處理器單元內(nèi)或在處理器單元外部實(shí)現(xiàn)。如本文所使用的，術(shù)語(yǔ)“存儲(chǔ)器”是指任何類型的長(zhǎng)期、短期、易失性、非易失性、或其他存儲(chǔ)器，而并不限于任何特定類型的存儲(chǔ)器或存儲(chǔ)器數(shù)目、或記憶存儲(chǔ)在其上的介質(zhì)的類型。
[0058]如果以固件和/或軟件實(shí)現(xiàn)，則功能可作為一條或多條指令或代碼存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)上。示例包括編碼有數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)和編碼有計(jì)算機(jī)程序的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)。計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)包括物理計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)介質(zhì)。存儲(chǔ)介質(zhì)可以是能被計(jì)算機(jī)訪問(wèn)的任何可用介質(zhì)。作為示例而非限定，此類計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)可包括RAM、ROM、EEPROM、CD-ROM或其他光盤存儲(chǔ)、磁盤存儲(chǔ)或其他磁存儲(chǔ)設(shè)備、或能被用來(lái)存儲(chǔ)指令或數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)形式的期望程序代碼且能被計(jì)算機(jī)訪問(wèn)的任何其他介質(zhì)；如本文所使用的盤(disk)和碟(disc)包括壓縮碟(⑶)、激光碟、光碟、數(shù)字多用碟(DVD)、軟盤和藍(lán)光碟，其中盤常常以磁性方式再現(xiàn)數(shù)據(jù)，而碟用激光來(lái)光學(xué)地再現(xiàn)數(shù)據(jù)。上述的組合應(yīng)當(dāng)也被包括在計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)的范圍內(nèi)。
[0059]除了存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)上，指令和/或數(shù)據(jù)還可作為包括在通信裝置中的傳輸介質(zhì)上的信號(hào)來(lái)提供。例如，通信裝置可包括具有指示指令和數(shù)據(jù)的信號(hào)的收發(fā)機(jī)。這些指令和數(shù)據(jù)被配置成使一個(gè)或多個(gè)處理器實(shí)現(xiàn)權(quán)利要求中敘述的功能。
[0060]盡管已闡述了具體電路系統(tǒng)，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員將領(lǐng)會(huì)，并非所有所公開(kāi)的電路系統(tǒng)都是為實(shí)踐本公開(kāi)所指定的。此外，某些眾所周知的電路未被描述，以便保持專注于本公開(kāi)。類似地，盡管本描述在某些地方引述邏輯“O”和邏輯“I”，但本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)領(lǐng)會(huì)到這些邏輯值可以交換，且其余電路相應(yīng)地調(diào)整，而不影響本公開(kāi)的操作。
[0061]盡管已詳細(xì)描述了本公開(kāi)及其優(yōu)勢(shì)，但是應(yīng)當(dāng)理解，可在本文中作出各種改變、替代和變更而不會(huì)脫離如由所附權(quán)利要求所定義的本公開(kāi)的技術(shù)。而且，本申請(qǐng)的范圍并非旨在被限定于說(shuō)明書(shū)中所描述的過(guò)程、機(jī)器、制造、和物質(zhì)組成、裝置、方法和步驟的特定方面。因?yàn)楸绢I(lǐng)域普通技術(shù)人員將容易地從本公開(kāi)領(lǐng)會(huì)到，根據(jù)本公開(kāi)，可以利用現(xiàn)存或今后開(kāi)發(fā)的與本文所描述的相應(yīng)方面執(zhí)行基本相同的功能或達(dá)成基本相同的結(jié)果的過(guò)程、機(jī)器、制造、物質(zhì)組成、裝置、方法或步驟。因此，所附權(quán)利要求旨在將這樣的過(guò)程、機(jī)器、制造、物質(zhì)組成、裝置、方法或步驟包括在其范圍內(nèi)。
[0062]提供之前的描述是為了使本領(lǐng)域任何技術(shù)人員均能夠?qū)嵺`本文中所描述的各種方面。對(duì)這些方面的各種改動(dòng)將容易為本領(lǐng)域技術(shù)人員所明白，并且在本文中所定義的普適原理可被應(yīng)用于其他方面。因此，權(quán)利要求并非旨在被限定于本文中所示出的各方面，而是應(yīng)被授予與權(quán)利要求的語(yǔ)言相一致的全部范圍，其中對(duì)要素的單數(shù)形式的引述并非旨在表示“有且僅有一個(gè)”(除非特別如此聲明)而是“一個(gè)或多個(gè)”。除非特別另外聲明，否則術(shù)語(yǔ)“一些/某個(gè)”指的是一個(gè)或多個(gè)。引述一列項(xiàng)目中的“至少一個(gè)”的短語(yǔ)是指這些項(xiàng)目的任何組合，包括單個(gè)成員。作為示例，“a、b或c中的至少一者”旨在涵蓋:a ;b ;c沾和b ;&和(3 ;b和c ;以及a、b和C。本公開(kāi)通篇描述的各種方面的要素為本領(lǐng)域普通技術(shù)人員當(dāng)前或今后所知的所有結(jié)構(gòu)上和功能上的等效方案通過(guò)引述被明確納入于此，且旨在被權(quán)利要求所涵蓋。此外，本文中所公開(kāi)的任何內(nèi)容都并非旨在貢獻(xiàn)給公眾，無(wú)論這樣的公開(kāi)是否在權(quán)利要求書(shū)中被顯式地?cái)⑹?。?quán)利要求的任何要素都不應(yīng)當(dāng)在35U.S.C.§112第六款的規(guī)定下來(lái)解釋，除非該要素是使用措辭“用于……的裝置”來(lái)明確敘述的或者在方法權(quán)利要求情形中該要素是使用措辭“用于……的步驟”來(lái)敘述的。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種制造半導(dǎo)體器件的方法，包括: 圖案化一特征的第一部分和所述特征的第二部分，所述第一部分和所述第二部分分開(kāi)達(dá)第一預(yù)定距離；以及 用切割掩模圖案化所述第一部分以形成第一子部分和第二子部分，其中所述第一子部分的尺寸小于第二預(yù)定距離的尺寸。2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一預(yù)定距離是線尖端到尖端間隔和線間隔之一。3.如權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述第二預(yù)定距離是具有指定寬度分辨率的光刻工藝的線長(zhǎng)分辨率。4.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，進(jìn)一步包括在所述第一子部分和所述第二子部分上沉積導(dǎo)電材料以形成觸點(diǎn)結(jié)構(gòu)。5.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述特征是局部互連。6.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一預(yù)定距離是用于圖案化所述第一部分和所述第二部分的第一掩模的光刻分辨率。7.如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述第二預(yù)定距離是用于圖案化所述第一子部分和所述第二子部分的第二掩模的光刻分辨率。8.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，用切割掩模圖案化所述第一部分進(jìn)一步包括將所述第一部分蝕刻到所述第一子部分和所述第二子部分中。9.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，進(jìn)一步包括將所述半導(dǎo)體器件集成到移動(dòng)電話、機(jī)頂盒、音樂(lè)播放器、視頻播放器、娛樂(lè)單元、導(dǎo)航設(shè)備、計(jì)算機(jī)、手持式個(gè)人通信系統(tǒng)(PCS)單元、便攜式數(shù)據(jù)單元、和/或位置固定的數(shù)據(jù)單元中。10.一種半導(dǎo)體器件的特征，包括: 第一部分；以及 第二部分，所述第二部分具有小于所述第一部分的光刻分辨率的尺寸。11.如權(quán)利要求10所述的特征，其特征在于，所述特征是局部互連。12.如權(quán)利要求10所述的特征，其特征在于，所述尺寸小于用于圖案化所述第一部分的掩模的光刻分辨率。13.如權(quán)利要求10所述的特征，其特征在于，所述尺寸小于用于圖案化所述第二部分的掩模的光刻分辨率。14.如權(quán)利要求10所述的特征，其特征在于，所述第二部分進(jìn)一步包括導(dǎo)電材料以形成至所述第二部分的電觸點(diǎn)。15.如權(quán)利要求10所述的特征，其特征在于，所述第二部分從所述第一部分蝕刻。16.如權(quán)利要求10所述的特征，其特征在于，所述特征被集成到移動(dòng)電話、機(jī)頂盒、音樂(lè)播放器、視頻播放器、娛樂(lè)單元、導(dǎo)航設(shè)備、計(jì)算機(jī)、手持式個(gè)人通信系統(tǒng)(PCS)單元、便攜式數(shù)據(jù)單元和/或固定位置數(shù)據(jù)單元中。17.—種被配置成用于制造半導(dǎo)體器件的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，所述計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品包括: 其上記錄有非瞬態(tài)程序代碼的非瞬態(tài)計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，所述非瞬態(tài)程序代碼包括: 用于圖案化一特征的第一部分和所述特征的第二部分的程序代碼，所述第一部分和所述第二部分分開(kāi)達(dá)第一預(yù)定距離；以及 用于用切割掩模來(lái)圖案化所述第一部分以形成第一子部分和第二子部分的程序代碼，其中所述第一子部分的尺寸小于第二預(yù)定距離的尺寸。18.如權(quán)利要求17所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其特征在于，進(jìn)一步包括用于在所述第一子部分和所述第二子部分上沉積導(dǎo)電材料以形成觸點(diǎn)結(jié)構(gòu)的程序代碼。19.如權(quán)利要求17所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其特征在于，所述第一預(yù)定距離是線尖端到尖端間隔和線間隔之一。20.如權(quán)利要求19所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其特征在于，所述第二預(yù)定距離是具有指定寬度分辨率的光刻工藝的線長(zhǎng)分辨率。21.如權(quán)利要求17所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其特征在于，所述計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品被集成到移動(dòng)電話、機(jī)頂盒、音樂(lè)播放器、視頻播放器、娛樂(lè)單元、導(dǎo)航設(shè)備、計(jì)算機(jī)、手持式個(gè)人通信系統(tǒng)(PCS)單元、便攜式數(shù)據(jù)單元、和/或固定位置數(shù)據(jù)單元中。22.一種用于制造半導(dǎo)體器件的設(shè)備，包括: 用于圖案化一特征的第一部分和所述特征的第二部分的裝置，所述第一部分和所述第二部分分開(kāi)達(dá)第一預(yù)定距離；以及 用于圖案化所述第一部分以形成第一子部分和第二子部分的裝置，其中所述第一子部分的尺寸小于第二預(yù)定距離的尺寸。23.如權(quán)利要求22所述的設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備被集成到移動(dòng)電話、機(jī)頂盒、音樂(lè)播放器、視頻播放器、娛樂(lè)單元、導(dǎo)航設(shè)備、計(jì)算機(jī)、手持式個(gè)人通信系統(tǒng)(PCS)單元、便攜式數(shù)據(jù)單元和/或固定位置數(shù)據(jù)單元中。
【專利摘要】在半導(dǎo)體芯片上制造各個(gè)特征。這些特征小于用于創(chuàng)建芯片的光刻的閾值。一種方法包括圖案化一特征(諸如局部互連)的第一部分和該特征的第二部分以分開(kāi)達(dá)一預(yù)定距離，諸如線尖端到尖端間隔或線間隔。該方法進(jìn)一步包括用切割掩模來(lái)圖案化第一部分以形成第一子部分(例如觸點(diǎn))和第二子部分。第一子部分的尺寸小于第二預(yù)定距離的尺寸，第二預(yù)定距離可以是具有指定寬度分辨率的光刻工藝的線長(zhǎng)分辨率。一種半導(dǎo)體器件的一特征包括第一部分和第二部分，第二部分具有小于第一部分的光刻分辨率的尺寸。
【IPC分類】H01L27/00, G03F7/20
【公開(kāi)號(hào)】CN105122141
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201480021508
【發(fā)明人】J·J·朱, Z·王, Y·達(dá)
【申請(qǐng)人】高通股份有限公司
【公開(kāi)日】2015年12月2日
【申請(qǐng)日】2014年4月11日
【公告號(hào)】US20140312500, WO2014172197A1