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一種回收廢硅料的反應器的制作方法

文檔序號:3433547閱讀:246來源:國知局
專利名稱:一種回收廢硅料的反應器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型屬于硅料處理設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種回收廢硅料的反應器。
背景技術(shù)
硅是重要的半導體原料,應用于許多重耍領(lǐng)域。但硅是一種不可再生能 源,隨著現(xiàn)代化建設(shè)的快速發(fā)展,硅料供應日趨緊張,并出現(xiàn)短缺現(xiàn)象,所以回收廢硅料重復利用具有重要意義。廢硅料表層有沾污、鑲嵌研磨砂及PN 結(jié),因此,必須在堿液中進行減溥去層處理,去除污物及雜質(zhì)層,以達到半 導體硅料的純度要求。此處理過程在反應器中進行,首先將堿液倒入反應器, 然后將廢硅料加入反應器,廢硅料浸泡于堿液并翻動廢硅料,使硅枓表層與 堿液完全反應。目前的反應器呈碗狀,硅料浸泡于堿液達到規(guī)定時間,加水 稀釋堿液,反應停止,同時通過反應器壁開設(shè)的排液孔排放堿液,此時要求 快速排放,否則硅料表面會產(chǎn)生白霧,影響硅料質(zhì)量。目前反應器的排液孔 以底部中心為中孔,并以該中孔為中點均勻布置。但是,由于重辦作用,廢 硅料沉積于反應器底部,容易堵塞反應器的排液孔,造成堿液不能快速排放 而引起硅料表面產(chǎn)生白霧。因此,有必耍對回收廢硅料的反應器進行改進和 創(chuàng)新,以克服上述缺陷。發(fā)明內(nèi)容本實用新型公開了一種排液孔不易堵塞的回收廢硅料的反應器。
為解決上述技術(shù)問題,本實用新型所釆取的技術(shù)方案 一種回收廢硅料 的反應器,反應器呈碗狀,器壁開設(shè)數(shù)個排液孔,排液孔偏離反應器底部中 心設(shè)置。所述的反應器,排液孔按上大下小布置。本實用新型回收廢硅料的反應器呈碗狀,內(nèi)壁光滑,因此不存在死角。 廢硅料和堿液反應時,放出熱量使溶液沸騰,廢硅料在反應器內(nèi)均勻流動, 無重疊現(xiàn)象,反應均勻。在反應器偏離底部中心點打出數(shù)個排液孔,排液孔 的孔徑上大下小,排液孔與反應器壁外的漏斗形出液口柑連通。本實用新型 反應器的排液孔偏離反應器底部中心設(shè)置,廢硅料在重方作甩下,沉積在反 應器最底部的中心,而不堵塞排液孔,暢通的排液孔可快速排放堿液,保正 了所回收廢硅料的質(zhì)量。


圖1為本實用新型的俯視圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型作詳細說明。如圖1所示,回收廢硅料的反應器1呈碗狀,由不銹鋼制成,其內(nèi)壁光 滑。反應器1器壁偏離底部中心設(shè)置多個排液孔2,為保證細粒度的硅抖不從 排液孔2流出及快速排液,排液孔2的孔徑從上往下由大到小分布。排液孔2 與反應器外壁安裝的漏斗形出液口相連通,通過出液口快速往外排放堿液。
權(quán)利要求1、一種回收廢硅料的反應器,反應器呈碗狀,器壁開設(shè)數(shù)個排液孔,其特征在于排液孔偏離反應器底部中心設(shè)置。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的反應器,其特征在于排液孔按上大下小布置。
專利摘要本實用新型屬于硅料處理設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種回收廢硅料的反應器,反應器呈碗狀,器壁開設(shè)數(shù)個排液孔,排液孔偏離反應器底部中心設(shè)置。本實用新型反應器的排液孔偏離反應器底部中心設(shè)置,廢硅料在重力作用下,沉積在反應器最底部的中心,而不堵塞排液孔,暢通的排液孔可快速排放堿液,保證了所回收廢硅料的質(zhì)量。
文檔編號C01B33/037GK201016091SQ20062014177
公開日2008年2月6日 申請日期2006年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月30日
發(fā)明者劉磊磊, 吳云才 申請人:浙江昱輝陽光能源有限公司
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