擴(kuò)散爐的新型氣路的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種擴(kuò)散爐的新型氣路，屬于太陽能光伏電池制造【技術(shù)領(lǐng)域】，主要特點(diǎn)是反應(yīng)氣體在設(shè)置的混合裝置中充分混合后通過擴(kuò)散爐爐門的進(jìn)氣口從爐口的中間位置噴入石英管中，再通過石英管尾部中間位置的尾排將尾氣抽出。本發(fā)明在現(xiàn)有擴(kuò)散爐設(shè)備的基礎(chǔ)上，只需對(duì)3個(gè)部件進(jìn)行一定的改進(jìn)，改造成本較??；在進(jìn)氣之前，將氣體充分混合，保證了反應(yīng)的均勻性，從而改善了擴(kuò)散方阻的均勻性，降低了人力成本；由于氣路的改變，改善了氣體分布的均勻性，提高了擴(kuò)散方阻的均勻性，降低了人力成本由于氣路的改變，使?fàn)t管的定期維護(hù)變得更加簡單，成本也有所降低。
【專利說明】擴(kuò)散爐的新型氣路
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種擴(kuò)散爐的新型氣路，屬于太陽能光伏電池制造【技術(shù)領(lǐng)域】。
【背景技術(shù)】
[0002]目前晶體硅太陽能電池產(chǎn)業(yè)化技術(shù)已經(jīng)非常成熟，然而與常規(guī)能源相比，相對(duì)較高的成本與較低的效率制約了其發(fā)展，對(duì)于如何降低成本及提高轉(zhuǎn)換效率，人們進(jìn)行了大量的研究。
[0003]在提高效率的各種方法當(dāng)中，高方阻路線是應(yīng)用最普遍，成本較低，也是可以進(jìn)行持續(xù)改善的一種方法。伴隨著正面銀漿的不斷突破，擴(kuò)散方阻已經(jīng)從之前40-50ohm逐漸提高到了目前的90-100ohm，效率也得到了明顯提升。
[0004]然而在這個(gè)過程中，隨著方阻的提升，擴(kuò)散方阻的均勻性也逐漸惡化，會(huì)導(dǎo)致電池質(zhì)量下降，產(chǎn)生良率異常等問題。目前市場上的擴(kuò)散設(shè)備均無法有效解決這一問題，其擴(kuò)散方阻的標(biāo)準(zhǔn)偏差均在3-6ohm，無法滿足實(shí)際生產(chǎn)的需求，導(dǎo)致產(chǎn)線技術(shù)人員對(duì)工藝參數(shù)的調(diào)節(jié)十分頻繁，既耗費(fèi)大量的人力，工藝水準(zhǔn)的穩(wěn)定性也難以得到保證，無法滿足后續(xù)制程的需求。為了提高產(chǎn)品品質(zhì)，降低人力成本，需要對(duì)擴(kuò)散設(shè)備進(jìn)行改善。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的是提供一種擴(kuò)散爐的新型氣路，解決上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，使擴(kuò)散爐設(shè)備能夠滿足高方阻的均勻性需求，從而提高效率，優(yōu)化產(chǎn)品品質(zhì)，減少人力成本。
[0006]本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的，一種擴(kuò)散爐的新型氣路，包括擴(kuò)散爐， 擴(kuò)散爐爐門，擴(kuò)散爐內(nèi)的石英管，進(jìn)氣管路，尾排管路，其特征是，反應(yīng)氣體在混合裝置中充分混合后通過擴(kuò)散爐爐門的進(jìn)氣口從爐口的中間位置噴入石英管中，再通過石英管尾部中間位置的尾排將尾氣抽出。
[0007]所述的混合裝置由密封石英器皿，三根由一端外延伸到石英器皿內(nèi)部的進(jìn)氣管和石英器皿另一端的一個(gè)出氣口構(gòu)成，出氣口與中心軸重合，石英器皿內(nèi)部的進(jìn)氣管壁上有若干均勻的小孔，進(jìn)氣管末端封閉。
[0008]所述的進(jìn)氣管呈等邊三角形分布。
[0009]所述的進(jìn)氣管壁上的小孔密度為1-50個(gè)/cm，各進(jìn)氣管的小孔均對(duì)著石英器皿的中心軸。
[0010]本發(fā)明具有如下優(yōu)點(diǎn):1)在現(xiàn)有擴(kuò)散爐設(shè)備的基礎(chǔ)上，只需對(duì)3個(gè)部件進(jìn)行一定的改進(jìn)，改造成本較小；2)在進(jìn)氣之前，將氣體充分混合，保證了反應(yīng)的均勻性，從而改善了擴(kuò)散方阻的均勻性，降低了人力成本；3)由于氣路的改變，改善了氣體分布的均勻性，提高了擴(kuò)散方阻的均勻性，降低了人力成本；4)由于氣路的改變，使?fàn)t管的定期維護(hù)變得更加簡單，成本也有所降低。
【專利附圖】

【附圖說明】[0011]圖1為本發(fā)明氣路結(jié)構(gòu)示意圖，充分混合的氣體從石英管爐口中心位置進(jìn)入，從爐尾中心位置被尾排抽出。
[0012]圖2為本發(fā)明中氣體混合裝置主視結(jié)構(gòu)示意圖，氣體被分成許多等份，在密封石英器皿內(nèi)充分混合和抽出。
[0013]圖3為圖2的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖；
圖中，I石英管，2進(jìn)氣口，3進(jìn)氣管路，4氣體混合裝置，5尾排管路，6爐門，7石英器皿， 8進(jìn)氣管，9出氣口。
【具體實(shí)施方式】
[0014]結(jié)合附圖和實(shí)施例進(jìn)一步說明本發(fā)明，本發(fā)明是在現(xiàn)有擴(kuò)散設(shè)備基礎(chǔ)上對(duì)三個(gè)部件的改進(jìn)，通過改進(jìn)可改善擴(kuò)散方阻的均勻性。進(jìn)氣管路的原有構(gòu)造是置于石英管尾部中間位置，將簡單混合的氣體噴入石英管中，如圖1所示，現(xiàn)在需要將進(jìn)氣口 2置于爐門6中心位置，并通過軟管連接到進(jìn)氣管路3，軟管置于爐門6夾層之中。爐口是一個(gè)圓口，爐門6 的形狀也是圓形的，兩者的圓心是重合的，都在石英管I的中心軸上，進(jìn)氣口 2位于爐門6 的圓心位置，這樣氣體就會(huì)從爐口的中心位置進(jìn)入。
[0015]本發(fā)明中的氣體混合裝置如圖2所示，在進(jìn)氣管路3之前，氣體MFC之后加裝一個(gè)氣體混合裝置4，目的是將氣體在進(jìn)入石英管I之前充分混合，以保證反應(yīng)的均勻性，其基本構(gòu)造如下:一個(gè)小型密封石英器皿7，一端通過三個(gè)進(jìn)氣管8與氣體管路連接，進(jìn)氣管8 一直延伸到石英器皿7內(nèi)部，各進(jìn)氣管8的末端是封閉的，在進(jìn)氣管8壁上有許多均勻的小孔，其密度為1-50個(gè)/cm,三個(gè)進(jìn)氣管8的小孔均對(duì)著石英器皿的中心軸；三個(gè)進(jìn)氣管8呈等邊三角形分布，在石英器皿的另一端有一個(gè)出氣口 9，出氣口 9與進(jìn)氣管路3相連，出氣口 9與中心軸重合。
[0016]本發(fā)明中的尾排管路5如圖1所示，尾排管路5的原有構(gòu)造是置于石英管尾部下方位置，通過一根尾氣管通到爐口位置，現(xiàn)在需要將其置于中間位置，直接接到尾排上。
[0017]綜上所述，本發(fā)明在設(shè)計(jì)的氣路中實(shí)現(xiàn)了氣體的充分混合，改善了氣體在石英管中的分布，從而改善了擴(kuò)散方阻的均勻性，提高了產(chǎn)品品質(zhì)，降低了人力成本。
【權(quán)利要求】
1.一種擴(kuò)散爐的新型氣路，包括擴(kuò)散爐、擴(kuò)散爐爐門、擴(kuò)散爐內(nèi)的石英管，進(jìn)氣管路，尾排管路，其特征是，反應(yīng)氣體在設(shè)置的混合裝置中充分混合后通過擴(kuò)散爐爐門的進(jìn)氣口從爐口的中間位置噴入石英管中，再通過石英管尾部中間位置的尾排將尾氣抽出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散爐的新型氣路，其特征是，所述的混合裝置由密封石英器皿,三根由一端外延伸到石英器皿內(nèi)部的進(jìn)氣管和石英器皿另一端的一個(gè)出氣口構(gòu)成， 出氣口與中心軸重合，石英器皿內(nèi)部的進(jìn)氣管壁上有若干均勻的小孔，進(jìn)氣管末端封閉。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的擴(kuò)散爐的新型氣路，其特征是，所述的進(jìn)氣管呈等邊三角形分布。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的擴(kuò)散爐的新型氣路，其特征是，所述的進(jìn)氣管壁上的小孔密度為1-50個(gè)/cm,各進(jìn)氣管的小孔均對(duì)著石英器皿的中心軸 。
【文檔編號(hào)】C30B31/16GK103603052SQ201310603080
【公開日】2014年2月26日 申請(qǐng)日期:2013年11月26日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月26日
【發(fā)明者】趙建東, 鄭飛 申請(qǐng)人:中電電氣（揚(yáng)州）光伏有限公司