在顆粒等污染物，從而能夠保證激光剝離時激光不會被遮擋，得到比較好的激光剝離效果，提升產(chǎn)品的良率。
[0035]下面結(jié)合附圖2、附圖3和附圖4詳細(xì)介紹本實用新型具體實施例提供的激光剝離裝置包括的超聲波發(fā)射頭與激光頭的大小和位置關(guān)系。
[0036]具體實施時，如圖2、圖3和圖4所示，本實用新型具體實施例中的超聲波發(fā)射頭22的上表面與激光頭21的上表面平齊設(shè)置，超聲波發(fā)射頭22的下表面與激光頭21的下表面平齊設(shè)置。這樣，激光剝離裝置在垂直方向上可以節(jié)省一部分的空間，能夠提高激光剝離裝置的空間利用率。
[0037]具體地，如圖4所示，本實用新型具體實施例設(shè)置在與激光頭掃描方向垂直的激光頭的一個側(cè)面上的超聲波發(fā)射頭22的數(shù)量至少為一個，如:設(shè)置在激光頭的左側(cè)面上的超聲波發(fā)射頭22的數(shù)量為一個，設(shè)置在激光頭的右側(cè)面上的超聲波發(fā)射頭22的數(shù)量為兩個。
[0038]優(yōu)選地，本實用新型具體實施例若設(shè)置在與激光頭掃描方向垂直的激光頭的一個側(cè)面上的超聲波發(fā)射頭的數(shù)量大于一個，相鄰的超聲波發(fā)射頭緊密設(shè)置。這樣能夠更好的保證超聲波發(fā)射頭對激光剝離前的基板進(jìn)行快速、高效的清洗。
[0039]具體實施時，如圖2、圖3和圖4所示，本實用新型具體實施例超聲波發(fā)射頭22與激光頭掃描方向平行且不與相鄰的超聲波發(fā)射頭接觸的側(cè)面與激光頭21與激光頭掃描方向平行的側(cè)面平齊設(shè)置。這樣，激光剝離裝置在前后方向上可以節(jié)省一部分的空間，能夠進(jìn)一步提高激光剝離裝置的空間利用率。
[0040]具體實施時，如圖2、圖3和圖4所示，若設(shè)置在與激光頭掃描方向垂直的激光頭的一個側(cè)面上的超聲波發(fā)射頭的數(shù)量為一個，本實用新型具體實施例中的超聲波發(fā)射頭22的尺寸與激光頭21的尺寸相等。這樣，超聲波發(fā)射頭對激光剝離前的基板進(jìn)行清洗時的清洗面積與激光頭剝離時的激光照射面積相等，在實際生產(chǎn)過程中，能夠更好的實現(xiàn)激光剝離。[0041 ]具體實施時，本實用新型具體實施例中的超聲波發(fā)射頭22的截面形狀與激光頭21的截面形狀相同。這樣，能夠更好的將超聲波發(fā)射頭設(shè)置在激光頭的側(cè)面。具體地，如圖2、圖3和圖4所示，本實用新型具體實施例中的超聲波發(fā)射頭的截面形狀為矩形，當(dāng)然，在實際生產(chǎn)過程中，超聲波發(fā)射頭的截面形狀還可以為其它形狀，本實用新型具體實施例并不對超聲波發(fā)射頭的截面形狀做限定。
[0042]本實用新型具體實施例中的超聲波發(fā)射頭以及激光頭的正視圖以圖2為例，圖2的俯視圖如圖5所示，圖中箭頭方向表示激光頭21的掃描方向，從圖中可以看到干式超聲波發(fā)射頭設(shè)置在激光頭行進(jìn)的方向上，玻璃基板經(jīng)過干式超聲清洗后，能夠?qū)⒉ＡЩ灞砻娴漠愇锏任廴疚锴逑锤蓛?，從而保證了激光照射時不會因為異物對激光產(chǎn)生阻擋影響，確保了激光剝離的效果和品質(zhì)。另外，圖中51表示激光發(fā)射區(qū)域，該區(qū)域的設(shè)置與現(xiàn)有技術(shù)相同，這里不再贅述;圖中52表不干式超聲波發(fā)射頭的吸氣槽和排氣槽，吸氣槽和排氣槽該具體設(shè)置與現(xiàn)有技術(shù)相同，這里不再贅述。
[0043]下面結(jié)合附圖2和附圖3說明本實用新型具體實施例中的超聲波發(fā)射頭以及激光頭的工作過程。
[0044]如圖2所示，本實用新型具體實施例中的超聲波發(fā)射頭22和激光頭21沿著圖中箭頭方向運動，當(dāng)超聲波發(fā)射頭22運動到需要進(jìn)行激光剝離的基板的上方時，控制器23控制超聲波發(fā)射頭22開始工作，對與超聲波發(fā)射頭22的位置正對位置處的需要進(jìn)行激光剝離的基板進(jìn)行清洗，清洗完成后，控制器23控制超聲波發(fā)射頭22沿著圖中的箭頭方向移動，移動的距離為超聲波發(fā)射頭22在水平方向上的寬度。
[0045]此時，由于超聲波發(fā)射頭22設(shè)置在激光頭21的側(cè)面，因此，激光頭21也在圖中的箭頭方向上發(fā)生了移動，此時激光頭開始工作，對經(jīng)過超聲波發(fā)射頭22清洗后的需要進(jìn)行激光剝離的基板馬上進(jìn)行激光剝離，這樣能夠很好的保證需要進(jìn)行激光剝離的基板表面的清潔，從而不會出現(xiàn)因污染物遮擋激光導(dǎo)致激光被遮擋位置處不能剝離的問題，進(jìn)而能夠提升廣品的良率。
[0046]控制器23控制超聲波發(fā)射頭22沿著圖中的箭頭方向移動，直到超聲波發(fā)射頭22移動出需要進(jìn)行激光剝離的基板的區(qū)域，控制器23控制超聲波發(fā)射頭22停止工作。
[0047]如圖3所示，當(dāng)本實用新型具體實施例中的超聲波發(fā)射頭22設(shè)置在激光頭21的左側(cè)面和右側(cè)面時，這種結(jié)構(gòu)可以采用來回掃描的方式進(jìn)行激光剝離，向右掃描時，設(shè)置在激光頭21右側(cè)的超聲波發(fā)射頭22起作用，向左掃描時，設(shè)置在激光頭21左側(cè)的超聲波發(fā)射頭22起作用。
[0048]綜上所述，本實用新型具體實施例提供一種激光剝離裝置，包括:激光頭、超聲波發(fā)射頭和控制器;超聲波發(fā)射頭設(shè)置在激光頭的側(cè)面，用于對激光剝離前的基板進(jìn)行清洗；控制器與超聲波發(fā)射頭連接，用于控制超聲波發(fā)射頭的工作。本實用新型具體實施例通過在激光頭的側(cè)面設(shè)置超聲波發(fā)射頭，該超聲波發(fā)射頭用于對激光剝離前的基板進(jìn)行清洗，與現(xiàn)有技術(shù)相比，在激光剝離前進(jìn)行超聲清洗激光剝離前的基板表面，從而能夠保證激光剝離前的基板的清潔度，不會存在顆粒等污染物，從而能夠保證激光剝離時激光不會被遮擋，得到比較好的激光剝離效果，提升產(chǎn)品的良率。
[0049]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實用新型進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種激光剝離裝置，其特征在于，包括:激光頭、超聲波發(fā)射頭和控制器； 所述超聲波發(fā)射頭設(shè)置在所述激光頭的側(cè)面，用于對激光剝離前的基板進(jìn)行清洗； 所述控制器與所述超聲波發(fā)射頭連接，用于控制所述超聲波發(fā)射頭的工作。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光剝離裝置，其特征在于，所述超聲波發(fā)射頭設(shè)置在與激光頭掃描方向垂直的激光頭的至少一個側(cè)面。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光剝離裝置，其特征在于，設(shè)置在與激光頭掃描方向垂直的激光頭的一個側(cè)面上的所述超聲波發(fā)射頭的數(shù)量至少為一個。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光剝離裝置，其特征在于，所述超聲波發(fā)射頭的上表面與所述激光頭的上表面平齊設(shè)置，所述超聲波發(fā)射頭的下表面與所述激光頭的下表面平齊設(shè)置。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的激光剝離裝置，其特征在于，若設(shè)置在與激光頭掃描方向垂直的激光頭的一個側(cè)面上的所述超聲波發(fā)射頭的數(shù)量大于一個，相鄰的超聲波發(fā)射頭緊密設(shè)置。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光剝離裝置，其特征在于，所述超聲波發(fā)射頭與激光頭掃描方向平行且不與相鄰的超聲波發(fā)射頭接觸的側(cè)面與所述激光頭與激光頭掃描方向平行的側(cè)面平齊設(shè)置。7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光剝離裝置，其特征在于，若設(shè)置在與激光頭掃描方向垂直的激光頭的一個側(cè)面上的所述超聲波發(fā)射頭的數(shù)量為一個，所述超聲波發(fā)射頭的尺寸與所述激光頭的尺寸相等。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光剝離裝置，其特征在于，所述超聲波發(fā)射頭的截面形狀與所述激光頭的截面形狀相同。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的激光剝離裝置，其特征在于，所述超聲波發(fā)射頭的截面形狀為矩形。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光剝離裝置，其特征在于，所述超聲波發(fā)射頭為干式超聲波發(fā)射頭。
【文檔編號】B23K26/36GK205564821SQ201620413227
【公開日】2016年9月7日
【申請日】2016年5月6日
【發(fā)明人】崔富毅, 王向楠, 陳旭, 申鉉喆
【申請人】鄂爾多斯市源盛光電有限責(zé)任公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司