本發(fā)明涉及壓電元件。
背景技術(shù):
1、作為麥克風(fēng)等而使用的壓電元件具備基板和層疊于基板的下部電極、壓電膜、上部電極。并且,通過將基板的一部分去除并形成將下部電極、壓電膜、上部電極貫通的狹縫,從而使下部電極、壓電膜、上部電極的一部分成為被基板懸臂支承的薄膜部。在這樣的壓電元件中,若由于殘留應(yīng)力而薄膜部向上方或下方翹曲,則薄膜部與被基板支承的部分之間的間隙變大,有靈敏度下降的可能。
2、例如專利文獻(xiàn)1中記載的mems轉(zhuǎn)換器(transducer)具備相同的三角形的4個薄膜部,4個薄膜部以固定端和相反側(cè)的頂端部匯集在1處的方式相鄰配置。由此,在由于殘留應(yīng)力而薄膜部變形的情況下,相鄰的薄膜部也同樣地變形,所以薄膜部彼此的間隙的擴(kuò)大被抑制,靈敏度的下降被抑制。
3、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
4、專利文獻(xiàn)
5、專利文獻(xiàn)1:日本專利第5936154號公報
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、但是,若使多個薄膜部為相同形狀,則各薄膜部的共振頻率相等,所以在多個薄膜部中共振相互加強(qiáng),共振峰值的強(qiáng)度變大,有共振峰值成為噪聲的可能。因而,需要降低共振峰值的強(qiáng)度。
2、本發(fā)明鑒于上述情況,目的在于提供能夠降低共振峰值的強(qiáng)度的壓電元件。
3、本公開的一實(shí)施方式中,壓電元件具備基板、層疊于基板的下部電極、層疊于下部電極的壓電膜、和層疊于壓電膜的上部電極。通過基板中的與下部電極相反側(cè)的面上形成的凹部和將下部電極、壓電膜、上部電極貫通的貫通孔,形成由下部電極、壓電膜、上部電極構(gòu)成且被懸臂支承于基板的多個薄膜部,多個薄膜部中的至少2個薄膜部的共振頻率相互不同。
4、由此,至少2個薄膜部具有相互不同的共振頻率,所以共振峰值被分散,能夠降低壓電元件整體的共振峰值強(qiáng)度。
1.一種壓電元件,其特征在于,
2.如權(quán)利要求1記載的壓電元件,其特征在于,
3.如權(quán)利要求1記載的壓電元件,其特征在于,
4.如權(quán)利要求1記載的壓電元件,其特征在于,
5.如權(quán)利要求1~4中任一項記載的壓電元件,其特征在于,
6.如權(quán)利要求1~4中任一項記載的壓電元件,其特征在于,
7.如權(quán)利要求1~4中任一項記載的壓電元件,其特征在于,