技術(shù)編號：39656836
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及刻蝕機(jī)，尤其涉及一種濕法刻蝕機(jī)。背景技術(shù)、濕法刻蝕機(jī)是一種用于進(jìn)行濕法刻蝕的設(shè)備。它通常用于微納加工領(lǐng)域，用于刻蝕材料的表面，進(jìn)行微細(xì)結(jié)構(gòu)的制作。濕法刻蝕機(jī)的工作原理是將基體材料浸泡在特定的蝕刻液中，通過化學(xué)反應(yīng)將部分材料溶解掉，從而實現(xiàn)刻蝕的目的。、現(xiàn)有的蝕刻材料在進(jìn)行濕蝕刻時，往往會分為多個工藝流程，其中包括蝕刻液的浸泡和清洗液的清洗，傳統(tǒng)的刻蝕機(jī)是通過一個機(jī)械擺臂，將蝕刻材料從蝕刻槽轉(zhuǎn)移到清洗槽，但是，當(dāng)蝕刻槽內(nèi)有料時，清洗槽內(nèi)為空置狀態(tài)，當(dāng)清洗槽內(nèi)有料時，刻蝕槽內(nèi)為空置狀態(tài)...
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