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磨削裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11119617

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本發(fā)明涉及磨削裝置,能夠?qū)⒛ハ髂ゾ叩纸佑诰M(jìn)行磨削。背景技術(shù)作為半導(dǎo)體晶片、藍(lán)寶石、SiC、鉭酸鋰(LiTaO3)、玻璃等各種被加工物,在借助磨削裝置磨削而形成為規(guī)定的厚度之后,借助切削裝置等而被分割成各個(gè)器件等,并被利用于各種電子設(shè)備等。作為該磨削所使用的磨削裝置,能夠通過(guò)使進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的磨削磨具的磨削面與作為被加工物的晶片抵接而進(jìn)行晶片的磨削。這里,當(dāng)進(jìn)行該磨削時(shí),在磨削磨具的磨削面上會(huì)產(chǎn)生因磨削屑等導(dǎo)致的堵塞或鈍化而導(dǎo)致磨削磨具的磨削力降低。并且,在被加工物為所謂的難磨削材料的情況下,會(huì)特別...
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