本發(fā)明涉及噴淋設(shè)備檢測(cè)，尤其涉及一種噴淋板流阻三軸檢測(cè)裝置。

背景技術(shù)：

1、氣相沉積技術(shù)是利用氣相中發(fā)生的物理、化學(xué)變化，改變工件表面成分，并在工件表面形成具有特定光學(xué)、電學(xué)性能的金屬或化合物涂層的新技術(shù)，被廣泛應(yīng)用于芯片制造等技術(shù)領(lǐng)域。

2、噴淋板或噴淋盤是半導(dǎo)體工藝設(shè)備中的關(guān)鍵部件，其用于將工藝氣體均勻噴涂至工件表面，其氣孔的大小以及均勻性都會(huì)對(duì)涂層厚度產(chǎn)生影響。由于噴淋板或噴淋盤的氣孔的加工工藝誤差，導(dǎo)致氣孔的流阻與理論值存在偏差，一般需要對(duì)所有氣孔進(jìn)行流阻檢測(cè)?，F(xiàn)有技術(shù)中，針對(duì)氣孔的流阻檢測(cè)一般采用人工方式進(jìn)行，通過流阻檢測(cè)設(shè)備檢測(cè)氣流經(jīng)某一氣孔的壓力值與流量反映流阻值，檢測(cè)時(shí)由人工將檢測(cè)氣嘴按壓在氣孔上，待氣流穩(wěn)定后讀取檢測(cè)數(shù)值。

3、但是，采用人工檢測(cè)方式存在以下弊端：在噴淋板上眾多氣孔中尋找特定的氣孔進(jìn)行檢測(cè)，操作非常困難，人工將氣嘴按壓至氣孔上，容易因按壓偏離或角度傾斜導(dǎo)致檢測(cè)數(shù)據(jù)不準(zhǔn)確，并且一般需要一人按壓氣嘴，一人記錄檢測(cè)數(shù)據(jù)，檢測(cè)效率低下，準(zhǔn)確性不高。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種噴淋板流阻三軸檢測(cè)裝置，以解決現(xiàn)有人工對(duì)噴淋板氣孔流阻檢測(cè)效率低、準(zhǔn)確性差的技術(shù)問題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

3、本發(fā)明的實(shí)施例提供了一種噴淋板流阻三軸檢測(cè)裝置，其包括:

4、橫向運(yùn)動(dòng)模組，所述橫向運(yùn)動(dòng)模組的移動(dòng)端可沿第一方向往復(fù)移動(dòng)；

5、縱向運(yùn)動(dòng)模組，所述縱向運(yùn)動(dòng)模組連接于所述橫向運(yùn)動(dòng)模組的移動(dòng)端，所述縱向運(yùn)動(dòng)模組的移動(dòng)端可沿第二方向往復(fù)移動(dòng)；

6、豎向運(yùn)動(dòng)模組，所述豎向運(yùn)動(dòng)模組連接于所述縱向運(yùn)動(dòng)模組的移動(dòng)端，所述豎向運(yùn)動(dòng)模組的移動(dòng)端可沿第三方向往復(fù)移動(dòng)；

7、流阻檢測(cè)氣嘴組件，所述流阻檢測(cè)氣嘴組件連接于所述豎向運(yùn)動(dòng)模組的移動(dòng)端，其中，所述第一方向、第二方向和第三方向任意兩個(gè)方向均相互垂直。

8、其中，所述橫向運(yùn)動(dòng)模組、所述縱向運(yùn)動(dòng)模組和所述豎向運(yùn)動(dòng)模組的結(jié)構(gòu)相同，均包括：驅(qū)動(dòng)單元，連接于所述驅(qū)動(dòng)單元的輸出端的減速單元，連接于所述減速單元的輸出端的絲桿組件，以及連接于絲桿組件的滑動(dòng)件。

9、其中，所述驅(qū)動(dòng)單元為伺服電機(jī)。

10、其中，所述絲桿組件為滾珠絲杠模組。

11、其中，流阻檢測(cè)氣嘴組件包括：氣管，設(shè)置于所述氣管的檢測(cè)端管口的密封墊，以及連接于所述氣管的流阻檢測(cè)儀。

12、其中，所述流阻檢測(cè)氣嘴組件還包括連接于所述氣管的外壁的連接塊，以及連接于所述連接塊的頂部的至少一個(gè)緩沖單元，所述緩沖單元能夠提供與所述第三方向同向的彈性緩沖力。

13、其中，所述緩沖單元包括：下端連接于所述連接塊的導(dǎo)桿，穿設(shè)于所述導(dǎo)桿的直線軸承和彈性件，所述彈性件的一端抵接于所述連接塊，另一端抵接于所述直線軸承，所述直線軸承還連接于所述豎向運(yùn)動(dòng)模組的移動(dòng)端。

14、其中，所述噴淋板流阻三軸檢測(cè)裝置還包括定位件，所述定位件沿所述第三方向設(shè)置于所述豎向運(yùn)動(dòng)模組的下方。

15、其中，所述定位件上設(shè)有至少一個(gè)定位槽，所述定位槽的底部為開口結(jié)構(gòu)。

16、其中，所述定位槽為沿同一軸心開設(shè)的若干環(huán)形臺(tái)，若干所述環(huán)形臺(tái)的直徑和高度由所述定位件的側(cè)邊緣向軸心方向依次減小。

17、本發(fā)明的噴淋板流阻三軸檢測(cè)裝置，其通過三個(gè)相互垂直設(shè)置的橫向運(yùn)動(dòng)模組、縱向運(yùn)動(dòng)模組和豎向運(yùn)動(dòng)模組控制流阻檢測(cè)氣嘴組件精確自動(dòng)移動(dòng)至待檢測(cè)的氣孔位置，并結(jié)合定位件，快速、精準(zhǔn)、高效的尋找檢測(cè)氣孔，相較于人工方式，其效率更高、檢測(cè)結(jié)果更準(zhǔn)確。

18、上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明技術(shù)手段，可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施，并且為了讓本發(fā)明的上述和其它目的、特征及優(yōu)點(diǎn)能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實(shí)施例，詳細(xì)說明如下。

技術(shù)特征：

1.一種噴淋板流阻三軸檢測(cè)裝置，其特征在于，包括:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴淋板流阻三軸檢測(cè)裝置，其特征在于，所述橫向運(yùn)動(dòng)模組、所述縱向運(yùn)動(dòng)模組和所述豎向運(yùn)動(dòng)模組的結(jié)構(gòu)相同，均包括：驅(qū)動(dòng)單元，連接于所述驅(qū)動(dòng)單元的輸出端的減速單元，連接于所述減速單元的輸出端的絲桿組件。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的噴淋板流阻三軸檢測(cè)裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)單元為伺服電機(jī)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的噴淋板流阻三軸檢測(cè)裝置，其特征在于，所述絲桿組件為滾珠絲杠模組。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴淋板流阻三軸檢測(cè)裝置，其特征在于，所述流阻檢測(cè)氣嘴組件包括：氣管，設(shè)置于所述氣管的檢測(cè)端管口的密封墊，以及連接于所述氣管的流阻檢測(cè)儀。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的噴淋板流阻三軸檢測(cè)裝置，其特征在于，所述流阻檢測(cè)氣嘴組件還包括連接于所述氣管的外壁的連接塊，以及連接于所述連接塊的頂部的至少一個(gè)緩沖單元，所述緩沖單元能夠?yàn)樗鰵夤芴峁┡c所述第三方向同向的彈性緩沖力。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的噴淋板流阻三軸檢測(cè)裝置，其特征在于，所述緩沖單元包括：下端連接于所述連接塊的導(dǎo)桿，穿設(shè)于所述導(dǎo)桿的直線軸承和彈性件，所述彈性件的一端抵接于所述連接塊，另一端抵接于所述直線軸承，所述直線軸承還連接于所述豎向運(yùn)動(dòng)模組的移動(dòng)端。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至7任意一項(xiàng)所述的噴淋板流阻三軸檢測(cè)裝置，其特征在于，所述噴淋板流阻三軸檢測(cè)裝置還包括定位件，所述定位件沿所述第三方向設(shè)置于所述豎向運(yùn)動(dòng)模組的下方。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的噴淋板流阻三軸檢測(cè)裝置，其特征在于，所述定位件上設(shè)有至少一個(gè)定位槽，所述定位槽的底部為開口結(jié)構(gòu)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的噴淋板流阻三軸檢測(cè)裝置，其特征在于，所述定位槽為沿同一軸心開設(shè)的若干環(huán)形臺(tái)，若干所述環(huán)形臺(tái)的直徑和高度由所述定位件的側(cè)邊緣向軸心方向依次減小。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種噴淋板流阻三軸檢測(cè)裝置，其包括:橫向運(yùn)動(dòng)模組，縱向運(yùn)動(dòng)模組，豎向運(yùn)動(dòng)模組以及流阻檢測(cè)氣嘴組件，所述流阻檢測(cè)氣嘴組件連接于所述豎向運(yùn)動(dòng)模組的移動(dòng)端，所述橫向運(yùn)動(dòng)模組控制所述縱向運(yùn)動(dòng)模組沿第一方向移動(dòng)，所述縱向運(yùn)動(dòng)模組控制所述豎向運(yùn)動(dòng)模組沿第二方向移動(dòng)，所述豎向運(yùn)動(dòng)模組控制流阻檢測(cè)氣嘴組件沿第三方向移動(dòng)。該噴淋板流阻三軸檢測(cè)裝置通過三個(gè)相互垂直設(shè)置的橫向運(yùn)動(dòng)模組、縱向運(yùn)動(dòng)模組和豎向運(yùn)動(dòng)模組控制流阻檢測(cè)氣嘴組件精確自動(dòng)移動(dòng)至待檢測(cè)的氣孔位置，并結(jié)合定位件，快速、精準(zhǔn)、高效的尋找檢測(cè)氣孔并完成自動(dòng)流阻檢測(cè)，相較于人工方式，其效率更高、檢測(cè)結(jié)果更準(zhǔn)確。

技術(shù)研發(fā)人員：周巨濤,顧顏俁
受保護(hù)的技術(shù)使用者：拓荊創(chuàng)益（沈陽）半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/10/21