專(zhuān)利名稱(chēng)：高溫真空爐的測(cè)溫裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及溫度測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種高溫真空爐的測(cè)溫裝置。
背景技術(shù)：
高溫真空爐在現(xiàn)代工業(yè)中應(yīng)用于很多場(chǎng)合，其內(nèi)部溫度的控制與生產(chǎn)出的產(chǎn)品質(zhì)量休戚相關(guān)，因此，對(duì)高溫真空爐的爐溫測(cè)量、監(jiān)控是控制產(chǎn)品質(zhì)量的重要手段。常用的測(cè)量高溫真空爐的方法是利用紅外測(cè)溫儀，透過(guò)測(cè)溫玻璃采集高溫真空爐的溫度信號(hào)。以藍(lán)寶石單晶爐為例，藍(lán)寶石單晶爐是一種用于藍(lán)寶石單晶生長(zhǎng)的常用設(shè)備，通常包括坩堝和加熱器，加熱器通電后，將在坩堝外部形成溫度場(chǎng)，溫度場(chǎng)對(duì)坩堝進(jìn)行加熱。 泡生法藍(lán)寶石單晶生長(zhǎng)中，加熱溫度的變化對(duì)晶體的生長(zhǎng)影響很大，最佳的引晶溫度、合適的降溫控制程序都有利于提高晶體的生長(zhǎng)質(zhì)量，晶體生長(zhǎng)速率會(huì)隨著加熱溫度的降低而快速增加。制定適合晶體生長(zhǎng)的降溫程序，沒(méi)有一定的溫度測(cè)量技術(shù)做參考，晶體品質(zhì)很難保證。因此，采用紅外測(cè)溫儀測(cè)量坩堝的溫度。但是，在藍(lán)寶石單晶生長(zhǎng)過(guò)程中，藍(lán)寶石單晶爐的溫度較高，其主體及附件內(nèi)的金屬揮發(fā)物容易凝結(jié)在溫度較低的測(cè)溫玻璃表面，遮擋紅外測(cè)溫儀有效測(cè)量用光波，使紅外測(cè)溫儀讀數(shù)失真。為了提高溫度測(cè)量的準(zhǔn)確性，通常采用少量惰性氣體吹掃測(cè)溫玻璃，并每隔一到兩個(gè)生長(zhǎng)周期更換測(cè)溫玻璃。這樣的生產(chǎn)模式存在兩個(gè)弊端1)增加運(yùn)營(yíng)成本，由于爐內(nèi)通惰性氣體，產(chǎn)生對(duì)流換熱，造成較大的熱量損失，加熱器功率相應(yīng)提高，增加能耗成本；2)定期更換測(cè)溫玻璃，增加了藍(lán)寶石單晶爐的維護(hù)成本。上述弊端均不同程度地增加了高溫爐的生產(chǎn)成本，因此，如何在確保溫度測(cè)量準(zhǔn)確性的基礎(chǔ)上，降低高溫爐的生產(chǎn)成本和維護(hù)難度，是本領(lǐng)域技術(shù)人員目前需要解決的技術(shù)問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種高溫真空爐的測(cè)溫裝置，該測(cè)溫裝置在不影響溫度測(cè)量準(zhǔn)確性的基礎(chǔ)上，降低了高溫真空爐的能耗成本和維護(hù)成本，從而有效降低了高溫真空爐的生產(chǎn)成本。為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明提供一種高溫真空爐的測(cè)溫裝置，包括透光部件和紅外測(cè)溫儀，還包括擋板和驅(qū)動(dòng)所述擋板遮擋或遠(yuǎn)離所述透光部件的動(dòng)力部件，以及設(shè)于所述高溫真空爐和所述紅外測(cè)溫儀之間的支架，該支架設(shè)有真空通道，所述透光部件設(shè)于真空通道的入口處，所述擋板設(shè)于所述真空通道的內(nèi)部；所述動(dòng)力部件的固定部與所述支架固定連接，活動(dòng)部與所述擋板固定連接。優(yōu)選地，所述動(dòng)力部件具體為氣缸；該氣缸的缸筒的與所述支架固定連接，缸桿與所述擋板固定連接。 優(yōu)選地，所述真空通道具有側(cè)孔，所述缸桿從所述側(cè)孔進(jìn)入所述真空通道，所述缸筒設(shè)于所述真空通道的外側(cè)。優(yōu)選地，所述透光部件具體為測(cè)溫玻璃。優(yōu)選地，還包括設(shè)于所述擋板前側(cè)的降溫組件，該降溫組件與所述支架固定連接。優(yōu)選地，所述降溫組件環(huán)繞所述真空通道，且與所述真空通道的外壁固定連接。優(yōu)選地，所述降溫組件包括與所述真空通道的外壁固定連接的冷卻水通道，冷卻水沿所述冷卻水通道流通。本發(fā)明所提供的高溫真空爐的測(cè)溫裝置，包括透光部件和紅外測(cè)溫儀，與技術(shù)不同的是，該測(cè)溫裝置還包括擋板和驅(qū)動(dòng)所述擋板遮擋或遠(yuǎn)離所述透光部件的動(dòng)力部件，以及設(shè)于所述高溫真空爐和所述紅外測(cè)溫儀之間的支架，該支架設(shè)有真空通道，所述透光部件設(shè)于真空通道的入口處，所述擋板設(shè)于所述真空通道的內(nèi)部；所述動(dòng)力部件的固定部與所述支架固定連接，活動(dòng)部與所述擋板固定連接。需要測(cè)量高溫真空爐的溫度時(shí)，動(dòng)力部件的活動(dòng)部帶動(dòng)與之固定連接的擋板，使擋板遠(yuǎn)離透光部件，不再隔斷透光部件與高溫真空爐，使紅外測(cè)溫儀能通過(guò)透光部件正常工作；不需要測(cè)量溫度時(shí)，動(dòng)力部件的活動(dòng)部帶動(dòng)擋板，使擋板設(shè)于透光部件的前側(cè)，隔離透光部件和高溫真空爐，避免高溫真空爐的爐體及附件在高溫條件下的揮發(fā)物凝結(jié)在透光部件上，提高溫度測(cè)量的準(zhǔn)確性；同時(shí)減少透光部件被污染的可能性，從而延長(zhǎng)透光部件的使用壽命，降低透光部件的維護(hù)頻次和高溫真空爐的維護(hù)成本。另外，利用擋板遮擋透光部件后，不再需要用惰性氣體吹掃透光部件，減少對(duì)流換熱，可以減小能量損失、降低能耗成本，從而降低高溫真空爐的生產(chǎn)成本。在一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述動(dòng)力部件具體為氣缸；該氣缸的缸筒的與所述支架固定連接，缸桿與所述擋板固定連接。向氣缸充氣和從氣缸中放氣時(shí)，缸桿均會(huì)帶動(dòng)擋板移動(dòng)，使擋板遮擋透光部件或遠(yuǎn)離透光部件，實(shí)現(xiàn)對(duì)透光部件的保護(hù)。氣缸是常用的動(dòng)力部件，易于采購(gòu)，可以降低測(cè)溫裝置的成本。在另一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，還包括設(shè)于所述擋板前側(cè)的降溫組件，該降溫組件與所述支架固定連接。降溫組件可以對(duì)真空通道降溫，使真空通道中的溫度降低，金屬揮發(fā)物經(jīng)過(guò)真空通道時(shí)，會(huì)遇冷凝結(jié)在真空通道的內(nèi)壁中，而降溫組件設(shè)于擋板的前側(cè)，可以降低揮發(fā)物到達(dá)擋板的數(shù)量，能到達(dá)透光部件的揮發(fā)物更少，這樣，透光部件被揮發(fā)物污染的幾率進(jìn)一步降低，透光部件的作用壽命進(jìn)一步得到提高，高溫真空爐的維護(hù)成本進(jìn)一步降低。


圖1為本發(fā)明所提供高溫真空爐的測(cè)溫裝置一種具體實(shí)施方式
的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1所示測(cè)溫裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為圖1所示測(cè)溫裝置的俯視圖；圖4為圖3所示測(cè)溫裝置的A-A剖視圖；其中，圖中透光部件1、紅外測(cè)溫儀2、擋板3、動(dòng)力部件4、支架5、真空通道51、冷卻水通道6。
具體實(shí)施方式
本發(fā)明的核心是提供一種高溫真空爐的測(cè)溫裝置，該測(cè)溫裝置在不影響溫度測(cè)量準(zhǔn)確性的基礎(chǔ)上，降低了高溫真空爐的能耗成本和維護(hù)成本，從而有效降低了高溫真空爐的生產(chǎn)成本。為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本發(fā)明方案，下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。請(qǐng)參考圖1至圖4，圖1為本發(fā)明所提供高溫真空爐的測(cè)溫裝置一種具體實(shí)施方式
的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1所示測(cè)溫裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為圖1所示測(cè)溫裝置的俯視圖；圖4為圖3所示測(cè)溫裝置的A-A剖視圖。本發(fā)明所提供的高溫真空爐的測(cè)溫裝置，包括透光部件1和紅外測(cè)溫儀2，與技術(shù)不同的是，該測(cè)溫裝置還包括擋板3和驅(qū)動(dòng)擋板3遮擋或遠(yuǎn)離透光部件1的動(dòng)力部件4，以及設(shè)于高溫真空爐和紅外測(cè)溫儀2之間的支架5，該支架5設(shè)有真空通道51，透光部件1設(shè)于真空通道51的入口處，擋板3設(shè)于真空通道51的內(nèi)部；動(dòng)力部件4的固定部與支架5固定連接，活動(dòng)部與擋板3固定連接。需要測(cè)量高溫真空爐的溫度時(shí)，動(dòng)力部件4的活動(dòng)部帶動(dòng)與之固定連接的擋板3， 使擋板3遠(yuǎn)離透光部件1，不再隔斷透光部件1與高溫真空爐，使紅外測(cè)溫儀2能通過(guò)透光部件1正常工作；不需要測(cè)量溫度時(shí)，動(dòng)力部件4的活動(dòng)部帶動(dòng)擋板3，使擋板3設(shè)于透光部件1的前側(cè)，隔離透光部件1和高溫真空爐，避免高溫真空爐的爐體及附件在高溫條件下的揮發(fā)物凝結(jié)在透光部件1上，提高溫度測(cè)量的準(zhǔn)確性；同時(shí)減少透光部件1被污染的可能性，從而延長(zhǎng)透光部件1的使用壽命，降低透光部件1的維護(hù)頻次和高溫真空爐的維護(hù)成本。另外，利用擋板3遮擋透光部件1后，不再需要用惰性氣體吹掃透光部件1，減少對(duì)流換熱，可以減小能量損失、降低能耗成本，從而降低高溫真空爐的生產(chǎn)成本。顯然，本文所述的前側(cè)，是以沿著紅外測(cè)溫儀測(cè)溫時(shí)光線的方向，由前至后依次為高溫真空爐、擋板3、透光部件1和紅外測(cè)溫儀2。應(yīng)當(dāng)理解，本文所用的方位詞不應(yīng)該限定本發(fā)明的保護(hù)范圍。在一種具體的實(shí)施方式中，動(dòng)力部件4可以為氣缸；該氣缸的缸筒的與支架5固定連接，缸桿與擋板3固定連接。向氣缸充氣和從氣缸中放氣時(shí)，缸桿均會(huì)帶動(dòng)擋板3移動(dòng)， 使擋板3遮擋透光部件1或遠(yuǎn)離透光部件1，實(shí)現(xiàn)對(duì)透光部件1的保護(hù)。氣缸是常用的動(dòng)力部件4，易于采購(gòu)，可以降低測(cè)溫裝置的成本。顯然，動(dòng)力部件4也可以是液壓缸或其它能實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)擋板3動(dòng)作的結(jié)構(gòu)。需要說(shuō)明的是，本文所述的遮擋和遠(yuǎn)離透光部件1，可以是擋板3在一個(gè)平面內(nèi)滑動(dòng)，在某一個(gè)位置時(shí)恰好能隔離高溫真空爐和透光部件1，到另一位置時(shí)紅外測(cè)溫儀2能透過(guò)透光部件1，測(cè)量高溫真空爐的溫度；擋板3也可以繞一個(gè)軸旋轉(zhuǎn)，例如沿?fù)醢?的下表面，當(dāng)氣缸充氣后，擋板3繞中心軸順時(shí)針旋轉(zhuǎn)90度或更多，使擋板3與紅外測(cè)溫儀2測(cè)量時(shí)的光線路線平行，可以對(duì)測(cè)量高溫真空爐的溫度；氣缸放氣后，擋板3繞中心軸逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)90度或更多，使擋板3繼續(xù)隔離高溫真空爐和透光部件1。應(yīng)當(dāng)理解，擋板3遮擋或遠(yuǎn)離透光部件1的方法包括但不限于上述的兩種方式，在此不再一一列舉。具體地，真空通道51可以具有側(cè)孔，缸桿從側(cè)孔進(jìn)入真空通道51，缸筒設(shè)于真空通道51的外側(cè)。將缸筒設(shè)置在真空通道51的外部，可以有效減小真空通道51的體積，降低測(cè)溫裝置的加工難度和生產(chǎn)成本。顯然，此處的缸桿與側(cè)孔之間具有良好的密封結(jié)構(gòu)，以滿足真空通道51的真空要求；同時(shí)，缸筒也可以在真空通道51的內(nèi)部，通過(guò)遙控、紅外等方式驅(qū)動(dòng)，一樣也能實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的。在一種具體的實(shí)施方式中，透光部件1具體可以為測(cè)溫玻璃，該測(cè)溫玻璃具有一定的強(qiáng)度，能承受真空通道51與外部之間的壓強(qiáng)差所產(chǎn)生的應(yīng)力；同時(shí)，測(cè)溫玻璃與真空通道51之間具有良好的密封性能。玻璃也是常用的工業(yè)器件，易于采購(gòu)。顯然，其它能透光、能有效密封、能承受適當(dāng)壓力的部件也能實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的，也應(yīng)該在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。在一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，本發(fā)明所提供的測(cè)溫裝置還可以包括設(shè)于擋板3前側(cè)的降溫組件，該降溫組件與支架5固定連接。降溫組件可以對(duì)真空通道51降溫，使真空通道51中的溫度降低，金屬揮發(fā)物經(jīng)過(guò)真空通道51時(shí)，會(huì)遇冷凝結(jié)在真空通道51的內(nèi)壁中， 而降溫組件設(shè)于擋板3的前側(cè)，可以降低揮發(fā)物到達(dá)擋板3的數(shù)量，能到達(dá)透光部件1的揮發(fā)物更少，這樣，透光部件1被揮發(fā)物污染的幾率進(jìn)一步降低，透光部件1的作用壽命進(jìn)一步得到提高，高溫真空爐的維護(hù)成本進(jìn)一步降低。具體地，降溫組件可以環(huán)繞真空通道51，且與真空通道51的外壁固定連接。即從真空通道51的周向均勻?yàn)檎婵胀ǖ?1降溫，使真空通道51周向上的金屬揮發(fā)物均能有效冷凝，進(jìn)一步減小揮發(fā)物玷污透光部件1的可能，延長(zhǎng)透光部件1的使用壽命。進(jìn)一步地，降溫組件包括與真空通道51的外壁固定連接的冷卻水通道6，冷卻水沿冷卻水通道6流通。在真空通道51的外周使用水冷的方式為真空通道51降溫，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于實(shí)現(xiàn)，可以降低降溫的成本。顯然，對(duì)真空通道51降溫的方法可以有很多種，可以采用其它方法對(duì)真空通道51 降溫，例如可以采用風(fēng)冷等；同時(shí)，降溫組件的結(jié)構(gòu)也可以有很多種，在此不再一一列舉。以上對(duì)本發(fā)明所提供的高溫真空爐的測(cè)溫裝置進(jìn)行了詳細(xì)介紹。本文中應(yīng)用了具體個(gè)例對(duì)本發(fā)明的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述，以上實(shí)施例的說(shuō)明只是用于幫助理解本發(fā)明的方法及其核心思想。應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行若干改進(jìn)和修飾，這些改進(jìn)和修飾也落入本發(fā)明權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種高溫真空爐的測(cè)溫裝置，包括透光部件和紅外測(cè)溫儀，其特征在于，還包括擋板和驅(qū)動(dòng)所述擋板遮擋或遠(yuǎn)離所述透光部件的動(dòng)力部件，以及設(shè)于所述高溫真空爐和所述紅外測(cè)溫儀之間的支架，該支架設(shè)有真空通道，所述透光部件設(shè)于真空通道的入口處，所述擋板設(shè)于所述真空通道的內(nèi)部；所述動(dòng)力部件的固定部與所述支架固定連接，活動(dòng)部與所述擋板固定連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高溫真空爐的測(cè)溫裝置，其特征在于，所述動(dòng)力部件具體為氣缸；該氣缸的缸筒的與所述支架固定連接，缸桿與所述擋板固定連< 接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高溫真空爐的測(cè)溫裝置，其特征在于，所述真空通道具有側(cè)孔，所述缸桿從所述側(cè)孔進(jìn)入所述真空通道，所述缸筒設(shè)于所述真空通道的外側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的高溫真空爐的測(cè)溫裝置，其特征在于，所述透光部件具體為測(cè)溫玻璃。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的高溫真空爐的測(cè)溫裝置，其特征在于，還包括設(shè)于所述擋板前側(cè)的降溫組件，該降溫組件與所述支架固定連接。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的高溫真空爐的測(cè)溫裝置，其特征在于，所述降溫組件環(huán)繞所述真空通道，且與所述真空通道的外壁固定連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的高溫真空爐的測(cè)溫裝置，其特征在于，所述降溫組件包括與所述真空通道的外壁固定連接的冷卻水通道，冷卻水沿所述冷卻水通道流通。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種高溫真空爐的測(cè)溫裝置，包括透光部件和紅外測(cè)溫儀，還包括擋板和驅(qū)動(dòng)所述擋板遮擋或遠(yuǎn)離所述透光部件的動(dòng)力部件，以及設(shè)于所述高溫真空爐和所述紅外測(cè)溫儀之間的支架，該支架設(shè)有真空通道，所述透光部件設(shè)于真空通道的入口處，所述擋板設(shè)于所述真空通道的內(nèi)部；所述動(dòng)力部件的固定部與所述支架固定連接，活動(dòng)部與所述擋板固定連接。擋板隔離透光部件和高溫真空爐，避免高溫真空爐的爐體及附件在高溫條件下的揮發(fā)物凝結(jié)在透光部件上，提高溫度測(cè)量的準(zhǔn)確性；同時(shí)減少透光部件被污染的可能性，延長(zhǎng)透光部件的使用壽命，降低透光部件的維護(hù)成本；同時(shí)，由于不再需要用惰性氣體吹掃透光部件，減少對(duì)流換熱，可以降低能耗成本。
文檔編號(hào)C30B29/20GK102560652SQ20121001578
公開(kāi)日2012年7月11日 申請(qǐng)日期2012年1月18日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月18日
發(fā)明者周波, 徐永亮 申請(qǐng)人:浙江昀豐新能源科技有限公司