一種高真空磁耦合動密封傳動裝置及應(yīng)用方法
【專利摘要】一種高真空磁耦合動密封傳動裝置及應(yīng)用方法，是由：一號高真空隔離板、二號高真空隔離板、三號高真空隔離板、密封膠圈、杯形套、杯形轉(zhuǎn)子、一號軸、轉(zhuǎn)盤、一號軸永磁體S極、一號軸永磁體N極、二號軸、二號軸永磁體N極、二號軸永磁體S極、一號軸承、二號軸承、三號軸承、四號軸承、轉(zhuǎn)動軸孔構(gòu)成；用于隔離真空和大氣，在真空和大氣之間進(jìn)行動力傳輸，減少了設(shè)備維護(hù)和保養(yǎng)，甚至可以終身免維護(hù)，杜絕了漏液漏氣的可能性，減少了傳動中的摩擦，提高了設(shè)備的可靠性和安全性能，保障真空室內(nèi)與大氣完全隔離，不存在漏氣的可能性，達(dá)到真空室內(nèi)外兩側(cè)在保證不會產(chǎn)生泄漏的前提下而傳輸動力的目的。
【專利說明】一種高真空磁耦合動密封傳動裝置及應(yīng)用方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及動密封【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其是一種高真空磁耦合動密封傳動裝置及應(yīng)用方法。

【背景技術(shù)】
[0002]動密封技術(shù)一直是一個世界級的難題，在真空磁控濺射鍍膜設(shè)備中，對動密封的要求很高，同時還要求耐溫，以及在高真空環(huán)境中的動密封材質(zhì)的穩(wěn)定性能。較早期的動密封部件大多采用骨架密封，或者O型圈密封，有個別行業(yè)也采用炭環(huán)，將炭環(huán)表面加工成光潔面，將轉(zhuǎn)軸上端的壓環(huán)也加工成光潔面，讓金屬面和碳環(huán)表面的接觸性摩擦來阻止兩邊的壓差，價格比較低廉，耐高溫性能好。但是磨損較大，受到震動或者沖擊以后炭環(huán)容易斷裂，密封性能不好，漏率大。在真空行業(yè)幾乎沒有應(yīng)用實(shí)例。
[0003]骨架密封和O型圈密封則是采用多個密封圈或者O型圈串聯(lián)在一起，一級一級減少壓差，串聯(lián)的密封圈越多，所能承受的壓差也就相對較大，漏率相對減小，但是所受的阻力也就越大，摩擦和磨損也就越大，一般密封圈或者O型圈更換周期相對較短，這種密封一般運(yùn)用在設(shè)備對真空度要求不是很高的場合，運(yùn)行之后需要定期進(jìn)行維護(hù)，更換密封件和傳動軸。
[0004]隨著最近磁流體的發(fā)明，使得動密封部件有了革命性的飛躍，磁流體內(nèi)部是懸浮性液態(tài)磁液，液態(tài)磁液在多級環(huán)形通道內(nèi)形成的多級磁環(huán)密封，逐級分壓，在大氣壓和真空的動態(tài)密封中，能夠發(fā)揮出比較好的密封性能，但是磁流體在封裝的時候，磁液過多容易導(dǎo)致轉(zhuǎn)軸阻尼系數(shù)太大，空載轉(zhuǎn)動過程中負(fù)荷較重，無功損耗大。磁液過少則容易導(dǎo)致密封件壽命較短，可能導(dǎo)致漏氣。在傳動過程中，因?yàn)檎婵涨皇覂?nèi)外溫差較大，磁流體內(nèi)部軸承屬于緊配合，由于部件的熱脹冷縮性能，容易出現(xiàn)軸承卡滯或者卡死等現(xiàn)象，后期很多增加了冷卻水管道借助水冷卻，當(dāng)水溫較低的時候還是易發(fā)軸承抱死，導(dǎo)致磁流體發(fā)生卡死現(xiàn)象，直接造成部件損壞不能正常運(yùn)行。
[0005]鑒于上述原因，現(xiàn)有的動密封裝置的結(jié)構(gòu)需要改進(jìn)。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種高真空磁耦合動密封傳動裝置及應(yīng)用方法，用于隔離真空和大氣，在真空和大氣之間進(jìn)行動力傳輸，減少了設(shè)備維護(hù)和保養(yǎng)，甚至可以終身免維護(hù)，杜絕了漏液漏氣的可能性，減少了傳動中的摩擦，提高了設(shè)備的可靠性和安全性能，保障真空室內(nèi)與大氣完全隔離，不存在漏氣的可能性，達(dá)到真空室內(nèi)外兩側(cè)在保證不會產(chǎn)生泄漏的前提下而傳輸動力的目的。
[0007]本發(fā)明為了實(shí)現(xiàn)上述目的，采用如下技術(shù)方案:一種高真空磁耦合動密封傳動裝置及應(yīng)用方法，是由:一號高真空隔離板、二號高真空隔離板、三號高真空隔離板、密封膠圈、杯形套、杯形轉(zhuǎn)子、一號軸、轉(zhuǎn)盤、一號軸永磁體S極、一號軸永磁體N極、二號軸、二號軸永磁體N極、二號軸永磁體S極、一號軸承、二號軸承、三號軸承、四號軸承、轉(zhuǎn)動軸孔構(gòu)成；一號高真空隔離板與三號高真空隔離板之間設(shè)置二號高真空隔離板，一號高真空隔離板、二號高真空隔離板和三號高真空隔離板中部設(shè)置預(yù)留孔，一號高真空隔離板預(yù)留孔的直徑小于二號高真空隔離板預(yù)留孔的直徑，二號高真空隔離板預(yù)留孔的直徑小于三號高真空隔離板預(yù)留孔的直徑，二號高真空隔離板的一側(cè)對應(yīng)預(yù)留孔設(shè)置杯形轉(zhuǎn)子，三號高真空隔離板的一側(cè)對應(yīng)預(yù)留孔設(shè)置杯形套，杯形套與杯形轉(zhuǎn)子之間對應(yīng)杯形套的預(yù)留孔設(shè)置主動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，杯形轉(zhuǎn)子內(nèi)對應(yīng)一號高真空隔離板的預(yù)留孔設(shè)置被動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。
[0008]所述的主動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)由一號軸、轉(zhuǎn)盤、一號軸永磁體S極、一號軸永磁體N極、三號軸承、四號軸承構(gòu)成；一號軸一側(cè)設(shè)置三號軸承與四號軸承，三號軸承與四號軸承之間設(shè)置轉(zhuǎn)盤，轉(zhuǎn)盤上以一號軸為軸心線對稱設(shè)置一號軸永磁體S極和一號軸永磁體N極，所述的三號軸承設(shè)置在杯形轉(zhuǎn)子底部的外側(cè)，所述的四號軸承設(shè)置在杯形套底部的預(yù)留孔內(nèi)。
[0009]所述的被動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)由二號軸、二號軸永磁體N極、二號軸永磁體S極、一號軸承、二號軸承構(gòu)成；二號軸一側(cè)設(shè)置一號軸承與二號軸承，一號軸承與二號軸承之間二號軸的上下方對稱設(shè)置二號軸永磁體N極和二號軸永磁體S極，二號軸通過一號高真空隔離板中部的預(yù)留孔，所述的一號軸承和二號軸承分別設(shè)置在杯形轉(zhuǎn)子內(nèi)的上下方。
[0010]所述的一號高真空隔離板、二號高真空隔離板與三號高真空隔離板上設(shè)置密封膠圈槽，密封膠圈槽內(nèi)設(shè)置密封膠圈。
[0011]所述的一號軸的大氣端設(shè)置轉(zhuǎn)動軸孔，二號軸的真空端設(shè)置轉(zhuǎn)動軸孔。
[0012]所述杯形轉(zhuǎn)子內(nèi)的底部與二號軸的一端對應(yīng)設(shè)置，杯形轉(zhuǎn)子底部的外側(cè)與一號軸的一端對應(yīng)設(shè)置。
[0013]一號軸大氣端的轉(zhuǎn)動軸孔與真空室外的傳動電機(jī)動力輸出軸連接，二號軸真空端的轉(zhuǎn)動軸孔與真空室內(nèi)的傳動輪轉(zhuǎn)動系統(tǒng)動力輸入軸連接，三號軸承和四號軸承使一號軸固定在杯形套與杯形轉(zhuǎn)子之間，一號軸轉(zhuǎn)動帶動轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動帶動一號軸永磁體S極和一號軸永磁體N極同時轉(zhuǎn)動，根據(jù)磁體同極相斥、異極相吸的原理，一號軸與二號軸不接觸，主動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)帶動被動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)，使一號軸和二號軸達(dá)到同步旋轉(zhuǎn)，二號軸帶動真空室內(nèi)的傳動輪轉(zhuǎn)動系統(tǒng)動力輸入軸旋轉(zhuǎn)；一號高真空隔離板、二號高真空隔離板、三號高真空隔離板通過密封膠圈合并在一起，保障真空室內(nèi)與大氣完全隔離。
[0014]通過調(diào)整轉(zhuǎn)盤上一號軸永磁體S極與一號軸永磁體N極的距離，控制主動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與被動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的磁場強(qiáng)度。
[0015]通過調(diào)整主動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)一號軸的轉(zhuǎn)速，對被動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)二號軸的轉(zhuǎn)速進(jìn)行控制。
[0016]所述的一號軸永磁體S極和一號軸永磁體N極為4500-5800高斯的釤鈷磁鐵，所述的二號軸永磁體N極和二號軸永磁體S極為5000-5800高斯的釤鈷磁鐵，一號軸的轉(zhuǎn)速為20-300轉(zhuǎn)/分鐘。
[0017]本發(fā)明的有益效果是:一號軸大氣端的轉(zhuǎn)動軸孔與真空室外的傳動電機(jī)動力輸出軸連接，二號軸真空端的轉(zhuǎn)動軸孔與真空室內(nèi)的傳動輪轉(zhuǎn)動系統(tǒng)動力輸入軸連接，三號軸承和四號軸承使一號軸固定在杯形套與杯形轉(zhuǎn)子之間，一號軸轉(zhuǎn)動帶動轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動帶動一號軸永磁體S極和一號軸永磁體N極同時轉(zhuǎn)動，根據(jù)磁體同極相斥、異極相吸的原理，一號軸與二號軸不接觸，主動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)帶動被動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)，使一號軸和二號軸達(dá)到同步旋轉(zhuǎn)，二號軸帶動真空室內(nèi)的傳動輪轉(zhuǎn)動系統(tǒng)動力輸入軸旋轉(zhuǎn)；一號高真空隔離板、二號高真空隔離板、三號高真空隔離板通過密封膠圈合并在一起，保障真空室內(nèi)與大氣完全隔離，不存在漏氣的可能性，達(dá)到真空室內(nèi)外兩側(cè)在保證不會產(chǎn)生泄漏的前提下而傳輸動力的目的。
[0018]與傳統(tǒng)的動密封裝置相比較，本發(fā)明用于隔離真空和大氣，在真空和大氣之間進(jìn)行動力傳輸，減少了設(shè)備維護(hù)和保養(yǎng)，甚至可以終身免維護(hù)，杜絕了漏液漏氣的可能性，減少了傳動中的摩擦，提高了設(shè)備的可靠性和安全性能。
[0019]本發(fā)明使傳動軸真空室內(nèi)外分成兩根，真空部件腔體和大氣傳動部件完全隔離開，通過改變永磁體頑校力的大小和兩套永磁體部件之間的距離來調(diào)整內(nèi)外扭距達(dá)到不同設(shè)備的設(shè)計要求。精加工的杯形套是用于防止真空泄漏的密封部件，二號軸通過一號軸承和二號軸承與杯形轉(zhuǎn)子連接，一號軸通過四號軸承與杯形套連接，通過三號軸承與杯形轉(zhuǎn)子連接，杯形套將真空室與部件內(nèi)外完全隔離開，做到內(nèi)外完全密封的高精度動密封，從根本上突破和解決了現(xiàn)有技術(shù)的不足和漏氣的問題，以達(dá)到高真空度和超高真空度，在后期的高端產(chǎn)品研發(fā)中有著不可估量的價值，是真空設(shè)備中動密封組件的又一次革命性的技術(shù)突破。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0020]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步說明:
[0021]圖1是，總裝結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖1中:一號高真空隔離板1、二號高真空隔離板2、三號高真空隔離板3、密封膠圈4、杯形套5、杯形轉(zhuǎn)子6、一號軸7、轉(zhuǎn)盤8、一號軸永磁體S極9、一號軸永磁體N極10、二號軸11、二號軸永磁體N極12、二號軸永磁體S極13、一號軸承14、二號軸承15、三號軸承16、四號軸承17、轉(zhuǎn)動軸孔18。

【具體實(shí)施方式】
[0023]下面結(jié)合實(shí)施例與【具體實(shí)施方式】對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說明:
[0024]實(shí)施例1
[0025]—號高真空隔離板I與三號高真空隔離板3之間設(shè)置二號高真空隔離板2，一號高真空隔離板1、二號高真空隔離板2和三號高真空隔離板3中部設(shè)置預(yù)留孔，一號高真空隔離板I預(yù)留孔的直徑小于二號高真空隔離板2預(yù)留孔的直徑，二號高真空隔離板2預(yù)留孔的直徑小于三號高真空隔離板3預(yù)留孔的直徑，二號高真空隔離板2的一側(cè)對應(yīng)預(yù)留孔設(shè)置杯形轉(zhuǎn)子6，三號高真空隔離板3的一側(cè)對應(yīng)預(yù)留孔設(shè)置杯形套5，杯形套5與杯形轉(zhuǎn)子6之間對應(yīng)杯形套5的預(yù)留孔設(shè)置主動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，杯形轉(zhuǎn)子6內(nèi)對應(yīng)一號高真空隔離板I的預(yù)留孔設(shè)置被動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。
[0026]實(shí)施例2
[0027]所述的主動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)由一號軸7、轉(zhuǎn)盤8、一號軸永磁體S極9、一號軸永磁體N極10、三號軸承16、四號軸承17構(gòu)成；一號軸7 —側(cè)設(shè)置三號軸承16與四號軸承17，三號軸承16與四號軸承17之間設(shè)置轉(zhuǎn)盤8，轉(zhuǎn)盤8上以一號軸7為軸心線對稱設(shè)置一號軸永磁體S極9和一號軸永磁體N極10，所述的三號軸承16設(shè)置在杯形轉(zhuǎn)子6底部的外側(cè)，所述的四號軸承17設(shè)置在杯形套5底部的預(yù)留孔內(nèi)。
[0028]實(shí)施例3
[0029]所述的被動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)由二號軸11、二號軸永磁體N極12、二號軸永磁體S極13、一號軸承14、二號軸承15構(gòu)成；二號軸11 一側(cè)設(shè)置一號軸承14與二號軸承15，一號軸承14與二號軸承15之間二號軸11的上下方對稱設(shè)置二號軸永磁體N極12和二號軸永磁體S極13，二號軸11通過一號高真空隔離板I中部的預(yù)留孔，所述的一號軸承14和二號軸承15分別設(shè)置在杯形轉(zhuǎn)子6內(nèi)的上下方。
[0030]實(shí)施例4
[0031]所述的一號高真空隔離板1、二號高真空隔離板2與三號高真空隔離板3上設(shè)置密封膠圈槽，密封膠圈槽內(nèi)設(shè)置密封膠圈4。
[0032]實(shí)施例5
[0033]所述的一號軸7的大氣端設(shè)置轉(zhuǎn)動軸孔18，二號軸11的真空端設(shè)置轉(zhuǎn)動軸孔18。
[0034]實(shí)施例6
[0035]所述杯形轉(zhuǎn)子6內(nèi)的底部與二號軸11的一端對應(yīng)設(shè)置，杯形轉(zhuǎn)子6底部的外側(cè)與一號軸7的一端對應(yīng)設(shè)置。
[0036]實(shí)施例7
[0037]一號軸7大氣端的轉(zhuǎn)動軸孔18與真空室外的傳動電機(jī)動力輸出軸連接，二號軸11真空端的轉(zhuǎn)動軸孔18與真空室內(nèi)的傳動輪轉(zhuǎn)動系統(tǒng)動力輸入軸連接，三號軸承16和四號軸承17使一號軸7固定在杯形套5與杯形轉(zhuǎn)子6之間，一號軸7轉(zhuǎn)動帶動轉(zhuǎn)盤8轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)盤8轉(zhuǎn)動帶動一號軸永磁體S極9和一號軸永磁體N極10同時轉(zhuǎn)動，根據(jù)磁體同極相斥、異極相吸的原理，一號軸7與二號軸11不接觸，主動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)帶動被動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)，使一號軸7和二號軸11達(dá)到同步旋轉(zhuǎn)，二號軸11帶動真空室內(nèi)的傳動輪轉(zhuǎn)動系統(tǒng)動力輸入軸旋轉(zhuǎn)；一號高真空隔離板1、二號高真空隔離板2、三號高真空隔離板3通過密封膠圈4合并在一起，保障真空室內(nèi)與大氣完全隔尚。
[0038]實(shí)施例8
[0039]通過調(diào)整轉(zhuǎn)盤8上一號軸永磁體S極9與一號軸永磁體N極10的距離，控制主動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與被動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的磁場強(qiáng)度。
[0040]實(shí)施例9
[0041 ] 通過調(diào)整主動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)一號軸7的轉(zhuǎn)速，對被動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)二號軸11的轉(zhuǎn)速進(jìn)行控制。
[0042]實(shí)施例10
[0043]所述的一號軸永磁體S極9和一號軸永磁體N極10為4500-5800高斯的釤鈷磁鐵，所述的二號軸永磁體N極12和二號軸永磁體S極13為5000-5800高斯的釤鈷磁鐵，一號軸7的轉(zhuǎn)速為20-300轉(zhuǎn)/分鐘。
【權(quán)利要求】
1.一種高真空磁耦合動密封傳動裝置，是由:一號高真空隔離板(I)、二號高真空隔離板(2)、三號高真空隔離板(3)、密封膠圈(4)、杯形套(5)、杯形轉(zhuǎn)子(6)、一號軸(7)、轉(zhuǎn)盤(8)、一號軸永磁體S極(9)、一號軸永磁體N極(10)、二號軸(11)、二號軸永磁體N極(12)、二號軸永磁體S極(13)、一號軸承(14)、二號軸承(15)、三號軸承(16)、四號軸承(17)、轉(zhuǎn)動軸孔(18)構(gòu)成；其特征在于:一號高真空隔離板(I)與三號高真空隔離板(3)之間設(shè)置二號高真空隔離板(2)，一號高真空隔離板(I)、二號高真空隔離板(2)和三號高真空隔離板(3)中部設(shè)置預(yù)留孔，一號高真空隔離板(I)預(yù)留孔的直徑小于二號高真空隔離板(2)預(yù)留孔的直徑，二號高真空隔離板(2)預(yù)留孔的直徑小于三號高真空隔離板(3)預(yù)留孔的直徑，二號高真空隔離板(2)的一側(cè)對應(yīng)預(yù)留孔設(shè)置杯形轉(zhuǎn)子(6)，三號高真空隔離板(3)的一側(cè)對應(yīng)預(yù)留孔設(shè)置杯形套(5)，杯形套(5)與杯形轉(zhuǎn)子(6)之間對應(yīng)杯形套(5)的預(yù)留孔設(shè)置主動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，杯形轉(zhuǎn)子(6)內(nèi)對應(yīng)一號高真空隔離板(I)的預(yù)留孔設(shè)置被動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高真空磁耦合動密封傳動裝置，其特征在于:所述的主動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)由一號軸(7)、轉(zhuǎn)盤(8)、一號軸永磁體S極(9)、一號軸永磁體N極(10)、三號軸承(16)、四號軸承(17)構(gòu)成；一號軸(7) —側(cè)設(shè)置三號軸承(16)與四號軸承(17)，三號軸承(16)與四號軸承(17)之間設(shè)置轉(zhuǎn)盤(8)，轉(zhuǎn)盤⑶上以一號軸(7)為軸心線對稱設(shè)置一號軸永磁體S極(9)和一號軸永磁體N極(10)，所述的三號軸承(16)設(shè)置在杯形轉(zhuǎn)子(6)底部的外側(cè)，所述的四號軸承(17)設(shè)置在杯形套(5)底部的預(yù)留孔內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高真空磁耦合動密封傳動裝置，其特征在于:所述的被動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)由二號軸(11)、二號軸永磁體N極(12)、二號軸永磁體S極(13)、一號軸承(14)、二號軸承(15)構(gòu)成；二號軸(11) 一側(cè)設(shè)置一號軸承(14)與二號軸承(15)，一號軸承(14)與二號軸承(15)之間二號軸(11)的上下方對稱設(shè)置二號軸永磁體N極(12)和二號軸永磁體S極(13)，二號軸(11)通過一號高真空隔離板(I)中部的預(yù)留孔，所述的一號軸承(14)和二號軸承(15)分別設(shè)置在杯形轉(zhuǎn)子(6)內(nèi)的上下方。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高真空磁耦合動密封傳動裝置，其特征在于:所述的一號高真空隔離板(I)、二號高真空隔離板(2)與三號高真空隔離板(3)上設(shè)置密封膠圈槽，密封膠圈槽內(nèi)設(shè)置密封膠圈(4)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高真空磁耦合動密封傳動裝置，其特征在于:所述的一號軸(7)的大氣端設(shè)置轉(zhuǎn)動軸孔(18)，二號軸(11)的真空端設(shè)置轉(zhuǎn)動軸孔(18)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高真空磁耦合動密封傳動裝置，其特征在于:所述杯形轉(zhuǎn)子(6)內(nèi)的底部與二號軸(11)的一端對應(yīng)設(shè)置，杯形轉(zhuǎn)子(6)底部的外側(cè)與一號軸(7)的一端對應(yīng)設(shè)置。
7.—種高真空磁耦合動密封傳動裝置的應(yīng)用方法，其特征在于:一號軸(7)大氣端的轉(zhuǎn)動軸孔(18)與真空室外的傳動電機(jī)動力輸出軸連接，二號軸(11)真空端的轉(zhuǎn)動軸孔(18)與真空室內(nèi)的傳動輪轉(zhuǎn)動系統(tǒng)動力輸入軸連接，三號軸承(16)和四號軸承(17)使一號軸(7)固定在杯形套(5)與杯形轉(zhuǎn)子(6)之間，一號軸(7)轉(zhuǎn)動帶動轉(zhuǎn)盤(8)轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)盤(8)轉(zhuǎn)動帶動一號軸永磁體S極(9)和一號軸永磁體N極(10)同時轉(zhuǎn)動，根據(jù)磁體同極相斥、異極相吸的原理，一號軸(7)與二號軸(11)不接觸，主動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)帶動被動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)，使一號軸(7)和二號軸(11)達(dá)到同步旋轉(zhuǎn)，二號軸(11)帶動真空室內(nèi)的傳動輪轉(zhuǎn)動系統(tǒng)動力輸入軸旋轉(zhuǎn)；一號高真空隔離板(I)、二號高真空隔離板(2)、三號高真空隔離板(3)通過密封膠圈(4)合并在一起，保障真空室內(nèi)與大氣完全隔離。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種高真空磁耦合動密封傳動裝置的應(yīng)用方法，其特征在于:通過調(diào)整轉(zhuǎn)盤(8)上一號軸永磁體S極(9)與一號軸永磁體N極(10)的距離，控制主動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與被動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的磁場強(qiáng)度。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種高真空磁耦合動密封傳動裝置的應(yīng)用方法，其特征在于:通過調(diào)整主動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)一號軸(7)的轉(zhuǎn)速，對被動旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)二號軸(11)的轉(zhuǎn)速進(jìn)行控制。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種高真空磁耦合動密封傳動裝置的應(yīng)用方法，其特征在于:所述的一號軸永磁體S極(9)和一號軸永磁體N極(10)為4500-5800高斯的釤鈷磁鐵，所述的二號軸永磁體N極(12)和二號軸永磁體S極(13)為5000-5800高斯的釤鈷磁鐵，一號軸(7)的轉(zhuǎn)速為20-300轉(zhuǎn)/分鐘。
【文檔編號】F16J15/16GK104482212SQ201410736232
【公開日】2015年4月1日 申請日期:2014年11月29日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月29日
【發(fā)明者】王戀貴, 董安光, 譚華, 秦遵紅 申請人:洛陽康耀電子有限公司