檢測(cè)管狀物漏氣的裝置及其方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種檢測(cè)管狀物漏氣的裝置及方法，包括：水槽、管狀物、導(dǎo)氣管、充氣機(jī)、超聲波裝置、電源；水槽底部設(shè)有用于固定所述管狀物的第一支架及第二支架，第一支架高于所述第二支架，管狀物的高處端部低于液面；管狀物的高處端部設(shè)有第一悶頭塞，管狀物的低處端部設(shè)有第二悶頭塞；充氣機(jī)通過導(dǎo)氣管與管狀物的低處端部連接；超聲波裝置用于產(chǎn)生超聲波振動(dòng)；所述電源用于產(chǎn)生高頻交流電流的電源；所述超聲波裝置與所述電源連接。本發(fā)明的優(yōu)勢(shì)在于本裝置有效提高現(xiàn)有檢測(cè)裝置的準(zhǔn)確性，防止有顆粒物堵住漏點(diǎn)使檢測(cè)裝置產(chǎn)生誤報(bào)，避免把含有漏點(diǎn)的管狀物直接安裝使用，導(dǎo)致在使用時(shí)發(fā)生有毒有害的氣體泄露，危及人體或造成安全事故。
【專利說明】檢測(cè)管狀物漏氣的裝置及其方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，具體是涉及一種檢測(cè)管狀物漏氣的裝置及其方法。
【背景技術(shù)】
[0002]伴隨集成電路制造工藝的不斷進(jìn)步，半導(dǎo)體器件制造所需要的氣體也更加的多元化，并且絕大部分的氣體都是具有高腐蝕性和可燃性；
[0003]IC工藝制作過程中會(huì)用到很多的有毒、有害、高腐蝕氣體，在IC硬件上一般是在腔體內(nèi)進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，有很多的化學(xué)反應(yīng)的場(chǎng)所就是由陶瓷、石英等材料制作一個(gè)管狀形場(chǎng)所。由于陶瓷、石英等材料的管狀物制品引起的氣體泄漏的安全事件屢有發(fā)生，所以需要在有毒有害氣體未危及人體或未造成安全事故的時(shí)候及時(shí)減小或排除事故造成的損失。
[0004]目前IC工藝制作過程中的測(cè)漏裝置對(duì)陶瓷、石英等管狀物制品進(jìn)行測(cè)漏時(shí)容易產(chǎn)生誤測(cè)，原因是管狀物存在一些微小顆粒堵住漏點(diǎn)，而這些微小顆粒隨時(shí)會(huì)從管狀物上脫落，這對(duì)安裝和使用環(huán)境都存在潛在的危險(xiǎn)。IC制造的設(shè)備用到很多對(duì)人體有害的氣體，比如HF、SiH4、SiF4等氣體，若是泄漏輕則影響人體的健康，重者會(huì)危及生命。
[0005]因此，提高現(xiàn)有檢測(cè)裝置的準(zhǔn)確性，防止有顆粒物堵住漏點(diǎn)使檢測(cè)裝置產(chǎn)生誤報(bào)成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的在于提供一種檢測(cè)管狀物漏氣的裝置，防止微小顆粒堵住管狀物漏點(diǎn)，避免把含有漏點(diǎn)的管狀物直接安裝使用，導(dǎo)致在使用時(shí)發(fā)生有毒有害的氣體泄露，危及人體或造成安全事故。
[0007]本發(fā)明為解決上述技術(shù)問題而采用的技術(shù)方案是提供一種檢測(cè)管狀物漏氣的裝置，包括:水槽、管狀物、導(dǎo)氣管、充氣機(jī)、超聲波裝置、電源；
[0008]所述水槽內(nèi)裝有液體介質(zhì)，且所述水槽底部設(shè)有用于固定所述管狀物的第一支架及第二支架，所述第一支架高于所述第二支架，使所述管狀物相對(duì)于水平面傾斜設(shè)置，且所述管狀物的高處端部低于液面；
[0009]所述管狀物的高處端部設(shè)有可拆卸的用于密封的第一悶頭塞，所述管狀物的低處端部設(shè)有可拆卸的用于密封的第二悶頭塞，所述第二悶頭塞上設(shè)有供導(dǎo)氣管通過的通孔；
[0010]所述水槽外設(shè)有充氣機(jī)，所述充氣機(jī)與導(dǎo)氣管的一端連接，導(dǎo)氣管的另一端與管狀物的低處端部連接；
[0011]所述超聲波裝置設(shè)在水槽內(nèi)，用于產(chǎn)生超聲波振動(dòng)；所述電源安裝在水槽外，用于產(chǎn)生高頻交流電流的電源；所述超聲波裝置與所述電源連接。
[0012]優(yōu)選的，所述超聲波裝置的振動(dòng)頻率為30KHZ或以上。
[0013]優(yōu)選的，所述管狀物為陶瓷或石英材料。
[0014]優(yōu)選的，所述管狀物與水平面的夾角為30°?60°。
[0015]優(yōu)選的，所述管狀物與水平面的夾角為45°。[0016]優(yōu)選的，所述水槽是由有機(jī)玻璃或不銹鋼一體制成的。
[0017]優(yōu)選的，所述第一支架、第二支架、第一悶頭塞、第二悶頭塞、導(dǎo)氣管的材料為全氟燒氧基樹脂。
[0018]本發(fā)明一種檢測(cè)管狀物漏氣的方法，包括以下步驟:
[0019]步驟一 S1:將待檢測(cè)的管狀物固定在第一支架及第二支架上，且管狀物相對(duì)于水平面傾斜設(shè)置；
[0020]步驟二 S2:往水槽內(nèi)注入液體介質(zhì)，且液面高于管狀物的高處端部；
[0021]步驟三S3:打開超聲波裝置，所述超聲波裝置的振動(dòng)頻率為30KHz或以上，對(duì)所述管狀物進(jìn)行振蕩清掃，清掃完畢后，將第一悶頭塞密封所述管狀物的高處端部；
[0022]步驟四S4:開啟充氣機(jī)，從所述管狀物的低處端部插入導(dǎo)氣管進(jìn)行充氣，使管狀物管內(nèi)的液體介質(zhì)排出；
[0023]步驟五S5:將所述管狀物管內(nèi)的液體介質(zhì)排出后，將連接導(dǎo)氣管的第二悶頭塞密封管狀物的低處端部；
[0024]步驟六S6:對(duì)所述管狀物充氣I?2分鐘，使所述管狀物的管內(nèi)壓力大于管外的液體壓力；
[0025]步驟七S7:判斷所述管狀物是否漏氣:如果檢測(cè)到所述管狀物表面無氣泡，則所述管狀物表面沒有漏氣現(xiàn)象；否則，所述管狀物存在漏氣現(xiàn)象。
[0026]優(yōu)選的，步驟三中震蕩清洗為20-30分鐘。
[0027]優(yōu)選的，所述液體介質(zhì)為去離子水。
[0028]本發(fā)明通過增設(shè)超聲波清洗裝置，對(duì)管狀物進(jìn)行振蕩清掃，有效提高現(xiàn)有檢測(cè)裝置的準(zhǔn)確性，防止有顆粒物堵住漏點(diǎn)使檢測(cè)裝置產(chǎn)生誤報(bào)，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低，避免把含有漏點(diǎn)的管狀物直接安裝使用，導(dǎo)致在使用時(shí)發(fā)生有毒有害的氣體泄露，危及人體或造成安全事故。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0029]為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0030]圖1為本發(fā)明檢測(cè)管狀物漏氣的裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0031]圖2為本發(fā)明進(jìn)行充氣排水的的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0032]圖3為本發(fā)明進(jìn)行充氣加壓的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0033]圖4為本發(fā)明管狀物存在漏氣的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0034]圖中標(biāo)號(hào)說明如下:
[0035]10、水槽；20、管狀物；21、高處端部；22、低處端部；30、導(dǎo)氣管；40、充氣機(jī)；50、第一支架；60、第二支架；70、第一悶頭塞；80、第二悶頭塞；90、超聲波裝置；100、電源；110、
液體介質(zhì)。
【具體實(shí)施方式】[0036]體現(xiàn)本發(fā)明特征與優(yōu)點(diǎn)的一些典型實(shí)施例將在后段的說明中詳細(xì)敘述。應(yīng)理解的是本發(fā)明能夠在不同的示例上具有各種的變化，其皆不脫離本發(fā)明的范圍，且其中的說明及圖示在本質(zhì)上當(dāng)作說明之用，而非用以限制本發(fā)明。
[0037]下面結(jié)合圖1至圖4對(duì)本發(fā)明中的檢測(cè)管狀物漏氣的裝置作進(jìn)一步的說明:
[0038]如圖1至圖4所示，本發(fā)明提供一種檢測(cè)管狀物漏氣的裝置，包括:水槽10、管狀物20、導(dǎo)氣管30、充氣機(jī)40 ;所述水槽10內(nèi)裝有液體介質(zhì)110，且所述水槽10底部設(shè)有用于固定所述管狀物20的第一支架50及第二支架60，所述第一支架50高于所述第二支架60，使所述管狀物20相對(duì)于水平面傾斜設(shè)置，且所述管狀物20的高處端部21低于液面；所述管狀物20的高處端部21設(shè)有可拆卸的用于密封的第一悶頭塞70，所述管狀物20的低處端部22設(shè)有可拆卸的用于密封的第二悶頭塞80，所述第二悶頭塞80上設(shè)有供導(dǎo)氣管30通過的通孔；所述水槽10外設(shè)有充氣機(jī)40，所述充氣機(jī)40與導(dǎo)氣管30的一端連接，導(dǎo)氣管30的另一端與管狀物20的低處端部22連接。
[0039]對(duì)管狀物20進(jìn)行檢測(cè)室時(shí)，首先將待檢測(cè)的管狀物20固定在第一支架及50第二支架60上，且管狀物20相對(duì)于水平面傾斜設(shè)置；往水槽10內(nèi)注入液體介質(zhì)110，且液面高于管狀物20的高處端部21 ;將第一悶頭塞70密封所述管狀物20的高處端部21 ;開啟充氣機(jī)40，從所述管狀物20的低處端部22插入導(dǎo)氣管30進(jìn)行充氣，使管狀物20管內(nèi)的液體介質(zhì)110排出；將所述管狀物20管內(nèi)的液體介質(zhì)110排出后，將連接導(dǎo)氣管30的第二悶頭塞80密封管狀物20的低處端部22 ;對(duì)所述管狀物20充氣I?2分鐘，使所述管狀物20的管內(nèi)壓力大于管外的液體壓力；判斷所述管狀物20是否漏氣:如果檢測(cè)到所述管狀物20表面無氣泡，則所述管狀物20表面沒有漏氣現(xiàn)象；否則，所述管狀物20存在漏氣現(xiàn)象，圖4為本發(fā)明管狀物20存在漏氣的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0040]為了防止有顆粒物堵住漏點(diǎn)使檢測(cè)裝置產(chǎn)生誤報(bào)，避免把含有漏點(diǎn)的管狀物直接安裝使用，導(dǎo)致在使用時(shí)發(fā)生有毒有害的氣體泄露；檢測(cè)管狀物漏氣的裝置還包括用于產(chǎn)生超聲波振動(dòng)的超聲波裝置90和用于產(chǎn)生高頻交流電流的電源100，所述超聲波裝置90設(shè)在水槽10內(nèi)，所述電源100安裝在水槽10外，所述超聲波裝置90與所述電源100連接。優(yōu)選的，所述超聲波裝置90的振動(dòng)頻率為30KHz或以上。所述的超聲波裝置90對(duì)管狀物20進(jìn)行高頻清洗，使存在在管狀物20細(xì)微裂縫中的小顆粒脫落，防止微小顆粒堵住管狀物20的漏點(diǎn)。
[0041 ] 值得說明的是，所述管狀物20可為陶瓷或石英材料，所述管狀物20與水平面的夾角為30°?60°，優(yōu)選為管狀物20與水平面的夾角呈45° ;所述水槽10是由有機(jī)玻璃或不銹鋼一體制成的；所述第一支架50、第二支架60、第一悶頭塞70、第二悶頭塞80、導(dǎo)氣管30的材料為全氟烷氧基樹脂，即PFA ;所述的超聲波裝置90可設(shè)在水槽10內(nèi)或設(shè)在水槽10側(cè)壁上。
[0042]本發(fā)明還提供一種檢測(cè)管狀物漏氣的方法，包括以下步驟:
[0043]步驟一 S1:將待檢測(cè)的管狀物固定在第一支架及第二支架上，且管狀物相對(duì)于水平面傾斜設(shè)置；
[0044]步驟二 S2:往水槽內(nèi)注入液體介質(zhì)，且液面高于管狀物的高處端部；所述液體介質(zhì)為去離子水；
[0045]步驟三S3:打開超聲波裝置，所述超聲波裝置的振動(dòng)頻率為30KHz或以上，對(duì)所述管狀物進(jìn)行20-30分鐘的振蕩清掃，清掃完畢后，將第一悶頭塞密封所述管狀物的高處端部;
[0046]步驟四S4:開啟充氣機(jī)，從所述管狀物的低處端部插入氣管進(jìn)行充氣，使管狀物管內(nèi)的液體介質(zhì)排出；
[0047]步驟五S5:將所述管狀物管內(nèi)的液體介質(zhì)排出后，將連接導(dǎo)氣管的第二悶頭塞密封管狀物的低處端部；
[0048]步驟六S6:對(duì)所述管狀物充氣I?2分鐘，使所述管狀物的管內(nèi)壓力大于管外的液體壓力；
[0049]步驟七S7:判斷所述管狀物是否漏氣:如果檢測(cè)到所述管狀物表面無氣泡，則所述管狀物表面沒有漏氣現(xiàn)象；否則，所述管狀物存在漏氣現(xiàn)象。
[0050]本發(fā)明通過增設(shè)超聲波清洗步驟，對(duì)管狀物進(jìn)行振蕩清掃，有效提高現(xiàn)有檢測(cè)裝置的準(zhǔn)確性，防止有顆粒物堵住漏點(diǎn)使檢測(cè)裝置產(chǎn)生誤報(bào)。
[0051]以上所述的僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，所述實(shí)施例并非用以限制本發(fā)明的專利保護(hù)范圍，因此凡是運(yùn)用本發(fā)明的說明書及附圖內(nèi)容所作的等同結(jié)構(gòu)變化，同理均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種檢測(cè)管狀物漏氣的裝置，其特征在于，包括:水槽、管狀物、導(dǎo)氣管、充氣機(jī)、超聲波裝置、電源； 所述水槽內(nèi)裝有液體介質(zhì)，且所述水槽底部設(shè)有用于固定所述管狀物的第一支架及第二支架，所述第一支架高于所述第二支架，使所述管狀物相對(duì)于水平面傾斜設(shè)置，且所述管狀物的高處端部低于液面； 所述管狀物的高處端部設(shè)有可拆卸的用于密封的第一悶頭塞，所述管狀物的低處端部設(shè)有可拆卸的用于密封的第二悶頭塞，所述第二悶頭塞上設(shè)有供導(dǎo)氣管通過的通孔； 所述水槽外設(shè)有充氣機(jī)，所述充氣機(jī)與導(dǎo)氣管的一端連接，導(dǎo)氣管的另一端與管狀物的低處端部連接； 所述超聲波裝置設(shè)在水槽內(nèi)，用于產(chǎn)生超聲波振動(dòng)；所述電源安裝在水槽外，用于產(chǎn)生高頻交流電流的電源；所述超聲波裝置與所述電源連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測(cè)管狀物漏氣的裝置，其特征在于，所述超聲波裝置的振動(dòng)頻率為30KHz或以上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測(cè)管狀物漏氣的裝置，其特征在于，所述管狀物為陶瓷或石英材料。
4.根據(jù)權(quán)利要求1~3任一所述的檢測(cè)管狀物漏氣的裝置，其特征在于，所述管狀物與水平面的夾角為30°~60°。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的檢測(cè)管狀物漏氣的裝置，其特征在于，所述管狀物與水平面的夾角為45°。
6.根據(jù)權(quán)利要求1~3任一所述的檢測(cè)管狀物漏氣的裝置，其特征在于，所述水槽是由有機(jī)玻璃或不銹鋼一體制成的。
7.根據(jù)權(quán)利要求1~3任一所述的檢測(cè)管狀物漏氣的裝置，其特征在于，所述第一支架、第二支架、第一悶頭塞、第二悶頭塞、導(dǎo)氣管的材料為全氟烷氧基樹脂。
8.—種檢測(cè)管狀物漏氣的方法，包括以下步驟: 步驟一 S1:將待檢測(cè)的管狀物固定在第一支架及第二支架上，且管狀物相對(duì)于水平面傾斜設(shè)置； 步驟二 S2:往水槽內(nèi)注入液體介質(zhì)，且液面高于管狀物的高處端部； 步驟三S3:打開超聲波裝置，所述超聲波裝置的振動(dòng)頻率為30KHz或以上，對(duì)所述管狀物進(jìn)行振蕩清掃，清掃完畢后，將第一悶頭塞密封所述管狀物的高處端部； 步驟四S4:開啟充氣機(jī)，從所述管狀物的低處端部插入導(dǎo)氣管進(jìn)行充氣，使管狀物管內(nèi)的液體介質(zhì)排出； 步驟五S5:將所述管狀物管內(nèi)的液體介質(zhì)排出后，將連接導(dǎo)氣管的第二悶頭塞密封管狀物的低處端部； 步驟六S6:對(duì)所述管狀物充氣I~2分鐘，使所述管狀物的管內(nèi)壓力大于管外的液體壓力； 步驟七S7:判斷所述管狀物是否漏氣:如果檢測(cè)到所述管狀物表面無氣泡，則所述管狀物表面沒有漏氣現(xiàn)象；否則，所述管狀物存在漏氣現(xiàn)象。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的檢測(cè)管狀物漏氣的方法，其特征在于，步驟三中震蕩清洗為20-30分鐘。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的檢測(cè)管狀物漏氣的方法，其特征在于，所述液體介質(zhì)為去離子水。
【文檔編號(hào)】G01M3/08GK103728107SQ201310753714
【公開日】2014年4月16日 申請(qǐng)日期:2013年12月31日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月31日
【發(fā)明者】張偉 申請(qǐng)人:上海集成電路研發(fā)中心有限公司