一種高真空磁耦合動(dòng)密封傳動(dòng)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及動(dòng)密封技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種高真空磁耦合動(dòng)密封傳動(dòng)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]動(dòng)密封技術(shù)一直是一個(gè)世界級(jí)的難題，在真空磁控濺射鍍膜設(shè)備中，對(duì)動(dòng)密封的要求很高，同時(shí)還要求耐溫，以及在高真空環(huán)境中的動(dòng)密封材質(zhì)的穩(wěn)定性能。較早期的動(dòng)密封部件大多采用骨架密封，或者O型圈密封，有個(gè)別行業(yè)也采用炭環(huán)，將炭環(huán)表面加工成光潔面，將轉(zhuǎn)軸上端的壓環(huán)也加工成光潔面，讓金屬面和碳環(huán)表面的接觸性摩擦來(lái)阻止兩邊的壓差，價(jià)格比較低廉，耐高溫性能好。但是磨損較大，受到震動(dòng)或者沖擊以后炭環(huán)容易斷裂，密封性能不好，漏率大。在真空行業(yè)幾乎沒(méi)有應(yīng)用實(shí)例。
[0003]骨架密封和O型圈密封則是采用多個(gè)密封圈或者O型圈串聯(lián)在一起，一級(jí)一級(jí)減少壓差，串聯(lián)的密封圈越多，所能承受的壓差也就相對(duì)較大，漏率相對(duì)減小，但是所受的阻力也就越大，摩擦和磨損也就越大，一般密封圈或者O型圈更換周期相對(duì)較短，這種密封一般運(yùn)用在設(shè)備對(duì)真空度要求不是很高的場(chǎng)合，運(yùn)行之后需要定期進(jìn)行維護(hù)，更換密封件和傳動(dòng)軸。
[0004]隨著最近磁流體的實(shí)用新型，使得動(dòng)密封部件有了革命性的飛躍，磁流體內(nèi)部是懸浮性液態(tài)磁液，液態(tài)磁液在多級(jí)環(huán)形通道內(nèi)形成的多級(jí)磁環(huán)密封，逐級(jí)分壓，在大氣壓和真空的動(dòng)態(tài)密封中，能夠發(fā)揮出比較好的密封性能，但是磁流體在封裝的時(shí)候，磁液過(guò)多容易導(dǎo)致轉(zhuǎn)軸阻尼系數(shù)太大，空載轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中負(fù)荷較重，無(wú)功損耗大。磁液過(guò)少則容易導(dǎo)致密封件壽命較短，可能導(dǎo)致漏氣。在傳動(dòng)過(guò)程中，因?yàn)檎婵涨皇覂?nèi)外溫差較大，磁流體內(nèi)部軸承屬于緊配合，由于部件的熱脹冷縮性能，容易出現(xiàn)軸承卡滯或者卡死等現(xiàn)象，后期很多增加了冷卻水管道借助水冷卻，當(dāng)水溫較低的時(shí)候還是易發(fā)軸承抱死，導(dǎo)致磁流體發(fā)生卡死現(xiàn)象，直接造成部件損壞不能正常運(yùn)行。
[0005]鑒于上述原因，現(xiàn)有的動(dòng)密封裝置的結(jié)構(gòu)需要改進(jìn)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]本實(shí)用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種高真空磁耦合動(dòng)密封傳動(dòng)裝置，用于隔離真空和大氣，在真空和大氣之間進(jìn)行動(dòng)力傳輸，減少了設(shè)備維護(hù)和保養(yǎng)，甚至可以終身免維護(hù)，杜絕了漏液漏氣的可能性，減少了傳動(dòng)中的摩擦，提高了設(shè)備的可靠性和安全性能，保障真空室內(nèi)與大氣完全隔離，不存在漏氣的可能性，達(dá)到真空室內(nèi)外兩側(cè)在保證不會(huì)產(chǎn)生泄漏的前提下而傳輸動(dòng)力的目的。
[0007]本實(shí)用新型為了實(shí)現(xiàn)上述目的，采用如下技術(shù)方案:一種高真空磁耦合動(dòng)密封傳動(dòng)裝置，是由:一號(hào)高真空隔離板、二號(hào)高真空隔離板、三號(hào)高真空隔離板、密封膠圈、杯形套、杯形轉(zhuǎn)子、一號(hào)軸、轉(zhuǎn)盤(pán)、一號(hào)軸永磁體S極、一號(hào)軸永磁體N極、二號(hào)軸、二號(hào)軸永磁體N極、二號(hào)軸永磁體S極、一號(hào)軸承、二號(hào)軸承、三號(hào)軸承、四號(hào)軸承、轉(zhuǎn)動(dòng)軸孔構(gòu)成；一號(hào)高真空隔離板與三號(hào)高真空隔離板之間設(shè)置二號(hào)高真空隔離板，一號(hào)高真空隔離板、二號(hào)高真空隔離板和三號(hào)高真空隔離板中部設(shè)置預(yù)留孔，一號(hào)高真空隔離板預(yù)留孔的直徑小于二號(hào)高真空隔離板預(yù)留孔的直徑，二號(hào)高真空隔離板預(yù)留孔的直徑小于三號(hào)高真空隔離板預(yù)留孔的直徑，二號(hào)高真空隔離板的一側(cè)對(duì)應(yīng)預(yù)留孔設(shè)置杯形轉(zhuǎn)子，三號(hào)高真空隔離板的一側(cè)對(duì)應(yīng)預(yù)留孔設(shè)置杯形套，杯形套與杯形轉(zhuǎn)子之間對(duì)應(yīng)杯形套的預(yù)留孔設(shè)置主動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，杯形轉(zhuǎn)子內(nèi)對(duì)應(yīng)一號(hào)高真空隔離板的預(yù)留孔設(shè)置被動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。
[0008]所述的主動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)由一號(hào)軸、轉(zhuǎn)盤(pán)、一號(hào)軸永磁體S極、一號(hào)軸永磁體N極、三號(hào)軸承、四號(hào)軸承構(gòu)成；一號(hào)軸一側(cè)設(shè)置三號(hào)軸承與四號(hào)軸承，三號(hào)軸承與四號(hào)軸承之間設(shè)置轉(zhuǎn)盤(pán)，轉(zhuǎn)盤(pán)上以一號(hào)軸為軸心線對(duì)稱設(shè)置一號(hào)軸永磁體S極和一號(hào)軸永磁體N極，所述的三號(hào)軸承設(shè)置在杯形轉(zhuǎn)子底部的外側(cè)，所述的四號(hào)軸承設(shè)置在杯形套底部的預(yù)留孔內(nèi)。
[0009]所述的被動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)由二號(hào)軸、二號(hào)軸永磁體N極、二號(hào)軸永磁體S極、一號(hào)軸承、二號(hào)軸承構(gòu)成；二號(hào)軸一側(cè)設(shè)置一號(hào)軸承與二號(hào)軸承，一號(hào)軸承與二號(hào)軸承之間二號(hào)軸的上下方對(duì)稱設(shè)置二號(hào)軸永磁體N極和二號(hào)軸永磁體S極，二號(hào)軸通過(guò)一號(hào)高真空隔離板中部的預(yù)留孔，所述的一號(hào)軸承和二號(hào)軸承分別設(shè)置在杯形轉(zhuǎn)子內(nèi)的上下方。
[0010]所述的一號(hào)高真空隔離板、二號(hào)高真空隔離板與三號(hào)高真空隔離板上設(shè)置密封膠圈槽，密封膠圈槽內(nèi)設(shè)置密封膠圈。
[0011]所述的一號(hào)軸的大氣端設(shè)置轉(zhuǎn)動(dòng)軸孔，二號(hào)軸的真空端設(shè)置轉(zhuǎn)動(dòng)軸孔。
[0012]所述杯形轉(zhuǎn)子內(nèi)的底部與二號(hào)軸的一端對(duì)應(yīng)設(shè)置，杯形轉(zhuǎn)子底部的外側(cè)與一號(hào)軸的一端對(duì)應(yīng)設(shè)置。
[0013]本實(shí)用新型的有益效果是:一號(hào)軸大氣端的轉(zhuǎn)動(dòng)軸孔與真空室外的傳動(dòng)電機(jī)動(dòng)力輸出軸連接，二號(hào)軸真空端的轉(zhuǎn)動(dòng)軸孔與真空室內(nèi)的傳動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)動(dòng)力輸入軸連接，三號(hào)軸承和四號(hào)軸承使一號(hào)軸固定在杯形套與杯形轉(zhuǎn)子之間，一號(hào)軸轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)轉(zhuǎn)盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)一號(hào)軸永磁體S極和一號(hào)軸永磁體N極同時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)，根據(jù)磁體同極相斥、異極相吸的原理，一號(hào)軸與二號(hào)軸不接觸，主動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)被動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)，使一號(hào)軸和二號(hào)軸達(dá)到同步旋轉(zhuǎn)，二號(hào)軸帶動(dòng)真空室內(nèi)的傳動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)動(dòng)力輸入軸旋轉(zhuǎn)；一號(hào)高真空隔離板、二號(hào)高真空隔離板、三號(hào)高真空隔離板通過(guò)密封膠圈合并在一起，保障真空室內(nèi)與大氣完全隔離，不存在漏氣的可能性，達(dá)到真空室內(nèi)外兩側(cè)在保證不會(huì)產(chǎn)生泄漏的前提下而傳輸動(dòng)力的目的。
[0014]與傳統(tǒng)的動(dòng)密封裝置相比較，本實(shí)用新型用于隔離真空和大氣，在真空和大氣之間進(jìn)行動(dòng)力傳輸，減少了設(shè)備維護(hù)和保養(yǎng)，甚至可以終身免維護(hù)，杜絕了漏液漏氣的可能性，減少了傳動(dòng)中的摩擦，提高了設(shè)備的可靠性和安全性能。
[0015]本實(shí)用新型使傳動(dòng)軸真空室內(nèi)外分成兩根，真空部件腔體和大氣傳動(dòng)部件完全隔離開(kāi)，通過(guò)改變永磁體頑校力的大小和兩套永磁體部件之間的距離來(lái)調(diào)整內(nèi)外扭距達(dá)到不同設(shè)備的設(shè)計(jì)要求。精加工的杯形套是用于防止真空泄漏的密封部件，二號(hào)軸通過(guò)一號(hào)軸承和二號(hào)軸承與杯形轉(zhuǎn)子連接，一號(hào)軸通過(guò)四號(hào)軸承與杯形套連接，通過(guò)三號(hào)軸承與杯形轉(zhuǎn)子連接，杯形套將真空室與部件內(nèi)外完全隔離開(kāi)，做到內(nèi)外完全密封的高精度動(dòng)密封，從根本上突破和解決了現(xiàn)有技術(shù)的不足和漏氣的問(wèn)題，以達(dá)到高真空度和超高真空度，在后期的高端產(chǎn)品研發(fā)中有著不可估量的價(jià)值，是真空設(shè)備中動(dòng)密封組件的又一次革命性的技術(shù)突破。
【附圖說(shuō)明】
[0016]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明:
[0017]圖1是，總裝結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖1中:一號(hào)高真空隔離板1、二號(hào)高真空隔離板2、三號(hào)高真空隔離板3、密封膠圈4、杯