技術(shù)編號(hào):6122704
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及MEMS磁傳感器領(lǐng)域,具體是一種十字電流型三軸矢量磁傳感器。技術(shù)背景地磁導(dǎo)航技術(shù)作為一種無(wú)源自主導(dǎo)航方法,具有隱蔽性好、抗干擾能力強(qiáng)、成本低的特點(diǎn),尤其是基于霍爾效應(yīng)的磁傳感器的出現(xiàn),使其得到迅速的發(fā)展,但因磁傳感器的精度低、靈敏度差使得地磁導(dǎo)航技術(shù)一直只適用于普通導(dǎo)航系統(tǒng)中,對(duì)戰(zhàn)術(shù)級(jí)、戰(zhàn)略級(jí)導(dǎo)航系統(tǒng)的貢獻(xiàn)很小。傳統(tǒng)的霍爾磁傳感器是以Si材料為霍爾半導(dǎo)體,隨后因GaAs材料的電子遷移率高,基于GaAs材料的霍爾傳感器也相應(yīng)而生,接著隨著高電子遷移...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。