專利名稱：用于晶體硅太陽能電池刻蝕槽的輥筒結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及晶體硅太陽能電池生產(chǎn)加工領(lǐng)域，具體是ー種用于晶體硅太陽能電池刻蝕槽的輥筒結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
在晶體硅太陽能電池的生產(chǎn)過程中，刻蝕エ序要將硅片背表面和周邊的PN結(jié)去掉，而現(xiàn)有エ藝設(shè)計(jì)是采用単獨(dú)全輥筒結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)或単獨(dú)骨頭狀輥筒刻蝕掉整個硅片背面的PN結(jié)和硅片周邊的PN結(jié)。単獨(dú)全輥筒結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的刻蝕エ藝導(dǎo)致硅片背面刻蝕量大，引起酸的耗量大，成本上升。而單獨(dú)骨頭狀輥筒結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的刻蝕エ藝導(dǎo)致某ー邊角的刻蝕效果不佳，同時硅片背面大部分地方的拋光特性不好，骨頭狀輥筒上有些部分與硅片不接觸，影響エ藝質(zhì)量
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型提供了一種用于晶體硅太陽能電池刻蝕槽的輥筒結(jié)構(gòu)，解決了以往的輥筒結(jié)構(gòu)要么導(dǎo)致酸的耗量較大、成本較高，要么導(dǎo)致硅片的拋光特性不好，影響エ藝質(zhì)量的問題。本實(shí)用新型為解決技術(shù)問題主要通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)用于晶體硅太陽能電池刻蝕槽的輥筒結(jié)構(gòu)，包括全輥筒、骨頭狀輥筒以及固定全輥筒、骨頭狀輥筒的刻蝕槽，所述全輥筒的形狀為圓柱形，所述骨頭狀輥筒由全輥筒等間距環(huán)切得到，所述全輥筒與骨頭狀輥筒的中心線相互平行，且全輥筒與骨頭狀輥筒的中心線位于同一水平面上。骨頭狀輥筒，顧名思義，即形狀類似于骨頭，可以看作是兩種直徑不等的圓柱體連續(xù)交替連接而成的，也可以看作是一段圓柱體經(jīng)過等間距環(huán)切而形成的。所述全輥筒與骨頭狀輥筒采用ー根全輥筒、一根骨頭狀輥筒連續(xù)交替排布的方式固定在刻蝕槽上，即相鄰兩根全輥筒之間設(shè)置一根骨頭狀輥筒。所述全輥筒與骨頭狀輥筒采用兩根全輥筒、兩根骨頭狀輥筒連續(xù)交替排布的方式固定在刻蝕槽上。所述全輥筒與骨頭狀輥筒采用3根全輥筒、5根骨頭狀輥筒連續(xù)交替排布的方式固定在刻蝕槽上。本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn)和有益效果(I)本實(shí)用新型采用全輥筒與骨頭狀輥筒交替排布的方式，取代了傳統(tǒng)單ー全輥筒的排布方式，減小了エ藝過程中酸的耗量，進(jìn)而降低了成本。(2)本實(shí)用新型采用全輥筒與骨頭狀輥筒交替排布的方式，取代了傳統(tǒng)單一骨頭狀輥筒的排布方式，在保證了刻蝕掉硅片背面和側(cè)面多余的摻雜層的基礎(chǔ)上，使硅片背面獲得了較好的拋光效果，保證了良好的エ藝質(zhì)量。

[0012]圖I為本實(shí)用新型的實(shí)施例I的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型的實(shí)施例2的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型的實(shí)施例3的結(jié)構(gòu)示意圖。附圖中所對應(yīng)的附圖標(biāo)記為1、刻蝕槽，2、全輥筒，3、骨頭狀輥筒。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)ー步的詳細(xì)說明，但本實(shí)用新型的實(shí)施方式不限于此。實(shí)施例 如圖I所示，本實(shí)用新型包括全輥筒2、骨頭狀輥筒3以及固定全輥筒2、骨頭狀輥筒3的刻蝕槽1，全輥筒2的形狀為圓柱形，骨頭狀輥筒3由全輥筒2等間距環(huán)切得到，全輥筒2與骨頭狀輥筒3的中心線相互平行，且全輥筒2與骨頭狀輥筒3的中心線位于同一水平面上。本實(shí)施例的全輥筒2與骨頭狀輥筒3采用ー根全輥筒2、一根骨頭狀輥筒3連續(xù)交替排布的方式固定在刻蝕槽I上，即相鄰兩根全輥筒2之間設(shè)置一根骨頭狀輥筒3。實(shí)施例2 如圖2所示，本實(shí)用新型包括全輥筒2、骨頭狀輥筒3以及固定全輥筒2、骨頭狀輥筒3的刻蝕槽1，全輥筒2的形狀為圓柱形，骨頭狀輥筒3由全輥筒2等間距環(huán)切得到，全輥筒2與骨頭狀輥筒3的中心線相互平行，且全輥筒2與骨頭狀輥筒3的中心線位于同一水平面上。本實(shí)施例的全輥筒2與骨頭狀輥筒3采用兩根全輥筒2、兩根骨頭狀輥筒3連續(xù)交替排布的方式固定在刻蝕槽I上。實(shí)施例3 如圖3所示，本實(shí)用新型包括全輥筒2、骨頭狀輥筒3以及固定全輥筒2、骨頭狀輥筒3的刻蝕槽1，全輥筒2的形狀為圓柱形，骨頭狀輥筒3由全輥筒2等間距環(huán)切得到，全輥筒2與骨頭狀輥筒3的中心線相互平行，且全輥筒2與骨頭狀輥筒3的中心線位于同一水平面上。本實(shí)施例的全輥筒2與骨頭狀輥筒3采用3根全輥筒2和5根骨頭狀輥筒3連續(xù)交替排布的方式固定在刻蝕槽I上。本實(shí)用新型的工作原理為全輥筒2、骨頭狀輥筒3轉(zhuǎn)動起來，硅片與全輥筒2、骨頭狀輥筒3接觸，進(jìn)行刻蝕操作，將硅片背面和側(cè)面多余的摻雜層刻蝕掉。如上所述，則能很好地實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型。
權(quán)利要求1.用于晶體硅太陽能電池刻蝕槽的輥筒結(jié)構(gòu)，其特征在于包括全輥筒(2)、骨頭狀輥筒(3)以及固定全輥筒(2)、骨頭狀輥筒(3)的刻蝕槽(1)，所述全輥筒(2)的形狀為圓柱形，所述骨頭狀輥筒(3)由全輥筒(2)等間距環(huán)切得到，所述全輥筒(2)與骨頭狀輥筒(3)的中心線相互平行，且全輥筒(2)與骨頭狀輥筒(3)的中心線位于同一水平面上。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于晶體硅太陽能電池刻蝕槽的輥筒結(jié)構(gòu)，其特征在于所述全輥筒(2 )與骨頭狀輥筒(3 )采用一根全輥筒(2 )、一根骨頭狀輥筒(3 )連續(xù)交替排布的方式固定在刻蝕槽(I)上，即相鄰兩根全輥筒(2)之間設(shè)置一根骨頭狀輥筒(3)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于晶體硅太陽能電池刻蝕槽的輥筒結(jié)構(gòu)，其特征在于所述全輥筒(2)與骨頭狀輥筒(3)采用兩根全輥筒(2)、兩根骨頭狀輥筒(3)連續(xù)交替排布的方式固定在刻蝕槽(I)上。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于晶體硅太陽能電池刻蝕槽的輥筒結(jié)構(gòu)，其特征在于所述全輥筒(2)與骨頭狀輥筒(3)采用3根全輥筒(2)、5根骨頭狀輥筒(3)連續(xù)交替排布的方式固定在刻蝕槽(I)上。
專利摘要本實(shí)用新型公開了用于晶體硅太陽能電池刻蝕槽的輥筒結(jié)構(gòu)，包括全輥筒(2)、骨頭狀輥筒(3)以及固定全輥筒(2)、骨頭狀輥筒(3)的刻蝕槽(1)，全輥筒(2)的形狀為圓柱形，骨頭狀輥筒(3)由全輥筒(2)等間距環(huán)切得到，全輥筒(2)與骨頭狀輥筒(3)的中心線相互平行，且全輥筒(2)與骨頭狀輥筒(3)的中心線位于同一水平面上。本實(shí)用新型采用上述結(jié)構(gòu)，能減小工藝過程中酸的耗量，且能使硅片背面獲得較好的拋光效果，保證良好的工藝質(zhì)量。
文檔編號H01L31/18GK202601708SQ20122027988
公開日2012年12月12日 申請日期2012年6月14日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月14日
發(fā)明者馬熠隆, 程曦, 段甜健, 夏偉, 包崇彬, 李質(zhì)磊, 盛雯婷, 張鳳鳴 申請人:天威新能源控股有限公司, 保定天威集團(tuán)有限公司