一種單多晶制絨設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及硅片制絨設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種單多晶制絨設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，太陽能硅電池技術(shù)的不斷發(fā)展，新工藝層出不窮，硅電池的轉(zhuǎn)換效率不停被刷新。面對競爭越來越激烈的國內(nèi)外市場，傳統(tǒng)工藝被淘汰成為必然趨勢。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中單晶硅片絨面的制備一般使用傳統(tǒng)設(shè)備，不具備將單晶硅片絨面的制備與多晶硅片絨面的制備在一臺設(shè)備上實現(xiàn)，需設(shè)備供應(yīng)商針對新的工藝為后清洗工藝提供更新?lián)Q代裝備或技術(shù)升級。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)中還出現(xiàn)了專門針對多晶硅片制絨的設(shè)備，例如，公布號為CN103441070A的專利，其設(shè)有傳動系統(tǒng)、控制系統(tǒng)和多晶硅片處理工位，該多晶硅片處理工位包括依次設(shè)置的混酸制絨工位、噴淋水洗工位、堿制絨工位、噴淋水洗工位、酸處理工位、噴淋水洗工位，依照各處理工位的排布，該設(shè)備僅能用于多晶硅片的工藝處理，無法同時實現(xiàn)單晶娃片制域或多晶娃片制域。
【實用新型內(nèi)容】
[0005]為解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，本實用新型提出一種單多晶制絨設(shè)備，該設(shè)備將傳統(tǒng)技術(shù)中的單晶制絨設(shè)備和多晶制絨設(shè)備合為一體，使硅片的單晶制絨和多晶制絨能在一臺設(shè)備上實現(xiàn)，擁有減少化學(xué)品的用量，增加產(chǎn)能且便于實現(xiàn)自動化等優(yōu)點。
[0006]本實用新型采用的技術(shù)方案是，設(shè)計一種單多晶制絨設(shè)備，包括:設(shè)備主體、設(shè)于設(shè)備主體上的各個工位、傳動裝置和控制系統(tǒng)，各個工位分別為依次設(shè)置的浸泡酸制絨工位、噴淋水洗工位、烘干工位、噴淋堿制絨工位、噴淋水洗工位、浸泡堿處理工位、噴淋水洗工位、酸處理工位、噴淋水洗工位、烘干工位。
[0007]其中，傳動裝置用于將硅片依次傳送至各個工位，控制系統(tǒng)控制各個工位的工作開關(guān)狀態(tài)。噴淋堿制絨工位還連接有加熱裝置，加熱裝置由控制系統(tǒng)控制工作狀態(tài)。
[0008]浸泡酸制絨工位包括:酸制絨槽、將酸制絨槽分隔成多個工作液腔室的多對隔板、用于將酸制絨液栗入工作液腔室的酸制絨栗、用于收集酸制絨槽內(nèi)酸制絨液的酸制絨副槽，每對隔板的兩板之間設(shè)有間距形成用于溢流循環(huán)的緩沖腔室，該緩沖腔室底部設(shè)有與酸制絨副槽連接的輸出口。
[0009]噴淋水洗工位包括:噴淋水洗槽、設(shè)于噴淋水洗槽上方的噴淋水管、用于將水洗液栗入噴淋水管的水栗。
[0010]烘干工位包括:用于提供風(fēng)源的熱風(fēng)機、用于過濾風(fēng)源的過濾器。
[0011]噴淋堿制絨工位包括:堿制絨槽、設(shè)于堿制絨槽上方的噴淋堿液盒、用于將堿制絨液栗入噴淋堿液盒的堿制絨栗、用于收集堿制絨槽內(nèi)堿制絨液的堿制絨副槽。
[0012]浸泡堿處理工位包括:堿處理槽、將堿處理槽分隔成工作液腔室和緩沖腔室的一對隔板、用于將堿處理液栗入工作液腔室的堿處理栗、用于收集堿處理槽內(nèi)堿處理液的堿處理副槽，該對隔板的兩板之間設(shè)有間距形成工作液腔室，隔板兩側(cè)與堿處理槽的兩端側(cè)壁形成用于溢流循環(huán)的緩沖腔室，該緩沖腔室底部設(shè)有與堿處理副槽連接的輸出口。
[0013]酸制絨栗、水栗、熱風(fēng)機、堿制絨栗及堿處理栗分別與控制系統(tǒng)連接，并由控制系統(tǒng)控制其開關(guān)狀態(tài)。
[0014]酸處理工位的可行結(jié)構(gòu)有兩種，兩種結(jié)構(gòu)中的酸處理栗都與控制系統(tǒng)連接，并由控制系統(tǒng)控制其開關(guān)狀態(tài)。第一種是浸泡處理，酸處理工位包括:酸處理槽、將酸處理槽分隔成一個或多個工作液腔室的多對隔板、用于將酸處理液栗入工作液腔室的酸處理栗、用于收集酸處理槽內(nèi)堿處理液的酸處理副槽，每對隔板的兩板之間設(shè)有間距形成用于溢流循環(huán)的緩沖腔室，該緩沖腔室底部設(shè)有與酸處理副槽連接的輸出口。
[0015]第二種是噴淋處理，酸處理工位包括:酸處理槽、設(shè)于酸處理槽上方的噴淋酸液盒、用于將酸處理液栗入噴淋酸液盒的酸處理栗、用于收集酸處理槽內(nèi)堿處理液的酸處理副槽。
[0016]加熱裝置包括:安裝在堿制絨副槽內(nèi)或循環(huán)管路中的加熱器和溫度檢測儀，所述加熱器和溫度檢測儀均與控制系統(tǒng)連接。
[0017]優(yōu)選的，位于浸泡酸制絨工位和烘干工位之間的噴淋水洗工位未設(shè)置噴淋水洗副槽，其余噴淋水洗工位均設(shè)有用于收集噴淋水洗槽內(nèi)水洗液的噴淋水洗副槽。
[0018]優(yōu)選的，浸泡酸制絨工位、噴淋堿制絨工位、浸泡堿處理工位、酸處理工位均連接有自動補液系統(tǒng)。該自動補液系統(tǒng)包括:依次連接的進液管、補液桶、補液管；進液管和補液管上分別設(shè)置有與所述控制系統(tǒng)連接的控制閥，所述補液桶內(nèi)設(shè)有高精度液位檢測儀，其一端從補液桶內(nèi)伸出并與控制系統(tǒng)連接。
[0019]優(yōu)選的，依次設(shè)置的酸制絨槽、噴淋水洗槽、堿制絨槽、噴淋水洗槽、堿處理槽、噴淋水洗槽、酸處理槽、噴淋水洗槽為主槽槽組，該主槽槽組中的槽還設(shè)有擋水組件，且主槽槽組中相鄰的槽之間均設(shè)有密封結(jié)構(gòu)。
[0020]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型根據(jù)單晶制絨和多晶制絨的工藝特性，對現(xiàn)有的單元處理工位進行合理組合排布，再利用控制系統(tǒng)控制各工位的工作狀態(tài)，使得設(shè)備可依照單晶或多晶制絨的不同進行靈活調(diào)整，當(dāng)設(shè)備進行單晶制絨時，傳動裝置將硅片不斷向前運送，控制系統(tǒng)僅將單晶制絨所需的工位開啟；當(dāng)設(shè)備進行多晶制絨時，控制系統(tǒng)僅將多晶制絨所需的工位開啟。本實用新型工藝運行穩(wěn)定、高效可靠，可做多晶酸制絨、單晶堿制絨、單晶酸制絨、單晶堿制絨的無縫切換。
【附圖說明】
[0021]下面結(jié)合實施例和附圖對本實用新型進行詳細(xì)說明，其中:
[0022]圖1是本實用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖2是本實用新型一側(cè)面的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖3是本實用新型另一側(cè)面的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖4是本實用新型浸泡酸制絨工位的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖5是本實用新型噴淋水洗工位的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖6是本實用新型噴淋堿制絨工位的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖7是本實用新型自動補液系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖8是本實用新型主槽槽組的雙層槽結(jié)構(gòu)示意圖；
[0030]圖9是本實用新型擋水組件局部結(jié)構(gòu)的主視示意圖；
[0031]圖10是圖9的俯視不意圖；
[0032]圖11是圖9中高度調(diào)節(jié)裝置與擋水板裝配后的側(cè)面示意圖；
[0033]圖12是本實用新型主槽槽組間的密封結(jié)構(gòu)示意圖；
[0034]圖13是圖12的A處放大圖。
【具體實施方式】
[0035]如圖1、2所示，本實用新型提出的單多晶制絨設(shè)備，包括:設(shè)備主體1、由前至后依次設(shè)于設(shè)備主體上的各個工位、傳動裝置6和控制系統(tǒng)，設(shè)備兩端設(shè)有上料臺2和下料臺3，設(shè)備主體1頂部設(shè)有抽風(fēng)系統(tǒng)4。各個工位分別為依次設(shè)置的浸泡酸制絨工位11、噴淋水洗工位12、烘干工位13、噴淋堿制絨工位14、噴淋水洗工位12、浸泡堿處理工位15、噴淋水洗工位12、酸處理工位16、噴淋水洗工位12、烘干工位13。使用時將硅片7以水平方式放入上料臺2上，上料臺2有自動規(guī)正裝置和滴水保護裝置，采用光電傳感器自動檢測進片數(shù)量，并設(shè)有連片報警提示功能，硅片經(jīng)過傳動裝置6依次傳送至各個工位，再到下料臺3后被收片。
[0036]其中，各個工位的工作狀態(tài)由控制系統(tǒng)控制，在硅片的處理工藝中，例如浸泡處理工位一般利用動力栗抽動液體對硅片7進行處理，當(dāng)動力栗不工作時液體無法與硅片7接觸，硅片在該工位沒有進行處理。因此，控制系統(tǒng)實際上是對各工位的動力栗或其他動力元件進行控制，當(dāng)動力元件不工作時，該工位即為關(guān)閉狀態(tài)，硅片7被傳動裝置6從該工位經(jīng)過但并不發(fā)生反應(yīng)，當(dāng)動力元件工作時，該工位即為開啟狀態(tài)，硅片被傳動裝置6從該工位經(jīng)過并發(fā)生反應(yīng)?？刂葡到y(tǒng)可根據(jù)單晶或多晶制絨等工藝的不同，靈活選擇需要開啟的工位，達到在一臺設(shè)備上可做多晶酸制絨、單晶堿制絨、單晶酸制絨、單晶堿制絨的目的。
[0037]如圖3所示，由于單晶或多晶制絨在堿制絨時所需處理液的溫度不同，噴淋堿制絨工位還連接有加熱裝置5，加熱裝置5也由控制系統(tǒng)控制工作狀態(tài)。
[0038]具體來說，傳動裝置6包括縱向均勻排列的輸送輥61、驅(qū)動輸送輥61轉(zhuǎn)動的電動元件，各工位的槽體設(shè)置在輸送輥61下方，輸送輥61轉(zhuǎn)動時硅片7不斷向前運動經(jīng)過每個工位。
[0039]如圖4所示，浸泡酸制絨工位包括:酸制絨槽101、將酸制絨槽101分隔成多個工作液腔室102的多對隔板103、用于將酸制絨液栗入工作液腔室102的酸制絨栗、用于收集酸制絨槽101內(nèi)酸制絨液的酸制絨副槽104，每對隔板103的兩板之間設(shè)有間距形成用于溢流循環(huán)的緩沖腔室105，該緩沖腔室105底部設(shè)有與酸制絨副槽104連接的輸出口 106。浸泡酸制絨工位處的輸送輥61頂面與酸制絨槽101頂面持平，或略高于酸制絨槽101。浸泡酸制絨工位的作用是對硅片7進行酸液絨面處理，硅片7以水平方式輸送經(jīng)過酸制絨槽101時，酸制絨栗將酸制絨液栗到工作液腔室102內(nèi)，在栗的動力作用下，酸處理液高過輸送輥61將硅片7浸沒，硅片7與酸液發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從工作液腔室102內(nèi)溢流出的酸液收集到副槽104，再由酸制絨栗抽出酸制絨槽101循環(huán)使用。
[0040]設(shè)備主體1上位于浸泡酸制絨工位和噴淋水洗工位之間的位置設(shè)有壓水輥或吸水輥，壓水輥或吸水輥排列于該位置輸送輥61的上方，壓水輥壓去硅片7上多余的藥液，吸水輥用于去除硅片7上的藥液。
[0041 ] 如圖5所示，噴淋水洗工位包括:噴淋水洗槽201、設(shè)于噴淋水洗槽201上方的噴淋水管、用于將水洗液栗入噴淋水管的水栗202。噴淋水洗工位的作用是去除硅片7表面殘留的藥液，硅片7以水平方式輸送，噴淋水管以上下相對并呈一定角度的方式對硅片7進行沖洗。位于浸泡酸制絨工位和烘干工位之間的噴淋水洗工位為第一噴淋水洗工位，第一噴淋水洗工位未設(shè)置噴淋水洗副槽，該噴淋水洗工位的水為廢水直接排走，其余依次設(shè)置的第二、第三、第四噴淋水洗工位均設(shè)有用于收集噴淋水洗槽201內(nèi)水洗液的噴淋水洗副槽203，由水栗202再次供給到噴淋管，以節(jié)約用水。
[0042]烘干工位包括:用于提供風(fēng)源的熱風(fēng)機、用于過濾風(fēng)源的過濾器，熱風(fēng)機以上下切風(fēng)的方式烘干硅片。在設(shè)備主體上設(shè)置有兩個烘干工位，位于噴淋堿制絨工位前端的第一烘干工位和位于設(shè)備主體末端的第二烘干工位。<