專利名稱：芯片測試打點機的制作方法
技術(shù)領域：
本實用新型涉及一種芯片測試裝置，尤其涉及一種芯片測試打點機，屬于GPP芯片制程過程中的測試良率設備。
技術(shù)背景 現(xiàn)有技術(shù)中使用的打點測試機采用的是單個測試針，對芯片單個測試，單測試參數(shù)為反向電流VR，反向漏電流IR，及正向壓降VF，當出現(xiàn)測試不良品時分兩種情況進行對芯片進行廢品打點標識1、測試時芯片運動平臺由左向右時，第一打點標記針運動進行打點標記；2、測試時芯片運動平臺由左向右時,第二打點標記針運動進行打點標記?，F(xiàn)有的打點測試機的具體結(jié)構(gòu)和測試過程如下由兩個打點標記針，一個測試探針，一個承載運動平臺，及相關固定架組成；測試探針連接測試儀器設備，負責測試參數(shù)的輸入及反饋，用來測試設備判斷產(chǎn)品好壞，探針通過固定架固定，被測試芯片通過芯片承載運動臺移到測試針位置后進行測試，每次測試完成移動一個芯片距離進行下一個產(chǎn)品測試，按預先設定好運動軌道重復作業(yè)(通過中央處理器記錄測試位置點);左右打點標記針與測試針固定一個芯片距離，但測試設備測出廢品后，將信息反饋機器中央處理器，處理器傳出信號給打點標記針固定軌道上感應器，打點標記針動作進行打點標記作業(yè)后復位，帶下一次指示信號。采用現(xiàn)有的打點測試機主要存在如下不足工作效率為10分鐘/片，如果以40000片/月產(chǎn)能配套，至少需要10-11臺測試設備，需要安裝空間至少20-30平米，5-6人操作機臺，因此工作效率低，設備占用空間大，能源消耗大，需要的操作人員多，因而增加了生產(chǎn)成本。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中的打點測試機存在的上述問題，提供一種新型芯片測試打點機，本實用新型的主要目的在于提高設備的工作效率，減小設備占用的空間。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用的技術(shù)方案如下—種芯片測試打點機，包括打點標記針、芯片承載運動平臺、測試探針和用于固定測試探針的固定架，其特征在于所述打點標記針包括第一打點標記針和第二打點標記針，所述測試探針包括與第一打點標記針配合的第一測試探針和與第二打點標記針配合的第二測試探針，第一測試探針和第二測試探針位于第一打點標記針和第二打點標記針之間，第一打點標記針和第一測試探針之間的距離為一個芯片的長度，第二打點標記針和第二測試探針之間的距離為一個芯片的長度。所述第一測試探針和第二測試探針之間的距離為一個芯片的長度。所述第一測試探針和第二測試探針分別固定在固定架上。采用本實用新型的優(yōu)點在于[0011]一、本實用新型中，所述打點標記針包括第一打點標記針和第二打點標記針，所述測試探針包括與第一打點標記針配合的第一測試探針和與第二打點標記針配合的第二測試探針，第一測試探針和第二測試探針位于第一打點標記針和第二打點標記針之間，第一打點標記針和第一測試探針之間的距離為一個芯片的長度，第二打點標記針和第二測試探針之間的距離為一個芯片的長度，此結(jié)構(gòu)通過調(diào)整打點標記針距離，實現(xiàn)每次同時測試兩個芯片產(chǎn)品的目的，提高了工作效率，并且可以減小設備占用的空間。[0012]二、本實用新型中，所述第一測試探針和第二測試探針之間的距離為一個芯片的長度，采用此結(jié)構(gòu)使設備結(jié)構(gòu)最緊湊，進一步使設備占用空間小，并且減小芯片材料浪費。三、本實用新型中，所述第一測試探針和第二測試探針分別固定在固定架上，采用此結(jié)構(gòu)使測試探針和打點標記針的配合更加可靠。四、采用本實用新型，可將芯片測試效率控制到6分鐘/片，以40000片/月產(chǎn)能配套計算，只需要5-6臺測試設備，安裝空間10-12平米，2-3人操作機臺，極大節(jié)省了測試設備數(shù)量，可提升設備效率40%以上，提高了設備利用率，減小了能源消耗，降低了產(chǎn)品制造成本。

圖I為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖圖中標記為1、芯片承載運動平臺，2、固定架，3、第一打點標記針，4、第二打點標記針，5、第一測試探針，6、第二測試探針，7、待測試芯片材料。
具體實施方式
一種芯片測試打點機，包括打點標記針、芯片承載運動平臺I、測試探針和用于固定測試探針的固定架2,所述打點標記針包括第一打點標記針3和第二打點標記針4,所述測試探針包括與第一打點標記針3配合的第一測試探針5和與第二打點標記針4配合的第二測試探針6，第一測試探針5和第二測試探針6位于第一打點標記針3和第二打點標記針4之間，第一打點標記針3和第一測試探針5之間的距離為一個芯片的長度，第二打點標記4針和第二測試探針6之間的距離為一個芯片的長度。本實用新型的優(yōu)選實施方式為，所述第一測試探針5和第二測試探針6之間的距離為一個芯片的長度。本實用新型的優(yōu)選實施方式為，所述第一測試探針5和第二測試探針6分別固定在固定架2上。本實用新型的工作原理如下待測試芯片材料7中，兩個芯片為一組，每次同時測試兩個芯片，傳給相連接的測試設備。如果兩個芯片測試都是合格的，芯片承載運動平臺移動兩個芯片的距離，打點器不動作，進行下一組測試；如果被測試芯片第一個芯片測試不合格，芯片承載運動平臺移動距離為單個芯片距離，測試程序測試不動，只進行打點動作再移動一個芯片的距離進行下一組測試。如果第二個芯片測試不合格，芯片承載運動平臺移動距離為兩個芯片距離，測試程序測試不動，進行打點動作同時測試探針進行下一組測試。[0023]如果兩個芯片同時測試不合格，芯片承載運動平臺移動一個芯片的距離打點標記針打點，程序不測試，再移動一個芯片的距離對第二個芯片打點。同時測試探針進行下一組 測試。因產(chǎn)品測試良率在96%以上，所以整個運動過程幾乎不會因程序判斷時間影響整體設備運行效率。
權(quán)利要求1.一種芯片測試打點機，包括打點標記針、芯片承載運動平臺(I)、測試探針和用于固定測試探針的固定架(2)，其特征在于所述打點標記針包括第一打點標記針(3)和第二打點標記針(4)，所述測試探針包括與第一打點標記針(3)配合的第一測試探針(5)和與第二打點標記針(4)配合的第二測試探針(6)，第一測試探針(5)和第二測試探針(6)位于第一打點標記針(3)和第二打點標記針(4)之間，第一打點標記針(3)和第一測試探針(5)之間的距離為一個芯片的長度，第二打點標記針(4)和第二測試探針(6)之間的距離為一個芯片的長度。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的芯片測試打點機，其特征在于所述第一測試探針(5)和第二測試探針(6 )之間的距離為一個芯片的長度。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的芯片測試打點機，其特征在于所述第一測試探針(5)和第二測試探針(6 )分別固定在固定架(2 )上。
專利摘要本實用新型公開了一種芯片測試打點機，包括打點標記針、芯片承載運動平臺、測試探針和用于固定測試探針的固定架，所述打點標記針包括第一打點標記針和第二打點標記針，所述測試探針包括與第一打點標記針配合的第一測試探針和與第二打點標記針配合的第二測試探針，第一測試探針和第二測試探針位于第一打點標記針和第二打點標記針之間，第一打點標記針和第一測試探針之間的距離為一個芯片的長度，第二打點標記針和第二測試探針之間的距離為一個芯片的長度。本實用新型的主要目的在于提高設備的工作效率，減小設備占用的空間。
文檔編號H01L21/66GK202384304SQ201120562638
公開日2012年8月15日 申請日期2011年12月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月29日
發(fā)明者孫曉家, 鄧華鮮 申請人:樂山嘉洋科技發(fā)展有限公司