( = O)、t (I)、t (2)、t ⑶、…、
[0229]T作為將取得了檢測位置Xatl)時(shí)的時(shí)間h設(shè)為基準(zhǔn)時(shí)間t (0)( = O)之后得到了檢測位置 X (t0) + Λ X、X (t0) +2* Λ X、X (t0) +3* Λ X、…、X (t0) +mm* Δ χ 的檢測位置時(shí)的時(shí)間t(l)、t(2)、t(3)、…、T 而得到。
[0230]另外，關(guān)于上述的與索引編號(hào)m的對應(yīng)關(guān)系，在圖3(a)中也進(jìn)行了例示。
[0231]基于上述的(30)式而算出的校正數(shù)據(jù)E(m) = E(O) ( = 0)、E(1)、E(2)、E(3)、…、E(Him)按照索引編號(hào) m:0、l、2、3、…、mmW順序、SP E(O) ( = O)、E⑴、E⑵、E(3)、…、E(mm)的順序向固定存儲(chǔ)器18B的各地址從開頭地址依次存儲(chǔ)。若如此將校正數(shù)據(jù)E(m)從固定存儲(chǔ)器18B的開頭地址依次存儲(chǔ)，則不需要存儲(chǔ)索引編號(hào)m。
[0232]在這種情況下，取代索引編號(hào)m，固定存儲(chǔ)器18B的地址對應(yīng)于取得了校正數(shù)據(jù)E(m)的計(jì)算所使用的檢測位置數(shù)據(jù)的上述預(yù)定移動(dòng)區(qū)間(相當(dāng)于線圈間距P的η倍的區(qū)間)的從最初(第I個(gè))的線圈間距P的始端位置到最后(第η個(gè))的線圈間距P的末端位置的各線圈間距位置。
[0233]S卩，開頭地址對應(yīng)于最初(第I個(gè))的線圈間距P的始端位置，第mm+l個(gè)地址對應(yīng)于最后(第η個(gè))的線圈間距ρ的末端位置，從第2個(gè)至第mm個(gè)地址依次對應(yīng)于從最初(第I個(gè))的線圈間距P的始端位置到最后(第η個(gè))的線圈間距ρ的末端位置之間的各線圈間距位置。
[0234]另外，未必限定于此，也可以將校正數(shù)據(jù)E(m)隨機(jī)存儲(chǔ)于固定存儲(chǔ)器18Β的地址。在這種情況下，索引編號(hào)m也存儲(chǔ)于固定存儲(chǔ)器18B，只要將該索引編號(hào)m與校正數(shù)據(jù)E (m)建立對應(yīng)關(guān)系即可。例如，可以是在第5個(gè)地址中存儲(chǔ)索引編號(hào)2和校正數(shù)據(jù)E(2)，在第2個(gè)地址中存儲(chǔ)索引編號(hào)3和校正數(shù)據(jù)E (3)的方法。
[0235]例如每I個(gè)線圈間距ρ的校正數(shù)據(jù)E (m)的個(gè)數(shù)為512個(gè)，且線圈間距數(shù)η為256時(shí)，存儲(chǔ)于固定存儲(chǔ)器18Β的校正數(shù)據(jù)E(m)的個(gè)數(shù)全部為131072個(gè)。
[0236]另外，將上述取得檢測位置數(shù)據(jù)的上述預(yù)定移動(dòng)區(qū)間(相當(dāng)于線圈間距P的η倍的區(qū)間)設(shè)為I個(gè)，但沒有限定于此，取得檢測位置數(shù)據(jù)的上述預(yù)定移動(dòng)區(qū)間(相當(dāng)于線圈間距P的η倍的區(qū)間)可以為多個(gè)。
[0237]在這種情況下，通過上述的同樣的方法，在多個(gè)移動(dòng)區(qū)間(相當(dāng)于線圈間距P的η倍的區(qū)間)取得檢測位置數(shù)據(jù)，基于上述的檢測位置數(shù)據(jù)來取得各移動(dòng)區(qū)間(相當(dāng)于線圈間距P的η倍的區(qū)間)的校正數(shù)據(jù)E(m)，將上述的各移動(dòng)區(qū)間(相當(dāng)于線圈間距ρ的η倍的區(qū)間)的校正數(shù)據(jù)E(m)的平均值設(shè)為最終的校正數(shù)據(jù)E(m)。
[0238]并且，將該最終的(平均值的)校正數(shù)據(jù)E(m)存儲(chǔ)于固定存儲(chǔ)器18Β。在這種情況下，關(guān)于將校正數(shù)據(jù)E(m)存儲(chǔ)于固定存儲(chǔ)器18Β的方法，如前文所述。
[0239](4)檢測位置的校正
[0240]然后，在檢測控制裝置18(檢測控制部18Α)中，在使移動(dòng)體21(滑尺12)移動(dòng)而進(jìn)行實(shí)際的作業(yè)(例如機(jī)床的加工)時(shí)等，在進(jìn)行檢測位置X(t)的校正的情況下，從固定存儲(chǔ)器18B讀出校正數(shù)據(jù)E (m)。
[0241]并且，基于下述的(31)式，向檢測位置X(tQ+t(m))加上從固定存儲(chǔ)器18B讀出的校正數(shù)據(jù)得E(m)，由此求出X’ &。+七011))，作為對該乂’ (t0+t(m))進(jìn)行了校正的檢測位置而輸出。
[0242]X，(t0+t (m)) = X (t0+t (m)) +E (m) (31)
[0243]詳細(xì)而言，移動(dòng)體21(滑尺12)的移動(dòng)位置與刻度尺15的刻度尺線圈16的位置(線圈間距位置)對應(yīng)，因此刻度尺線圈16的線圈間距位置與檢測位置X(t)對應(yīng)。
[0244]因此，在檢測控制裝置18 (檢測控制部18A)中，在檢測移動(dòng)體21 (滑尺12)的位置而得到了某檢測位置X(t)的情況下，可知該檢測位置X(t)是與哪個(gè)線圈間距位置對應(yīng)的檢測位置。
[0245]因此，在檢測控制裝置18 (檢測控制部18B)中，在檢測移動(dòng)體21 (滑尺12)的位置而得到了某檢測位置x(t)的情況下，判斷與該檢測位置X(t)對應(yīng)的線圈間距位置，將與該線圈間距位置對應(yīng)的校正數(shù)據(jù)E(m)從固定存儲(chǔ)器18B讀出，將該檢測位置X(t)與該校正數(shù)據(jù)E(m)相加，由此得到校正后的檢測位置。
[0246]另外，在某檢測位置X(t)所對應(yīng)的線圈間距位置是第I校正數(shù)據(jù)E(m)所對應(yīng)的線圈間距位置與接著的第2校正數(shù)據(jù)E(m)所對應(yīng)的線圈間距位置之間的位置的情況下(例如校正數(shù)據(jù)E(1)所對應(yīng)的線圈間距位置與校正數(shù)據(jù)E(Il)所對應(yīng)的線圈間距位置之間的位置的情況下)，對第I校正數(shù)據(jù)E (m)(例如校正數(shù)據(jù)E (10))和第2校正數(shù)據(jù)E (m)(例如校正數(shù)據(jù)E(Il))進(jìn)行內(nèi)插插補(bǔ)而求出校正數(shù)據(jù)，將該內(nèi)插插補(bǔ)所得的校正數(shù)據(jù)與該檢測位置X(t)相加，由此得到校正后的檢測位置。
[0247]另外，通過校正數(shù)據(jù)取得處理而取得的η個(gè)線圈間距ρ量的校正數(shù)據(jù)E (m)對應(yīng)刻度尺線圈16的η個(gè)線圈間距ρ中的每個(gè)線圈間距ρ而反復(fù)使用，從而對檢測位置X(t)進(jìn)行校正。
[0248]另外，原理上線圈間距η可以為I個(gè)。即，校正數(shù)據(jù)E(m)只要取得至少I個(gè)線圈間距P量即可。在這種情況下，I個(gè)線圈間距P量的校正數(shù)據(jù)E(m)對應(yīng)刻度尺線圈16的各線圈間距P反復(fù)使用，從而對檢測位置X (t)進(jìn)行校正。
[0249]另外，在上述中，在一定速度判斷處理(第I 一定速度判斷方法或第2 —定速度判斷方法或第3—定速度判斷方法)中，整體性地使用判斷為移動(dòng)體21以一定速度S進(jìn)行了移動(dòng)的上述預(yù)定移動(dòng)區(qū)間(相當(dāng)于線圈間距P的η倍的區(qū)間)的檢測位置數(shù)據(jù)來求出校正數(shù)據(jù)E(m)，但沒有限定于此，也可以使用該檢測位置X(t)的數(shù)據(jù)中的一部分來求出校正數(shù)據(jù) E (m)。
[0250]S卩，使用從上述預(yù)定移動(dòng)區(qū)間(相當(dāng)于線圈間距P的η倍的區(qū)間)的任意的第N1個(gè)(例如第50個(gè))線圈間距ρ的始端位置所對應(yīng)的檢測位置X(tN1)的數(shù)據(jù)到上述預(yù)定移動(dòng)區(qū)間(相當(dāng)于線圈間距P的η倍的區(qū)間)的任意的第隊(duì)個(gè)(例如第150個(gè))線圈間距ρ的末端位置所對應(yīng)的檢測位置X (tN2)的數(shù)據(jù)，求出校正數(shù)據(jù)E (m)。
[0251]在這種情況下，若從得到第&個(gè)(例如第50個(gè))線圈間距P的始端位置所對應(yīng)的檢測位置X(tN1)時(shí)起到得到第隊(duì)個(gè)(例如第150個(gè))線圈間距P的末端位置所對應(yīng)的檢測位置X(tN2)時(shí)為止的移動(dòng)時(shí)間為T3，則前述的時(shí)間t(m) = O?T中的T只要設(shè)為TjP可。而且，檢測位置X(tN1)成為基準(zhǔn)的檢測位置XUci),檢測位置X(tN2)成為XW+tOnJ)。
[0252]并且，在這種情況下，也能夠通過與上述同樣的方法取得校正數(shù)據(jù)E (m)。
[0253]另外，在一定速度判斷處理(第I 一定速度判斷方法或第2—定速度判斷方法或第3—定速度判斷方法)中，即使在判斷為移動(dòng)體21以一定速度S進(jìn)行了移動(dòng)的上述預(yù)定移動(dòng)區(qū)間(相當(dāng)于線圈間距P的η倍的區(qū)間)從最初(第I個(gè))的線圈間距ρ的中途位置到最后(例如第256個(gè))的線圈間距ρ的中途位置的情況下，也能夠通過與上述同樣的方法來得到校正數(shù)據(jù)E(m)。
[0254]S卩，只要使用上述預(yù)定移動(dòng)區(qū)間(相當(dāng)于線圈間距P的η倍的區(qū)間)內(nèi)的除了最初(第I個(gè))的線圈間距P之外的任意的第乂個(gè)(例如第2個(gè))線圈間距ρ的始端位置所對應(yīng)的檢測位置X (tN3)的數(shù)據(jù)到上述預(yù)定移動(dòng)區(qū)間(相當(dāng)于線圈間距P的η倍的區(qū)間)的除了最后(例如第256個(gè))的線圈間距ρ之外的任意的第N4個(gè)(例如第255個(gè))線圈間距P的末端位置所對應(yīng)的檢測位置X(tN4)的數(shù)據(jù)來求出校正數(shù)據(jù)E (m)即可。
[0255]在這種情況下，若從得到第乂個(gè)(例如第2個(gè))線圈間距ρ的始端位置所對應(yīng)的檢測位置X(tN3)時(shí)到得到第隊(duì)個(gè)(例如第255個(gè))線圈間距P的末端位置所對應(yīng)的檢測位置X(tN4)時(shí)的移動(dòng)時(shí)間為T4，則只要將前述的時(shí)間t(m) =0?T中的T設(shè)為T4即可。而且，檢測位置X (tN3)成為基準(zhǔn)的檢測位置X (t0)，檢測位置X (tN4)成為X (t0+t (mm))。
[0256]并且，在這種情況下，也能夠通過與上述同樣的方法來取得校正數(shù)據(jù)E (m)。
[0257]或者，在這種情況下，也可以在將最初(第I個(gè))的線圈間距P的從中途位置到末端位置的檢測位置數(shù)據(jù)加入到最后(例如第256個(gè))的線圈間距P的中途位置的檢測位置數(shù)據(jù)之后，來取得校正數(shù)據(jù)E (m)。在這種情況下，能夠取得從第2個(gè)線圈間距ρ的始端位置到最后(例如第256個(gè))的線圈間距ρ的末端位置所對應(yīng)的校正數(shù)據(jù)E(m)。
[0258]如以上所述，本實(shí)施方式例I的電磁感應(yīng)式位置檢測器11的檢測位置校正方法中，電磁感應(yīng)式位置檢測器11具有滑尺12和刻度尺15，滑尺12具備第I滑尺線圈13及第2滑尺線圈14，刻度尺15具備刻度尺線圈16，滑尺12安裝于移動(dòng)體21而與移動(dòng)體21 —起移動(dòng)，第I滑尺線圈13及第2滑尺線圈14與刻度尺線圈16以相互平行且相向的方式配置，電磁感應(yīng)式位置檢測器11的檢測位置校正方法的特征在于，進(jìn)行以下處理:檢測位置取得處理，根據(jù)一定速度S的速度指令值使移動(dòng)體21移動(dòng)，利用電磁感應(yīng)式位置檢測器11檢測移動(dòng)體21的位置而取得檢測位置X(t);—定速度判斷處理，基于檢測位置X(t)、刻度尺線圈16的線圈間距ρ(第I 一定速度判斷方法)，或者基于檢測位置X (t)、一定速度S、移動(dòng)體21的移動(dòng)時(shí)間T1 (第2 —定速度判斷方法)，或者基于刻度尺線圈16的線圈間距P、一定速度S、移動(dòng)體21的移動(dòng)時(shí)間T2 (第3 —定速度判斷方法)，來判斷移動(dòng)體21在預(yù)定移動(dòng)區(qū)間內(nèi)以一定速度S進(jìn)行了移動(dòng)這一情況；及校正數(shù)據(jù)取得處理，將上述移動(dòng)區(qū)間內(nèi)的任一線圈間距P的始端位置所對應(yīng)的檢測位置XUtl)設(shè)為基準(zhǔn)檢測位置，向基準(zhǔn)檢測位置Xatl)加上從取得上述基準(zhǔn)檢測位置Xatl)起的經(jīng)過時(shí)間τ與一定速度s的相乘值，由此求出近似理想位置，基于該近似理想位置和檢測位置來取得校正數(shù)據(jù)。
[0259]因此，不需要與電磁感應(yīng)式位置檢測器11不同的高精度位置檢測器，利用電磁感應(yīng)式位置檢測器11自身能夠取得校正數(shù)據(jù)而進(jìn)行檢測位置的校正。
[0260]另外，本實(shí)施方式例I的電磁感應(yīng)式位置檢測器11的檢測位置校正方法的特征在于，在上述一定速度判斷處理(第I 一定速度判斷方法)中，若將上述移動(dòng)區(qū)間設(shè)為相當(dāng)于線圈間距P的η倍(η為自然數(shù))的區(qū)間，將移動(dòng)體21以一定速度S在上述移動(dòng)區(qū)間內(nèi)移動(dòng)所需的移動(dòng)時(shí)間設(shè)為T1，將上述移動(dòng)區(qū)間的始端位置所對應(yīng)的檢測位置設(shè)為Xatl)，將上述移動(dòng)區(qū)間的末端位置所對應(yīng)的檢測位置設(shè)為Xac^T1)，將閾值設(shè)為土L，則在滿足n*p-L彡X(VT1)-Xa0)彡n*p+L的條件時(shí)，判斷為移動(dòng)體在上述移動(dòng)區(qū)間內(nèi)以一定速度S進(jìn)行了移動(dòng)。
[0261]因此，通過電磁感應(yīng)式位置檢測器11自身能夠容易且可靠地進(jìn)行移動(dòng)體21的一定速度S的判斷。
[0262]另外，本實(shí)施方式例I的電磁感應(yīng)式位置檢測器11的檢測位置校正方法的特征在于，在上述一定速度判斷處理(第2—定速度判斷方法)中，若將上述移動(dòng)區(qū)間設(shè)為相當(dāng)于線圈間距P的η倍(η為自然數(shù))的區(qū)間，將移動(dòng)體21以一定速度S在上述移動(dòng)區(qū)間內(nèi)移動(dòng)所需的移動(dòng)時(shí)間設(shè)為T1，將上述移動(dòng)區(qū)間的始端位置所對應(yīng)的檢測位置設(shè)為Xatl)，將上述移動(dòng)區(qū)間的末端位置所對應(yīng)的檢測位置設(shè)為Xac^T1)，將閾值設(shè)為土L，則在滿足S^T1-L ^X(VT1)-Xa0)彡S*I\+L的條件時(shí)，判斷為移動(dòng)體21在上述移動(dòng)區(qū)間內(nèi)以一定速度S進(jìn)行了移動(dòng)。
[0263]因此，通過電磁感應(yīng)式位置檢測器11自身能夠容易且可靠地進(jìn)行移動(dòng)體21的一定速度S的判斷。
[0264]另外，根據(jù)本實(shí)施方式例I的電磁感應(yīng)式位置檢測器11的檢測位置校正方法，其特征在于，在上述一定速度判斷處理