在母材的表面通過(guò)掩模形成凸起的方法及裝置的制造方法【
技術(shù)領(lǐng)域：
】[0001]本發(fā)明涉及一種通過(guò)掩模（masking)形成凸起的方法及裝置，更為詳細(xì)地涉及一種方法及裝置，其用于對(duì)母材的表面進(jìn)行特殊處理，從而提高根據(jù)母材的AR特性調(diào)節(jié)的反射防止功能，并改善超疏水功能?！?br>背景技術(shù)：
】[0002]通過(guò)在包括手機(jī)、平板電腦（tabletPC)等使用觸摸功能的顯示器（display)在內(nèi)如TV和電腦顯示器等一樣的平板（flatpanel)顯示器的覆蓋窗（coverwindow)、太陽(yáng)能電池的覆蓋窗、建筑物的外部玻璃、眼鏡、汽車用玻璃等減少光的反射，從而可提高設(shè)備的效率并提高能見(jiàn)度。[0003]通常，透過(guò)光的界面的兩個(gè)媒質(zhì)之間的折射率差較大時(shí)，產(chǎn)生根據(jù)被稱為菲涅耳(Fresnel)反射法則的兩個(gè)媒介之間的折射率和入射角及反射角決定反射率的反射現(xiàn)象。[0004]顯示器設(shè)備在野外等當(dāng)外部光強(qiáng)度較大時(shí)，即使是較小的反射率，也會(huì)因?yàn)閮H次于從內(nèi)部放出的光的強(qiáng)度而降低夜晚的能見(jiàn)度。[0005]此外，類似于太陽(yáng)能電池的覆蓋玻璃，越是提高太陽(yáng)光的透過(guò)，越是增加發(fā)電量，因此應(yīng)減少反射。另外，在建筑物外部玻璃或汽車玻璃上等，因?yàn)榉瓷涠鴮?dǎo)致的晃眼直接關(guān)系到安全問(wèn)題，從而有必要達(dá)成一定水準(zhǔn)以下的反射防止。[0006]由此，以抑制玻璃表面上的反射為目的，相對(duì)于作為入射光波長(zhǎng)的λ，具有大約λ/4的厚度同時(shí)，將具有空氣和玻璃的折射率之間值的物質(zhì)涂覆在玻璃表面，則可減少反射。但是，所述方法相對(duì)于作為特定的波長(zhǎng)的λ，可抑制反射，因此如果要對(duì)可視光全區(qū)域進(jìn)行反射防止，則需要用對(duì)各種波長(zhǎng)涂覆的多層薄膜進(jìn)行涂覆。[0007]此外，由多層薄膜形成的涂覆層與作為基板的玻璃的粘著力有限，因此會(huì)產(chǎn)生剝離，并且如果產(chǎn)生所述剝離，則表面的薄膜層由于不均勻而出現(xiàn)雜亂的顏色。[0008]由于所述原因，通過(guò)多層薄膜涂覆的反射防止技術(shù)具有如下缺點(diǎn)，難以適用于觸摸面板等經(jīng)常形成接觸的表面。[0009]作為反射防止技術(shù)的另一方法，有最近迅速受到關(guān)注并進(jìn)行研究的利用蛾眼效果的方法，如果將小于可見(jiàn)光線波長(zhǎng)帶的直徑的納米凸起形成于玻璃表面，則可見(jiàn)光線透過(guò)所述表面時(shí)，無(wú)法識(shí)別納米凸起的存在，但是識(shí)別到根據(jù)凸起形狀玻璃表面的折射率逐漸變化，從而反射率降低。[0010]通過(guò)用于將所述蛾眼效果實(shí)現(xiàn)于基板的方法，可以實(shí)現(xiàn)各種工藝，并且各個(gè)不同的工藝具有優(yōu)缺點(diǎn)。例如納米壓?。╪anoimprinting)技術(shù)在模具（mold)的表面形成納米結(jié)構(gòu)物，從而利用液態(tài)聚合物（PoIymer)可形成納米結(jié)構(gòu)物，但是難以進(jìn)行大面積和高速生產(chǎn)。[0011]此外，在類似于光刻（Photo-lithography)的半導(dǎo)體工藝中，為了進(jìn)行納米圖案化，而必須使用EUV，是費(fèi)用非常高的工藝。由此，通過(guò)在透明的基板表面形成納米掩模并利用所述掩模在基板形成納米結(jié)構(gòu)物，從而形成反射防止的技術(shù)中需要開(kāi)發(fā)可進(jìn)行大面積和連續(xù)工藝的技術(shù)。[0012]由此，在基板本身形成納米結(jié)構(gòu)物時(shí)，具有如下優(yōu)點(diǎn)，無(wú)論何種情況都不會(huì)發(fā)生納米結(jié)構(gòu)物剝離的問(wèn)題，并且即使由于外部沖擊而發(fā)生損傷也不會(huì)被人的肉眼所識(shí)別。[0013]另外，根據(jù)入射光的波長(zhǎng)范圍，以及根據(jù)納米結(jié)構(gòu)物的大小與形狀，反射率不同，因此為了對(duì)此進(jìn)行調(diào)節(jié)，而需要如下技術(shù)：可以將納米掩模在大面積的基板上形成，并可以以各種尺寸和分布進(jìn)行調(diào)節(jié)?！?br/>發(fā)明內(nèi)容】[0014]本發(fā)明用于解決所述問(wèn)題，目的在于制造在整個(gè)UV-IR波長(zhǎng)范圍（180nm~1400nm)內(nèi)AR特性得到提高的母材。[0015]此外，本發(fā)明的目的在于，提供用于改善AR特性的各種裝置及工法。[0016]用于解決所述課題的本發(fā)明的通過(guò)掩模形成凸起的方法，其包括：掩模形成步驟，在母材上形成掩模層；蝕刻步驟，對(duì)母材上未形成掩模的區(qū)域進(jìn)行蝕刻；以及掩模去除步驟，去除所述掩模層，并且所述掩模形成步驟包括至少形成一個(gè)以上的小型掩模的步驟，以及至少形成一個(gè)以上的大型掩模的步驟。[0017]作為掩模形成步驟的一個(gè)例子，將熔點(diǎn)不同的金屬在相同的溫度下進(jìn)行供給，從而可以形成小型掩?；虼笮脱谀＃⑶易鳛榱硪粋€(gè)例子，將相同的金屬用相互不同的處理時(shí)間期間或在相互不同的溫度下進(jìn)行供給，從而也可以形成小型掩?；虼笮脱谀?。此外，就所述掩模形成步驟而言，將熔點(diǎn)不同的金屬用相互不同的處理時(shí)間期間或在相互不同的溫度下進(jìn)行供給，從而可形成小型掩?；虼笮脱谀！0018]就所述具體的方式而言，在相同的艙室內(nèi)將熔點(diǎn)不同的金屬用物理氣相沉積方法(PhysicalVaporDeposition，PVD)，由此在母材上形成小型掩?；虼笮脱谀＃蛘哂孟嗷ゲ煌奶幚頃r(shí)間期間進(jìn)行操作或施加相互不同的溫度的多個(gè)艙室中，將相同金屬通過(guò)物理氣相沉積方法在母材上形成為小型掩?；蛘叽笮脱谀＃蛘?，用相互不同的處理時(shí)間期間進(jìn)行操作或施加相互不同額溫度的多個(gè)艙室中，將熔點(diǎn)不同的金屬通過(guò)物理氣相沉積方法可以在母材上可形成為小型掩?；虼笮脱谀?。[0019]在不同的實(shí)施例中，在相同的艙室內(nèi)調(diào)節(jié)母材的溫度，并將前驅(qū)體（precursor)通過(guò)化學(xué)氣相沉積方法（ChemicalVaporDeposition，CVD)進(jìn)行沉積，從而形成小型掩模或大型掩模，并且在多個(gè)艙室內(nèi)使得前驅(qū)體的種類不同，并且通過(guò)化學(xué)氣相沉積方法進(jìn)行沉積，從而也可以形成小型掩模或大型掩模。[0020]另外，用于達(dá)成本發(fā)明的目的的通過(guò)掩模的凸起形成裝置包括：艙室；母材安裝部，其形成于所述艙室內(nèi)，并且將母材安裝于所述母材安裝部；金屬供給部，其形成于所述艙室內(nèi)，用于通過(guò)派射方式向安裝于所述母材安裝部的母材上供給金屬；以及溫度調(diào)節(jié)部，其用于調(diào)節(jié)所述艙室內(nèi)溫度。[0021]此時(shí)，母材安裝部包括母材加熱器（heater)，所述母材加熱器用于將所安裝的母材加熱至已設(shè)定的溫度，并且在所述母材加熱器中可設(shè)置有多個(gè)熱電偶。另外，所述溫度調(diào)節(jié)部可包括測(cè)定艙室內(nèi)的溫度的傳感器，以及通過(guò)電力調(diào)整對(duì)艙室內(nèi)的溫度進(jìn)行調(diào)節(jié)的艙室加熱器。[0022]本發(fā)明的凸起形成裝置還可包括用于移動(dòng)母材的內(nèi)聯(lián)（in-line)部，隨著內(nèi)聯(lián)部的驅(qū)動(dòng)，所述金屬供給部將熔點(diǎn)不同的金屬向母材進(jìn)行供給，并且所述溫度調(diào)節(jié)部將艙室內(nèi)的溫度維持為一定，從而可形成掩模。[0023]在另一個(gè)實(shí)施例中，艙室由相互區(qū)分的多個(gè)艙室組成，并且還包括內(nèi)聯(lián)部，所述內(nèi)聯(lián)部用于在所述多個(gè)艙室之間移動(dòng)母材，并且所述金屬供給部將相同的金屬向母材進(jìn)行供給，并且各個(gè)艙室用相互不同的處理時(shí)間期間進(jìn)行操作或通過(guò)所述溫度調(diào)節(jié)部分別調(diào)節(jié)為不同的溫度，從而可形成掩模。[0024]根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例的凸起形成裝置包括：艙室；母材安裝部，其形成于所述艙室內(nèi)，并且將母材安裝于所述母材安裝部；氣體供給部，其通過(guò)化學(xué)氣相沉積方式(ChemicalVaporDeposition，CVD)向安裝于所述母材安裝部的母材上沉積掩模；以及溫度調(diào)節(jié)部，其用于調(diào)節(jié)所述母材的溫度，并且此時(shí)，所述溫度調(diào)節(jié)部可包括傳感器及艙室加熱器，所述傳感器對(duì)艙室內(nèi)的溫度進(jìn)行測(cè)定，所述艙室加熱器通過(guò)電力調(diào)整對(duì)母材的溫度進(jìn)行調(diào)節(jié)。另外，氣體供給部將特定的前驅(qū)體（precursor)向母材供給，并且所述溫度調(diào)節(jié)部對(duì)母材的溫度進(jìn)行分階段地變更。[0025]在另一個(gè)實(shí)施例中，艙室由相互區(qū)分的多個(gè)艙室組成，并且還包括內(nèi)聯(lián)（in-line)部，所述內(nèi)聯(lián)部用于在多個(gè)艙室之間當(dāng)前第1頁(yè)1 2 3 4