本發(fā)明涉及一種耐蝕性部件、靜電卡盤用部件及耐蝕性部件的制造方法，更詳細而言，涉及一種對氟類腐蝕性氣體、氯類腐蝕性氣體等鹵素類腐蝕性氣體及這些氣體的等離子體具有較高的耐蝕性的耐蝕性部件、包含耐蝕性部件的靜電卡盤用部件及該耐蝕性部件的制造方法。

背景技術：

在IC、LSI、VLSI等半導體裝置的生產(chǎn)線上，存在使用氟類腐蝕性氣體、氯類腐蝕性氣體等鹵素類腐蝕性氣體及這些氣體的等離子體的工序。這些工序中，對通過靜電卡盤而被固定的半導體晶圓實施例如干式蝕刻、等離子體蝕刻、清洗等處理。在這些處理中使用CF₄、SF₆、HF、NF₃、F₂等氟類氣體和Cl₂、SiCl₄、BCl₃、HCl等氯類氣體及那些氣體的等離子體等。這些腐蝕性氣體和等離子體的腐蝕性高，因此由這些腐蝕性氣體和等離子體引起的構成靜電卡盤的靜電卡盤用部件的腐蝕構成問題。由此，以往使用的是釔鋁石榴石(Y₃Al₅O₁₂，以下簡稱為YAG)和將除了氧化釔以外的稀土氧化物添加到YAG的材料等作為使用于靜電卡盤用部件的耐蝕性材料(例如，參考專利文獻1～3)。

以往技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2004-315308號公報

專利文獻2：日本特開2011-151336號公報

專利文獻3：日本特開2012-94826號公報

技術實現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的技術課題

專利文獻1～3中所記載的耐蝕性部件對氟類腐蝕性氣體、氯類腐蝕性氣體等鹵素類腐蝕性氣體及這些氣體的等離子體具有較高的腐蝕性。由于這些耐蝕性部件特別使用于靜電卡盤用部件，因此重要的是不僅要腐蝕性高，而且在作為靜電卡盤用部件而使用的情況下，施加電場時的靜電卡盤的吸附力強，且停止施加電場時的靜電卡盤的剩余吸附力弱。由此，本發(fā)明的目的在于提供一種在使用于靜電卡盤用部件的情況下能夠比以往進一步增強施加電場時的靜電卡盤的吸附力，且能夠比以往進一步減小停止施加電場時的靜電卡盤的剩余吸附力的耐蝕性部件、靜電卡盤用部件及耐蝕性部件的制造方法。

用于解決技術課題的手段

以往，大部分鈣鈦礦型化合物具有四方晶、正交晶、三方晶等立方晶格所扭曲的結構，因此顯示出鐵電性，被認為不適合使用于被施加較強的電場的靜電卡盤用部件。然而，本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)盡管SmAlO₃為正交晶鈣鈦礦型結構(LaAlO₃型結構)但適合使用于靜電卡盤用部件，并完成了本發(fā)明。即，本發(fā)明為如下。

[1]一種耐蝕性部件，其包含有含釤及鋁且具有鈣鈦礦型結構的氧化物。

[2]根據(jù)上述[1]所述的耐蝕性部件，其中，上述耐蝕性部件中的上述氧化物的比例為80體積％以上。

[3]根據(jù)上述[1]或[2]所述的耐蝕性部件，其中，上述氧化物中的釤:鋁(摩爾比)的范圍是73:27～9:91。

[4]根據(jù)上述[1]～[3]中任一項所述的耐蝕性部件，其中，在壓力小于0.5Pa的氣氛下，對具有1mm厚度的耐蝕性部件施加2.0kV的電壓60秒鐘，從而使1英寸的硅晶圓吸附于耐蝕性部件之后，停止施加電壓時的剩余吸附力為0.1～0.9kPa。

[5]一種靜電卡盤用部件，包含上述[1]～[4]中任一項所述的耐蝕性部件。

[6]一種耐蝕性部件的制造方法，其包括：混合氧化鋁粉末及氧化釤粉末和溶劑而制作包含氧化鋁粉末及氧化釤粉末的漿料的工序；干燥漿料而制作包含鋁粉末及氧化釤粉末的混合粉末，并成型該混合粉末而制作成型體的工序；及燒制成型體而制作燒結體的工序。

[7]根據(jù)上述[6]所述的耐蝕性部件的制造方法，其中，還包括對燒結體進行退火的工序。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明能夠提供在使用于靜電卡盤用部件的情況下能夠增強施加電場時的靜電卡盤的吸附力且能夠減小停止施加電場時的靜電卡盤的剩余吸附力的耐蝕性部件、靜電卡盤用部件及耐蝕性部件的制造方法。

附圖說明

圖1是表示實施例1的X射線衍射圖案的圖。

具體實施方式

[耐蝕性部件]

本發(fā)明的耐蝕性部件包含有含釤及鋁且具有鈣鈦礦型結構的氧化物。含釤及鋁且具有鈣鈦礦型結構的氧化物，例如為SmAlO₃。

本發(fā)明的耐蝕性部件只要是含釤及鋁且具有鈣鈦礦型結構的氧化物，就可以包含其它元素。然而，該氧化物優(yōu)選為構成氧化物的原子為釤、鋁及氧且占大部分的氧化物。

上述氧化物中的釤:鋁(摩爾比)的范圍優(yōu)選為73:27～9:91，更優(yōu)選為73:27～14:86，更優(yōu)選為73:27～19:81，更優(yōu)選為73:27～26:74，更優(yōu)選為73:27～35:65，進一步優(yōu)選為65:35～40:60，尤其優(yōu)選為60:40～45:55，進一步優(yōu)選為60:40～47:53。若上述氧化物中的釤:鋁(摩爾比)的范圍為73:27～9:91，則能夠?qū)⑸鲜鲅趸锏闹饕Y構設為鈣鈦礦型結構。

本發(fā)明的耐蝕性部件中的上述氧化物的比例優(yōu)選為80體積％以上，更優(yōu)選為90體積％以上，進一步優(yōu)選為95體積％以上。若耐蝕性部件中的上述氧化物的比例為80體積％以上，則能夠提高耐蝕性部件的介電常數(shù)，并且在將本發(fā)明的耐蝕性部件使用于靜電卡盤用部件的情況下，能夠增強施加電場時的靜電卡盤的吸附力，且能夠減小停止施加電場時的靜電卡盤的剩余吸附力。

本發(fā)明的耐蝕性部件在40Hz的頻率下的相對介電常數(shù)優(yōu)選為20以上，更優(yōu)選為23以上，進一步優(yōu)選為25以上。若本發(fā)明的耐蝕性部件中的相對介電常數(shù)為20以上，則在將耐蝕性部件使用于靜電卡盤用部件的情況下，能夠增強施加電場時的靜電卡盤的吸附力。

本發(fā)明的耐蝕性部件的彎曲強度優(yōu)選為150MPa以上，更優(yōu)選為160MPa以上，進一步優(yōu)選為170MPa以上。在此，彎曲強度是依據(jù)JIS R1601通過4點彎曲試驗所測定的值。若耐蝕性部件的彎曲強度為150MPa以上，則在將耐蝕性部件使用于靜電卡盤用部件的情況下，不會產(chǎn)生有關強度的實際應用上的問題。

本發(fā)明的耐蝕性部件中的相對密度優(yōu)選為97％以上，更優(yōu)選為97.5％以上，進一步優(yōu)選為98％以上。若耐蝕性部件中的相對密度為97％以上，則能夠增強耐蝕性部件的強度，且能夠提高耐蝕性部件的相對介電常數(shù)。并且，耐蝕性部件中的氣孔成為介電損耗增大的原因，因此若耐蝕性部件中的相對密度為97％以上，則能夠減少耐蝕性部件的介電損耗。

在壓力小于0.5Pa的氣氛下，對具有1mm厚度的耐蝕性部件施加2.0kV的電壓，從而使1英寸的硅晶圓吸附于本發(fā)明的耐蝕性部件時的吸附力優(yōu)選為10～30kPa，更優(yōu)選為12～30kPa。若吸附力為10～30kPa，則通過將本發(fā)明的耐蝕性部件使用于靜電卡盤用部件，能夠?qū)⒐杈A等基板可靠地固定于靜電卡盤。

在壓力小于0.5Pa的氣氛下，對具有1mm厚度的本發(fā)明的耐蝕性部件施加2.0kV的電壓60秒鐘，從而使1英寸的硅晶圓吸附于耐蝕性部件之后，停止施加電壓時的剩余吸附力優(yōu)選為0.1～0.9kPa。若剩余吸附力為0.1～0.9kPa，則通過將本發(fā)明的耐蝕性部件使用于靜電卡盤用部件，在硅晶圓等基板的處理結束之后，能夠容易從靜電卡盤卸下基板。

[耐蝕性部件的制造方法]

本發(fā)明的耐蝕性部件的制造方法包括：工序(A)，混合氧化鋁粉末及氧化釤粉末和溶劑而制作包含氧化鋁粉末及氧化釤粉末的漿料；工序(B)，干燥漿料而制作包含鋁粉末及氧化釤粉末的混合粉末，并成型該混合粉末而制作成型體；及工序(C)，燒制成型體而制作燒結體。

(工序(A))

在工序(A)中，混合氧化鋁粉末及氧化釤粉末和溶劑而制作包含氧化鋁粉末及氧化釤粉末的漿料。氧化鋁粉末及氧化釤粉末的平均粒徑分別優(yōu)選為0.01～1.0μm。若氧化鋁粉末及氧化釤粉末的平均粒徑為0.01～1.0μm，則能夠得到相對密度大的耐蝕性部件。并且，能夠抑制耐蝕性部件中的鋁及釤的偏析。并且，氧化鋁粉末及氧化釤粉末的混合粉末的平均粒徑優(yōu)選為0.01～1.0μm。另外，平均粒徑為1次粒子的平均粒徑，是通過激光衍射/散射法而測定的體積平均粒徑。

氧化鋁粉末及氧化釤粉末的BET比表面積優(yōu)選為5～25m²/g。若氧化鋁粉末及氧化釤粉末的BET比表面積為5～25m²/g，則能夠得到相對密度大的耐蝕性部件。BET比表面積是通過使用氮氣的BET法而測定的比表面積。

作為在工序(A)中使用的溶劑，可以舉出例如水、甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、甲苯、二甲苯、丙酮、二氯甲烷、乙酸乙酯、二甲基甲酰胺、二乙醚等。優(yōu)選的溶劑是選自包括水、甲醇、乙醇、丙醇及丁醇中的至少1種。由于使用溶劑來混合氧化鋁粉末及氧化釤粉末，因此能夠均勻地混合氧化鋁粉末及氧化釤粉末。

在混合氧化鋁粉末及氧化釤粉末和溶劑時所使用的裝置，只要能夠制作均勻地包含氧化鋁粉末及氧化釤粉末的漿料，就無特別限定。作為在混合氧化鋁粉末及氧化釤粉末和溶劑時所使用的裝置，可以舉出例如球磨機、珠磨機、分散式研磨機、均質(zhì)器、振動磨機、砂磨機、磨碎機、超聲波分散機及高壓分散機等。

(工序(B))

在工序(B)中，干燥上述漿料而制作包含鋁粉末及氧化釤粉末的混合粉末，并成型該混合粉末而制作成型體。

包含鋁粉末及氧化釤粉末的混合粉末優(yōu)選為顆粒狀，以便混合粉末容易成型。從而，優(yōu)選通過干燥漿料且形成顆粒的方法來實施漿料的干燥。在干燥漿料時可以使用例如噴霧干燥機、氣流干燥機、流體層等。為了形成混合粉末的顆粒，可以將聚丙烯酸鹽等分散劑、聚乙二醇類消泡劑等消泡劑、硬脂酸等潤滑劑、聚乙烯醇等粘結材料、聚乙二醇等增塑劑等添加于漿料中。在工序(B)中，例如通過在模具中對所得到的混合粉末進行單軸壓制或者在橡膠模具中進行等靜壓而得到成型體。

為了從顆粒狀的混合粉末中去除粘結材料等有機成分，優(yōu)選在成型之前對混合粉末進行脫脂。對混合粉末進行脫脂的溫度例如為50～600℃。

(工序(C))

在工序(C)中，燒制成型體而制作燒結體。燒制成型體時的燒制溫度優(yōu)選為1400～1800℃，更優(yōu)選為1450～1750℃，進一步優(yōu)選為1500～1700℃。若燒制溫度為1400～1800℃，則能夠得到致密的燒結體，并且能夠抑制燒結體熔融。在上述燒制溫度的燒制中的燒制時間優(yōu)選為1～5小時，更優(yōu)選為1～4小時，進一步優(yōu)選為1.5～3小時。若燒制時間為1～5小時，則能夠得到致密的燒結體，并且能夠抑制在燒結體中引起異常晶粒生長?？梢栽诖髿庵袩瞥尚腕w，也可以在惰性氣體氣氛下燒制成型體。

成型體的燒制可以是常壓燒制，但從可獲得更致密的燒結體的觀點考慮，更優(yōu)選為加壓燒制。作為加壓燒制，可以舉出例如熱等靜壓(HIP)燒制、熱壓(HP)單軸加壓燒制、超高壓壓制(UHP)多軸加壓燒制等。通過加壓燒制來燒制成型體時對成型體的壓力例如為10～40MPa。

(進行退火的工序(D))

本發(fā)明的耐蝕性部件的制造方法還可以包括對燒結體進行退火的工序(D)。由此能夠減少燒結體中的氧缺陷。另外，若在燒結體中氧缺陷較多，則介電常數(shù)變大，且吸附力變大，而電阻值減小，因此剩余吸附力變大。以減少氧缺陷為目的，優(yōu)選在空氣中實施燒結體的退火處理。退火處理溫度優(yōu)選為1300～1600℃，更優(yōu)選為1350～1550℃，進一步優(yōu)選為1400～1500℃。若退火處理溫度為1300～1600℃，則能夠充分地減少氧缺陷，并且能夠抑制吸附力過度減小。上述退火處理溫度中的退火處理時間優(yōu)選為2～10小時，更優(yōu)選為3～10小時。若退火處理時間為2～10小時，則能夠充分地減少氧缺陷，并且能夠抑制吸附力過度減小。

[靜電卡盤用部件]

本發(fā)明的靜電卡盤用部件包含本發(fā)明的耐蝕性部件。靜電卡盤用部件具有例如：板狀體，具有用來靜電吸附試樣的試樣載置面；靜電吸附用內(nèi)部電極層，設置于所述板狀體的背面；粘接劑層，埋設靜電吸附用內(nèi)部電極層；及絕緣性材料層，設置于粘接劑層中的板狀體的相反側。在靜電卡盤部件中的板狀體的至少在試樣載置面上使用本發(fā)明的耐蝕性部件。

實施例

接著，根據(jù)實施例對本發(fā)明進一步詳細地進行說明，但本發(fā)明并不受這些實施例的任何限定。

如下進行后述的實施例及比較例中的測定及評價。

(1)原料粉體的平均粒徑

使原料粉體在水中分散之后，使用粒度分布測定裝置(Shimadzu Corporation制造，SALD-2000J)來測定原料粉體的平均粒徑。

(2)耐蝕性部件的相對密度

根據(jù)阿基米德法測定在實施例及比較例中得到的耐蝕性部件的密度，以所測定的密度除以由下述式求出的理論密度，從而算出相對密度。

晶胞重量(g)＝氧化釤鋁晶相的各個晶胞重量×各個晶相的mol％

晶胞體積(cm³)＝氧化釤鋁晶相的各個晶胞體積×各個晶相的mol％

理論密度(g/cm³)＝晶胞重量/晶胞體積

另外，由原料粉體的加入量算出氧化釤鋁的各個晶相％的mol％。

(3)耐蝕性部件的晶相的鑒定

根據(jù)粉末X射線衍射法進行了在實施例及比較例中得到的耐蝕性部件的晶相的鑒定。在粉末X射線衍射中使用了X射線衍射裝置(PANalytical公司制造，X’Pert PRO MPD)。

(4)耐蝕性部件的相對介電常數(shù)

將在實施例及比較例中所得到的耐蝕性部件加工為φ48×1mm之后，使用充放電評價裝置(Toyo-System Co.,Ltd.制造，TOSCAT-3000)測定了40MHz下的耐蝕性部件的相對介電常數(shù)。

(5)耐蝕性部件的吸附力

將在實施例及比較例中得到的耐蝕性部件加工為1.0mm的厚度，且在所加工的耐蝕性部件與氧化鋁陶瓷之間形成埋設有電極的粘接層，從而制作出靜電卡盤。將靜電卡盤的試樣載置面溫度設為25℃，將2.0kV的電壓施加于電極60秒鐘，從而使1英寸的硅晶圓在真空中(＜0.5Pa)吸附于靜電卡盤。然后，測定出對1英寸的硅晶圓的吸附力。通過使用測力傳感器的剝離來進行測定，并將此時產(chǎn)生的最大剝離應力設為吸附力。

(6)耐蝕性部件的剩余吸附力

將在實施例及比較例中得到的耐蝕性部件加工為1.0mm的厚度，且在所加工的耐蝕性部件與氧化鋁陶瓷之間形成埋設有電極的粘接層，從而制作出靜電卡盤。將靜電卡盤的試樣載置面溫度設為25℃，將2.0kV的電壓施加于電極60秒鐘，從而使1英寸的硅晶圓在真空中(＜0.5Pa)吸附于靜電卡盤。之后，停止施加電壓，測定出剛停止施加電壓之后對1英寸的硅晶圓的剩余吸附力。通過使用測力傳感器的剝離來進行測定，并將此時產(chǎn)生的最大剝離應力設為剩余吸附力。

(7)耐蝕性部件的彎曲強度

依據(jù)JIS R1601，通過4點彎曲試驗而測定出在實施例及比較例中得到的耐蝕性部件的彎曲強度。使用彎曲試驗器(MARUTO Testing Machine Company.制造，MARUTO JIS彎曲試驗機MZ-401)進行了測定。

(8)耐蝕性評價

對實施例及比較例中所得到的耐蝕性部件照射(i)CF₄/O₂/Ar(2/2/16mL/分鐘)及(ii)SF₆(10mL/分鐘)的氣態(tài)物質(zhì)并進行了等離子體暴露試驗。條件為真空度：1mTorr、電極頻率：2.5GHz、偏置頻率：13.56MHz、電壓：3400V、電流：1.8A、等離子體功率：420W(CF₄)及400W(SF₆)。

測定未暴露的部分和暴露后的部分的表面粗糙度，由該差值來算出蝕刻速率。

(實施例1)

以成為表1所示的組成的方式，分別稱取氧化鋁(Al₂O₃)粉末(TAIMEI CHEMICALS Co.,Ltd.制造，型號：TM-5D)及氧化釤(Sm₂O₃)粉末(Nippon Yttrium Co.,Ltd.,制造，型號：N-SM3CP)。將所稱取的氧化鋁粉末和氧化釤粉末及相對于氧化鋁粉末和氧化釤粉末的總質(zhì)量為1質(zhì)量％的分散劑(CHUKYO YUSHI CO.,LTD.制造，型號：D-735)投入到裝有水的燒杯中。以固體成分成為30％的方式量取水的量。接著，通過攪拌葉片進行濕式混合之后，用球磨機使其分散，從而制作出氧化鋁粉末及氧化釤粉末的混合粉末漿料。采集該漿料的一部分來測定氧化鋁粉末及氧化釤粉末的混合粉末的平均粒徑，結果為0.541μm。

使用噴霧干燥器(Nihon BUCHI.K.K.制造，型號：B-290)，干燥該漿料并進行造粒，從而制作出混合粉末的顆粒。對該混合粉末的顆粒在500℃下進行4小時的熱處理而進行了脫脂。接著，將該混合粉末成型為規(guī)定形狀。然后，使用熱壓機(Fujidempa Kogyo.Co.,ltd.制造，型號：HIGH-MULTI5000)，在1600℃的燒制溫度、2小時的燒制時間、20MPa的壓力及氬氣中，對成型體進行加壓燒制而得到燒結體。以1480℃的退火溫度及3小時的退火時間來對所得到的燒結體進行退火處理，制作出實施例1的耐蝕性部件。

(實施例2)

將燒制溫度設為1700℃，除此以外，以與實施例1相同的方法制作出實施例2的耐蝕性部件。另外，氧化鋁粉末及氧化釤粉末的混合粉末的平均粒徑為0.662μm。

(實施例3)

將燒制溫度設為1500℃，除此以外，以與實施例1相同的方法制作出實施例3的耐蝕性部件。另外，氧化鋁粉末及氧化釤粉末的混合粉末的平均粒徑為0.578μm。

(實施例4)

將燒制溫度設為1450℃，除此以外，以與實施例1相同的方法制作出實施例4的耐蝕性部件。另外，氧化鋁粉末及氧化釤粉末的混合粉末的平均粒徑為0.521μm。

(實施例5)

將釤:鋁(摩爾比)設為9:91，除此以外，以與實施例1相同的方法制作出實施例5的耐蝕性部件。另外，氧化鋁粉末及氧化釤粉末的混合粉末的平均粒徑為0.552μm。

(實施例6)

將釤:鋁(摩爾比)設為14:86且將燒制溫度設為1400℃，除此以外，以與實施例1相同的方法制作出實施例6的耐蝕性部件。另外，氧化鋁粉末及氧化釤粉末的混合粉末的平均粒徑為0.548μm。

(實施例7)

將釤:鋁(摩爾比)設為19:81，除此以外，以與實施例1相同的方法制作出實施例6的耐蝕性部件。另外，氧化鋁粉末及氧化釤粉末的混合粉末的平均粒徑為0.531μm。

(實施例8)

將釤:鋁(摩爾比)設為26:74且將燒制溫度設為1500℃，除此以外，以與實施例1相同的方法制作出實施例8的耐蝕性部件。另外，氧化鋁粉末及氧化釤粉末的混合粉末的平均粒徑為0.529μm。

(實施例9)

將釤:鋁(摩爾比)設為47:53且將燒制溫度設為1550℃，除此以外，以與實施例1相同的方法制作出實施例8的耐蝕性部件。另外，氧化鋁粉末及氧化釤粉末的混合粉末的平均粒徑為0.520μm。

(比較例1)

使用氧化釔(Y₂O₃)粉末(Nippon Yttrium Co.,Ltd.,制造，型號：YT3S)來代替氧化釤粉末，除此以外，以與實施例1相同的方法制作出比較例1的耐蝕性部件。另外，采集氧化鋁粉末及氧化釔粉末的混合粉末漿料的一部分來測定氧化鋁粉末及氧化釔粉末的混合粉末的平均粒徑，結果為0.674μm。

(比較例2)

使用氧化釔(Y₂O₃)粉末(Nippon Yttrium Co.,Ltd.,制造，型號：YT3S)來代替氧化釤粉末，且以成為表1所示的組成分別稱取氧化鋁粉末及氧化釔粉末，除此以外，以與實施例1相同的方法制作出比較例2的耐蝕性部件。另外，采集氧化鋁粉末及氧化釔粉末的混合粉末漿料的一部分來測定氧化鋁粉末及氧化釔粉末的混合粉末的平均粒徑，結果為0.564μm。

(比較例3)

除了使用氧化鋁粉末及氧化釤粉末以外，還使用氧化釔(Y₂O₃)粉末(Nippon Yttrium Co.,Ltd.,制造，型號：YT3S)，并以成為表1所示的組成分別稱取氧化鋁粉末、氧化釤粉末及氧化釔粉末，除此以外，以與實施例1相同的方法制作出比較例3的耐蝕性部件。另外，采集氧化鋁粉末、氧化釤粉末及氧化釔粉末的混合粉末漿料的一部分來測定氧化鋁粉末、氧化釤及氧化釔粉末的混合粉末的平均粒徑，結果0.775μm。

作為用來鑒定在實施例1～4及比較例1～3中得到的耐蝕性部件的晶相而測定的X射線衍射圖案的一例，將實施例1的X射線衍射圖案示于圖1中。在實施例1～4及比較例1中得到的耐蝕性部件的晶體結構為鈣鈦礦型結構，與此相對，在比較例2及3中得到的耐蝕性部件的晶體結構為石榴石結構。

表1～3中示出實施例1～9及比較例1～3中得到的耐蝕性部件的評價結果。

[表1]

[表2]

[表3]

可知如表1～3所示在實施例1～9及比較例1～3中得到的耐蝕性部件的相對密度均為97％以上，實施例1～9及比較例1～3中得到的耐蝕性部件為致密的燒結體。并且，這些耐蝕性部件具有良好的耐蝕性。

在實施例1～9中得到的耐蝕性部件的相對介電常數(shù)大于在比較例1～3中得到的耐蝕性部件的相對介電常數(shù)。這些結果可根據(jù)鈣鈦礦型結構比石榴石結構容易引起極化、以及因釤的離子半徑大于釔的離子半徑而極化較大而預測。

另一方面，在實施例1～9中得到的耐蝕性部件的吸附力大于在比較例1～3中得到的耐蝕性部件的吸附力。由此，可知通過使用在實施例1～9中得到的耐蝕性部件來作為靜電卡盤用部件，能夠?qū)⒐杈A等基板更可靠地固定于靜電卡盤。

并且，在實施例1～9中得到的耐蝕性部件的剩余吸附力小于在比較例1～3中得到的耐蝕性部件的剩余吸附力。由此，可知通過使用在實施例1～9中得到的耐蝕性部件來作為靜電卡盤用部件，在規(guī)定的處理結束之后，使硅晶圓等基板從靜電卡盤容易卸下。

在實施例1～9中得到的耐蝕性部件的彎曲強度大于在比較例2及3中得到的耐蝕性部件的彎曲強度。由此，可知通過使用在實施例1～9中得到的耐蝕性部件來作為靜電卡盤用部件，能夠提高靜電卡盤的強度。