四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及激光器，具體涉及四腔室結(jié)構(gòu)的射頻激光器。
【背景技術(shù)】
[0002]目前市場(chǎng)上存在的傳統(tǒng)的射頻激光器都不具有四腔室結(jié)構(gòu)。
[0003]功率大于百瓦的射頻激光器都是單腔結(jié)構(gòu)，包括氣密激光腔和附著于激光腔外的各功能配件，有的沒有安裝位置就只能分體，如高功率射頻單元、直流電源被分離;這種單腔結(jié)構(gòu)的缺陷就是:結(jié)構(gòu)復(fù)雜，裝配困難，屏蔽差，調(diào)節(jié)困難，激光器工效低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]鑒于上述背景情況，本發(fā)明提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊、易裝配、不泄漏、低輻射、功率高、效果好的四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器。
[0005]根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供一種四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器，四腔室包括:中心的氣密激光腔，和圍繞在氣密激光腔周圍的光束整形腔、低功率射頻腔、高功率射頻腔；四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器主要包括四腔室和附著于四腔室上的各功能配件；四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器整體采用氣密激光腔在內(nèi)，光束整形腔、低功率射頻腔、高功率射頻腔分布于其周圍的一體式結(jié)構(gòu)。
[0006]在一個(gè)示例實(shí)施例中，一種四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器，在一塊鋁材上的中心位置加工出氣密激光腔，圍繞著氣密激光腔再加工出光束整形腔，低功率射頻腔，高功率射頻腔。在低功率射頻腔與氣密激光腔之間加工出安裝預(yù)電離電極孔位;在高功率射頻腔與氣密激光腔之間加工出安裝射頻電極孔位。最后在光束整形腔，低功率射頻腔，高功率射頻腔處各加工出腔室蓋板位。
[0007]氣密激光腔內(nèi)安裝有正電極板和負(fù)電極板，射頻電極穿過(guò)腔殼和正電極板連接。在氣密激光腔的一端安裝有全反射鏡，另一端安裝有部分反射鏡，在部分反射鏡的外側(cè)安裝有折返鏡座，在折返鏡座上安裝有兩片反射鏡，將部分反射鏡窗口輸出的激光束折反到光束整形腔內(nèi)。激光束通過(guò)光束整形腔內(nèi)的光束整形鏡整形成接近于圓形光束平行輸出。
[0008]高功率射頻腔由控制單元、高功率射頻單元兩部分組成，并且內(nèi)部安裝有大功率穿芯電容用于引入電流，旁邊還有負(fù)極線連接孔。
[0009]低功率射頻腔由驅(qū)動(dòng)分配單元、驅(qū)動(dòng)單元、預(yù)電離單元三部分組成，各單元之間都是各自獨(dú)立的，各單元之間的導(dǎo)線都安裝在線槽內(nèi)，這樣確保線路信號(hào)不受干擾?？刂菩盘?hào)從控制單元進(jìn)入低功率射頻腔是通過(guò)同軸的一對(duì)穿芯電容實(shí)現(xiàn)的，這樣防止高功率射頻單元內(nèi)射頻電流對(duì)控制信號(hào)的干擾。
[0010]光束整形腔內(nèi)安裝有光束整形鏡和直流電源兩部分。
[0011 ]優(yōu)選地，四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器整體呈長(zhǎng)方體形。
[0012 ]優(yōu)選地，氣密激光腔位于四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器的中心位置。
[0013]優(yōu)選地，光束整形腔、低功率射頻腔、高功率射頻腔分布于氣密激光腔的外圍。
[0014]優(yōu)選地，氣密激光腔、光束整形腔、低功率射頻腔、高功率射頻腔是在一塊鋁材上加工而成，它們是一個(gè)整體。
[0015]優(yōu)選地，在光束整形腔、低功率射頻腔、高功率射頻腔外都有蓋板密封各自腔室。
[0016]優(yōu)選地，在低功率射頻腔與氣密激光腔之間安裝有預(yù)電離電極。
[0017]優(yōu)選地，在高功率射頻腔與氣密激光腔之間安裝有射頻電極。
[0018]優(yōu)選地，在光束整形腔內(nèi)安裝有光束整形鏡和直流電源。
[0019]優(yōu)選地，在氣密激光腔內(nèi)安裝有正電極板和負(fù)電極板，射頻電極穿過(guò)腔殼與正電極板連接。
[0020]優(yōu)選地，高功率射頻腔由控制單元、高功率射頻單元組成，并且腔內(nèi)安裝有大功率穿芯電容用于引入電流，旁邊還有負(fù)極線連接孔
[0021]優(yōu)選地，低功率射頻腔由驅(qū)動(dòng)分配單元、驅(qū)動(dòng)單元、預(yù)電離單元組成。
[0022]優(yōu)選地，低功率射頻腔內(nèi)的各單元之間都是各自獨(dú)立的，各單元之間的導(dǎo)線都安裝在線槽內(nèi)，這樣確保線路信號(hào)不受干擾?？刂菩盘?hào)從控制單元進(jìn)入低功率射頻腔是通過(guò)同軸的一對(duì)穿芯電容實(shí)現(xiàn)的，這樣防止高功率射頻單元內(nèi)射頻電流對(duì)控制信號(hào)的干擾。
[0023]優(yōu)選地，在氣密激光腔的一端安裝有全反射鏡，另一端安裝有部分反射鏡，在部分反射鏡的外側(cè)安裝有折返鏡座，在折返鏡座上裝有兩片反射鏡，將部分反射鏡窗口輸出的激光束折反到光束整形腔內(nèi)。激光束通過(guò)光束整形腔內(nèi)的光束整形鏡整形成接近于圓形光束平行輸出。
[0024]與傳統(tǒng)的射頻激光器相比，四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊、易裝配、不泄漏、低輻射、功率高、效果好等優(yōu)點(diǎn)。
【附圖說(shuō)明】
[0025]結(jié)合以下附圖來(lái)詳細(xì)描述本發(fā)明的示例實(shí)施例，附圖中:
[0026]圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的示例實(shí)施例的四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器的橫斷面剖視圖。
[0027]圖2示出了根據(jù)本發(fā)明的示例實(shí)施例的四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器的右視圖，即低功率射頻腔部位；
[0028]圖3示出了根據(jù)本發(fā)明的示例實(shí)施例的四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器的左視圖，即光束整形腔部位；
[0029]圖4示出了根據(jù)本發(fā)明的示例實(shí)施例的四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器的俯視圖，即高功率射頻腔部位；
[0030]附圖中，相同或相似的部件由相同或相似的參考標(biāo)號(hào)表示。
【具體實(shí)施方式】
[0031]以下結(jié)合附圖來(lái)詳細(xì)描述本發(fā)明的示例實(shí)施例的四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器。
[0032]圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的示例實(shí)施例的四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器的橫斷面剖視圖。
[0033]如圖1所示，四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器整體成長(zhǎng)方體形，采用四腔室結(jié)構(gòu)，四腔室包括中心氣密激光腔2，和圍繞在氣密激光腔2周圍的光束整形腔5、低功率射頻腔4、高功率射頻腔3，四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器主要包括四腔室和附著于四腔室上的各功能配件。
[0034]如圖1所示一種四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器，是在一塊鋁材上的中心位置加工出