一種用于大型平面鉬靶材的鉬粉壓制裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種大型平面鉬靶材制備裝備領(lǐng)域，尤其涉及一種用于大型平面鉬靶材的鉬粉壓制裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]濺射靶材作為一種先進的薄膜材料制備技術(shù)，具有“高速”及“低溫”兩大特點。大型濺射靶材首先需要將鉬粉材料裝入橡膠套內(nèi)，然后放入冷等靜壓機壓制成坯料，壓坯裝入中頻爐的燒結(jié)坩禍內(nèi)進行燒結(jié)加工。
[0003]中國專利申請?zhí)?01310128527.8，公開一種冷等靜壓用制備鉬板坯模具，包括一端設(shè)有開口的橡膠護套，橡膠護套的內(nèi)部設(shè)置有壓坯橡膠板框組件，橡膠護套的開口處用鎖緊扣組件鎖緊密封。但上述結(jié)構(gòu)制得的鉬靶材的內(nèi)部晶粒組織結(jié)構(gòu)松散而且密度小，漸漸無法滿足后期使用要求，例如TFT-LCD、等離子顯示屏、半導體等濺射薄膜使用。所以現(xiàn)需要設(shè)計一種能壓制生產(chǎn)出高純、高致密度鉬靶材的裝置。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]有鑒于此，本實用新型的目的是針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種用于大型平面鉬靶材的鉬粉壓制裝置，通過增設(shè)抽真空機對裝入橡膠套的待壓制的鉬粉抽真空處理，解決了現(xiàn)有中鉬靶材的內(nèi)部晶粒組織結(jié)構(gòu)松散、結(jié)構(gòu)密度小的技術(shù)問題。
[0005]為達到上述目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案:
[0006]—種用于大型平面鉬靶材的鉬粉壓制裝置，包括橡膠成型套和冷等靜壓機，所述橡膠成型套包括進料口和成型室，還包括抽真空機和抽氣管，所述抽氣管一端與所述橡膠成型套進料口密封連接，所述抽氣管的另一端密封連接有閥門，所述閥門另一端與所述抽真空機的進氣口密封連接。
[0007]優(yōu)選的，所述抽氣管與所述橡膠成型套一體成型。
[0008]優(yōu)選的，所述閥門與所述抽真空機的進氣口通過快速接頭相連接。
[0009]優(yōu)選的，所述快速接頭包括套筒和插塞，所述套筒本體右部開設(shè)有內(nèi)腔，所述內(nèi)腔底部設(shè)置有第一閥，所述內(nèi)腔內(nèi)設(shè)置有密封圈，所述插塞本體左部設(shè)置有突出左部表面的第二閥，所述插塞插入所述套筒的內(nèi)腔中，所述第一閥與所述第二閥密閉連接貫通;所述套筒開口處設(shè)置有凸起，所述插塞外表面設(shè)置與所述凸起相配合的滑道，所述內(nèi)腔內(nèi)壁與所述插塞外壁通過所述凸起與所述滑道的相互配合形成密閉。
[0010]優(yōu)選的，所述閥門與所述抽氣管法蘭連接，所述閥門與所述抽氣管之間設(shè)置密封圈。
[0011 ]本實用新型的有益效果是:
[0012]本實用新型公開的一種用于大型平面鉬靶材的鉬粉壓制裝置，在橡膠成型套進料口處增設(shè)抽真空機和抽氣管，使用時將鉬粉裝入橡膠成型套內(nèi)，再將抽氣管與橡膠成型套密封連接，打開閥門，使用抽真空機對橡膠成型套做抽真空處理，關(guān)閉閥門密封并放入冷等靜壓機中壓制成型，本實用新型通過抽真空處理，有效的減少鉬粉中的氣體含量，從而在壓制過程中鉬靶材壓胚的致密度更高，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性更強，有利于鉬靶材的后續(xù)使用，例如使用靶材濺射鍍膜的時候，致密度高、晶粒組織細小的鉬靶材更有利于薄膜的均勻、一致性。
[0013]另外，本實用新型的抽氣管一端與橡膠成型套密封連接，抽氣管另一端密封連接有閥門，抽真空機與閥門的另一端通過螺栓固定連接，抽真空機做抽真空處理后可拆卸，橡膠成型套和抽氣管一起放入冷等靜壓機中，在200MPa的壓強下，此結(jié)構(gòu)設(shè)計相對抽真空機直接放入冷等靜壓機中的優(yōu)勢在于防止抽真空機或橡膠成型套入料口在高壓強環(huán)境下受損造成液壓油流入橡膠成型套內(nèi)污染鉬粉。
[0014]抽氣管與橡膠成型套一體成型，在壓制過程中橡膠成型套的橡膠塞變形情況下閥門、抽氣管和橡膠成型套三個結(jié)構(gòu)整體為密封狀態(tài)，防止液壓油滲入其內(nèi)，有效的保證了整體結(jié)構(gòu)的密封性；閥門與抽真空機的進氣口通過快速接頭相連接，此結(jié)構(gòu)設(shè)計在保證抽真空機和閥門之間密封的前提下進一步的減少工作人員的工作量，提高工作效率；
[0015]快速接頭包括套筒和插塞，套筒本體右部開設(shè)有內(nèi)腔，在內(nèi)腔底部設(shè)置有第一閥，內(nèi)腔內(nèi)設(shè)置有密封圈，插塞本體左部設(shè)置有突出左部表面的第二閥，插塞插入所述套筒的內(nèi)腔中，第一閥與第二閥密閉連接貫通，套筒開口處設(shè)置有凸起，插塞外表面設(shè)置與凸起相配合的滑道，內(nèi)腔內(nèi)壁與插塞外壁通過凸起與滑道的相互配合形成密閉，第一閥與第二閥斷開時，閥芯自動閉合，可有效防止泄漏，而第一閥和第二閥連接后，閥芯自動開啟，在額定工作范圍內(nèi)，始終保持氣體的暢通，因此，操作者可方便、快捷地完成進氣操作，且保證氣密性好，氣體不會泄漏。套筒開口處設(shè)置有滑道和卡槽，套筒外表面設(shè)置與所述滑道相配合的凸起，套筒外表面設(shè)置與所述卡槽相配合的卡勾，使用時，只需轉(zhuǎn)動套筒使凸起和滑道、卡槽與卡勾相互配合實現(xiàn)快速拆裝；閥門與抽氣管法蘭連接，且閥門與抽氣管之間設(shè)置密封圈，法蘭連接有利于檢修或者更換零配件，增加本實用新型的靈活性。
[0016]綜上，本實用新型具有操作簡單、密封性好、壓制鉬靶材致密度高等特點。
【附圖說明】
[0017]圖1為本實用新型實施例一的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖2為本實用新型實施例二中快速接頭的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]圖3為本實用新型實施例二中快速接頭的外部結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020]圖4為本實用新型實施例二中套筒的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0021]下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作進一步描述。
[0022]實施例一
[0023]如圖1所示，本實用新型包括橡膠成型套1、冷等靜壓機、抽真空機2和抽氣管3，抽氣管3為不銹鋼管，橡膠成型套I包括進料口和成型室，抽氣管3的一端與橡膠成型套I進料口一體成型，抽氣管3的另一端焊接有不銹鋼球閥4，不銹鋼球閥4的另一端與抽真空機2的進氣口分別設(shè)置相互配合的帶孔法蘭盤。
[0024]本實施例的工作原理如下，把鉬粉放入橡膠成型套I內(nèi)，再將不銹鋼球閥4與抽真空機2通過螺栓和法蘭固定連接，抽取橡膠成型套I內(nèi)的空氣后，關(guān)閉閥門，此時橡膠成型套I內(nèi)為真空狀態(tài)，鉬粉顆粒之間的氣孔較少;將不銹鋼球閥4、抽氣管3和帶有鉬粉的橡膠成型套I放入冷等靜壓機2內(nèi)，經(jīng)過高壓壓制成型過程中，進一步的較少鉬粉顆粒之間氣孔，增加鉬靶材壓胚的致密度。
[0025]實施例二
[0026]如圖2所示，本實施例與實施例一的結(jié)構(gòu)基本相同，不同的是:不銹鋼球閥4與抽真空機2的進氣口通過快速接頭相連接，其中，快速接頭包括套筒和插塞，套筒本體11右部開設(shè)有內(nèi)腔5，在內(nèi)腔5底部設(shè)置有第一閥6，內(nèi)腔5內(nèi)部安裝有密封墊7，插塞本體左部設(shè)置有突出左部表面的第二閥8，插塞插入套筒的內(nèi)腔5中，套筒開口處設(shè)置有凸起9，不銹鋼球閥4與抽氣管3通過法蘭連接，不銹鋼球閥4與抽氣管3之間設(shè)置密封圈。
[0027]如圖3和圖4所示，插塞外表面設(shè)置與凸起9相配合的滑道10，滑道10為折彎狀，第一閥6與該第二閥8密閉連接貫通，內(nèi)腔5內(nèi)壁與插塞外壁通過凸起9與滑道10的相互卡合形成密閉。
[0028]本實施例中，不銹鋼球閥4與抽真空機2的進氣口通過快速接頭相連接，有利于加快本實用新型的拆裝工作，減少工作人員的工作時間，提高生產(chǎn)效率。
[0029]最后說明的是，以上實施例僅用以說明本實用新型的技術(shù)方案而非限制，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員對本實用新型的技術(shù)方案所做的其他修改或者等同替換，只要不脫離本實用新型技術(shù)方案的精神和范圍，均應(yīng)涵蓋在本實用新型的權(quán)利要求范圍當中。
【主權(quán)項】
1.一種用于大型平面鉬靶材的鉬粉壓制裝置，包括橡膠成型套和冷等靜壓機，所述橡膠成型套包括進料口和成型室，其特征在于:還包括抽真空機和抽氣管，所述抽氣管一端與所述橡膠成型套進料口密封連接，所述抽氣管的另一端密封連接有閥門，所述閥門另一端與所述抽真空機的進氣口密封連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于大型平面鉬靶材的鉬粉壓制裝置，其特征在于:所述抽氣管與所述橡膠成型套一體成型。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于大型平面鉬靶材的鉬粉壓制裝置，其特征在于:所述閥門與所述抽真空機的進氣口通過快速接頭相連接。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于大型平面鉬靶材的鉬粉壓制裝置，其特征在于:所述快速接頭包括套筒和插塞，所述套筒本體右部開設(shè)有內(nèi)腔，所述內(nèi)腔底部設(shè)置有第一閥，所述內(nèi)腔內(nèi)設(shè)置有密封圈，所述插塞本體左部設(shè)置有突出左部表面的第二閥，所述插塞插入所述套筒的內(nèi)腔中，所述第一閥與所述第二閥密閉連接貫通;所述套筒開口處設(shè)置有凸起，所述插塞外表面設(shè)置與所述凸起相配合的滑道，所述內(nèi)腔內(nèi)壁與所述插塞外壁通過所述凸起與所述滑道的相互配合形成密閉。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于大型平面鉬靶材的鉬粉壓制裝置，其特征在于:所述閥門與所述抽氣管法蘭連接，所述閥門與所述抽氣管之間設(shè)置密封圈。
【專利摘要】本實用新型公開了一種用于大型平面鉬靶材的鉬粉壓制裝置，包括橡膠成型套和冷等靜壓機，所述橡膠成型套包括進料口和成型室，還包括抽真空機和抽氣管，所述抽氣管一端與所述橡膠成型套進料口密封連接，所述抽氣管的另一端密封連接有閥門，所述閥門另一端與所述抽真空機的進氣口密封連接。本實用新型通過在橡膠成型套進料口處增設(shè)抽真空機和抽氣管有效的減少鉬粉中的氣體含量，從而在壓制過程中鉬靶材壓胚的致密度、純度更大，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性更強。
【IPC分類】C23C14/34
【公開號】CN205170965
【申請?zhí)枴緾N201520951921
【發(fā)明人】孫虎民, 趙文普, 高建杰, 崔冬樂
【申請人】洛陽高新四豐電子材料有限公司
【公開日】2016年4月20日
【申請日】2015年11月25日