一種新型真空機構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種新型真空機構(gòu)，包括真空腔體、腔體傳動裝置以及設(shè)在真空腔體上的硅片傳動平面，腔體傳動裝置上設(shè)有傳動載體，其中腔體傳動裝置和真空腔體之間設(shè)有破空氣路，所述破空氣路上設(shè)有大氣破空閥門。本實用新型腔體傳動裝置和真空腔體之間設(shè)有破空氣路，破空時通入氣流，其中真空腔體一分為二，腔室在硅片傳動的上方的，腔室上蓋在硅片傳動的下方，在破空時形成的上下對吹氣流，降低產(chǎn)品不良率同時也大大的提交了生產(chǎn)效率。
【專利說明】
一種新型真空機構(gòu)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及太陽能電池制備領(lǐng)域，尤其涉及一種新型真空機構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]能源危機下光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，進(jìn)一步推廣光伏應(yīng)用的關(guān)鍵是提高電池光電轉(zhuǎn)換效率，降低電池成本。異質(zhì)結(jié)太陽能電池是Si襯底上生長非晶Si薄層的異質(zhì)結(jié)電池，具有結(jié)構(gòu)簡單、工藝溫度低、轉(zhuǎn)換效率高，溫度特性好的特點，是適合于大規(guī)模推廣應(yīng)用的高效電池之一，具有很好的發(fā)展前景。
[0003]真空機構(gòu)是太陽能電池研發(fā)、生產(chǎn)的重中之重。晶硅電池最高轉(zhuǎn)換效率已達(dá)20%以上，但是由于重量輕在進(jìn)出真空機構(gòu)的生產(chǎn)工藝中往往不良率高，造成這高不良率原因是破真空時產(chǎn)生的氣流過大致使破片率的大幅度增長。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]針對上述問題，本實用新型提供了一種新型真空機構(gòu)，解決了破真空時產(chǎn)生的氣流過大致使破片率的大幅度增長。
[0005]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型所采用的技術(shù)方案是:一種新型真空機構(gòu)，包括真空腔體、腔體傳動裝置以及設(shè)在真空腔體上的硅片傳動平面，腔體傳動裝置上設(shè)有傳動載體，其中腔體傳動裝置和真空腔體之間設(shè)有破空氣路，所述破空氣路上設(shè)有大氣破空閥門。
[0006]進(jìn)一步的，所述真空腔體由腔室和腔室上蓋組成，所述腔室和腔室上蓋分別設(shè)在硅片傳動平面的上方和下方。
[0007]進(jìn)一步的，所述傳動載體為管道，所述管道上設(shè)有通氣孔。
[0008]進(jìn)一步的，所述通氣孔等距排列與硅片傳動平面平行。
[0009]由上述對本實用新型結(jié)構(gòu)的描述可知，和現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有如下優(yōu)占.V.
[0010]本實用新型一種新型真空機構(gòu)，腔體傳動裝置和真空腔體之間設(shè)有破空氣路，破空時通入氣流，其中真空腔體一分為二，腔室在硅片傳動的上方的，腔室上蓋在硅片傳動的下方，在破空時形成的上下對吹氣流，降低產(chǎn)品不良率同時也大大的提交了生產(chǎn)效率。
【附圖說明】
[0011]構(gòu)成本申請的一部分的附圖用來提供對本實用新型的進(jìn)一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構(gòu)成對本實用新型的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0012]圖1為本實用新型一種新型真空機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0013]為了使本實用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實施例，對本實用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。
[0014]實施例
[0015]—種新型真空機構(gòu)，如圖1所示包括真空腔體1、腔體傳動裝置2以及設(shè)在真空腔體
I上的硅片傳動平面3，真空腔體I由腔室11和腔室上蓋12組成，所述腔室11和腔室上蓋12分別設(shè)在硅片傳動平面3的上方和下方，腔體傳動裝置2上設(shè)有傳動載體4，腔體傳動裝置2和真空腔體I之間設(shè)有破空氣路5，破空氣路5上設(shè)有大氣破空閥門6，所述傳動載體2為管道，所述管道上設(shè)有通氣孔7，通氣孔7等距排列與硅片傳動平面3平行。破空時通入氣流，其中真空腔體I一分為二，腔室11在硅片傳動平面3的上方的，腔室上蓋12在硅片傳動平面3的下方，在破空時形成的上下對吹氣流，降低產(chǎn)品不良率同時也大大的提交了生產(chǎn)效率。
[0016]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種新型真空機構(gòu)，包括真空腔體、腔體傳動裝置以及設(shè)在真空腔體上的硅片傳動平面，所述腔體傳動裝置上設(shè)有傳動載體，其特征在于:所述腔體傳動裝置和真空腔體之間設(shè)有破空氣路，所述破空氣路上設(shè)有大氣破空閥門。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型真空機構(gòu)，其特征在于:所述真空腔體由腔室和腔室上蓋組成，所述腔室和腔室上蓋分別設(shè)在硅片傳動平面的上方和下方。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型真空機構(gòu)，其特征在于:所述傳動載體為管道，所述管道上設(shè)有通氣孔。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種新型真空機構(gòu)，其特征在于:所述通氣孔等距排列與硅片傳動平面平行。
【文檔編號】H01L31/18GK205542854SQ201620202036
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2016年3月16日
【發(fā)明人】李鵬飛, 王樹林, 陳劍雨, 王武鵬
【申請人】鈞石(中國)能源有限公司