專利名稱：一種可快速升降溫的高功率加熱器的制作方法
技術領域：
本發(fā)明屬于加熱器，具體涉及一種可快速升降溫的高功率加熱器。
背景技術：
在用金屬有機化學氣相沉積設備(MOCVD)制備半導體薄膜材料時，所發(fā)生的化學反應都是在特定的溫度環(huán)境下，且各層溫度相差較大，溫度均勻性直接影響薄膜的品質(zhì)，升降溫速率影響生產(chǎn)周期，使用壽命影響到設備使用成本。所以工業(yè)生產(chǎn)中采用MOCVD制備半導體薄膜材料對加熱器的溫度均勻性、升降溫速率和使用壽命都有很高的要求。現(xiàn)有的用于MOCVD的高功率加熱器包括爐體、設在爐體上的PBN陶瓷絕緣板和位于PBN陶瓷絕緣板上面的發(fā)熱絲，其采用支架支撐在PBN陶瓷絕緣板上，這種PBN陶瓷絕緣板材料十分昂貴也很容易損壞,生產(chǎn)成本較高,使用壽命較短。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種可快速升降溫的高功率加熱器，以滿足MOCVD制備半導體薄膜材料對加熱器的溫度均勻性、升降溫速率和使用壽命的要求，并有效降低成本和能耗。實現(xiàn)本發(fā)明目的采用的技術方案如下
本發(fā)明提供的可快速升降溫的高功率加熱器，包括爐體、設在爐體上的一層或多層金屬反射板和位于金屬反射板上面的發(fā)熱絲。所述爐體包括上下設置的負電極板和正電極板，所述正電極板和負電極板通過第一緊固部件和第一絕緣部件相互固定并絕緣；所述金屬反射板通過第二緊固部件和第二絕緣部件固定在負電極板上方；正電極板向下引出設備連接電極腳正極，向上絕緣穿過負電極板和金屬反射板引出發(fā)熱絲電極正極；負電極板向下絕緣穿過正電極板引出設備連接電極腳負極，向上導電穿過金屬反射板引出發(fā)熱絲電極負極；發(fā)熱絲通過若干支架支撐于金屬反射板之上，所述支架絕緣穿過金屬反射板、負電極板固定于正電極板上。所述正電極板和負電極板之間有固定板,固定板通過第三緊固部件固定在負電極板下方并允許與負電極板導電。本發(fā)明可采用鎢、鑰、錸或其它高溫合金制造金屬反射板，并將金屬反射板取代PBN陶瓷絕緣板和陶瓷零件作為加熱器的主體隔熱和絕緣材料。金屬反射板的應用可以提高溫度均勻性，升降溫速率，降低能耗和成本。本發(fā)明具有如下優(yōu)點1、加熱器可全部采用鎢、鑰、錸或其它高溫合金，絕緣材料全部采用99瓷，可提高使用壽命；2、金屬反射板的應用，可將加熱絲向下的熱量向上反射，可提高溫度的均勻性，升降溫速率，降低能耗；3、該加熱器適用于有氫氣或氮氣保護的任何環(huán)境。下面結合附圖進一步說明本發(fā)明的技術方案。


附圖是本發(fā)明的結構示意圖。
具體實施例方式見附圖，本發(fā)明包括爐體、設在爐體上的金屬反射板10和位于金屬反射板10上面的發(fā)熱絲8，爐體包括上下設置的負電極板13和正電極板15，正電極板15和負電極板13通過螺桿6、貫穿相套的陶瓷管17和陶瓷管18相互固定并絕緣，正電極板15和負電極板13之間設有固定板14，固定板14通過螺桿2、陶瓷管19固定在負電極板13下方并與負電極板13導電，金屬反射板10采用三層(或者一層、兩層)，它們通過螺桿I、螺桿2、陶瓷管3、陶瓷管4固定在負電極板13上方，正電極板15向下引出設備連接電極腳正極20，負電極板13通過陶瓷管22向下穿過正電極板15引出設備連接電極腳負極16，電極腳負極16和設備連接電極腳正極20分別用螺帽21擰緊固定在負電極板13和正電極板15上，正電極板15向上絕緣穿過負電極板13和金屬反射板10引出發(fā)熱絲電極正極7，負電極板13向上導電穿過金屬反射板10引出發(fā)熱絲電極負極5，發(fā)熱絲8由若干支架9支撐于反射板之上，支架9絕緣穿過金屬反射板10，并通過陶瓷管12穿過負電極板13、固定板14固定于正電極板15上，支架9通過突出部11卡在陶瓷管12上。負電極板13、固定板14、金屬反射板10為同一極性,通電時接電源負極。正電極板15通電時接電源正極。電流經(jīng)設備連接電極腳正極20進入，然后經(jīng)正電極板15導入發(fā)熱絲電極正極7傳入發(fā)熱絲8，電流經(jīng)發(fā)熱絲電極負極5到負電極板13，最后到設備連接電極腳負極16形成回路。
權利要求
1.一種可快速升降溫的高功率加熱器，包括爐體，其特征是還包括設在爐體上的一層或多層金屬反射板和位于金屬反射板上面的發(fā)熱絲。
2.根據(jù)權利要求I所述的可快速升降溫的高功率加熱器，其特征是所述爐體包括上下設置的負電極板和正電極板，所述正電極板和負電極板通過第一緊固部件和第一絕緣部件相互固定并絕緣；所述金屬反射板通過第二緊固部件和第二絕緣部件固定在負電極板上方；正電極板向下引出設備連接電極腳正極，向上絕緣穿過負電極板和金屬反射板引出發(fā)熱絲電極正極；負電極板向下絕緣穿過正電極板引出設備連接電極腳負極，向上導電穿過金屬反射板引出發(fā)熱絲電極負極；發(fā)熱絲通過若干支架支撐于反射板之上，所述支架絕緣穿過金屬反射板、負電極板固定于正電極板上。
3.根據(jù)權利要求2所述的可快速升降溫的高功率加熱器，其特征是所述正電極板和負電極板之間有固定板，固定板通過第三緊固部件固定在負電極板下方并與負電極板導電。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種可快速升降溫的高功率加熱器，包括爐體，其特征是還包括設在爐體上的一層或多層金屬反射板和位于金屬反射板上面的發(fā)熱絲。本發(fā)明采用金屬反射板取代PBN陶瓷絕緣板和陶瓷零件作為加熱器的主體隔熱和絕緣材料，具有如下優(yōu)點1、加熱器可全部采用鎢、鉬、錸或其它高溫合金，絕緣材料全部采用99瓷，可提高使用壽命；2、金屬反射板的應用，可將加熱絲向下的熱量向上反射，可提高溫度的均勻性，升降溫速率，降低能耗和成本；3、該加熱器適用于有氫氣或氮氣保護的任何環(huán)境。
文檔編號H05B3/64GK102984836SQ20121052087
公開日2013年3月20日 申請日期2012年12月7日 優(yōu)先權日2012年12月7日
發(fā)明者蒲勇 申請人:長沙市博壘德電子科技有限公司