一種移載機自動感測裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型為有關一種移載機自動感測裝置，主要結構包括一晶圓容置體、一活動設置于該晶圓容置體一側的啟閉機構、至少一設于該啟閉機構上供感測該啟閉機構的角度的感測裝置、及一信息連結該感測裝置的資料處理裝置，且該感測裝置的角度感測范圍為-15度至15度之間，又該感測裝置為機械式角度傳感器、電子式角度傳感器、光學式角度傳感器或液壓式角度傳感器其中之一者，可借由感測裝置達到感測門板開合角度的實用進步性。
【專利說明】
一種移載機自動感測裝置
技術領域
[0001]本實用新型為提供一種移載機自動感測裝置，尤指一種可感測門板開閉機構的開合角度的移載機自動感測裝置。
【背景技術】
[0002]按，晶舟盒為運送晶圓極為重要的載具，由于晶圓須在無塵及無污染的條件下進行運送，因此門板的密合極為重要，晶舟盒移載機由開閉機構做開門或關門動作，習用門板由于無法偵測其閉合的角度，導致門板蓋合不完全，而讓晶圓遭受污染，亦或晶舟盒移載機的開關門機構在運送過程中發(fā)生門板松脫情事卻不自知，而造成產(chǎn)品損傷，所以需確認開閉機構的動作是否確實。
[0003]是以，要如何解決上述習用的問題與缺失，即為本實用新型的
【申請人】與從事此行業(yè)的相關廠商所亟欲研究改善的方向所在者。
【實用新型內容】
[0004]故，本實用新型的
【申請人】有鑒于上述缺失，乃搜集相關資料，經(jīng)由多方評估及考量，并以從事于此行業(yè)累積的多年經(jīng)驗，經(jīng)由不斷試作及修改，始設計出此種可感測門板開閉機構的開合角度的移載機自動感測裝置的實用新型專利者。
[0005]本實用新型的主要目的在于:為針對習用晶舟盒移載機所存在的無法感測門板開關門機構的開關角度的問題點加以突破，達到感測門板開關門機構的開關角度的實用進步性。
[0006]為達上述目的，本實用新型的解決方案是:
[0007]—種移載機自動感測裝置，包含:
[0008]—晶圓容置體；
[0009]—活動設置于該晶圓容置體一側的啟閉機構；
[0010]至少一設于該啟閉機構上的感測裝置，供感測該啟閉機構的角度。
[0011]進一步，該感測裝置的角度感測范圍為-15度至15度之間。
[0012]進一步，更包含一信息連結該感測裝置的資料處理裝置。
[0013]進一步，該感測裝置為機械式角度傳感器。
[0014]進一步，該感測裝置為電子式角度傳感器。
[0015]進一步，該感測裝置為光學式角度傳感器。
[0016]進一步，該感測裝置為液壓式角度傳感器。
[0017]借由上述構件組構時，可借由資料處理裝置記錄并偵測感測裝置的所有數(shù)據(jù)變化，且感測裝置的靈敏度可達到0.1度，而偵測范圍由15度至負15度之間，因此，當晶圓容置體的啟閉機構做開關門動作時，可以借由感測裝置連結資料處理裝置得知啟閉機構的開合角度，以避免因蓋合不全而使晶圓遭受污染的情形發(fā)生。
【附圖說明】
[0018]圖1為本實用新型較佳實施例的實施示意圖；
[0019]圖2為本實用新型較佳實施例的側面示意圖；
[0020]圖3為本實用新型較佳實施例的動作示意圖。
[0021]【符號說明】
[0022]晶圓容置體I啟閉機構 2
[0023]感測裝置 3資料處理裝置4。
【具體實施方式】
[0024]為達成上述目的及功效，本實用新型所采用的技術手段及構造，茲繪圖就本實用新型較佳實施例詳加說明其特征與功能如下，俾利完全了解。
[0025]請參閱圖1及圖2所示，為本實用新型較佳實施例的實施示意圖及側面示意圖，由圖中可清楚看出本實用新型包括:
[0026]一晶圓容置體I;
[0027 ] 一活動設置于該晶圓容置體I 一側的啟閉機構2;
[0028]至少一設于該啟閉機構2上的感測裝置3，供感測該啟閉機構2的角度，且該感測裝置3為機械式角度傳感器、電子式角度傳感器、光學式角度傳感器或液壓式角度傳感器其中之一者;
[0029]一信息連結該感測裝置3的資料處理裝置4。
[0030]上述該感測裝置3的角度感測范圍為-15度至15度之間。
[0031]借由上述的說明，已可了解本技術的結構，而依據(jù)這個結構的對應配合，更達到可感測門板開關門機構的開合角度的優(yōu)勢，而詳細的解說將于下述說明。
[0032]請同時配合參閱圖1至圖3所示，為本實用新型較佳實施例的實施示意圖、側面示意圖及動作示意圖，借由上述構件組構時，可由圖中清楚看出，感測裝置3裝設于晶圓容置體I的啟閉機構2上，且信息連結一資料處理裝置4，因此可借由資料處理裝置4記錄并偵測感測裝置3的所有數(shù)據(jù)變化，且感測裝置3的靈敏度可達到0.1度，而偵測范圍由15度至負15度之間，因此，當晶圓容置體I的啟閉機構2做開關門動作時，可以借由感測裝置3連結資料處理裝置4得知啟閉機構2的開合角度，以避免因蓋合不全而使晶圓遭受污染的情形發(fā)生。
[0033]惟，以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，非因此即局限本實用新型的專利范圍，故舉凡運用本實用新型說明書及圖式內容所為的簡易修飾及等效結構變化，均應同理包含于本實用新型的專利范圍內，合予陳明。
【主權項】
1.一種移載機自動感測裝置，其特征在于，包含: 一晶圓容置體； 一活動設置于該晶圓容置體一側的啟閉機構； 至少一供感測該啟閉機構的角度的感測裝置，設于該啟閉機構上。2.如權利要求1所述的一種移載機自動感測裝置，其特征在于:該感測裝置的角度感測范圍為-15度至15度之間。3.如權利要求1所述的一種移載機自動感測裝置，其特征在于:更包含一信息連結該感測裝置的資料處理裝置。4.如權利要求1所述的一種移載機自動感測裝置，其特征在于:該感測裝置為機械式角度傳感器。5.如權利要求1所述的一種移載機自動感測裝置，其特征在于:該感測裝置為電子式角度傳感器。6.如權利要求1所述的一種移載機自動感測裝置，其特征在于:該感測裝置為光學式角度傳感器。7.如權利要求1所述的一種移載機自動感測裝置，其特征在于:該感測裝置為液壓式角度傳感器。
【文檔編號】G01B21/22GK205482895SQ201620103835
【公開日】2016年8月17日
【申請日】2016年2月2日
【發(fā)明人】小松省二
【申請人】樂華科技股份有限公司