一種弧形石英支架的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及石英制品領(lǐng)域，特別涉及一種能用于氣相反應(yīng)的石英支架組件。
【背景技術(shù)】
[0002]由于CVD化學(xué)氣相沉積法制備石墨烯簡(jiǎn)單易行，所得石墨烯質(zhì)量很高，可實(shí)現(xiàn)大面積生長(zhǎng)，而且較易于轉(zhuǎn)移到各種基體上使用，目前已逐漸成為制備高質(zhì)量石墨烯薄膜的主要方法。然而用CVD法制備石墨烯需要在高溫真空腔體中進(jìn)行，由于爐管內(nèi)恒溫區(qū)的長(zhǎng)度與管徑的尺寸有限，限制了單次生長(zhǎng)石墨烯薄膜的尺寸和面積，難以實(shí)現(xiàn)工業(yè)化量產(chǎn)。若石墨烯薄膜的尺寸過(guò)小，會(huì)影響后續(xù)的器件應(yīng)用；若單次生長(zhǎng)的數(shù)量少，則直接導(dǎo)致生產(chǎn)成本的增加。合適的單個(gè)支架設(shè)計(jì)尤為重要。其次，在化學(xué)氣相沉積工藝中，當(dāng)在高溫或高壓的條件下，會(huì)發(fā)生明顯的熱對(duì)流，氣流的穩(wěn)定性和分布的均勻性直接影響薄膜生長(zhǎng)的均勻性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中單次生長(zhǎng)石墨烯薄膜的尺寸小和數(shù)量少，以及氣流分布不均勻的問(wèn)題，本方法提供了一種弧形石英支架。
[0004]弧形石英支架，包括弧形底座以及位于弧形底座兩端的弧形擋板，在弧形擋板上端開(kāi)設(shè)有半開(kāi)通的凹槽，在弧形擋板上設(shè)置有通孔。
[0005]進(jìn)一步地，上述弧形底座和擋板均為石英材質(zhì)。
[0006]進(jìn)一步地，弧形底座的弧度和寬度根據(jù)CVD生長(zhǎng)腔體的形狀和大小進(jìn)行調(diào)整；弧形底座的長(zhǎng)度根據(jù)CVD生長(zhǎng)腔體的保溫區(qū)長(zhǎng)度進(jìn)行調(diào)整；弧形擋板的高度根據(jù)CVD生長(zhǎng)腔體的直徑進(jìn)行調(diào)整。
[0007]進(jìn)一步地，上述半開(kāi)通的凹槽用來(lái)放置石英棒或金屬棒，凹槽的大小和個(gè)數(shù)根據(jù)所使用的石英棒或金屬棒的尺寸進(jìn)行調(diào)整。
[0008]本實(shí)用新型的有益效果是:弧形底座和弧形的擋板可以更好地與腔體進(jìn)行結(jié)合，保證最大的空間利用率；弧形部分的掛裝尺寸得到了增加；半開(kāi)通凹槽對(duì)放置進(jìn)去的石英棒能起到良好的固定作用，防止石英棒的來(lái)回移動(dòng)；弧形擋板上的通孔能夠保證氣流的均勻性。
【附圖說(shuō)明】
[0009]附圖1是本實(shí)用新型的主視圖。
[0010]附圖2是本實(shí)用新型的側(cè)視圖。
[0011]附圖3是本實(shí)用新型的俯視圖。
[0012]圖中標(biāo)號(hào):1、石英支架；2、圓形CVD腔體；11、弧形底座；12、弧形擋板；121、擋板上端凹槽；122、擋板通孔；H、石英支架總高度；L、石英支架總長(zhǎng)。
【具體實(shí)施方式】
[0013]下面結(jié)合附圖，說(shuō)明本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】。
[0014]弧形石英支架包括弧形底座11、位于底座兩端的弧形擋板12、位于弧形擋板12上端的凹槽121以及在擋板12上設(shè)置的通孔122，弧形底座11和擋板12均為石英材質(zhì)，所述凹槽121是未貫穿石英擋板的半開(kāi)通槽，槽大小和形狀根據(jù)所用支撐桿決定，支撐桿剛好能夠放入槽內(nèi)固定?；⌒蔚鬃?1的弧度和寬度根據(jù)CVD生長(zhǎng)腔體的形狀和大小進(jìn)行調(diào)整；弧形底座的長(zhǎng)度根據(jù)CVD生長(zhǎng)腔體的保溫區(qū)長(zhǎng)度進(jìn)行調(diào)整；弧形擋板的高度根據(jù)CVD生長(zhǎng)腔體的直徑進(jìn)行調(diào)整。
[0015]本實(shí)施例中，石英支架總高度H為10mm ;石英支架總長(zhǎng)度L為650mm ;弧形擋板12的兩側(cè)為平面而非弧面；凹槽121的數(shù)量為4個(gè)，均勻分布且中心面對(duì)稱(chēng)；擋板通孔122為方形，數(shù)量為1，尺寸為35mmX40mm。
[0016]最后應(yīng)說(shuō)明的是:以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種弧形石英支架，其特征在于:包括弧形底座以及位于弧形底座兩端的弧形擋板，在弧形擋板上端開(kāi)設(shè)有半開(kāi)通的凹槽，在弧形擋板上設(shè)置有通孔。2.如權(quán)利要求1所述的弧形石英支架，其特征在于:所述的弧形底座和擋板均為石英材質(zhì)。3.如權(quán)利要求1所述的弧形石英支架，其特征在于:弧形底座的弧度和寬度根據(jù)CVD生長(zhǎng)腔體的形狀和大小進(jìn)行調(diào)整；弧形底座的長(zhǎng)度根據(jù)CVD生長(zhǎng)腔體的保溫區(qū)長(zhǎng)度進(jìn)行調(diào)整；弧形擋板的高度根據(jù)CVD生長(zhǎng)腔體的直徑進(jìn)行調(diào)整。4.如權(quán)利要求1所述的弧形石英支架，其特征在于:所述半開(kāi)通的凹槽用來(lái)放置石英棒或金屬棒，凹槽的大小和個(gè)數(shù)根據(jù)所使用的石英棒或金屬棒的尺寸進(jìn)行調(diào)整。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型提供了一種弧形石英支架，包括弧形底座以及位于弧形底座兩端的弧形擋板，在弧形擋板上端開(kāi)設(shè)有半開(kāi)通的凹槽，在弧形擋板上設(shè)置有通孔?；⌒蔚鬃蛽醢寰鶠槭⒉馁|(zhì)。半開(kāi)通的凹槽用來(lái)放置石英棒或金屬棒，凹槽的大小和個(gè)數(shù)根據(jù)所使用的石英棒或金屬棒的尺寸進(jìn)行調(diào)整。本實(shí)用新型的弧形底座和弧形的擋板可以更好地與腔體進(jìn)行結(jié)合，保證最大的空間利用率；弧形部分的掛裝尺寸得到了增加；半開(kāi)通凹槽對(duì)放置進(jìn)去的石英棒能起到良好的固定作用，防止石英棒的來(lái)回移動(dòng)；弧形擋板上的通孔能夠保證氣流的均勻性。
【IPC分類(lèi)】C23C16/458
【公開(kāi)號(hào)】CN204702805
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520368809
【發(fā)明人】蔣健偉, 廖威
【申請(qǐng)人】無(wú)錫格菲電子薄膜科技有限公司
【公開(kāi)日】2015年10月14日
【申請(qǐng)日】2015年6月2日