基板檢查裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及基板檢查裝置，更詳細(xì)而言，涉及一種用于在縮短對(duì)包括多個(gè)檢查區(qū)域的基板的檢查時(shí)間的同時(shí)謀求使用者的便利的基板檢查裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]—般而言，為了驗(yàn)證貼裝了電子部件的印刷電路基板的可靠性，在電子部件的貼裝前后，進(jìn)行檢查印刷電路基板的不良與否的檢查工序。例如，在把電子部件貼裝于印刷電路基板之前，進(jìn)行檢查對(duì)于印刷電路基板的焊盤區(qū)域的焊料涂布狀態(tài)的SPI工序，及在把電子部件貼裝于印刷電路基板后檢查電子部件的貼裝狀態(tài)的AOI工序。
[0003]印刷電路基板的檢查工序通過包括測(cè)量單元的基板檢查裝置實(shí)現(xiàn)，所述測(cè)量單元具備向基板照射光的照明部及拍攝基板的圖像而獲得圖像數(shù)據(jù)的照相機(jī)。最近開發(fā)了一種三維基板檢查裝置，其利用照射柵格圖案光的照明部，獲得印刷電路基板的三維信息，由此能夠提尚印刷電路基板的檢查可靠性。
[0004]另一方面，由于照相機(jī)的視野范圍(Field Of View:F0V)已經(jīng)限定，因此，為了檢查大型尺寸的印刷電路基板，把印刷電路基板分割成多個(gè)檢查區(qū)域而進(jìn)行檢查。因此，在使測(cè)量單元移動(dòng)到多個(gè)檢查區(qū)域的同時(shí)進(jìn)行檢查，從而發(fā)生檢查時(shí)間增加的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]解決的技術(shù)問題
[0006]因此，本發(fā)明正是鑒于這種問題而研發(fā)的，本發(fā)明提供一種能夠使印刷電路基板的檢查時(shí)間縮短、使檢查工序的使用者便利性提高的基板檢查裝置。
[0007]技術(shù)方案
[0008]本發(fā)明一個(gè)特征的基板檢查裝置包括:測(cè)量單元，其針對(duì)包括多個(gè)檢查區(qū)域的檢查基板，根據(jù)確定的測(cè)量順序，測(cè)量所述多個(gè)檢查區(qū)域，從而獲得各檢查區(qū)域的影像數(shù)據(jù)；控制部，其包括多個(gè)數(shù)據(jù)處理部及優(yōu)化模塊，所述多個(gè)數(shù)據(jù)處理部執(zhí)行從所述測(cè)量單元傳送的所述各檢查區(qū)域的多個(gè)影像數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)處理，所述優(yōu)化模塊設(shè)置所述多個(gè)檢查區(qū)域的優(yōu)化的測(cè)量順序及所述多個(gè)數(shù)據(jù)處理部的優(yōu)化的數(shù)據(jù)處理順序;及用戶界面，其顯示與通過所述優(yōu)化模塊而優(yōu)化的所述測(cè)量順序及所述數(shù)據(jù)處理順序相關(guān)的優(yōu)化相關(guān)信息。
[0009]所述優(yōu)化模塊考慮所述測(cè)量單元的移動(dòng)時(shí)間及所述各檢查區(qū)域的影像數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)處理時(shí)間中至少一個(gè)，使對(duì)所述多個(gè)檢查區(qū)域的測(cè)量順序及所述多個(gè)數(shù)據(jù)處理部的數(shù)據(jù)處理順序進(jìn)行優(yōu)化。
[0010]所述用戶界面可以包括檢查區(qū)域順序圖部，所述檢查區(qū)域順序圖部顯示所述多個(gè)數(shù)據(jù)處理部對(duì)所述各檢查區(qū)域影像數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理的數(shù)據(jù)處理順序，其中所述各檢查區(qū)域的多個(gè)影像數(shù)據(jù)根據(jù)通過所述優(yōu)化模塊而優(yōu)化的測(cè)量順序而獲得。
[0011]所述檢查區(qū)域順序圖部在X軸顯示時(shí)間，在y軸顯示所述多個(gè)數(shù)據(jù)處理部的序號(hào)，把所述各檢查區(qū)域的影像數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)處理順序顯示為具有與數(shù)據(jù)處理時(shí)間對(duì)應(yīng)長度的條形態(tài)的檢查區(qū)域塊。
[0012]所述檢查區(qū)域順序圖部可以根據(jù)使用者的選擇，把代表所述檢查單元的移動(dòng)時(shí)間的移動(dòng)時(shí)間塊顯示于所述檢查區(qū)域塊的前端。
[0013]所述用戶界面還可以包括條圖部，所述條圖部對(duì)所述檢查區(qū)域的測(cè)量順序，以塊形態(tài)排列成一列進(jìn)行顯示。
[0014]所述用戶界面還可以包括基板圖像顯示部，所述基板圖像顯示部對(duì)所述多個(gè)檢查區(qū)域所顯示的所述檢查基板的圖像進(jìn)行顯示。所述基板圖像顯示部可以對(duì)現(xiàn)在進(jìn)行檢查中或由使用者直接選擇的檢查區(qū)域進(jìn)行加亮處理并顯示。
[0015]所述用戶界面可以還包括屬性顯示部，其包括顯示根據(jù)執(zhí)行一個(gè)以上的優(yōu)化算法的結(jié)果數(shù)據(jù)的算法顯示部、顯示硬件的參數(shù)的參數(shù)顯示部、用于使路徑優(yōu)化運(yùn)行的優(yōu)化運(yùn)行部、用于使模擬運(yùn)行的模擬運(yùn)行部，及顯示由使用者選擇的對(duì)于檢查區(qū)域的詳細(xì)信息的檢查區(qū)域信息顯示部中至少一個(gè)。
[0016]發(fā)明效果
[0017]根據(jù)如上所述的基板檢查裝置，考慮測(cè)量單元的移動(dòng)時(shí)間及各檢查區(qū)域的數(shù)據(jù)處理時(shí)間等，使多個(gè)檢查區(qū)域的測(cè)量順序及多個(gè)數(shù)據(jù)處理部的數(shù)據(jù)處理順序等優(yōu)化，從而能夠縮短對(duì)檢查基板的檢查時(shí)間。
[0018]另外，通過用戶界面，提供與通過優(yōu)化模塊而優(yōu)化的多個(gè)檢查區(qū)域的測(cè)量順序及多個(gè)數(shù)據(jù)處理部的數(shù)據(jù)處理順序等相關(guān)的優(yōu)化相關(guān)信息，從而能夠提高檢查工序的使用者便利性。
【附圖說明】
[0019]圖1是概略地表示本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的基板檢查裝置的圖。
[°02°]圖2是表不本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的用戶界面的顯不畫面的圖。
[0021]圖3是表示圖2所示檢查區(qū)域順序圖部的圖。
[0022I圖4是放大圖3所示A部分的放大圖。
[0023I圖5是表示圖2所示條圖部的圖。
[0024I圖6是表示圖2所示基板圖像顯示部的圖。
[0025]圖7是表不圖6所不基板圖像顯不部的加殼功能的圖。
[0026I圖8是表示圖2所示屬性顯示部的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0027]本發(fā)明可以施加多樣的變更，可以具有多種形態(tài)，將在附圖中示例性圖示特定實(shí)施例，在正文中加以詳細(xì)說明。但是，這不是要把本發(fā)明限定于特定的公開形態(tài)，應(yīng)理解為包括本發(fā)明的思想及技術(shù)范圍內(nèi)包含的所有變更、等同物及至替代物。
[0028]第1、第2等術(shù)語可以用于說明多樣的構(gòu)成要素，但所述構(gòu)成要素不由所述術(shù)語所限定。所述術(shù)語只用于把一個(gè)構(gòu)成要素區(qū)別于其它構(gòu)成要素的目的。例如，在不超出本發(fā)明的權(quán)利范圍的同時(shí)，第I構(gòu)成要素可以命名為第2構(gòu)成要素，類似地，第2構(gòu)成要素也可以命名為第I構(gòu)成要素。
[0029]在本申請(qǐng)中使用的術(shù)語單純用于說明特定的實(shí)施例，并非要限定本發(fā)明之意。只要在文理上未明確表示不同，單數(shù)的表現(xiàn)也包括復(fù)數(shù)的表現(xiàn)。在本申請(qǐng)中，“包括”或“具有”等術(shù)語，是要指定說明書中記載的特征、數(shù)字、步驟、動(dòng)作、構(gòu)成要素、部件或它們的組合的存在，應(yīng)解釋為不預(yù)先排除一個(gè)或共以上的其它特征或數(shù)字、步驟、動(dòng)作、構(gòu)成要素、部件或它們的組合的存在或附加可能性。
[0030]只要未不同地定義，包括技術(shù)性或科學(xué)性術(shù)語在內(nèi)，此處使用的所有術(shù)語具有與本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員一般理解的內(nèi)容相同的意義。
[0031]與在一般使用的字典中定義的內(nèi)容相同的術(shù)語，應(yīng)解釋為具有與相關(guān)技術(shù)的文理上具有的意義一致的意義，只要在本申請(qǐng)中未明確定義，不得過于理想性地、過度地解釋為形式上的意義。
[0032]下面參照附圖，更詳細(xì)地說明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。
[0033]圖1是概略性地表示本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的基板檢查裝置的圖。
[0034]如果參照?qǐng)D1，本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的基板檢查裝置包括測(cè)量單元100、控制部200及用戶界面300。
[0035]測(cè)量單元100針對(duì)包括多個(gè)檢查區(qū)域的檢查基板110，根據(jù)確定的測(cè)量順序，依次測(cè)量多個(gè)檢查區(qū)域，從而獲得各檢查區(qū)域的影像數(shù)據(jù)。
[0036]測(cè)量單元100例如包括用于向檢查基板110照射柵格圖案光的一個(gè)以上的投影部120及拍攝因所述柵格圖案光而產(chǎn)生的檢查基板110的反射圖像的至少一個(gè)照相機(jī)130。
[0037]投影部120為了檢查貼裝于檢查基板110的貼裝部件的貼裝狀態(tài)，向檢查基板110照射用于獲得高度信息、可見度(visibility)信息等三維信息的柵格圖案光。例如，投影部120可以包括產(chǎn)生光的光源、用于使來自所述光源的光變換成柵格圖案光的柵格元件、用于把借助所述柵格元件變換的柵格圖案光投影到檢查基板110的投影透鏡等。所述柵格元件為了柵格圖案光的相移，可以通過壓電致動(dòng)器(Piezo actuat0r:PZT)等柵格移送工具而移送η-1次，每次2/n。其中，η為2以上的自然數(shù)。另一方面，柵格元件可以以不需要物理性移送的液晶柵格形成。為了提高檢查精密度，具有這種構(gòu)成的投影部120可以以照相