用于真空沉積設(shè)備的帶有除塵裝置的真空管路的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種用于真空沉積設(shè)備的真空管路系統(tǒng)，特別涉及一種帶有除塵裝置的真空管路，屬于真空沉積設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]在真空鍍膜沉積設(shè)備中，由于要對沉積室進行抽真空，因此要用到各種真空泵，所以對真空管路要求也不同，根據(jù)沉積室要求的真空度采用不同的真空泵，如滑閥泵為前級低真空度粗抽泵，羅茨泵為中真空度抽泵，分子泵為高真空度抽泵等，這些真空泵和真空閥及真空管道一起組成真空管路，真空管路一般包括:低真空度管路、中真空度管路和高真空管路，低真空度管路一般位于中真空度管路的前端，作為中真空度管路的前級粗抽真空，中真空度管路和高真空管路分別和真空沉積室相連，中真空度管路抽真空到一定真空度后管路關(guān)閉，再打開高真空度管路進行高真空度抽真空，而中真空度管路一般還會分成兩路和真空沉積室連接，一路在沉積前對沉積室抽真空，一路在沉積中對鍍膜氣體的殘余氣體進行抽真空，在采用化學(xué)氣相沉積過程中，有時會產(chǎn)生沉積粉塵，而這些粉塵在抽真空的過程中，有可能會進入到真空泵內(nèi)，污染真空泵油或加快泵的磨損，造成真空泵油的浪費或泵的損壞。
[0003]如制造薄膜太陽能電池在沉積光電轉(zhuǎn)換層時，采用在高真空度的真空沉積室進行化學(xué)氣相沉積，無論是同一單室沉積P、1、N層還是分室分別沉積P、1、N層，在沉積前、沉積中和沉積后都要對真空沉積室進行抽真空。如圖1所示，是現(xiàn)有技術(shù)的薄膜太陽能電池光電轉(zhuǎn)換層的單室沉積設(shè)備的真空管路結(jié)構(gòu)示意圖，真空沉積室5有三路來抽真空，中真空度管路有兩路，一路通過第一擋板閥4和羅茨泵3連接，一路通過第二擋板閥13和羅茨泵3相連，低真空度管路是羅茨泵3再通過第三擋板閥2和滑閥泵I相連，高真空度管路為真空沉積室5通過第四擋板閥12和分子泵6相連，在沉積前，首先第一擋板閥4和第三擋板閥2處于打開狀態(tài)，第四擋板閥12和第二擋板閥13處于關(guān)閉狀態(tài)，啟動滑閥泵I對真空沉積室5進行粗抽，抽到一定真空度，羅茨泵3啟動，對真空沉積室5繼續(xù)進行抽真空，當(dāng)達到一定中真空度時，打開第四擋板閥12，啟動分子泵6抽真空達到高真空度后，關(guān)閉第一擋板閥4和第四擋板閥12，開啟第二擋板閥13，開始分別沉積P層、I層和N層，若三層是在一個沉積真空室內(nèi)沉積，先沉積P層，沉積過程中，真空沉積室5內(nèi)的殘余P氣經(jīng)過第二擋板閥13所在真空管路14，再經(jīng)主真空管道11由羅茨泵3抽出，沉積完成后，關(guān)閉第二擋板閥13，進行管道清洗，打開第一擋板閥4，由滑閥泵I和羅茨泵3抽氣，達到一定真空度時，打開第四擋板閥12，分子泵6啟動，達到真空要求后，再關(guān)閉第一擋板閥4和第四擋板閥12，打開第二擋板閥13，再沉積I層，依此類推，完成PIN層的沉積，對于P層、I層和N層分別在不同的沉積真空室內(nèi)沉積也是同樣的方法。從沉積過程中，我們可以看到，在沉積完P(guān)層或I層或N層過程中，殘余氣體由羅茨泵3直接抽走，實際生產(chǎn)中會造成殘余氣體的粉塵進入到羅茨泵3的真空泵油內(nèi)，污染真空泵油，需要頻繁更換真空泵油，不僅浪費昂貴的真空泵油，更換真空泵油還影響到整個生產(chǎn)效率，粉塵進入羅茨泵3，還可能加快羅茨泵3的磨損，降低羅茨泵3的壽命。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實用新型需要解決的技術(shù)問題是如何隔斷殘余氣體的粉塵直接進入到真空泵內(nèi)，避免造成真空泵油的污染以及真空泵的磨損。
[0005]為了實現(xiàn)以上任務(wù)，本實用新型設(shè)計一種帶有除塵裝置的真空管路，減少真空沉積設(shè)備中的真空泵的真空泵油的更換頻率和真空泵的磨損，降低成本，提高生產(chǎn)效率。
[0006]本實用新型采用如下技術(shù)方案:
[0007]—種用于真空沉積設(shè)備的帶有除塵裝置的真空管路，主要由真空泵、真空閥和多路真空管道組成，真空泵及真空閥安裝在真空管道上，真空管道與真空沉積室連接，主要技術(shù)要點是在真空管路中設(shè)置有除塵裝置，除塵裝置內(nèi)裝有除塵網(wǎng)，在沉積過程中，抽走真空沉積室內(nèi)的殘余氣體時，將殘余氣體通過除塵裝置，沉積產(chǎn)生的粉塵被阻隔留在除塵裝置內(nèi)的除塵網(wǎng)上。
[0008]真空管路包括至少兩級真空度管路，其中一級為低真空度管路，另一級為中真空度或高真空度管路，低真空度管路位于中真空度前端，中真空度管路和高真空度管路分別與真空沉積室連接，除塵裝置位于中真空度管路的真空閥和真空泵之間的真空管道上。
[0009]在和除塵裝置所在真空管道(稱之為主真空管道)位置再并聯(lián)至少一路真空管道(稱之為次真空管道)，次真空管道上安裝有真空閥，由真空閥控制次真空管道的導(dǎo)通與關(guān)閉，形成多路真空管道結(jié)構(gòu)，次真空管道用來進行沉積前沉積真空室的真空抽氣，當(dāng)沉積前需要大流量快速抽真空時，打開次真空管道上的真空閥，使得氣體主要通過次真空管道抽出，不會因除塵網(wǎng)的網(wǎng)眼較密，阻隔氣體通過流量，影響到除塵速率。
[0010]真空泵可以采用滑閥泵、羅茨泵或分子泵，滑閥泵為低真空度泵，羅茨泵為中真空度泵，分子泵為高真空度泵，真空閥為擋板閥，羅茨泵通過擋板閥和滑閥泵相連，羅茨泵連接口分為兩路，一路和次真空管道上的擋板閥連接，另一路和主真空管道上的除塵裝置連接，主真空管道和次真空管道連接后由擋板閥連接后接入真空沉積室，此處還可以再分成兩路，分別由擋板閥連接接入真空沉積室，一路是用來沉積前抽真空，一路是用來沉積中抽真空，分子泵和擋板閥連接后接入真空沉積室。
[0011 ] 除塵裝置為一面開口的箱體結(jié)構(gòu)，箱體內(nèi)有插槽，箱體開口處安裝有箱蓋，箱蓋可以容易打開，箱蓋蓋合后有鎖扣鎖緊密封，在箱體內(nèi)腔插裝有數(shù)個除塵網(wǎng)，粉塵被除塵網(wǎng)所阻隔并留在除塵網(wǎng)上，除塵網(wǎng)可以方便取出和更換。
[0012]除塵網(wǎng)可以是紗網(wǎng)、活性炭網(wǎng)等。
[0013]產(chǎn)生的積極效果:
[0014]由于安裝了除塵裝置，沉積過程中的殘余氣體需要通過除塵裝置內(nèi)的除塵網(wǎng)，被除塵網(wǎng)阻隔，因此殘余氣體的粉塵不會直接進入到真空泵油內(nèi)，減少真空泵油的污染和真空泵的磨損，降低更換頻率，節(jié)約成本，同時采用主、次雙真空管道，在粗抽階段不會影響抽氣速率，生產(chǎn)效率高。
【附圖說明】
[0015]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中薄膜太陽能電池單室沉積設(shè)備的真空管路結(jié)構(gòu)示意圖，滑閥泵I通過第三擋板閥2和羅茨泵3相連接，羅茨泵3通過主真空管道10經(jīng)匯合管道15后再由真空管道14分兩路，一路通過第一擋板閥4和真空沉積室5相連接，一路通過第二擋板閥13和真空沉積室5相連接，分子泵6通過第四擋板閥12和真空沉積室5連接。
[0016]圖2是本實用新型的真空管路結(jié)構(gòu)示意圖，滑閥泵I通過第三擋板閥2和羅茨泵3相連接，在連接羅茨泵3的主真空管道10上安裝有除塵裝置7，在除塵裝置7內(nèi)插裝有除塵網(wǎng)8，然后再經(jīng)匯合管道15后由真空管道14分兩路，一路通過第一擋板閥4和真空沉積室5相連接，一路通過第二擋板閥13和真空沉積室5相連接，分子泵6通過第四擋板閥12和真空沉積室5連接。
[0017]圖3是圖2中除塵裝置7的結(jié)構(gòu)示意圖，除塵裝置7由箱體701、箱蓋702、轉(zhuǎn)軸703、鎖扣704、連接管口 706和插槽707組成的一個箱體結(jié)構(gòu)，箱蓋702通過轉(zhuǎn)軸703連接在箱體701上，箱蓋702蓋合箱體701后，由鎖扣704鎖緊成密封狀態(tài)。
[0018]圖4是本實用新型的實施例1的單室沉積設(shè)備的真空管路結(jié)構(gòu)示意圖，是薄膜太陽能電池在同一單室真空沉積室5內(nèi)沉積P層、I層和N層，滑閥泵I通過第三擋板閥2和羅茨泵3相連接，羅茨泵3分兩路，一路連接經(jīng)主真空管道10和除塵裝置7，除塵裝置7內(nèi)有除塵網(wǎng)8，一路連接擋板閥9經(jīng)次真空管道11，主真空管道10和次真空管道11在匯合管道15并聯(lián)后，再經(jīng)與匯合管道15連通的真空管道14再分兩路通過第一擋板閥4和第二擋板閥13連接到真空沉積室5，分子泵6通過第四擋板閥12和真空沉積室5相連。
[0019]圖5是本實用新型的實施例2的多室沉積設(shè)備的真空管路結(jié)構(gòu)俯視示意圖，是薄膜太陽能電池在不同沉積室5p、沉積室5i和沉積室5n連續(xù)沉積P層、I層和N層，滑閥泵I通過第三擋板閥2和羅茨泵3相連接，羅茨泵3分兩路，一路連接經(jīng)主真空管道10和除塵裝置7，除塵裝置7內(nèi)有除塵網(wǎng)8，一路連接擋板閥9經(jīng)次真空管道11，主真空管道10和次真空管道11在匯合管道15并聯(lián)后，再分別通過真空管道14p和第二擋板閥13p進入沉積室5p、通過真空管道14i和第二擋板閥13i進入沉積室51、通過真空管道14η和第二擋板閥13η進入沉積室5η，分子泵6分別通過第四擋板閥12ρ、第四擋板閥121、第二擋板閥13η和真空沉積室5ρ相相連。
【具體實施方式】
[0020]實施例1:
[0021]如圖4所示，為同一單室沉積薄膜太陽能電池的P層、I層和N層的真空管路。<