一種清洗機(jī)臺減薄量測試輔助裝置的制造方法
【專利摘要】一種清洗機(jī)臺減薄量測試輔助裝置，包括機(jī)架，所述機(jī)架兩側(cè)端安裝有硅片傳送裝置，所述硅片傳送裝置之間的機(jī)架上安裝有測試輔助裝置，所述測試輔助裝置包括升降裝置、傳感器及電腦，所述升降裝置的底端固定安裝在機(jī)架上，升降裝置的頂端安裝有傳感器，所述傳感器與電腦通訊連接，本實(shí)用新型基本結(jié)構(gòu)由一個簡易測試平臺和傳感器組成，結(jié)構(gòu)簡單，實(shí)用性強(qiáng)，可避免人為測試直接觸摸硅片，能有效減少外觀不良、頻繁停止上料等問題，提高產(chǎn)量，降低成本。
【專利說明】
一種清洗機(jī)臺減薄量測試輔助裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種減薄量測試輔助裝置，尤其適用于對硅片清洗自動化上下料過程中對硅片減薄量進(jìn)行檢測的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，減薄量作為清洗監(jiān)控點(diǎn)，必須按規(guī)定時間多次測試，但由于自動化上下料的連續(xù)性，上測試片必須暫停自動化上料設(shè)備，導(dǎo)致產(chǎn)量的浪費(fèi)；另生產(chǎn)員工在測試減薄量時須直接接觸制絨面，極易造成絨面臟污等外觀不良，不良片的返工或降級造成人力物力的浪費(fèi)，增加生產(chǎn)成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了克服現(xiàn)有測試問題，本實(shí)用新型提供一種減薄量測試輔助裝置，其全程無需人工接觸，因此不會對硅片絨面造成破壞，并且自動化運(yùn)行，增加了生產(chǎn)效率，減少返工率，減少生產(chǎn)成本。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案:一種清洗機(jī)臺減薄量測試輔助裝置，包括機(jī)架，所述機(jī)架兩側(cè)端安裝有硅片傳送裝置，所述硅片傳送裝置之間的機(jī)架上安裝有測試輔助裝置，所述測試輔助裝置包括升降裝置、傳感器及電腦，所述升降裝置的底端固定安裝在機(jī)架上，升降裝置的頂端安裝有傳感器，所述傳感器與電腦通訊連接。
[0005]進(jìn)一步，所述升降裝置為氣缸升降裝置。
[0006]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型基本結(jié)構(gòu)由一個簡易測試平臺和傳感器組成，結(jié)構(gòu)簡單，實(shí)用性強(qiáng)，可避免人為測試直接觸摸硅片，能有效減少外觀不良、頻繁停止上料等問題，提高產(chǎn)量，降低成本;硅片每經(jīng)過測試儀器，儀器自動升起測試，并把信號傳輸回機(jī)臺界面，機(jī)臺界面自動顯示測試結(jié)果。在測試程序設(shè)置時，可設(shè)置減薄量范圍，超范圍自動報警，且可隨時調(diào)用查看減薄量趨勢圖，方便且精確。
【附圖說明】
[0007]為對本實(shí)用新型做進(jìn)一步說明，下面列舉附圖和【具體實(shí)施方式】。
[0008]圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)不意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0009]如圖1所示，一種清洗機(jī)臺減薄量測試輔助裝置，包括機(jī)架I，所述機(jī)架I兩側(cè)端安裝有硅片傳送裝置2，所述硅片傳送裝置2為硅片輸送帶，所述硅片傳送裝置2之間的機(jī)架I上安裝有測試輔助裝置，所述測試輔助裝置包括升降裝置3、傳感器4及電腦，所述升降裝置3的底端固定安裝在機(jī)架I上，升降裝置3的頂端安裝有傳感器4，所述傳感器4與電腦通訊連接。
[0010]進(jìn)一步，所述升降裝置3為氣缸升降裝置。
[0011]顯而易見，上述實(shí)施方式僅僅為本實(shí)用新型的其中一個實(shí)施例，任何在本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)或原理上的簡單改進(jìn)均屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種清洗機(jī)臺減薄量測試輔助裝置，其特征在于包括機(jī)架，所述機(jī)架兩側(cè)端安裝有硅片傳送裝置，所述硅片傳送裝置之間的機(jī)架上安裝有測試輔助裝置，所述測試輔助裝置包括升降裝置、傳感器及電腦，所述升降裝置的底端固定安裝在機(jī)架上，升降裝置的頂端安裝有傳感器，所述傳感器與電腦通訊連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種清洗機(jī)臺減薄量測試輔助裝置，其特征在于所述升降裝置為氣缸升降裝置。
【文檔編號】H01L21/66GK205564711SQ201620323210
【公開日】2016年9月7日
【申請日】2016年4月18日
【發(fā)明人】張美玲, 陳陽泉, 錢金梁
【申請人】潤峰電力有限公司