專利名稱：振動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)電路的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明的實(shí)施例涉及振動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)電路。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，伴隨圖像拾取元件的分辨率的提高，粘附于使用中的光學(xué)系統(tǒng)上的灰塵影響作為光學(xué)設(shè)備的圖像拾取設(shè)備中的捕獲圖像。特別地，用于視頻照相機(jī)或靜物照相機(jī)中的圖像拾取元件的分辨率已顯著提高。因此，當(dāng)外部灰塵和/或諸如在內(nèi)部機(jī)械摩擦表面上導(dǎo)致的磨損碎屑的灰塵(粉末)粘附于圖像拾取元件附近的諸如紅外切割濾波器和光學(xué)低通濾波器的光學(xué)部件時(shí)，由于圖像拾取元件表面上的較少模糊的圖像，因此會(huì)在捕獲的圖像上出現(xiàn)粉末。作為光學(xué)設(shè)備的復(fù)印機(jī)或傳真機(jī)的圖像拾取單元掃描線傳感器，或者掃描較接近線傳感器放置的原稿以讀取平面原稿。在這種情況下，當(dāng)灰塵粘附于光束入射區(qū)域時(shí)，在掃描圖像上出現(xiàn)灰塵。在掃描和讀取原稿的傳真機(jī)的讀取單元或在從自動(dòng)原稿饋送器傳送的過(guò)程中讀取(即瀏覽)原稿的復(fù)印機(jī)的讀取單元中，一?；覊m會(huì)表現(xiàn)為沿原稿饋送方向連續(xù)并使圖像質(zhì)量劣化的線圖像。日本專利公開(kāi)No. 2008-207170提出了除塵裝置，該除塵裝置可通過(guò)向包含光學(xué)部件的振動(dòng)部件激勵(lì)自由行進(jìn)波來(lái)沿希望的方向移動(dòng)這種灰塵。圖3是示出在日本專利公開(kāi)No. 2008-207170中公開(kāi)的除塵裝置的配置的示意圖。具有光學(xué)部件502的振動(dòng)部件501被設(shè)置在圖像拾取元件503的光入射側(cè)。作為電氣機(jī)械能量轉(zhuǎn)換元件的壓電元件IOla和IOlb被放置在振動(dòng)部件501中面外彎曲振動(dòng)的節(jié)點(diǎn)線對(duì)齊的方向上的不同的位置。向壓電元件IOla和IOlb施加具有相等的頻率和90°的相位差的交流電壓。要施加的交流電壓的頻率處于沿振動(dòng)部件501的縱向面外彎曲的m次(m是自然數(shù))振動(dòng)模式中的共振頻率與(m+1)次振動(dòng)模式中的共振頻率之間。在振動(dòng)部件501中，具有共振現(xiàn)象的響應(yīng)的m次振動(dòng)模式中的振動(dòng)與具有90°時(shí)間相位差(從m次面外彎曲振動(dòng)前進(jìn)90°的相位)的(m+1)次振動(dòng)模式中的振動(dòng)以相等的振幅和相等的振動(dòng)周期被激勵(lì)。然后，在振動(dòng)部件501中，產(chǎn)生合成兩個(gè)振動(dòng)模式的振動(dòng)的合成振動(dòng)(自由行進(jìn)波)。合成振動(dòng)沿希望的方向在振動(dòng)部件501的表面上移動(dòng)灰塵。但是，在過(guò)去的除塵裝置中，在要使用的一些頻率帶中，要向壓電元件101施加的交流電壓的振幅改變(即交流電壓的頻率特性的梯度)可能在振動(dòng)部件501的共振頻率附近增加。出于這種原因，當(dāng)振動(dòng)部件501的共振頻率由于個(gè)體差異而變化或者在裝置被驅(qū)動(dòng)的同時(shí)熱改變共振頻率時(shí)，交流電壓大大改變。多于必要地增加的交流電壓可能由于電流增加而增加功耗，或者由于在振動(dòng)部件501中激勵(lì)的振動(dòng)振幅的增加而損傷振動(dòng)部件501。當(dāng)交流電壓低于必要的電壓時(shí)，不能獲取要在振動(dòng)部件501中激勵(lì)的面外彎曲振動(dòng)的足夠的振動(dòng)振幅，并且，除塵效率會(huì)降低
發(fā)明內(nèi)容
實(shí)施例的一個(gè)公開(kāi)的方面提供了如下這樣的驅(qū)動(dòng)電路，即使當(dāng)振動(dòng)部件的共振頻率在裝置被驅(qū)動(dòng)的過(guò)程中變化或改變時(shí)，該驅(qū)動(dòng)電路仍在使用的頻帶中輸出穩(wěn)定的電壓振幅，且要施加到電氣機(jī)械能量轉(zhuǎn)換元件的交流電壓具有小的改變。一個(gè)實(shí)施例的一種在至少包含電氣機(jī)械能量轉(zhuǎn)換元件和彈性體的振動(dòng)部件中通過(guò)向固定于彈性體上的電氣機(jī)械能量轉(zhuǎn)換元件施加交流電壓而導(dǎo)致振動(dòng)的振動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)電路包含與電氣機(jī)械能量轉(zhuǎn)換元件串聯(lián)連接的電感器和電容器，其中，滿足0. 73 * fm<fs
<I. 2 * fm，這里 ，fs是電感器和電容器的串聯(lián)共振頻率，并且，fm是振動(dòng)部件的共振頻率。根據(jù)該實(shí)施例的一個(gè)公開(kāi)的方面，可提供如下這樣的驅(qū)動(dòng)電路，即使當(dāng)振動(dòng)部件的共振頻率在裝置被驅(qū)動(dòng)的過(guò)程中變化或改變時(shí)，該驅(qū)動(dòng)電路仍在使用的頻帶中輸出穩(wěn)定的電壓振幅，且要施加到電氣機(jī)械能量轉(zhuǎn)換元件的交流電壓具有小的改變。參照附圖閱讀示例性實(shí)施例的以下說(shuō)明，本發(fā)明的其它特征將變得清晰。


圖IA IC示出根據(jù)第一實(shí)施例的振動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)電路。圖2A和圖2B是可應(yīng)用一個(gè)實(shí)施例的圖像拾取設(shè)備的透視圖。圖3是示出具有除塵裝置的照相機(jī)體的圖像拾取單元的結(jié)構(gòu)的透視圖。圖4示出可應(yīng)用一個(gè)實(shí)施例的除塵裝置的控制設(shè)備。圖5示出過(guò)去的驅(qū)動(dòng)電路的配置。圖6A和圖6B是示出根據(jù)第一實(shí)施例的施加到壓電元件的交流電壓的頻率、在壓電元件中產(chǎn)生的振動(dòng)的振幅以及它們的波形的曲線圖。圖7示出在振動(dòng)部件中激勵(lì)并且沿縱向面外彎曲的10次面外彎曲振動(dòng)的位移和11次面外彎曲振動(dòng)的位移，并且示出壓電元件的配置。圖8示出使用過(guò)去的驅(qū)動(dòng)電路時(shí)的交流電壓Vo的電壓振幅的頻率特性。圖9A和圖9B示出當(dāng)電感器和電容器的串聯(lián)共振頻率fs基本上與振動(dòng)部件的共振頻率fm匹配時(shí)的電流振幅和交流電壓Vo的頻率特性的仿真結(jié)果。圖IOA和圖IOB示出交流電壓Vo如何根據(jù)導(dǎo)納的改變而改變的計(jì)算的仿真結(jié)果。圖IlA和圖IlB示出交流電壓Vo如何根據(jù)電感器、電容器和壓電元件的固有電容的變化而改變的仿真結(jié)果。圖12示出電源電流相對(duì)于驅(qū)動(dòng)時(shí)間的改變的測(cè)量結(jié)果。圖13示出滿足關(guān)系fe < 2 * fd時(shí)的交流電壓Vo的頻率特性。圖14A和圖14B示出描述根據(jù)fs/fm的改變的與過(guò)去相比的相位和交流電壓Vo的改變的仿真結(jié)果。圖15示出根據(jù)fs/fm的改變的相位改變量與過(guò)去的例子的配置的比例的仿真結(jié)果。圖16示出根據(jù)峰值頻率fe的電感器的電感L與電容器的電容C之間的關(guān)系。圖17A 17E示出根據(jù)第二實(shí)施例的具有變壓器的除塵裝置的驅(qū)動(dòng)電路。圖18A和圖18B是示出根據(jù)第三實(shí)施例的要施加到駐波驅(qū)動(dòng)的壓電元件的交流電壓的頻率、在壓電元件中產(chǎn)生的振動(dòng)的振幅和電壓波形的示圖。
具體實(shí)施例方式將參照附圖描述本發(fā)明適用的振動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)電路的實(shí)施例。一個(gè)實(shí)施例的振動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)電路可通過(guò)使振動(dòng)部件振動(dòng)來(lái)驅(qū)動(dòng)諸如粉末的對(duì)象物。雖然根據(jù)以下的實(shí)施例將描述用于去除作為粉末的灰塵的除塵裝置及其驅(qū)動(dòng)電路，但是，如果振動(dòng)部件被振動(dòng)以驅(qū)動(dòng)振動(dòng)部件上的諸如粉末的對(duì)象物，則一個(gè)實(shí)施例是適用的。根據(jù)實(shí)施例，粉末指的是大于等于I U m且小于等于100 V- m的對(duì)象物。實(shí)施例的具有振動(dòng)部件和/或其驅(qū)動(dòng)電路的設(shè)備可包括諸如照相機(jī)(圖像拾取裝置)、傳真機(jī)、掃描儀、投影儀、復(fù)印機(jī)和打印機(jī)的光學(xué)設(shè)備。例如，在以下的實(shí)施例中，實(shí)施例的振動(dòng)部件和/或其驅(qū)動(dòng)電路被設(shè)置在圖像拾取設(shè)備中。根據(jù)實(shí)施例的一個(gè)公開(kāi)的方面，作為光電轉(zhuǎn)換元件的復(fù)印機(jī)或傳真機(jī)中所使用的諸如CCD和CMOS傳感器或線傳感器的圖像拾取元件被稱為光接收元件。(第一實(shí)施例)根據(jù)第一實(shí)施例，在照相機(jī)中安裝在振動(dòng)部件中激勵(lì)行進(jìn)波以移動(dòng)作為粉末的灰塵的除塵裝置。(照相機(jī)體的配置)圖2A是作為根據(jù)第一實(shí)施例的圖像拾取設(shè)備的數(shù)字單鏡頭反光式照相機(jī)的從被照體側(cè)的正面透視圖，并且示出沒(méi)有成像透鏡的狀態(tài)。圖2B是從攝影者側(cè)的照相機(jī)的背面透視圖。在照相機(jī)體201內(nèi)，設(shè)置鏡箱202，通過(guò)未示出的成像透鏡的成像光束被引導(dǎo)至該鏡箱202。主反射鏡(快返反射鏡)203被設(shè)置在鏡箱202內(nèi)。具有除塵裝置的圖像拾取單元被設(shè)置在通過(guò)未示出的成像透鏡的成像光軸上。主反射鏡203可保持為關(guān)于成像光軸成45°的角度，使得攝影者可通過(guò)取景器接眼窗口 (eye window) 204觀察被照體圖像，或者可保持在避開(kāi)朝圖像拾取元件引導(dǎo)的成像光束的位置。清潔指令開(kāi)關(guān)205被設(shè)置在照相機(jī)的背面，并且，可用于驅(qū)動(dòng)作為除塵裝置的振動(dòng)部件。如果攝影者按壓清潔指令開(kāi)關(guān)205，則指令單元604 (參見(jiàn)圖4)被指示驅(qū)動(dòng)除塵裝置。(除塵裝置的配置)圖3是示出具有作為振動(dòng)部件的除塵裝置的照相機(jī)體201的圖像拾取單元的結(jié)構(gòu)的透視圖。圖像拾取元件503被設(shè)置在照相機(jī)體201的圖像拾取單元中。圖像拾取元件503是將接收的被照體圖像轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的諸如CCD和CMOS傳感器的光接收元件。振動(dòng)部件501被附接為緊密地密封圖像拾取元件503的前表面上的空間。振動(dòng)部件501至少包含作為彈性體的矩形平面光學(xué)部件502，和粘附于光學(xué)部件502的兩端的作為電氣機(jī)械能量轉(zhuǎn)換元件的一對(duì)壓電元件IOla(第一電氣機(jī)械能量轉(zhuǎn)換元件)和壓電元件IOlb(第二電氣機(jī)械能量轉(zhuǎn)換元件)。光學(xué)部件502是諸如覆蓋玻璃、紅外切割濾波器或光學(xué)低通濾波器的具有高的透射率的光學(xué)部件。通過(guò)光學(xué)部件502的光進(jìn)入到圖像拾取元件503。在光學(xué)部件502的兩端的壓電元件IOla和IOlb的沿厚度方向(圖中的垂直方向)的尺寸等于光學(xué)部件502的沿厚度方向(圖中的垂直方向)的尺寸，以增大對(duì)于振動(dòng)的彎曲變形的產(chǎn)生力。當(dāng)不需要特別地區(qū)別時(shí)，壓電元件IOla和IOlb將被簡(jiǎn)稱為壓電元件 101。(控制設(shè)備的配置)圖4示出除塵裝置的控制設(shè)備。控制設(shè)備包含指令單元604、脈沖產(chǎn)生電路603a和603b、開(kāi)關(guān)電路602a和602b、電源電路605和驅(qū)動(dòng)電路601a和601b。來(lái)自指令單元604,作為交流電壓信號(hào)的參數(shù)的頻率信息、相位信息和脈沖寬度信息被傳送到脈沖產(chǎn)生電路603a和603b。例如，脈沖產(chǎn)生電路一般可以是數(shù)字振蕩器。在振動(dòng)部件501中產(chǎn)生的兩個(gè)振動(dòng)模式中的振動(dòng)(面外彎曲振動(dòng))的共振頻率的中間值附近設(shè)定頻率，并且，對(duì)于脈沖產(chǎn)生電路603a和603b設(shè)定相等的頻率。以下將參照?qǐng)D7描述振動(dòng)模式。相互不同的相位值被輸入到脈沖產(chǎn)生電路603a和603b，并被設(shè)定為使得可以輸出交流電壓信號(hào)的不同的相位差(諸如90°的相位差)。脈沖寬度(脈沖占空比)被適當(dāng)?shù)卣{(diào)整以獲取希望的電壓振幅，并且被分別設(shè)定給脈沖產(chǎn)生電路603a和603b。
從脈沖產(chǎn)生電路603輸出的數(shù)字交流電壓信號(hào)被輸入到開(kāi)關(guān)電路602a和602b,并且，基于從電源電路605供給的電壓作為模擬交流電壓Vi被輸出。電源電路可以是一般的DC電源電路或DC-DC轉(zhuǎn)換器電路等。開(kāi)關(guān)電路可以是一般的H橋電路。交流電壓Vi被輸入到驅(qū)動(dòng)電路601a和601b，并且在其電壓振幅被升高并被轉(zhuǎn)換成SIN波形之后作為交流電壓Vo被輸出。輸出的交流電壓Vo被施加到壓電元件IOla和101b，并且，在振動(dòng)部件501中同時(shí)出現(xiàn)兩個(gè)面外彎曲振動(dòng)。合成的振動(dòng)變?yōu)樾羞M(jìn)波，并且，可沿希望的方向移動(dòng)光學(xué)部件502的表面上的灰塵。以下將參照?qǐng)DI描述作為實(shí)施例的特征的驅(qū)動(dòng)電路601a和601b的配置。從脈沖產(chǎn)生電路603輸出的數(shù)字交流電壓信號(hào)被輸入到開(kāi)關(guān)電路602a和602b,并且，基于從電源電路605供給的電壓作為模擬交流電壓Vi被輸出。電源電路可以是一般的DC電源電路或DC-DC轉(zhuǎn)換器電路等。開(kāi)關(guān)電路可以是一般的H橋電路。交流電壓Vi被輸入到驅(qū)動(dòng)電路601a和601b，并且在其電壓振幅升高并被轉(zhuǎn)換成SIN波形之后作為交流電壓No被輸出。交流電壓No被施加到壓電元件IOla和101b，并且，在振動(dòng)部件501中同時(shí)出現(xiàn)兩個(gè)面外彎曲振動(dòng)。合成的振動(dòng)變?yōu)樾羞M(jìn)波，并且，可沿希望的方向移動(dòng)光學(xué)部件502的表面上的灰塵。(驅(qū)動(dòng)頻率的設(shè)定)以下將描述驅(qū)動(dòng)頻率的設(shè)定。圖6A是示出施加到壓電元件101的交流電壓的頻率和在壓電元件101中出現(xiàn)的振動(dòng)的振幅的曲線圖。在圖6A中，f (m)是m次面外彎曲振動(dòng)的共振頻率，并且，f (m+1)是(m+1)次面外彎曲振動(dòng)的共振頻率。如果要施加到壓電元件101上的交流電壓的頻率fd被設(shè)為f (m) < fd < f (m+1)，則獲取頻率fd處的振動(dòng)，該振動(dòng)具有通過(guò)m次面外彎曲振動(dòng)和(m+1)次面外彎曲振動(dòng)的共振現(xiàn)象而擴(kuò)大的振幅。振動(dòng)的時(shí)間周期相等。另一方面，當(dāng)要被施加到壓電元件101上的交流電壓的頻率fd被設(shè)為低于f(m)時(shí)，(m+1)次面外彎曲振動(dòng)的振幅較低。當(dāng)頻率fd被設(shè)為高于f (m+1)時(shí)，m次面外彎曲振動(dòng)的振幅較低。(振動(dòng)模式的描述)圖7是示出在振動(dòng)部件501中激勵(lì)的并且沿縱向面外彎曲的10次面外彎曲振動(dòng)的位移和11次面外彎曲振動(dòng)的位移并且示出壓電元件IOla和IOlb的部置的示意圖。橫軸表示振動(dòng)部件501的縱向位置?？v軸表示面外振動(dòng)位移。在圖7中，10次面外彎曲振動(dòng)作為第一振動(dòng)模式由波形A(實(shí)線)表示，并且，11次面外彎曲振動(dòng)作為第二振動(dòng)模式由波形B (虛線)表示。第一振動(dòng)模式A和第二振動(dòng)模式B是使振動(dòng)部件501沿光學(xué)部件502的厚度方向彎曲變形的面外彎曲振動(dòng)模式。
當(dāng)驅(qū)動(dòng)電路601a和601b向壓電元件IOla和IOlb施加交流電壓Vo時(shí)，第一振動(dòng)模式A和第二振動(dòng)模式B中的振動(dòng)由此在振動(dòng)部件501中同時(shí)出現(xiàn)并且被重疊。根據(jù)本實(shí)施例，最低限度的除灰所需要的振動(dòng)模式是作為第一振動(dòng)模式的10次彎曲振動(dòng)模式和作為第二振動(dòng)模式的11次彎曲振動(dòng)模式。但是，振動(dòng)模式不限于此。與圖像拾取元件503對(duì)應(yīng)的光學(xué)有效區(qū)域是圖7所示的范圍。第一振動(dòng)模式A中的變形形狀在左端和右端具有相反的相位(相位差為180° )。另一方面，第二振動(dòng)模式B中的變形形狀在左端和右端之間同相(相位差為0° )。換句話說(shuō)，如果施加到壓電元件IOla和壓電元件IOlb的交流電壓之間的相位差被設(shè)為180°，則僅出現(xiàn)第一振動(dòng)模式A。另一方面，如果相位差被設(shè)為0°，則僅出現(xiàn)第二振動(dòng)模式B。因此，如果相位差被設(shè)為90°，則可同時(shí)導(dǎo)致第一振動(dòng)模式A和第二振動(dòng)模式B，并且，沿圖7的向右方向可出現(xiàn)得自合成的振動(dòng)的行進(jìn)波。
圖6B示出了用于同時(shí)激勵(lì)不同階次的振動(dòng)模式的要向壓電元件施加的交流電壓的例子。交流電壓Vo I是向壓電元件IOla施加的電壓波形，并且，交流電壓Vo 2是要向壓電元件IOlb施加的電壓波形?？v軸表示電壓振幅，并且，橫軸表示時(shí)間。交流電壓Vo I和Vo 2的頻率在上述的fd處是恒定的，并且，交流電壓之間的相位差是90°。但是，可僅要求交流電壓Vo I和Vo 2具有不同的相位，并且，相位差不限于90°。在除塵裝置中，當(dāng)光學(xué)部件502將粘附于光學(xué)部件502的表面上的灰塵上推出面外時(shí)，灰塵如同它在沿光學(xué)部件502的表面的法線方向的力的作用下彈起一樣移動(dòng)。換句話說(shuō)，當(dāng)驅(qū)動(dòng)頻率周期的各相位中的振動(dòng)部件501的合成振動(dòng)位移的速度為正時(shí)，灰塵被上推出面外，并且，灰塵在該相位中的合成振動(dòng)位移的法線方向的力的作用下移動(dòng)。參照?qǐng)D7，通過(guò)向粘附于光學(xué)部件502的有效區(qū)域的表面的灰塵重復(fù)施加振動(dòng)，灰塵可沿圖7的向右方向移動(dòng)并被去除。(關(guān)于驅(qū)動(dòng)電路的描述LC升壓)參照?qǐng)DIA 1C，將描述第一實(shí)施例的驅(qū)動(dòng)電路。圖IA示出根據(jù)第一實(shí)施例的除塵裝置的驅(qū)動(dòng)電路。驅(qū)動(dòng)電路包含與壓電元件101串聯(lián)連接的電感器102和電容器103。雖然電容器103在圖I中與壓電元件101的下側(cè)連接，但是，它可與上側(cè)連接(連接在電感器102和壓電元件101之間)。如圖IC所示，電阻104可與壓電元件101并聯(lián)連接。電阻104可被設(shè)為使得電流幾乎不流動(dòng)以防止電阻部分中的功耗的IMQ。設(shè)置電阻104可限定電容器103和壓電元件101之間的連接點(diǎn)處的電勢(shì)，從而可在壓電元件兩端施加穩(wěn)定的交流電壓。電感器102可以是諸如線圈的電感元件。電容器103可以是諸如膜電容器的電容元件。實(shí)施例的一個(gè)公開(kāi)的方面的特征在于，電感器102和電容器103的串聯(lián)共振頻率基本上與振動(dòng)部件501的共振頻率匹配(被設(shè)定于將在后面描述的容限內(nèi))。將參照?qǐng)DIB描述壓電元件101的等效電路。圖IB示出壓電元件101的等效電路。壓電元件101的等效電路包含振動(dòng)部件501的機(jī)械振動(dòng)部分的RLC串聯(lián)電路(自感Lm的等效線圈301b、電容Cm的等效電容器301c和電阻值Rm的等效電阻301d)和與該RLC串聯(lián)電路并聯(lián)連接的用作壓電元件101的固有電容Cd的電容器301a。根據(jù)實(shí)施例，電感器102和電容器103的串聯(lián)共振頻率被定義為fs，并且，振動(dòng)部件501的共振頻率被定義為fm。當(dāng)電感器102的自感為L(zhǎng)并且電容器103的電容為C時(shí)，(1-1) fs = 1/(2
(1-2) fm = 1/(2WLmCm)基本上匹配的fs和fm允許fm附近的交流電壓Vo的平緩頻率特性。參照?qǐng)D5，將描述電感器102僅與壓電元件101串聯(lián)連接的過(guò)去的驅(qū)動(dòng)電路的配置。如圖5所示，將電感器102與壓電元件101串聯(lián)連接可通過(guò)壓電元件101的固有電容和電感器102形成LC串聯(lián)共振電路。交流電壓Vi的電壓振幅通過(guò)LC串聯(lián)共振電路升壓到希望的電壓，并且，交流電壓Vo被輸出。圖8示出使用過(guò)去的驅(qū)動(dòng)電路時(shí)的交流電壓Vo的電壓振幅的頻率特性。橫軸表示頻率，并且，縱軸表示電壓振幅。 曲線圖表示當(dāng)電感器102的值從40 ii H向90 ii H變化時(shí)導(dǎo)致的特性。在圖8中，f(m)是m次面外彎曲振動(dòng)的共振頻率，并且，f (m+1)是(m+1)次面外彎曲振動(dòng)的共振頻率。要被施加到壓電元件101的交流電壓Vo的頻率fd被設(shè)為f (m)
<fd < f (m+1)。圖8示出在fm和f (m+1)附近出現(xiàn)交流電壓Vo的振幅改變。隨著電感器102的值增加，電壓振幅的改變?cè)趂m、f (m+1)和fd附近增大。隨著電感器102的值減小，電壓振幅的改變減小。但是，由于減小的電壓升壓率，可能不能獲取希望的電壓振幅。隨著電感器102的值減小，LC串聯(lián)電路的電氣共振頻率fe向更高的頻率偏移。因此，在基波上重疊驅(qū)動(dòng)頻率fd的諧波成分，從而使波形畸變。大的波形畸變可在振動(dòng)部件501中激勵(lì)不必要的振動(dòng)。與過(guò)去的例子類似，在fm或f (m+1)附近出現(xiàn)交流電壓Vo的振幅改變的原因在于，振動(dòng)部件501的機(jī)械振動(dòng)部分的自感Lm和電容Cm導(dǎo)致阻抗改變。另一方面，根據(jù)實(shí)施例，對(duì)于振動(dòng)部件501的機(jī)械振動(dòng)部分中的阻抗匹配，fs和fm基本上匹配。作為結(jié)果，交流電壓Vo的振幅改變可減小。并且，fm附近的交流電壓Vo的平緩頻率特性會(huì)減小導(dǎo)納(等效電阻301d)的改變和/或由于電感器102和電容器103的變化導(dǎo)致的交流電壓Vo的改變。由于振動(dòng)部件501的機(jī)械振動(dòng)部分的阻抗匹配，因此，頻率特性幾乎不受fm附近的元素的振動(dòng)影響。(仿真結(jié)果實(shí)施例和過(guò)去的例子之間的電壓振幅和電流的比較)圖9A和圖9B示出描述當(dāng)電感器102和電容器103的串聯(lián)共振頻率f s基本上與振動(dòng)部件501的共振頻率fm匹配時(shí)的交流電壓Vo的頻率特性的仿真結(jié)果。根據(jù)本實(shí)施例，驅(qū)動(dòng)電路具有圖IA中的配置。本實(shí)施例的振動(dòng)部件501具有兩個(gè)面外彎曲振動(dòng)，并且共振頻率fm包含f(m)和f(m+l)兩者。根據(jù)本實(shí)施例，串聯(lián)共振頻率fs根據(jù)共振頻率f(m)被設(shè)為fs = 0. 83 * f(m)。在理想情況下，fs和fm完全匹配。但是，由于升高電壓振幅的電壓升壓率是困難的，因此，fs被設(shè)為比f(wàn)m低的值。基于計(jì)算，當(dāng)fs比f(wàn)m低時(shí)，電壓升壓率趨于增加。當(dāng)fs高于fm時(shí)，電壓升壓率趨于減小。雖然串聯(lián)共振頻率fs與f(m)匹配，但是，當(dāng)它是f (m+1)附近的頻率時(shí)，可獲取希望的效果。在此仿真中，等效線圈301b的自感Lm被設(shè)為0. 04H，并且，等效電容器301c的電容Cm被設(shè)為44pF。f(m)被設(shè)為120kHz，并且，f (m+1)被設(shè)為128kHz，并且，驅(qū)動(dòng)頻率fd被設(shè)為123kHz。電感器102的自感L被設(shè)為82 U H，并且，電容器103的電容C被設(shè)為31nF (fs=0. 83 * fm)。對(duì)于被設(shè)為68 ii H的電感器102和被設(shè)為42nF(fs = 0. 79 * fm)的電容器103的曲線也被示出，盡管它們重疊。作為比較例，還示出過(guò)去的例子，其中，當(dāng)使用圖5中的驅(qū)動(dòng)電路的配置時(shí)，電感器102被設(shè)為68 u H0(穩(wěn)定化電壓)
圖9A示出要饋送到驅(qū)動(dòng)電路的電流振幅的頻率特性。圖9B示出交流電壓Vo的電壓振幅的頻率特性。如圖9A和圖9B所示，fs和fm之間的基本匹配可提供f (m)和f (m+1)附近的交流電壓Vo的平緩頻率特性。換句話說(shuō)，穩(wěn)定的電壓被應(yīng)用于振動(dòng)部件501的共振頻率的改變，這會(huì)減少驅(qū)動(dòng)電流的改變。例如，當(dāng)在驅(qū)動(dòng)期間共振頻率f (m+1)隨著時(shí)間減小時(shí),在過(guò)去的例子中，交流電壓的振幅增加,并且驅(qū)動(dòng)電流增加。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例,改變可被減小?？梢允褂秒姼衅?02與作為電容器103和壓電元件101的固有電容的電容器301a的電氣共振，以將交流電壓Vo的振幅設(shè)為在一定的頻率下具有峰值。將交流電壓Vo的峰值頻率定義為fe并將fe設(shè)為比f(wàn)m高的頻率可即使當(dāng)振動(dòng)部件501的驅(qū)動(dòng)頻率fd在fm到fe的頻帶中改變時(shí)仍提供具有較小的電壓改變的頻率特性。根據(jù)本實(shí)施例，所有的峰值頻率fe被設(shè)為180到200kHz的范圍。(減少導(dǎo)納改變的影響) 圖IOA和圖IOB示出交流電壓Vo的改變的減小的效果。圖IOA和圖IOB示出交流電壓Vo根據(jù)導(dǎo)納的改變?nèi)绾胃淖兊挠?jì)算的仿真結(jié)果。通過(guò)將等效電阻301d的值從基準(zhǔn)值的10%改變到基準(zhǔn)值的100%，計(jì)算導(dǎo)納的改變。隨著等效電阻減小，導(dǎo)納增大。圖IOA示出過(guò)去的例子，圖IOB示出本實(shí)施例。圖IOA和圖IOB示出，本實(shí)施例將導(dǎo)納的改變的影響減小至過(guò)去的例子的約20%。(減少歸因于L和C和Cd的變化的影響)圖IlA和圖IlB示出交流電壓Vo如何根據(jù)電感器102、電容器103和壓電元件101的固有電容的變化而改變的仿真結(jié)果。當(dāng)電感器102的自感L的變化為±20%、電容器103的電容C的變化為±10%并且作為壓電元件101的固有電容Cd的電容器301a的變化為±10%時(shí),通過(guò)蒙特卡洛(Monte Carlo)方法在均勻的分布上執(zhí)行隨機(jī)數(shù)計(jì)算。圖IlA示出過(guò)去的例子,并且，圖IlB示出本實(shí)施例。根據(jù)本實(shí)施例，包含壓電元件101的整個(gè)驅(qū)動(dòng)電路的元件的變化的影響被減小到過(guò)去的例子的約70%。(減小電流增加)實(shí)際通過(guò)本實(shí)施例的驅(qū)動(dòng)電路驅(qū)動(dòng)振動(dòng)部件501，并且，比較電源電流。圖12示出電源電流相對(duì)于驅(qū)動(dòng)時(shí)間的改變的測(cè)量結(jié)果。使用的電源為12VDC電源。在過(guò)去的例子的驅(qū)動(dòng)電路中，在20秒之后，電源電流增加為初始值的約兩倍。在本實(shí)施例的驅(qū)動(dòng)電路中，增加為約40%。因此,功耗可減小。(fs和fm之間的關(guān)系的可接受范圍)下面，將描述與壓電元件101串聯(lián)連接的電感器102和電容器103的串聯(lián)共振頻率fs與振動(dòng)部件501的共振頻率fm之間的關(guān)系的可接受范圍(fs和fm之間的基本上匹配的范圍)。根據(jù)本實(shí)施例，fm和fs完全匹配。但是，實(shí)施例不限于fs和fm完全匹配的情況。換句話說(shuō)，對(duì)于fm附近的交流電壓Vo的平緩頻率特性，fs和fm可被設(shè)為在一定某范圍內(nèi)的接近的值。但是，隨著fs和fm之間的差減小，效果增加。根據(jù)實(shí)施例，為了獲取fs的有效范圍，關(guān)注壓電元件101的共振頻率fm附近的交流電壓Vo的相位改變。圖14A示出說(shuō)明交流電壓Vo的相位的仿真結(jié)果。橫軸表示頻率。圖14A示出40kHz到48kHz的Vo的相位的改變，這里，共振頻率fm為44. 142kHz。在這種仿真中，使用圖IA的驅(qū)動(dòng)電路。電感器102和電容器103的串聯(lián)共振頻率fs與fm(fs/fm)之比在0. 73 1.2的范圍中改變，并且，繪制出改變的比。這里，L和C的值被調(diào)整為使得峰值頻率fe可總是為61. 798kHz ( = I. 4 * fm)，并且，fs/fm改變。由于Vo的振幅根據(jù)fe的值在振動(dòng)部件501的共振頻率fm附近大大改變，因此，峰值頻率fe被保持恒定。對(duì)于過(guò)去的比較基準(zhǔn)配置，對(duì)于計(jì)算使用圖5中的電路，并且，繪制出計(jì)算結(jié)果。這種情況下的電感器102的自感L為I. 97mH，并且，交流電壓Vo的峰值頻率fe被設(shè)為61. 798kHz ( = 1. 4 * fm)。圖14A示出，過(guò)去的例子的配置的Vo具有延遲多達(dá)60°的相位。另一方面，如果fs/fm = 1，則Vo幾乎不具有相位改變。如果fs/fm = 1，則電感器102的自感L為4. 17mH，并且，電容器103的電容C為3. 12nF。存在隨著fs/fm < I的滿足程度增加向負(fù)側(cè)的相位改變?cè)黾拥内厔?shì)。隨著fs/fm > I的滿足程度增加，向正側(cè)的相位改變?cè)黾印榱藱z查圖14A中的交流電壓Vo的相位改變和交流電壓Vo的振幅改變之間的關(guān)系，圖14B示出描述根據(jù)頻率的交流電壓Vo的改變的仿真結(jié)果。仿真條件與圖14A相同，并且，比較并繪制出對(duì)于在0. 73 I. 2的范圍中改變的fs/fm的和過(guò)去的例子的配置的仿真結(jié)果。圖14B所示的相位的改變量和圖14A所示的電壓的改變量的趨勢(shì)對(duì)應(yīng)。換句話說(shuō)，隨著Vo的相位的改變?cè)黾樱琕o的振幅的改變?cè)黾?。圖15示出根據(jù)fs/fm的改變的相位改變量與過(guò)去的例子的配置的比例的仿真結(jié)果。橫軸表示作為fs與振動(dòng)部件501的共振頻率fm的比的fs/fm。縱軸表示相位改變量與過(guò)去的例子的配置的比并且被計(jì)算如下。首先，在40kHz 48kHz的范圍中計(jì)算在使用過(guò)去的例子的配置時(shí)的Vo的相位改變量的絕對(duì)值，并且，檢測(cè)最大值。這被稱為“過(guò)去的配置的相位的最大改變量”。然后，基于圖IA中的配置，通過(guò)使用fs/fm作為參數(shù)在40kHz 48kHz的范圍中計(jì)算Vo的相位的改變量的絕對(duì)值，并且，檢測(cè)最大值。這被稱為“根據(jù)fs/fm的最大改變量”。相位改變量與過(guò)去的例子的配置的比可通過(guò)由如下計(jì)算它們之間的比所獲取的縱軸被表達(dá)“根據(jù)fs/fm的最大改變量”/ “過(guò)去的配置的相位的最大改變量”。根據(jù)實(shí)施例，如圖15所示，相位改變量為過(guò)去的例子的配置的一半的條件被定義為閾值，并且，獲取可獲取fm附近的交流電壓Vo的平緩頻率特性的范圍。作為結(jié)果，可獲取fs/fm的效果的范圍為0. 73 * fm < fs < I. 2 * fm在峰值頻率fe為61. 798kHz ( = I. 4 * fm)、壓電元件101的電容器301a的固有電容Cd為3. 5nF的情況下計(jì)算出該范圍。但是，即使當(dāng)峰值頻率fe和/或固有電容Cd的值改變時(shí)，也可獲取基本上等同的計(jì)算結(jié)果。也在壓電元件101中的等效線圈301b的自感LmSO. 1H、等效電容器301c的電容Cm為130pF并且等效電阻301d的電阻Rm的值為IkQ的情況下計(jì)算出該范圍?；谠摲秶c過(guò)去相比，交流電壓Vo的相位差的改變量可減小為一半或更小，使得Vo的改變量可基本上減小到一半或更小。換句話說(shuō)，即使在fs和fm之間不存在完全匹配，與以前相比，滿足上述的fs和fm之間的關(guān)系也可提供fm附近的交流電壓No的更平緩的頻率特性。(如何確定電感器102和電容器103的值)下面，將描述如何確定電感器102和電容器103的值。由于串聯(lián)共振頻率fs依賴于電感器102的電感L和電容器103的電容C的積，因此，許多組合可定義相同的fs。另一方面，交流電壓Vo的峰值頻率fe可首先被確定以獲取ー個(gè)組合?？蓮碾姼衅?02的電感L、電容器103的電容C和壓電元件101的固有電容Cd計(jì)算Vo的峰值頻率fe。峰值頻率fe可被表達(dá)式1-3表達(dá)
jfI~ハ"、為了計(jì)算實(shí)際的峰值頻率fe，壓電元件101被等效地視為電容器，并且，使用考慮 了機(jī)械振動(dòng)部分的RLC串聯(lián)電路的影響的Cd'。例如，當(dāng)機(jī)械振動(dòng)部分的RLC串聯(lián)電路的影響與44pF的電容量改變對(duì)應(yīng)時(shí)，對(duì)于計(jì)算可以使用下式Cd' = Cd-44pF可通過(guò)從峰值頻率fe的表達(dá)式確定fe的值來(lái)獲取L和C的函數(shù)。圖16示出根據(jù)峰值頻率fe的電感器102的電感L與電容器103的電容C之間的關(guān)系。橫軸表示C的值，并且，縱軸表示L的值。繪制在fe為I. 4 * fm、l. 5 * fm和2 * fm的情況下從(表達(dá)式1-3)獲取的L和C的值。還示出L和C的積LC為L(zhǎng)mCm時(shí)、即串聯(lián)共振頻率fs與fm匹配時(shí)的曲線。如上所述，Lm表示等效線圈301d的自感,并且Cm表示等效電容器301c的電容。參照?qǐng)D16，固定fe時(shí)的電感器和電容器的函數(shù)在一個(gè)點(diǎn)與LC = LmCm的函數(shù)相交。該點(diǎn)表示在fs與fm匹配的情況下電感L和電容C的最佳值。例如，fe為I. 4 * fm,L 為 4. 17mH,并且，C 為 3. 12nF。下面將描述fe的值。根據(jù)實(shí)施例，峰值頻率fe的條件優(yōu)選被設(shè)定以滿足以下的關(guān)系fe < 2 * fd這里，振動(dòng)部件501的驅(qū)動(dòng)頻率為fd。下面將描述原因。圖13示出滿足fe < 2 * fd時(shí)的交流電壓Vo的頻率特性。2 * fd為驅(qū)動(dòng)頻率fd的二次諧波頻率。交流電壓Vo的波形優(yōu)選為具有盡可能小的二次諧波成分和/或三次諧波成分的SIN波形。由于實(shí)際裝置中的交流電壓Vo的驅(qū)動(dòng)波形被調(diào)整為具有10% 50%的脈沖占空比，因此，可能特別地需要減小三次諧波成分。峰值頻率fe可被設(shè)為小于2女fd的值，以減小三次諧波成分的頻率2 * fd的交流電壓Vo的振幅以低于驅(qū)動(dòng)頻率fd。例如，當(dāng)驅(qū)動(dòng)頻率fd為46kHz時(shí)，2 * fd為92kHz。在這種情況下，當(dāng)電感器102的電感L被設(shè)為4mH并且電容器103的電容C被設(shè)為3. 25nF時(shí)，峰值頻率fe為61. 3kHz，這可滿足該條件。(第二實(shí)施例)以下將描述第二實(shí)施例。本實(shí)施例與第一實(shí)施例的不同在干，對(duì)于電壓升壓使用變壓器。作為振動(dòng)部件的除塵裝置的配置以及振動(dòng)模式與第一實(shí)施例相同，并且，以下將僅描述驅(qū)動(dòng)電路。(驅(qū)動(dòng)電路的描述/變壓器電壓升壓)圖17A示出根據(jù)第二實(shí)施例的除塵裝置的驅(qū)動(dòng)電路。在驅(qū)動(dòng)電路的配置中，變壓器401的二次線圈401b與壓電元件101并聯(lián)連接。電容器103與變壓器401的變壓器一次線圈401a串聯(lián)連接。電容器103可以是諸如膜電容器的電容元件。弱化變壓器401的耦合使得能夠使用變壓器一次線圈401a的泄漏電感和變壓器二次線圈401b的泄漏電感作為電感器。圖17A等效地將泄漏電感示為電感器102a (變壓器一次線圈40Ia的泄漏電感)和102b (變壓器二次線圈401b的泄漏電感)。兩個(gè)泄漏電感和電容器103形成串聯(lián)共振。雖然電容器103在圖17A中與變壓器一次線圈401a的下側(cè)連接，但是，它可與上側(cè)連接(連接在電感器102a和變壓器一次線圈401a之間)。一次側(cè)的泄漏電感102a、二次側(cè)的泄漏電感102b和電容器103的串聯(lián)共振頻率被定義為fS，并且振動(dòng)部件501的共振頻率被定義fm,它們可由表達(dá)式2-1和2-2表達(dá)。 (2-1) fs = l/[ 2πΑ/{ 1 +(L2/NzJjcj(2-2) fm = l/|^>/LmCm)這里，變壓器一次線圈401a的泄漏電感102a為L(zhǎng)1，變壓器二次線圈401b的泄漏電感102b為L(zhǎng)2, 二次線圈401b與一次線圈401a的匝數(shù)比為N，并且，電容器103為C。如上所述，Lm和Cm是壓電元件101的機(jī)械振動(dòng)的等效電路常數(shù)。Lm是等效線圈301b的自感，并且Cm是等效電容器301c的電容。與第一實(shí)施例類似,在串聯(lián)共振頻率fs與振動(dòng)部件501的共振頻率fm之間不存在完全的匹配的情況下，通過(guò)將fs設(shè)為在以下的范圍中接近fm的值，可在fm附近獲取交流電壓Vo的平緩頻率特性O(shè). 73 * fm < fs < I. 2 * fm在使用變壓器的配置中，fs的計(jì)算表達(dá)式中的關(guān)于LC的系數(shù)根據(jù)電感器102和電容器103與變壓器的一次側(cè)和二次側(cè)中的哪ー側(cè)連接而不同。配置可大致分成以下的四種類型。(I)LC與變壓器的一次側(cè)連接的配置(2) LC與變壓器的二次側(cè)連接的配置(3)L和C分別與變壓器的一次側(cè)和變壓器的二次側(cè)連接的配置(4)C和L分別與變壓器的一次側(cè)和變壓器的二次側(cè)連接的配置在⑴和⑵中，涉及LC的系數(shù)為I。另ー方面，系數(shù)在(3)中為N2女LC0這是由于，一次側(cè)的L在被換算到二次側(cè)時(shí)與變壓器的匝數(shù)比N的平方對(duì)應(yīng)。系數(shù)在(4)中為(1/N2) * LC0這是由于，一次側(cè)的C在被換算到二次側(cè)時(shí)與匝數(shù)比N的平方的倒數(shù)對(duì)應(yīng)。如何確定電感器102和電容器103的值與第一實(shí)施例相同。換句話說(shuō)，通過(guò)首先確定交流電壓Vo的峰值頻率fe，可以獲取ー個(gè)組合。峰值頻率fe被設(shè)為滿足以下的關(guān)系fe < 2 * fd這里，與第一實(shí)施例類似，振動(dòng)部件501的驅(qū)動(dòng)頻率為fd。(第二實(shí)施例的第一變型例子)圖17B示出第二實(shí)施例中的除塵裝置的驅(qū)動(dòng)電路的第一變型例子。在驅(qū)動(dòng)電路的配置中，變壓器401的二次線圈401b與壓電元件101并聯(lián)連接，并且，電感器102和電容器103與變壓器一次線圈401a串聯(lián)連接。在電感器102和電容器103與變壓器一次線圈401a串聯(lián)連接的情況下，可以實(shí)現(xiàn)除圖17B所示的配置以外的其它配置。電感器102可與變壓器401的一次側(cè)連接，使得與電感器與二次側(cè)連接的情況相比，可以使用具有小至1/N2的電感值的元件。在這種情況下，N是匝數(shù)比。電容器103可與變壓器401的一次側(cè)連接，使得與電容器與二次側(cè)連接的情況相比，可以使用具有1/N的耐受電壓的元件。串聯(lián)共振頻率fs可由表達(dá)式2-3表達(dá)
權(quán)利要求
1.一種振動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)電路，所述振動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)電路通過(guò)向至少包含電氣機(jī)械能量轉(zhuǎn)換元件和彈性體的振動(dòng)部件中的固定于所述彈性體的所述電氣機(jī)械能量轉(zhuǎn)換元件施加交流電壓而在所述振動(dòng)部件中導(dǎo)致振動(dòng)，所述振動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)電路包含與所述電氣機(jī)械能量轉(zhuǎn)換元件串聯(lián)連接的電感器和電容器，其中，滿足 O. 73 * fm < fs < I. 2 * fm,這里，fs是所述電感器和所述電容器的串聯(lián)共振頻率，并且，fm是所述振動(dòng)部件的共振頻率。
2.一種振動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)電路，所述振動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)電路通過(guò)向至少包含電氣機(jī)械能量轉(zhuǎn)換元件和彈性體的振動(dòng)部件中的固定于所述彈性體的所述電氣機(jī)械能量轉(zhuǎn)換元件施加交流電壓而在所述振動(dòng)部件中導(dǎo)致振動(dòng)，所述振動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)電路包含變壓器，具有被施加交流電壓的一次線圈和與所述電氣機(jī)械能量轉(zhuǎn)換元件并聯(lián)連接的二次線圈；和在所述變壓器的一次側(cè)和二次側(cè)中的至少一側(cè)與所述電氣機(jī)械能量轉(zhuǎn)換元件串聯(lián)連接的電感器和在所述變壓器的一次側(cè)和二次側(cè)中的至少一側(cè)與所述電氣機(jī)械能量轉(zhuǎn)換元件串聯(lián)連接的電容器，其中，滿足 O. 73 * fm < fs < I. 2 * fm,這里，fs是所述電感器和所述電容器的串聯(lián)共振頻率，并且，fm是所述振動(dòng)部件的共振頻率。
3.根據(jù)權(quán)利要求2的振動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)電路，其中，所述電感器是所述變壓器的泄漏電感。
4.根據(jù)權(quán)利要求I或2的振動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)電路，其中，滿足fe< 2 * fd，這里，fe是施加到所述電氣機(jī)械能量轉(zhuǎn)換元件的交流電壓的峰值頻率，并且，fd是所述振動(dòng)部件的驅(qū)動(dòng)頻率。
5.根據(jù)權(quán)利要求I或2的振動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)電路，其中，所述振動(dòng)部件具有彈性體以及固定于彈性體的第一電氣機(jī)械能量轉(zhuǎn)換元件和第二電氣機(jī)械能量轉(zhuǎn)換元件，并且，帶有具有如下這樣的頻率和不同的相位的波形的交流電壓被施加到第一電氣機(jī)械能量轉(zhuǎn)換元件和第二電氣機(jī)械能量轉(zhuǎn)換元件，該頻率在所述振動(dòng)部件中產(chǎn)生重疊不同階次的第一振動(dòng)模式的振動(dòng)和第二振動(dòng)模式的振動(dòng)的振動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求I或2的振動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)電路，其中，要在所述振動(dòng)部件中產(chǎn)生的不同階次的第一振動(dòng)模式的振動(dòng)和第二振動(dòng)模式的振動(dòng)以時(shí)間間隔偏移。
7.根據(jù)權(quán)利要求I或2的振動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)電路，其中，在所述振動(dòng)部件中產(chǎn)生振動(dòng)使所述振動(dòng)部件上的粉末移動(dòng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7的振動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)電路，其中，粉末是灰塵，并且，所述振動(dòng)部件上的灰塵被移動(dòng)并被去除。
9.一種光學(xué)設(shè)備，包括根據(jù)權(quán)利要求I或2的振動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)電路、要由所述振動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)電路驅(qū)動(dòng)的振動(dòng)部件、和設(shè)置在穿過(guò)所述振動(dòng)部件的所述彈性體的光的入射位置處的光接收元件。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了振動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)電路。一種振動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)電路在至少包含電氣機(jī)械能量轉(zhuǎn)換元件和彈性體的振動(dòng)部件中通過(guò)向固定于所述彈性體上的所述電氣機(jī)械能量轉(zhuǎn)換元件施加交流電壓而導(dǎo)致振動(dòng)。振動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)電路包含與電氣機(jī)械能量轉(zhuǎn)換元件串聯(lián)連接的電感器和電容器。滿足0.73＊fm＜fs＜1.2＊fm，這里，fs是電感器和電容器的串聯(lián)共振頻率，并且，fm是振動(dòng)部件的共振頻率。
文檔編號(hào)B06B1/06GK102615069SQ20121001988
公開(kāi)日2012年8月1日 申請(qǐng)日期2012年1月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月28日
發(fā)明者住岡潤(rùn) 申請(qǐng)人:佳能株式會(huì)社