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光伏擴散工序中的硅片自動裝卸機的制作方法

文檔序號:8698651閱讀:396來源:國知局
光伏擴散工序中的硅片自動裝卸機的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種硅片自動裝載機,尤其是涉及一種在光伏擴散工序中對硅片進行裝片、卸片的自動裝載機,屬于光伏生產用配套設備技術領域。
【背景技術】
[0002]目前,在光伏擴散工序中為提高生產效率,開始逐漸采用機械化設備對硅片進行裝載,如中國專利201310506596公布的“擴散石英舟的新型插片裝置”,每次操作裝卸一個石英舟,但是由于其采用的花籃的兩組模塊之間有一定的間隔(該間隔大于花籃節(jié)距,因此無法整體操作,需要分成兩次進行作業(yè)),兩次操作才能完成一次裝卸片200片,最快速度每小時可以同時裝片或者卸片7600片;并且目前設備不僅速度慢,并且機器制造的成本高,故障率高,定位和碎片問題都不理想。

【發(fā)明內容】

[0003]本實用新型的目的在于克服上述不足,提供一種工作效率高的光伏擴散工序中的硅片自動裝卸機。
[0004]本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的:
[0005]一種光伏擴散工序中的硅片自動裝卸機,所述光伏擴散工序中的硅片自動裝卸機包含有工作平臺,所述工作平臺的臺面上從左至右橫向設置有左花籃定位座、石英舟定位座和右花籃定位座,所述左花籃定位座上放置的左花籃、石英舟定位座上放置的石英舟以及右花籃定位座上放置的右花籃沿一直線橫向一字排開;
[0006]所述工作平臺的臺面上方架設有龍門架,所述龍門架的橫梁上滑動設置有抓取機構,所述抓取機構包含有平移板,所述平移板通過直線導軌滑動設置于龍門架的橫梁上,所述平移板上通過豎向設置的直線導軌滑動連接有升降板,所述升降板的底部連接有一橫向設置的吸盤座,所述吸盤座的底部平行安裝有多個吸盤,且吸盤的數(shù)量與左花籃定位座上的左花籃、石英舟定位座上的石英舟以及右花籃定位座上的右花籃中的硅片數(shù)量一致。
[0007]本實用新型一種光伏擴散工序中的硅片自動裝卸機,所述左花籃定位座和右花籃定位座旁均設置有整理氣缸,所述整理氣缸的活塞桿上橫向連接有一推桿,該推桿的長度方向與左花籃定位座上的左花籃和右花籃定位座上的右花籃的長度方向相平行。
[0008]本實用新型一種光伏擴散工序中的硅片自動裝卸機,所述工作平臺的臺面為一斜面,該斜面的傾斜角與石英舟定位座上的石英舟槽的傾斜度相同且方向相反。
[0009]本實用新型一種光伏擴散工序中的硅片自動裝卸機,所述工作平臺臺面的傾斜度為3。。
[0010]本實用新型一種光伏擴散工序中的硅片自動裝卸機,上述工作平臺的臺面在石英舟定位座處開有一通孔,一固定于工作平臺上的升降頂升機構位于該通孔下方,該升降頂升機構頂部橫向設置有梳齒板,該梳齒板上的梳齒數(shù)量與石英舟定位座上的石英舟內的硅片數(shù)量一致。
[0011]與現(xiàn)有技術相比,本實用新型的有益效果是:
[0012]本實用新型可以一次性抓取花籃或石英舟內的所有硅片,然后向石英舟內進行裝片或者向花籃內進行卸片,其結構簡單、動力方便,且抓取效率高,抓取效果好,有效的提供了工作效率。
【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型一種光伏擴散工序中的硅片自動裝卸機的結構示意圖。
[0014]圖2為本實用新型一種光伏擴散工序中的硅片自動裝卸機的圖1的俯視圖。
[0015]其中:
[0016]工作平臺1、整理氣缸2、龍門架3、抓取機構4 ;
[0017]左花籃定位座1.1、石英舟定位座1.2、右花籃定位座1.3 ;
[0018]平移板4.1、升降板4.2、吸盤座4.3、吸盤4.4。
【具體實施方式】
[0019]參見圖1和圖2,本實用新型涉及的一種光伏擴散工序中的硅片自動裝卸機,所述光伏擴散工序中的硅片自動裝卸機包含有工作平臺1,所述工作平臺I的臺面上從左至右橫向設置有左花籃定位座1.1、石英舟定位座1.2和右花籃定位座1.3,所述左花籃定位座1.1上放置的左花籃、石英舟定位座1.2上放置的石英舟以及右花籃定位座1.3上放置的右花籃沿一直線橫向一字排開,即左花籃定位座1.1、石英舟定位座1.2和右花籃定位座1.3排向與后續(xù)抓取機構4的行走方向相平行,且左花籃定位座1.1、石英舟定位座1.2和右花籃定位座1.3的側壁上設置有卡緊機構,該卡緊機構包含有嵌置于側壁上沉孔內的彈簧,該彈簧的自由端上連接有一滾珠,從而當卡入花籃或石英舟時,能夠對花籃或石英舟的側壁起到卡滯作用,用于對其進行定位和固定;
[0020]所述工作平臺I的臺面上方架設有龍門架3,所述龍門架3的橫梁上滑動設置有抓取機構4,所述抓取機構4包含有平移板4.1,所述平移板4.1通過直線導軌滑動設置于龍門架3的橫梁上,所述平移板4.1上通過豎向設置的直線導軌滑動連接有升降板4.2(上述直線導軌滑動設置均由電機驅動絲桿提供動力,絲桿上旋置的滑塊與平移板4.1或升降板4.2相連接即可構成絲杠螺母配合驅動機構,并且通過變頻電機的設置,可精確的對位移進行控制,使得其能夠移動到精確目的位),所述升降板4.2的底部連接有一橫向設置的吸盤座4.3,所述吸盤座4.3的底部平行安裝有多個吸盤4.4,且吸盤4.4的數(shù)量與左花籃定位座1.1上的左花籃、石英舟定位座1.2上的石英舟以及右花籃定位座1.3上的右花籃中的娃片數(shù)量一致;
[0021]同時,為了提供裝片、卸片的效果,所述左花籃定位座1.1和右花籃定位座1.3旁均設置有整理氣缸2,所述整理氣缸2的活塞桿上橫向連接有一推桿,該推桿的長度方向與左花籃定位座1.1上的左花籃和右花籃定位座1.3上的右花籃的長度方向相平行;上述整理氣缸2用于對花籃內的硅片進行整理,以提高裝片和卸片的效果;另外:所述工作平臺I的臺面為一斜面,該斜面的傾斜角與石英舟定位座1.2上的石英舟槽的傾斜度相同且方向相反,從而使得石英舟內的硅片可自由的在垂直方向上進出料,優(yōu)選的上述傾斜度為3° ;同時,上述工作平臺I的臺面在石英舟定位座1.2處開有一通孔,一固定于工作平臺I上的升降頂升機構位于該通孔下方,具體的講,該升降頂升機構可以為油缸、氣缸、絲桿螺母等機構,該升降頂升機構頂部橫向設置有梳齒板,該梳齒板上的梳齒數(shù)量與石英舟定位座1.2上的石英舟內的硅片數(shù)量一致;
[0022]另外:需要注意的是,上述【具體實施方式】僅為本專利的一個優(yōu)化方案,本領域的技術人員根據(jù)上述構思所做的任何改動或改進,均在本專利的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種光伏擴散工序中的硅片自動裝卸機,所述光伏擴散工序中的硅片自動裝卸機包含有工作平臺(1),其特征在于:所述工作平臺(I)的臺面上從左至右橫向設置有左花籃定位座(1.1)、石英舟定位座(1.2)和右花籃定位座(1.3); 所述工作平臺(I)的臺面上方架設有龍門架(3),所述龍門架(3)的橫梁上滑動設置有抓取機構(4),所述抓取機構(4)包含有平移板(4.1),所述平移板(4.1)通過直線導軌滑動設置于龍門架(3)的橫梁上,所述平移板(4.1)上通過豎向設置的直線導軌滑動連接有升降板(4.2),所述升降板(4.2)的底部連接有一橫向設置的吸盤座(4.3),所述吸盤座(4.3)的底部平行安裝有多個吸盤(4.4),且吸盤(4.4)的數(shù)量與左花籃定位座(1.1)上的左花籃、石英舟定位座(1.2)上的石英舟以及右花籃定位座(1.3)上的右花籃中的硅片數(shù)量一致。
2.如權利要求1所述一種光伏擴散工序中的硅片自動裝卸機,其特征在于:所述左花籃定位座(1.1)和右花籃定位座(1.3)旁均設置有整理氣缸(2),所述整理氣缸(2)的活塞桿上橫向連接有一推桿,該推桿的長度方向與左花籃定位座(1.1)上的左花籃和右花籃定位座(1.3)上的右花籃的長度方向相平行。
3.如權利要求1或2所述一種光伏擴散工序中的硅片自動裝卸機,其特征在于:所述工作平臺(I)的臺面為一斜面,該斜面的傾斜角與石英舟定位座(1.2)上的石英舟槽的傾斜度相同且方向相反。
4.如權利要求3所述一種光伏擴散工序中的硅片自動裝卸機,其特征在于:所述工作平臺(I)臺面的傾斜度為3°。
5.如權利要求1或2所述一種光伏擴散工序中的硅片自動裝卸機,其特征在于:上述工作平臺(I)的臺面在石英舟定位座(1.2)處開有一通孔,一固定于工作平臺(I)上的升降頂升機構位于該通孔下方,該升降頂升機構頂部橫向設置有梳齒板,該梳齒板上的梳齒數(shù)量與石英舟定位座(1.2)上的石英舟內的硅片數(shù)量一致。
【專利摘要】本實用新型涉及一種光伏擴散工序中的硅片自動裝卸機,包含有工作平臺(1),所述工作平臺(1)的臺面上從左至右橫向設置有左花籃定位座(1.1)、石英舟定位座(1.2)和右花籃定位座(1.3);工作平臺(1)的臺面上方架設有龍門架(3),所述龍門架(3)的橫梁上滑動設置有抓取機構(4),所述抓取機構(4)包含有平移板(4.1),所述平移板(4.1)通過直線導軌滑動設置于龍門架(3)的橫梁上,所述平移板(4.1)上通過豎向設置的直線導軌滑動連接有升降板(4.2),所述升降板(4.2)的底部連接有一橫向設置的吸盤座(4.3),所述吸盤座(4.3)的底部平行安裝有多個吸盤(4.4)。本實用新型涉及一種光伏擴散工序中的硅片自動裝卸機,工作效率高。
【IPC分類】H01L21-673, H01L31-18, H01L21-683
【公開號】CN204407346
【申請?zhí)枴緾N201520015828
【發(fā)明人】李長英, 陳 光, 高玉良
【申請人】江陰方艾機器人有限公司
【公開日】2015年6月17日
【申請日】2015年1月12日
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