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運(yùn)動(dòng)平臺(tái)及加工設(shè)備的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):39729555

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)的領(lǐng)域,尤其涉及一種運(yùn)動(dòng)平臺(tái)及加工設(shè)備。背景技術(shù)、在半導(dǎo)體技術(shù)的領(lǐng)域中,精密加工設(shè)備主要有視覺檢測(cè)設(shè)備、半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)設(shè)備等,半導(dǎo)體行業(yè)不斷發(fā)展,對(duì)這類高精度的精密設(shè)備需求量逐年增加,對(duì)精密加工設(shè)備的精度要求越來越高。、目前,精密加工設(shè)備的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)主要包括雙導(dǎo)軌、安裝在雙導(dǎo)軌上的滑塊、以及電機(jī),通過雙導(dǎo)軌和滑塊的配合實(shí)現(xiàn)載臺(tái)在水平方向的雙向移動(dòng),通過電機(jī)實(shí)現(xiàn)載臺(tái)的轉(zhuǎn)動(dòng)?,F(xiàn)有運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的雙導(dǎo)軌的加工和安裝容易出現(xiàn)誤差,導(dǎo)致載臺(tái)運(yùn)動(dòng)精度較低,嚴(yán)重影響晶圓等半導(dǎo)體的加工精度和質(zhì)量...
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