專利名稱：吸附微小物體的吸氣組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種吸氣組件。特別是涉及一種能夠使被測物體不被測試機(jī)構(gòu)帶出定位裝置的吸附微小物體的吸氣組件。
背景技術(shù)：
在對晶體進(jìn)行測試時，通常是將晶體放置在定位裝置上的晶體放置槽內(nèi)，定位裝置固定在分度盤上，在定位裝置的上方有測試機(jī)構(gòu)，用于對晶體進(jìn)行測試。所述的測試機(jī)構(gòu)是采用探針測試的方式對其進(jìn)行檢測，測試機(jī)構(gòu)控制探針上下運動完成測試動作。被檢測的石英晶非常輕小。在石英晶體檢測過程中，由于探針的壓力以及粘連吸附等作用，輕小的晶體在與探針接觸過程中經(jīng)常被探針帶出定位裝置，導(dǎo)致不能正常檢測。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是，提供一種在分度盤下設(shè)置能夠吸住晶體的吸氣組件，使晶體良好定位，以避免被探針帶走的吸氣組件。本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是一種吸附微小物體的吸氣組件，包括吸頭結(jié)構(gòu)，用于吸附放置在固定于分度盤上的定位裝置內(nèi)的微小物體；氣缸，所述的氣缸通過管路和設(shè)置在管路上的氣缸控制閥連接壓縮氣體，所述氣缸的伸縮部件連接吸頭結(jié)構(gòu)的底部，用于驅(qū)動吸頭結(jié)構(gòu)上下動作；底座，所述的底座上設(shè)置有氣缸安裝板，所述的氣缸安裝板上固定所述的氣缸。所述的吸頭結(jié)構(gòu)包括吸頭固定板，所述的吸頭固定板的底面連接在氣缸的伸縮部件上；多個吸頭定位塊，分別固定在吸頭固定板上；吸頭，固定在吸頭定位塊上，用于吸附微小物體。所述的吸頭固定板上固定有與測試結(jié)構(gòu)相對應(yīng)的3個吸頭定位塊，每個吸頭定位塊上設(shè)置有2個吸頭，所述的用于放置微小物體的定位裝置和分度盤上在與吸頭相對應(yīng)處開有貫通孔。所述的吸頭通過管路連接提供用于吸附微小物體的真空負(fù)壓的真空發(fā)生器，所述的管路上設(shè)置有用于打開或關(guān)閉真空發(fā)生器的真空開關(guān)閥。本發(fā)明的吸附微小物體的吸氣組件，通過在分度盤下設(shè)置吸氣組件，在探針測試下降過程中，利用真空吸附定位裝置中的晶體，使晶體良好定位，避免了晶體被探針帶走的現(xiàn)象。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，能夠有效的吸附住微小物體。


圖1是本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖1的后視圖。其中1 底座2 氣缸安裝板
3:氣缸5:吸頭7:吸頭定位塊
4 吸頭結(jié)構(gòu) 6 吸頭固定板 8 定位裝置9:分度盤
具體實施例方式下面結(jié)合實施例和附圖對本發(fā)明的吸附微小物體的吸氣組件做出詳細(xì)說明。本發(fā)明的吸附微小物體的吸氣組件，是石英晶體檢測設(shè)備的一部分。被檢測的石英晶體非常輕小，采用探針測試的方式對其進(jìn)行檢測，測試機(jī)構(gòu)控制探針上下運動。晶體被置放在定位裝置中，定位裝置固定在分度盤上，探針上下運動完成測試動作。為了避免石英晶體被探針帶走，本發(fā)明在分度盤下設(shè)置有吸氣組件，在探針測試下降過程中，利用真空吸附定位裝置中的晶體，使晶體良好定位。如圖1、圖2所示，本發(fā)明的吸附微小物體的吸氣組件，包括吸頭結(jié)構(gòu)4，用于吸附放置在固定于分度盤9上的定位裝置8內(nèi)的微小物體；氣缸3，所述的氣缸3通過管路和設(shè)置在管路上的氣缸控制閥連接壓縮氣體，所述氣缸3的伸縮部件連接吸頭結(jié)構(gòu)4的底部，用于驅(qū)動吸頭結(jié)構(gòu)4上下動作；底座1，所述的底座1上設(shè)置有氣缸安裝板2，所述的氣缸安裝板2上固定所述的氣缸3。所述的吸頭結(jié)構(gòu)4包括吸頭固定板6，所述的吸頭固定板6的底面連接在氣缸3 的伸縮部件上；多個吸頭定位塊7，分別固定在吸頭固定板6上；吸頭5，固定在吸頭定位塊 7上，用于吸附微小物體。所述的吸頭固定板6上固定有與測試結(jié)構(gòu)相對應(yīng)的3個吸頭定位塊7，每個吸頭定位塊7上設(shè)置有2個吸頭5，所述的用于放置微小物體的定位裝置8和分度盤9上在與吸頭5相對應(yīng)處開有貫通孔。探針下降進(jìn)行測試時，吸氣組件控制吸盤上升， 與分度盤接觸并導(dǎo)通真空氣路，吸住晶體。所述的吸頭5通過管路連接提供用于吸附微小物體的真空負(fù)壓的真空發(fā)生器，所述的管路上設(shè)置有用于打開或關(guān)閉真空發(fā)生器的真空開關(guān)閥。本發(fā)明的吸附微小物體的吸氣組件的工作過程是將吸頭與被測晶體相對應(yīng)放置，開啟氣缸控制閥，由氣缸驅(qū)動吸頭機(jī)構(gòu)上升，吸頭頂?shù)椒侄缺P后，開啟真空開關(guān)閥，使吸頭充有真空負(fù)壓并穿過定位裝置8和分度盤9上的貫通孔吸附住被測晶體，測試機(jī)構(gòu)對晶體進(jìn)行測試。測試完畢，測試機(jī)構(gòu)離開晶體，即探針上升后，關(guān)閉真空開關(guān)閥，開啟氣缸控制閥，使吸頭機(jī)構(gòu)下降，回到原始位置，從而使被測晶體不會被測試機(jī)構(gòu)上升時帶出定位裝置。
權(quán)利要求
1.一種吸附微小物體的吸氣組件，其特征在于，包括吸頭結(jié)構(gòu)G)，用于吸附放置在固定于分度盤(9)上的定位裝置(8)內(nèi)的微小物體；氣缸(3)，所述的氣缸C3)通過管路和設(shè)置在管路上的氣缸控制閥連接壓縮氣體，所述氣缸(3)的伸縮部件連接吸頭結(jié)構(gòu)的底部，用于驅(qū)動吸頭結(jié)構(gòu)(4)上下動作；底座(1)，所述的底座(1)上設(shè)置有氣缸安裝板O)，所述的氣缸安裝板( 上固定所述的氣缸(3)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的吸附微小物體的吸氣組件，其特征在于，所述的吸頭結(jié)構(gòu)(4) 包括吸頭固定板(6)，所述的吸頭固定板(6)的底面連接在氣缸(3)的伸縮部件上；多個吸頭定位塊(7)，分別固定在吸頭固定板(6)上；吸頭(5)，固定在吸頭定位塊(7)上，用于吸附微小物體。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的吸附微小物體的吸氣組件，其特征在于，所述的吸頭固定板 (6)上固定有與測試結(jié)構(gòu)相對應(yīng)的3個吸頭定位塊(7)，每個吸頭定位塊(7)上設(shè)置有2個吸頭(5)，所述的用于放置微小物體的定位裝置(8)和分度盤(9)上在與吸頭(5)相對應(yīng)處開有貫通孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的吸附微小物體的吸氣組件，其特征在于，所述的吸頭(5)通過管路連接提供用于吸附微小物體的真空負(fù)壓的真空發(fā)生器，所述的管路上設(shè)置有用于打開或關(guān)閉真空發(fā)生器的真空開關(guān)閥。
全文摘要
一種吸附微小物體的吸氣組件，有吸頭結(jié)構(gòu)，用于吸附放置在固定于分度盤上的定位裝置內(nèi)的微小物體；氣缸，通過管路和設(shè)置在管路上的氣缸控制閥連接壓縮氣體，氣缸的伸縮部件連接吸頭結(jié)構(gòu)的底部，用于驅(qū)動吸頭結(jié)構(gòu)上下動作；底座上設(shè)置有氣缸安裝板，氣缸安裝板上固定所述的氣缸。吸頭結(jié)構(gòu)包括吸頭固定板，所述的吸頭固定板的底面連接在氣缸的伸縮部件上；多個吸頭定位塊，分別固定在吸頭固定板上；吸頭，固定在吸頭定位塊上，用于吸附微小物體，通過管路連接提供用于吸附微小物體的真空負(fù)壓的真空發(fā)生器。所述的用于放置微小物體的定位裝置和分度盤上在與吸頭相對應(yīng)處開有貫通孔。本發(fā)明利用真空吸附定位裝置中的晶體，避免了晶體被探針帶走的現(xiàn)象。
文檔編號G01R1/04GK102323452SQ20111014316
公開日2012年1月18日 申請日期2011年5月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月30日
發(fā)明者房貴磊, 李建平 申請人:天津必利優(yōu)科技發(fā)展有限公司