一種檢測壓電陶瓷壓電常數(shù)d31的裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種檢測壓電陶瓷壓電常數(shù)d31的裝置，涉及激光干涉檢測技術(shù)。該裝置由激光器（1）、擴束鏡（2）、準直鏡（3）、分光鏡（4）、壓電陶瓷緊固件（5）、聚焦透鏡（6）、面陣CCD（7）、計算機（8）、反射鏡（9）和積分放大電路（10）組成。其工作原理是通過鋸齒波信號驅(qū)動壓電陶瓷，利用激光干涉法精確測量壓電陶瓷的離面位移，得到壓電陶瓷壓電常數(shù)d31。優(yōu)點是：結(jié)構(gòu)簡單，方法可靠，操作方便，精度高且穩(wěn)定，適合對壓電陶瓷的壓電常數(shù)d31進行實時檢測。
【專利說明】
一種檢測壓電陶瓷壓電常數(shù)d31的裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及激光干涉檢測技術(shù)，主要用于壓電陶瓷壓電常數(shù)d31的檢測。
【背景技術(shù)】
[0002]在壓電陶瓷器件的各項工作性能指標中，壓電常數(shù)是一項很重要的衡量因素，它不僅關(guān)系到壓電陶瓷器件的品質(zhì)，更是影響了這些精密儀器工作的精確度和靈敏度。傳統(tǒng)的壓電陶瓷靈敏度測量方法有機械測量法、電渦流位移計法、原子力顯微鏡法和光學(xué)測量法等，其中機械測量法在測量微量位移時來說相對誤差比較大、操作復(fù)雜；電渦流位移計測量法受電磁干擾影響比較大；原子力顯微鏡法造價比較昂貴難以大規(guī)模應(yīng)用。相對于前幾種方法，采用激光干涉法測量壓電陶瓷的壓電常數(shù)，設(shè)備簡單，操作容易，且能實現(xiàn)高精度測量。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型的目的，提供了一種檢測壓電陶瓷壓電常數(shù)d31的裝置，該裝置根據(jù)壓電陶瓷的工作原理，通過鋸齒波信號驅(qū)動壓電陶瓷，利用激光干涉法精確測量壓電陶瓷的離面位移，得到壓電陶瓷壓電常數(shù)d31。本實用新型的優(yōu)點是:結(jié)構(gòu)簡單，方法可靠，操作方便，精度高且穩(wěn)定，適合對壓電陶瓷的壓電常數(shù)進行實時檢測。
[0004]為了達到上述目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案:
[0005]—種檢測壓電陶瓷壓電常數(shù)d31的裝置由激光器、擴束鏡、準直鏡、分光鏡、壓電陶瓷緊固件、聚焦透鏡、面陣CCD、計算機、反射鏡和積分放大器組成;激光器、擴束鏡、準直鏡和壓電陶瓷緊固件依次同軸放置在同一水平線上，分光鏡放置在準直鏡和壓電陶瓷緊固件之間，與軸向成45°角，分光鏡的反射方向垂直放置反射鏡，反射鏡反射面的垂直方向過分光鏡依次同軸放置聚焦透鏡和面陣CCD，面陣CCD的輸出端連接計算機圖像采集卡的輸入端，計算機串口輸出信號連接積分放大器，積分放大器的輸出端連接到壓電陶瓷緊固件中壓電陶瓷樣品的控制端;擴束鏡與準直鏡的距離為擴束鏡和準直鏡焦距之和，面陣CCD放置在聚焦透鏡的像面上。
[0006]本實用新型的優(yōu)點是:結(jié)構(gòu)簡單，方法可靠，操作方便，精度高且穩(wěn)定，適合對壓電陶瓷的壓電常數(shù)進行實時檢測。
【附圖說明】
[0007]圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)不意圖。
【具體實施方式】
[0008]下面將結(jié)合附圖對本實用新型作進一步說明。
[0009]由圖1可知，一種檢測壓電陶瓷壓電常數(shù)d31的裝置由激光器1、擴束鏡2、準直鏡3、分光鏡4、壓電陶瓷緊固件5、聚焦透鏡6、面陣(XD7、計算機8、反射鏡9和積分放大器10組成；激光器1、擴束鏡2、準直鏡3和壓電陶瓷緊固件5依次同軸放置在同一水平線上，分光鏡4放置在準直鏡3和壓電陶瓷緊固件5之間，與軸向成45°角，分光鏡4的反射方向垂直放置反射鏡9，反射鏡9反射面的垂直方向過分光鏡4依次同軸放置聚焦透鏡6和面陣CCD7，面陣CCD7的輸出端連接計算機8圖像采集卡的輸入端，計算機8串口輸出信號連接積分放大器10，積分放大器10的輸出端連接到壓電陶瓷緊固件5中壓電陶瓷樣品的控制端;擴束鏡2與準直鏡3的距離為擴束鏡2和準直鏡3焦距之和，面陣(XD7放置在聚焦透鏡6的像面上。
[0010]本實用新型的工作流程；
[0011]將壓電陶瓷固定在壓電陶瓷緊固件5上，并在其表面鍍反射膜。從激光器發(fā)射的激光束經(jīng)擴束鏡2和準直鏡3后到達分光鏡4，將激光束分成強度相等的兩束光，透射光經(jīng)壓電陶瓷樣品反射回分光鏡4，反射光經(jīng)反射鏡9返回分光鏡4，由于兩束光是同一激光器發(fā)出的激光光源，滿足干涉條件，所以形成明暗相間的干涉條紋，干涉條紋經(jīng)過聚焦透鏡6，成像到面陣CCD7，面陣CCD7采集的圖像信號經(jīng)計算機中數(shù)字采集卡轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號。由計算機串口發(fā)出信號，經(jīng)積分放大器轉(zhuǎn)換成鋸齒波并功率放大，驅(qū)動壓電陶瓷，其離面位移發(fā)生變化，通過計算機可以檢測到整個面陣CCD上干涉條紋級數(shù)變化，從而計算出壓電陶瓷表面的離面位移改變量，同時計算出此時驅(qū)動的電壓值，最終擬合離面位移與電壓曲線，獲得壓電常數(shù)d31。
【主權(quán)項】
1.一種檢測壓電陶瓷壓電常數(shù)d31的裝置，其特征在于，該裝置由激光器(1)、擴束鏡(2)、準直鏡(3)、分光鏡(4)、壓電陶瓷緊固件(5)、聚焦透鏡(6)、面陣CCD(7)、計算機(8)、反射鏡(9 )和積分放大器(1 )組成;激光器(I)、擴束鏡(2 )、準直鏡(3 )和壓電陶瓷緊固件(5 )依次同軸放置在同一水平線上，分光鏡(4)放置在準直鏡(3)和壓電陶瓷緊固件(5)之間，與軸向成45°角，分光鏡(4)的反射方向垂直放置反射鏡(9)，反射鏡(9)反射面的垂直方向過分光鏡(4)依次同軸放置聚焦透鏡(6 )和面陣CXD (7 )，面陣CCD(7 )的輸出端連接計算機(8 )圖像采集卡的輸入端，計算機(8)串口輸出信號連接積分放大器(10)，積分放大器(10)的輸出端連接到壓電陶瓷緊固件(5)中壓電陶瓷樣品的控制端;擴束鏡(2)與準直鏡(3)的距離為擴束鏡(2)和準直鏡(3)焦距之和，面陣(XD(7)放置在聚焦透鏡(6)的像面上。
【文檔編號】G01R29/22GK205594083SQ201521093534
【公開日】2016年9月21日
【申請日】2015年12月25日
【發(fā)明人】吳金泉, 陳心浩, 王雪平, 徐小燕
【申請人】中南民族大學(xué)