旋轉(zhuǎn)臺(tái)的控制方法和裝置的制造方法
【專(zhuān)利摘要】提供一種旋轉(zhuǎn)臺(tái)的控制方法和裝置。通過(guò)XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)(18)，能夠?qū)⑿D(zhuǎn)臺(tái)(16)沿與該旋轉(zhuǎn)臺(tái)(16)的旋轉(zhuǎn)軸正交的二維方向(XY方向)移動(dòng)，通過(guò)與旋轉(zhuǎn)臺(tái)(16)的旋轉(zhuǎn)同步地對(duì)旋轉(zhuǎn)臺(tái)(16)的所述二維方向上的移動(dòng)位置進(jìn)行協(xié)調(diào)控制，能夠使旋轉(zhuǎn)臺(tái)(16)以旋轉(zhuǎn)臺(tái)(16)上的任意的位置為虛擬的旋轉(zhuǎn)中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。并且，在對(duì)所述二維方向上的移動(dòng)位置進(jìn)行協(xié)調(diào)控制時(shí)，還對(duì)因旋轉(zhuǎn)臺(tái)(16)的偏心引起的旋轉(zhuǎn)的偏心進(jìn)行校正。由此，能夠在旋轉(zhuǎn)臺(tái)上的任意的位置處設(shè)定虛擬的旋轉(zhuǎn)中心，無(wú)需重新配置被檢體就能夠在多個(gè)攝像部位得到高分辨率的斷層圖像。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
旋轉(zhuǎn)臺(tái)的控制方法和裝置
[0001 ] 本申請(qǐng)通過(guò)參照2015年4月17日申請(qǐng)的日本專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?015-085352而引用其說(shuō) 明書(shū)、附圖以及權(quán)利要求書(shū)。
技術(shù)領(lǐng)域
[0002] 本發(fā)明涉及一種旋轉(zhuǎn)臺(tái)的控制方法和裝置，特別是涉及一種適于在測(cè)量用X射線 CT裝置中使用的、能夠在旋轉(zhuǎn)臺(tái)上的任意的位置處設(shè)置虛擬的旋轉(zhuǎn)中心的旋轉(zhuǎn)臺(tái)的控制方 法和裝置。
【背景技術(shù)】
[0003] 已知如日本特開(kāi)2002-310943號(hào)公報(bào)、日本特開(kāi)2014-134528號(hào)公報(bào)、日本特開(kāi) 2006-242611號(hào)公報(bào)、日本特表2010-523950號(hào)公報(bào)（以下稱(chēng)為專(zhuān)利文獻(xiàn)1至4)所記載的那樣 的、通過(guò)非破壞的方式得到被檢體的斷層圖像的測(cè)量用X射線CT裝置。一般來(lái)說(shuō)，如圖1A和 圖1B所例示那樣，該測(cè)量用X射線CT裝置具備:產(chǎn)生X射線的X射線管(X射線源12);載置被檢 體10并旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)臺(tái)16;以及檢測(cè)X射線并使被檢體10的透射像圖像化的X射線檢測(cè)器14。 該測(cè)量用X射線CT裝置一邊通過(guò)旋轉(zhuǎn)臺(tái)16使被檢體10旋轉(zhuǎn)一邊從X射線源12對(duì)該被檢體10 進(jìn)行X射線照射，通過(guò)利用X射線檢測(cè)器14進(jìn)行檢測(cè)的CT掃描來(lái)獲取被檢體10的透射像，通 過(guò)對(duì)該透射像進(jìn)行圖像重建來(lái)生成被檢體10的斷層圖像。
[0004] 為了得到被檢體10的斷層圖像，要進(jìn)行CT掃描和圖像重建。關(guān)于CT掃描，使旋轉(zhuǎn)臺(tái) 16上的被檢體10在X射線照射過(guò)程中以固定速度連續(xù)地、或者以固定步長(zhǎng)間歇地旋轉(zhuǎn)，來(lái)獲 取被檢體10的整個(gè)周向上的透射像。使用反投影法、逐次逼近法等重建算法來(lái)對(duì)所得到的 被檢體10的整個(gè)周向上的透射像進(jìn)行圖像重建，由此得到被檢體10的斷層圖像。
[0005] 為了得到被檢體10的采樣間隔被縮短后的高分辨率的斷層圖像，需要在CT掃描中 使旋轉(zhuǎn)中的被檢體10大尺寸地投影到X射線檢測(cè)器14。因而，通常如圖2所例示那樣，將被檢 體10配置于旋轉(zhuǎn)臺(tái)16的旋轉(zhuǎn)中心，使旋轉(zhuǎn)臺(tái)16在X軸上向X射線源12的方向靠近來(lái)使透射像 放大。在該情況下，除非搭載對(duì)被檢體10的位置進(jìn)行調(diào)整的專(zhuān)用裝置，否則必須在每次變更 攝像部位時(shí)手動(dòng)地重新配置被檢體10。然而，為了防止X射線泄露到外部，旋轉(zhuǎn)臺(tái)16與X射線 源12、X射線檢測(cè)器14一起被配置在屏蔽X射線的屏蔽室內(nèi)，當(dāng)包括用于防止檢查者被照到X 射線的X射線照射控制、屏蔽室開(kāi)閉的聯(lián)鎖控制等操作時(shí)，為了重新配置被檢體10而非?；?費(fèi)工夫，作業(yè)效率差。關(guān)于此，在想得到將被檢體10的一部分被放大了的斷層圖像的情況 下，也需要同樣地將被檢體10的想拍攝的部分配置于旋轉(zhuǎn)臺(tái)16的中心。
[0006] 此外，由于測(cè)量用X射線CT裝置的不同，存在如專(zhuān)利文獻(xiàn)1、2那樣的具備用于在旋 轉(zhuǎn)臺(tái)上調(diào)整被檢體位置的XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)的裝置。
[0007] 然而，存在裝置的結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜、制造成本變高這樣的問(wèn)題。
[0008] 另外，在專(zhuān)利文獻(xiàn)3和4中，記載了在旋轉(zhuǎn)臺(tái)之下設(shè)置XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)的技術(shù)，但是未考 慮過(guò)如本發(fā)明那樣在旋轉(zhuǎn)臺(tái)上的任意的位置處設(shè)定旋轉(zhuǎn)中心。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009] 本發(fā)明是為了解決以往的所述問(wèn)題而完成的，課題在于能夠在旋轉(zhuǎn)臺(tái)上的任意的 位置處設(shè)定虛擬的旋轉(zhuǎn)中心。
[0010] 本發(fā)明是用于使配置在旋轉(zhuǎn)臺(tái)上的物體旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)臺(tái)的控制方法，該旋轉(zhuǎn)臺(tái)的控 制方法包括以下步驟：
[0011] 使旋轉(zhuǎn)臺(tái)沿與該旋轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)軸正交的二維方向移動(dòng)；以及
[0012] 與旋轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)同步地對(duì)旋轉(zhuǎn)臺(tái)的所述二維方向上的移動(dòng)位置進(jìn)行協(xié)調(diào)控制，
[0013] 該旋轉(zhuǎn)臺(tái)的控制方法能夠使旋轉(zhuǎn)臺(tái)以旋轉(zhuǎn)臺(tái)上的任意的位置為虛擬的旋轉(zhuǎn)中心 進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而解決所述課題。
[0014] 在此，在對(duì)所述二維方向上的移動(dòng)位置進(jìn)行協(xié)調(diào)控制的步驟中，還能夠?qū)σ蛐D(zhuǎn) 臺(tái)的偏心引起的旋轉(zhuǎn)的偏心進(jìn)行校正。
[0015] 另外，能夠?qū)⑺鲂D(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)設(shè)為以微小角度為單位進(jìn)行的間歇性的旋轉(zhuǎn)。
[0016] 另外，能夠利用式3 = 1^〇80、& = 1^；[110來(lái)表示設(shè)定為旋轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)中心的位置的 坐標(biāo)(a，b)，在旋轉(zhuǎn)了 A0時(shí)旋轉(zhuǎn)中心(a，b)移動(dòng)到(a'，b'）時(shí)，為了使新的位置(a'，b'）返回 到原來(lái)的位置(a，b)，使a'移動(dòng)Lcos(9+ A 0)-Lcos9，使b'移動(dòng)Lsin(9+ A 0)-Lsin9。
[0017]另外，能夠?qū)⑺鲂D(zhuǎn)設(shè)為連續(xù)性的旋轉(zhuǎn)。
[0018] 另外，能夠根據(jù)旋轉(zhuǎn)臺(tái)的中心Co、虛擬旋轉(zhuǎn)軸、旋轉(zhuǎn)角度來(lái)計(jì)算旋轉(zhuǎn)臺(tái)中心的移動(dòng) 目的地Ce，通過(guò)旋轉(zhuǎn)臺(tái)移動(dòng)軸的協(xié)調(diào)控制，來(lái)一邊使旋轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)0-邊使旋轉(zhuǎn)臺(tái)中心Co移動(dòng) 至 iJCe。
[0019] 另外，能夠事先創(chuàng)建偏心校正表，計(jì)算旋轉(zhuǎn)臺(tái)中心的移動(dòng)目的地，對(duì)偏心校正表的 偏心量進(jìn)行插值來(lái)計(jì)算旋轉(zhuǎn)角度的偏心量，接著，根據(jù)旋轉(zhuǎn)角度的偏心量來(lái)計(jì)算校正量，接 著，針對(duì)作為移動(dòng)目的地的旋轉(zhuǎn)臺(tái)中心校正偏心來(lái)計(jì)算校正后的旋轉(zhuǎn)臺(tái)中心〇,通過(guò)旋轉(zhuǎn) 臺(tái)移動(dòng)軸的協(xié)調(diào)控制，來(lái)一邊使旋轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)9一邊使旋轉(zhuǎn)臺(tái)中心移動(dòng)到〇。
[0020] 本發(fā)明還提供一種旋轉(zhuǎn)臺(tái)的控制裝置，其用于使配置在旋轉(zhuǎn)臺(tái)上的物體旋轉(zhuǎn)，該 旋轉(zhuǎn)臺(tái)的控制裝置的特征在于，具備：
[0021 ]使旋轉(zhuǎn)臺(tái)沿與該旋轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)軸正交的二維方向移動(dòng)的機(jī)構(gòu)；以及
[0022] 與旋轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)同步地對(duì)旋轉(zhuǎn)臺(tái)的所述二維方向上的移動(dòng)位置進(jìn)行協(xié)調(diào)控制的 控制單元，
[0023] 該旋轉(zhuǎn)臺(tái)的控制裝置能夠使旋轉(zhuǎn)臺(tái)以旋轉(zhuǎn)臺(tái)上的任意的位置為虛擬的旋轉(zhuǎn)中心 進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
[0024] 在此，對(duì)所述二維方向上的移動(dòng)位置進(jìn)行協(xié)調(diào)控制的控制單元能夠具備對(duì)因旋轉(zhuǎn) 臺(tái)的偏心引起的旋轉(zhuǎn)的偏心進(jìn)行校正的電路。
[0025] 根據(jù)本發(fā)明，能夠在旋轉(zhuǎn)臺(tái)上的任意的位置處設(shè)定虛擬的旋轉(zhuǎn)中心。因而，無(wú)需重 新配置被檢體就能夠在多個(gè)拍攝位置得到高分辨率的斷層圖像。另外，還能夠?qū)崿F(xiàn)旋轉(zhuǎn)臺(tái) 的偏心校正。
[0026] 通過(guò)對(duì)優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行的詳細(xì)說(shuō)明，本發(fā)明的這些以及其它特征和優(yōu)點(diǎn)會(huì)變得明 確。
【附圖說(shuō)明】
[0027] 參照附圖來(lái)對(duì)優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明，另外，在所有附圖中，對(duì)相同的要素標(biāo)注相同 標(biāo)記，其中：
[0028] 圖1A是表示以往的測(cè)量用X射線CT裝置的主要部分結(jié)構(gòu)的主視圖
[0029] 圖1B是表示以往的測(cè)量用X射線CT裝置的主要部分結(jié)構(gòu)的俯視圖
[0030] 圖2是用于說(shuō)明以往的測(cè)量用X射線CT裝置的問(wèn)題的俯視圖
[0031] 圖3是表示本發(fā)明所涉及的測(cè)量用X射線CT裝置的實(shí)施方式的主要部分結(jié)構(gòu)的主 視圖
[0032 ]圖4是表示所述實(shí)施方式的動(dòng)作狀況的俯視圖
[0033]圖5A和圖5B是表示在所述實(shí)施方式中進(jìn)行間歇性的旋轉(zhuǎn)的情況下的控制方法的 示意圖
[0034]圖6是表示在所述實(shí)施方式中進(jìn)行連續(xù)性的旋轉(zhuǎn)的情況下的控制方法的示意圖
[0035]圖7是表示在所述實(shí)施方式中對(duì)旋轉(zhuǎn)軸偏心進(jìn)行校正的情況下的控制方法的示意 圖
[0036]圖8是表不所述實(shí)施方式中的偏心校正表的例子的圖
【具體實(shí)施方式】
[0037] 下面，參照附圖來(lái)對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式詳細(xì)地進(jìn)行說(shuō)明。此外，本發(fā)明并不限定于 下面的實(shí)施方式以及實(shí)施例中記載的內(nèi)容。另外，下面所記載的實(shí)施方式以及實(shí)施例的結(jié) 構(gòu)要素中包含本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠容易地想到的實(shí)質(zhì)上相同的結(jié)構(gòu)要素、即所謂的等效范 圍的結(jié)構(gòu)要素。并且，關(guān)于下面所記載的實(shí)施方式以及實(shí)施例中公開(kāi)的結(jié)構(gòu)要素，既可以適 當(dāng)?shù)亟M合，也可以適當(dāng)?shù)剡x擇使用。
[0038] 在圖3中示出應(yīng)用本發(fā)明的測(cè)量用X射線CT裝置的旋轉(zhuǎn)臺(tái)的控制裝置的主要部分 結(jié)構(gòu)。在該實(shí)施方式中，具備X射線源12、X射線檢測(cè)器14以及旋轉(zhuǎn)臺(tái)16的測(cè)量用X射線CT裝 置還具備:XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)18，其使旋轉(zhuǎn)臺(tái)16沿與旋轉(zhuǎn)臺(tái)16的旋轉(zhuǎn)軸正交的二維方向（XY方向） 移動(dòng)；協(xié)調(diào)控制裝置20，其用于與所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)16的旋轉(zhuǎn)同步地對(duì)旋轉(zhuǎn)臺(tái)16的所述XY方向上 的移動(dòng)位置進(jìn)行協(xié)調(diào)控制；以及偏心校正表22，其用于在通過(guò)該協(xié)調(diào)控制裝置20來(lái)對(duì)XY方 向上的移動(dòng)位置進(jìn)行協(xié)調(diào)控制時(shí)對(duì)因旋轉(zhuǎn)臺(tái)16的偏心引起的旋轉(zhuǎn)偏心進(jìn)行校正。
[0039 ]所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)16能夠通過(guò)與XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)18之間的協(xié)同作用來(lái)基于X軸、Y軸、0軸調(diào)整 被檢體10的位置、方向，能夠通過(guò)這些調(diào)整來(lái)使由X射線檢測(cè)器14得到的透射像發(fā)生變化。 測(cè)量用X射線CT裝置還能夠具備未圖示的Z軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)來(lái)調(diào)整高度。
[0040] 下面，對(duì)作用進(jìn)行說(shuō)明。
[0041] 在對(duì)配置于旋轉(zhuǎn)臺(tái)16的任意的位置處的被檢體10進(jìn)行CT掃描的情況下，檢查者根 據(jù)預(yù)先獲取到的同一被檢體整體的斷層圖像、從上部俯視被檢體而得到的視頻圖像來(lái)指定 被檢體的攝像部位，或者通過(guò)其它方法來(lái)指定被檢體的攝像部位。
[0042] 然后，設(shè)定對(duì)被檢體指定的攝像部位的中心，對(duì)X軸、Y軸、0軸進(jìn)行協(xié)調(diào)控制，以使 旋轉(zhuǎn)臺(tái)16以該位置為旋轉(zhuǎn)中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
[0043]具體地說(shuō)，在間歇地旋轉(zhuǎn)的情況下，通過(guò)圖5A和圖5B所示的方法來(lái)進(jìn)行控制。即， 如圖5A所示，以下式來(lái)表示被設(shè)定為旋轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)中心的位置的坐標(biāo)(a，b)。
[0044] a = Lcos9 ? ? ? (1)
[0045] b = Lsin0 ? ? ? (2)
[0046]在此，設(shè)在旋轉(zhuǎn)了 A 0時(shí)，旋轉(zhuǎn)中心(a，b)如圖5B所示那樣地移動(dòng)到(a'，b'）。于是， 以下式來(lái)表示(a'，b'）。
[0047] a'=Lcos(9+A 9) ? ? ? (3)
[0048] b'=Lsin(9+A 0) ? ? ? (4)
[0049] 因而，為了使該新的位置(a'，b'）返回到原來(lái)的位置(a，b)，只要使a'移動(dòng)Lcos(0+ A 0)-Lcos9、使b'移動(dòng)Lsin(9+ A 0)-Lsin9即可。
[0050] 接著，使用圖6來(lái)對(duì)旋轉(zhuǎn)臺(tái)16連續(xù)地旋轉(zhuǎn)的情況下的控制方法進(jìn)行說(shuō)明。在將旋轉(zhuǎn) 角度為〇°的旋轉(zhuǎn)臺(tái)中心設(shè)為Co、將旋轉(zhuǎn)臺(tái)上的任意的位置T設(shè)為虛擬旋轉(zhuǎn)軸時(shí)，圍繞虛擬旋 轉(zhuǎn)軸T旋轉(zhuǎn)了角度0的情況下的虛擬旋轉(zhuǎn)軸能夠以如下方式實(shí)現(xiàn)。
[0051 ] (1)根據(jù)旋轉(zhuǎn)臺(tái)中心Co、虛擬旋轉(zhuǎn)軸T、旋轉(zhuǎn)角度0，通過(guò)下式來(lái)計(jì)算旋轉(zhuǎn)臺(tái)中心的 移動(dòng)目的地Ce。
[0052] A 〇 = T-Co ? ? ? (5)
[0053] Ce = T-R0 A 〇 ? ? ? (6)
[0054]在此，將旋轉(zhuǎn)矩陣設(shè)為Re。
[0055] (2)接著，只要通過(guò)旋轉(zhuǎn)臺(tái)移動(dòng)軸的協(xié)調(diào)控制來(lái)一邊使旋轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)0-邊使旋轉(zhuǎn)臺(tái) 中心Co移動(dòng)到Ce即可。
[0056]此外，旋轉(zhuǎn)中的旋轉(zhuǎn)臺(tái)中心位置(旋轉(zhuǎn)軸)不是固定的，必然發(fā)生因旋轉(zhuǎn)軸偏心引 起的變動(dòng)。在圖7中示出旋轉(zhuǎn)中的旋轉(zhuǎn)臺(tái)中心的變動(dòng)軌跡。C<p表示旋轉(zhuǎn)角度f(wàn)的旋轉(zhuǎn)臺(tái)中 心。
[0057]即使在像這樣存在偏心的情況下，通過(guò)事先獲取旋轉(zhuǎn)軸的變動(dòng)量(偏心量），也能 夠與虛擬旋轉(zhuǎn)軸的協(xié)調(diào)控制相結(jié)合地對(duì)旋轉(zhuǎn)軸偏心進(jìn)行校正。
[0058] (1)首先，事先創(chuàng)建偏心校正表。具體地說(shuō)，使旋轉(zhuǎn)臺(tái)16以固定角度間距旋轉(zhuǎn)360°， 實(shí)際測(cè)量每個(gè)旋轉(zhuǎn)角度印的旋轉(zhuǎn)臺(tái)中心c(P。
[0059] 從實(shí)際測(cè)量出的各中心位置C(p減去理論上的旋轉(zhuǎn)臺(tái)中心位置來(lái)計(jì)算偏心量r<p，倉(cāng)ij 建記錄有各旋轉(zhuǎn)角度中的偏心量r(p的偏心校正表22。
[0060] 在圖8中示出偏心校正表22的例子。
[00611 (2)接著，與虛擬旋轉(zhuǎn)軸的實(shí)現(xiàn)方法同樣地計(jì)算旋轉(zhuǎn)臺(tái)中心Co的移動(dòng)目的地Ce。
[0062] (3)接著，對(duì)偏心校正表的偏心量進(jìn)行插值來(lái)計(jì)算旋轉(zhuǎn)角度0的偏心量re。
[0063 ] (4)接著，根據(jù)偏心量re，通過(guò)下式來(lái)計(jì)算校正量Ee。
[0064] Ee= (recos(9) ,resin(9)) ? ? ? (7)
[0065] (5)接著，通過(guò)下式來(lái)針對(duì)作為移動(dòng)目的地的旋轉(zhuǎn)臺(tái)中心Ce校正偏心，計(jì)算校正后 的旋轉(zhuǎn)臺(tái)中心〇。
[0066] 〇=Ce-Ee ? ? ? (8)
[0067] (6)接著，通過(guò)旋轉(zhuǎn)臺(tái)移動(dòng)軸的協(xié)調(diào)控制，一邊使旋轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)0-邊使旋轉(zhuǎn)臺(tái)中心 移動(dòng)到O。
[0068]根據(jù)本實(shí)施方式，無(wú)需為了得到高分辨率的斷層圖像而將被檢體移動(dòng)到旋轉(zhuǎn)臺(tái)中 心，也不需要進(jìn)行伴隨該移動(dòng)的X射線照射控制、屏蔽室開(kāi)閉的聯(lián)鎖控制。另外，在旋轉(zhuǎn)臺(tái)存 在已知的偏心量的情況下，通過(guò)在CT掃描時(shí)進(jìn)行考慮了偏心量的協(xié)調(diào)控制，能夠?qū)σ阎?偏心量進(jìn)行校正。
[0069]此外，在所述實(shí)施方式中，將本發(fā)明應(yīng)用于測(cè)量用X射線CT裝置，但是本發(fā)明的應(yīng) 用對(duì)象不限定于此，也能夠同樣地應(yīng)用于測(cè)量用X射線CT裝置以外的一般的裝置中的旋轉(zhuǎn) 臺(tái)的控制。偏心校正方法也不限定于使用表進(jìn)行校正，例如也能夠利用表示偏心量的數(shù)式 來(lái)進(jìn)行校正。
[0070]對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言顯而易見(jiàn)的是，以上說(shuō)明的實(shí)施例只是代表本發(fā)明的理 論上的應(yīng)用的例子。只要不脫離本發(fā)明的主旨和范圍，本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠容易地進(jìn)行各 種各樣的變更。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種旋轉(zhuǎn)臺(tái)的控制方法，用于使配置在旋轉(zhuǎn)臺(tái)上的物體旋轉(zhuǎn)，該旋轉(zhuǎn)臺(tái)的控制方法 的特征在于，包括以下步驟： 使旋轉(zhuǎn)臺(tái)沿與該旋轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)軸正交的二維方向移動(dòng)；以及 與旋轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)同步地對(duì)旋轉(zhuǎn)臺(tái)的所述二維方向上的移動(dòng)位置進(jìn)行協(xié)調(diào)控制， 該旋轉(zhuǎn)臺(tái)的控制方法能夠使旋轉(zhuǎn)臺(tái)以旋轉(zhuǎn)臺(tái)上的任意的位置為虛擬的旋轉(zhuǎn)中心進(jìn)行 旋轉(zhuǎn)。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)臺(tái)的控制方法，其特征在于， 在對(duì)所述二維方向上的移動(dòng)位置進(jìn)行協(xié)調(diào)控制的步驟中，還對(duì)因旋轉(zhuǎn)臺(tái)的偏心引起的 旋轉(zhuǎn)的偏心進(jìn)行校正。3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的旋轉(zhuǎn)臺(tái)的控制方法，其特征在于， 所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)是以微小角度為單位進(jìn)行的間歇性的旋轉(zhuǎn)。4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的旋轉(zhuǎn)臺(tái)的控制方法，其特征在于， 利用式a = Lcos0、b = Lsin0來(lái)表示被設(shè)定為旋轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)中心的位置的坐標(biāo)(a，b)，在 旋轉(zhuǎn)了 Α Θ時(shí)旋轉(zhuǎn)中心(a，b)移動(dòng)到(a'，b'）時(shí)，為了使新的位置(a'，b'）返回到原來(lái)的位置 (a，b)，使a'移動(dòng)Lcos(9+ Δ 0)-Lcos9，使b'移動(dòng)Lsin(9+ Δ 0)-Lsin9o5. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的旋轉(zhuǎn)臺(tái)的控制方法，其特征在于， 所述旋轉(zhuǎn)是連續(xù)性的旋轉(zhuǎn)。6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的旋轉(zhuǎn)臺(tái)的控制方法，其特征在于， 根據(jù)旋轉(zhuǎn)臺(tái)的中心Co、虛擬旋轉(zhuǎn)軸、旋轉(zhuǎn)角度來(lái)計(jì)算旋轉(zhuǎn)臺(tái)中心的移動(dòng)目的地Ce，通過(guò) 旋轉(zhuǎn)臺(tái)移動(dòng)軸的協(xié)調(diào)控制，來(lái)一邊使旋轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)Θ-邊使旋轉(zhuǎn)臺(tái)中心Co移動(dòng)到Ce。7. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的旋轉(zhuǎn)臺(tái)的控制方法，其特征在于， 事先創(chuàng)建偏心校正表，計(jì)算旋轉(zhuǎn)臺(tái)中心的移動(dòng)目的地，對(duì)偏心校正表的偏心量進(jìn)行插 值來(lái)計(jì)算旋轉(zhuǎn)角度的偏心量，接著，根據(jù)旋轉(zhuǎn)角度的偏心量來(lái)計(jì)算校正量，接著，針對(duì)作為 移動(dòng)目的地的旋轉(zhuǎn)臺(tái)中心校正偏心來(lái)計(jì)算校正后的旋轉(zhuǎn)臺(tái)中心〇,通過(guò)旋轉(zhuǎn)臺(tái)移動(dòng)軸的協(xié) 調(diào)控制，來(lái)一邊使旋轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)Θ-邊使旋轉(zhuǎn)臺(tái)中心移動(dòng)到〇。8. -種旋轉(zhuǎn)臺(tái)的控制裝置，其用于使配置在旋轉(zhuǎn)臺(tái)上的物體旋轉(zhuǎn)，該旋轉(zhuǎn)臺(tái)的控制裝 置的特征在于，具備： 使旋轉(zhuǎn)臺(tái)沿與該旋轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)軸正交的二維方向移動(dòng)的機(jī)構(gòu)；以及 與旋轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)同步地對(duì)旋轉(zhuǎn)臺(tái)的所述二維方向上的移動(dòng)位置進(jìn)行協(xié)調(diào)控制的控制 單元， 該旋轉(zhuǎn)臺(tái)的控制裝置能夠使旋轉(zhuǎn)臺(tái)以旋轉(zhuǎn)臺(tái)上的任意的位置為虛擬的旋轉(zhuǎn)中心進(jìn)行 旋轉(zhuǎn)。9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的旋轉(zhuǎn)臺(tái)的控制裝置，其特征在于， 對(duì)所述二維方向上的移動(dòng)位置進(jìn)行協(xié)調(diào)控制的控制單元具備對(duì)因旋轉(zhuǎn)臺(tái)的偏心引起 的旋轉(zhuǎn)的偏心進(jìn)行校正的電路。10. 根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的旋轉(zhuǎn)臺(tái)的控制裝置，其特征在于， 所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)是以微小角度為單位進(jìn)行的間歇性的旋轉(zhuǎn)。11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的旋轉(zhuǎn)臺(tái)的控制裝置，其特征在于， 利用式a = Lcos0、b = Lsin0來(lái)表示被設(shè)定為旋轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)中心的位置的坐標(biāo)(a，b)，在 旋轉(zhuǎn)了 Α Θ時(shí)旋轉(zhuǎn)中心(a，b)移動(dòng)到(a'，b'）時(shí)，為了使新的位置(a'，b'）返回到原來(lái)的位置 (a，b)，使a'移動(dòng)Lcos(9+ Δ 0)-Lcos9，使b'移動(dòng)Lsin(9+ Δ 0)-Lsin9o12. 根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的旋轉(zhuǎn)臺(tái)的控制裝置，其特征在于， 所述旋轉(zhuǎn)是連續(xù)性的旋轉(zhuǎn)。13. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的旋轉(zhuǎn)臺(tái)的控制裝置，其特征在于， 根據(jù)旋轉(zhuǎn)臺(tái)的中心Co、虛擬旋轉(zhuǎn)軸、旋轉(zhuǎn)角度來(lái)計(jì)算旋轉(zhuǎn)臺(tái)中心的移動(dòng)目的地Ce，通過(guò) 旋轉(zhuǎn)臺(tái)移動(dòng)軸的協(xié)調(diào)控制，來(lái)一邊使旋轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)Θ-邊使旋轉(zhuǎn)臺(tái)中心Co移動(dòng)到Ce。14. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的旋轉(zhuǎn)臺(tái)的控制裝置，其特征在于， 事先創(chuàng)建偏心校正表，計(jì)算旋轉(zhuǎn)臺(tái)中心的移動(dòng)目的地，對(duì)偏心校正表的偏心量進(jìn)行插 值來(lái)計(jì)算旋轉(zhuǎn)角度的偏心量，接著，根據(jù)偏心量來(lái)計(jì)算校正量，接著，針對(duì)作為移動(dòng)目的地 的旋轉(zhuǎn)臺(tái)中心校正偏心來(lái)計(jì)算校正后的旋轉(zhuǎn)臺(tái)中心〇,通過(guò)旋轉(zhuǎn)臺(tái)移動(dòng)軸的協(xié)調(diào)控制，來(lái) 一邊使旋轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)Θ-邊使旋轉(zhuǎn)臺(tái)中心移動(dòng)到〇。
【文檔編號(hào)】G01N23/04GK106053495SQ201610237472
【公開(kāi)日】2016年10月26日
【申請(qǐng)日】2016年4月15日
【發(fā)明人】松宮貞行, 淺野秀光, 今正人
【申請(qǐng)人】株式會(huì)社三豐