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一種基于混合式行波加速結(jié)構(gòu)的雙能量電子直線加速器的制造方法

文檔序號:10556215閱讀:620來源:國知局
一種基于混合式行波加速結(jié)構(gòu)的雙能量電子直線加速器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種基于混合式行波加速結(jié)構(gòu)的雙能量電子直線加速器,其包括依次連接的:功率源系統(tǒng),其提供脈沖微波功率,并在預(yù)設(shè)時刻同時輸出一180度相位翻轉(zhuǎn)信號;功率分配器,其具有一個與所述功率源系統(tǒng)連接的輸入口以及兩個輸出口;混合式行波加速結(jié)構(gòu),其包括分別與所述功率分配器的兩個輸出口連接的前波加速段和反波加速段;以及微波功率回收系統(tǒng)。本發(fā)明通過采用混合式行波加速結(jié)構(gòu),可大大縮短脈沖微波功率在加速結(jié)構(gòu)中的填充時間;通過控制產(chǎn)生180度相位翻轉(zhuǎn)信號的時間節(jié)點,即可實現(xiàn)能量倍增器的儲能時間可調(diào),從而實現(xiàn)能量倍增器的輸出功率水平可調(diào),進而實現(xiàn)電子束能量的快速可調(diào)。
【專利說明】
一種基于混合式行波加速結(jié)構(gòu)的雙能量電子直線加速器
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及一種電子加速器,尤其涉及一種能量快速可調(diào)的基于混合式行波加速結(jié)構(gòu)的雙能量電子直線加速器。
【背景技術(shù)】
[0002]雙能量電子束在醫(yī)學(xué)加速器中存在廣泛應(yīng)用,通過打靶可以實現(xiàn)不同能量的雙光子,低能量光子可以用于實時成像,高能量光子用于X射線放射治療,由此可以實現(xiàn)影像引導(dǎo)的放射治療(IGRT)。目前雙光子功能實現(xiàn)的傳統(tǒng)方法是采用雙加速器、機械式能量開關(guān)等,然而,這種傳統(tǒng)的實現(xiàn)方法存在設(shè)備龐大,或者響應(yīng)時間長等局限。
[0003]同時,在醫(yī)學(xué)加速器中,要求電子束能量可調(diào),以實現(xiàn)X射線能量可調(diào),從而用于不同治療方案。傳統(tǒng)方法通常是通過調(diào)整功率水平來改變電子束能量,但這同時也會改變聚束管的束流特征,而且如果超過聚束管的調(diào)節(jié)范圍則無法俘獲足夠的電子束團,因此傳統(tǒng)方法的能量調(diào)節(jié)范圍較小。
[0004]另外,傳統(tǒng)加速器為了提高功率利用率,通常會采用阻抗更高的駐波加速管,這可以非常有效的減少功率需求,但同時帶來填充時間長的問題,因此需要較長宏脈沖長度,同時無法在脈沖內(nèi)進行束流能量操控。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問題,本發(fā)明旨在提供一種基于混合式行波加速結(jié)構(gòu)的雙能量電子直線加速器,以實現(xiàn)電子束能量的快速可調(diào),并且在減少功率需求的同時,減少填充時間。
[0006]本發(fā)明所述的一種基于混合式行波加速結(jié)構(gòu)的雙能量電子直線加速器,其包括依次連接的:
[0007]功率源系統(tǒng),其提供脈沖微波功率,并在預(yù)設(shè)時刻同時輸出一180度相位翻轉(zhuǎn)信號;
[0008]功率分配器,其具有一個與所述功率源系統(tǒng)連接的輸入口以及兩個輸出口;
[0009]混合式行波加速結(jié)構(gòu),其包括分別與所述功率分配器的兩個輸出口連接的前波加速段和反波加速段,該前波加速段和反波加速段分別接收所述功率分配器平均分配的脈沖微波功率,建立具有第一強度的第一加速電場,以將注入的第一個電子束團加速至第一能量水平;以及
[0010]微波功率回收系統(tǒng),其包括依次連接的:
[0011]第一功率合成器,其將所述前波加速段和反波加速段輸出的脈沖微波功率進行合成;
[0012]能量倍增器,其存儲所述第一功率合成器輸出的脈沖微波功率,并在接收到從所述功率源系統(tǒng)輸出的所述180度相位翻轉(zhuǎn)信號后,將存儲的脈沖微波功率成倍地釋放;以及
[0013]第二功率合成器,其具有兩個輸入口和一個輸出口,其中一個輸入口與所述能量倍增器連接,另一個輸入口與所述功率分配器的連接至所述前波加速段的輸出口相連,且該第二功率合成器的輸出口與所述前波加速段相連;
[0014]其中,所述第二功率合成器配置為將從所述功率分配器輸出的脈沖微波功率以及從所述能量倍增器釋放的脈沖微波功率進行合成,并輸出至所述前波加速段,以使該前波加速段建立具有第二強度的第二加速電場,以將注入的第二個電子束團加速至第二能量水平,其中,所述第二強度大于第一強度,所述第二能量水平高于第一能量水平。
[0015]在上述的基于混合式行波加速結(jié)構(gòu)的雙能量電子直線加速器中,所述微波功率回收系統(tǒng)還包括連接在所述能量倍增器的輸出口與第二功率合成器的一個輸入口之間的移相器,其對所述能量倍增器釋放的脈沖微波功率進行相位匹配。
[0016]在上述的基于混合式行波加速結(jié)構(gòu)的雙能量電子直線加速器中,所述功率源系統(tǒng)包括依次連接的:
[0017]微波信號源,其提供一連續(xù)微波信號;
[0018]180度相位開關(guān),其根據(jù)一外部輸入的控制信號,在所述預(yù)設(shè)時刻將所述連續(xù)微波信號的相位翻轉(zhuǎn)180度,并產(chǎn)生所述180度相位翻轉(zhuǎn)信號;以及
[0019]速調(diào)管,其根據(jù)所述連續(xù)微波信號,產(chǎn)生所述脈沖微波功率,并在所述預(yù)設(shè)時刻同時輸出所述180度相位翻轉(zhuǎn)信號。
[0020]在上述的基于混合式行波加速結(jié)構(gòu)的雙能量電子直線加速器中,所述功率源系統(tǒng)還包括:
[0021]與所述180度相位開關(guān)連接的觸發(fā)信號源,其在所述預(yù)設(shè)時刻向所述180度相位開關(guān)輸出所述控制信號;
[0022]連接在所述180度相位開關(guān)與調(diào)速管之間的固態(tài)放大器,其根據(jù)所述觸發(fā)信號源輸出的另一控制信號,將所述連續(xù)微波信號放大并輸出至所述速調(diào)管;以及
[0023]連接在所述觸發(fā)信號源與速調(diào)管之間的調(diào)制器,其根據(jù)所述觸發(fā)信號源輸出的又一控制信號,向所述速調(diào)管輸出一直流高壓信號。
[0024]在上述的基于混合式行波加速結(jié)構(gòu)的雙能量電子直線加速器中,所述第二功率合成器為鐵氧體功率合成器。
[0025]由于采用了上述的技術(shù)解決方案,本發(fā)明通過采用混合式行波加速結(jié)構(gòu),可大大縮短脈沖微波功率在加速結(jié)構(gòu)中的填充時間,即,實現(xiàn)功率的快速填充;當功率源系統(tǒng)未輸出180度相位翻轉(zhuǎn)信號時,由混合式行波加速結(jié)構(gòu)中的前波加速段和反波加速段對首個電子束團進行加速以使其提高至第一能量水平,并且通過微波功率回收系統(tǒng)對前波加速段和反波加速段輸出的剩余的脈沖微波功率進行回收儲存,而當達到預(yù)設(shè)時刻功率源系統(tǒng)輸出180度相位翻轉(zhuǎn)信號后,則通過微波功率回收系統(tǒng)中的能量倍增器成倍釋放儲存的脈沖微波功率,并通過第二功率合成器將能量倍增器釋放的脈沖微波功率與功率源系統(tǒng)輸出的脈沖微波功率合成后輸入前波加速段,從而使前波加速段將第二個電子束團加速至更高的第二能量水平,由此實現(xiàn)雙能量電子加速。另外,通過控制產(chǎn)生180度相位翻轉(zhuǎn)信號的時間節(jié)點,即可實現(xiàn)能量倍增器的儲能時間可調(diào),從而實現(xiàn)能量倍增器的輸出功率水平可調(diào),進而實現(xiàn)電子束能量的快速可調(diào)。
【附圖說明】
[0026]圖1是本發(fā)明一種基于混合式行波加速結(jié)構(gòu)的雙能量電子直線加速器的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0027]下面結(jié)合附圖,給出本發(fā)明的較佳實施例,并予以詳細描述。
[0028]如圖1所示,本發(fā)明,即一種基于混合式行波加速結(jié)構(gòu)的雙能量電子直線加速器,其包括:通過電纜或微波波導(dǎo)依次連接的功率源系統(tǒng)、功率分配器20、混合式行波加速結(jié)構(gòu)以及微波功率回收系統(tǒng)。
[0029]功率源系統(tǒng)具體包括:依次連接的微波信號源11、180度相位開關(guān)12、固態(tài)放大器13和速調(diào)管14,與180度相位開關(guān)12以及固態(tài)放大器13連接的觸發(fā)信號源15以及連接在觸發(fā)信號源15與速調(diào)管14之間的調(diào)制器16,其中:
[0030]微波信號源11用于提供毫瓦級功率的連續(xù)微波信號;
[0031]180度相位開關(guān)12用于根據(jù)觸發(fā)信號源15輸出的控制信號,在預(yù)設(shè)時刻將連續(xù)微波信號的相位翻轉(zhuǎn)180度,并產(chǎn)生相應(yīng)的180度相位翻轉(zhuǎn)信號;
[0032]固態(tài)放大器13用于根據(jù)觸發(fā)信號源15輸出的控制信號,將連續(xù)微波信號增至百瓦級功率的脈沖微波信號;
[0033]調(diào)制器16用于根據(jù)觸發(fā)信號源15輸出的控制信號,產(chǎn)生相應(yīng)的幾十千伏的直流高壓信號;
[0034]速調(diào)管14接收直流高壓信號并將脈沖微波信號轉(zhuǎn)換為Mff級脈沖微波功率,以輸出至功率分配器20,并在預(yù)設(shè)時刻同時輸出180度相位翻轉(zhuǎn)信號;
[0035]觸發(fā)信號源15用于分別向180度相位開關(guān)12、固態(tài)放大器13以及調(diào)制器16輸出相應(yīng)的控制信號,以控制它們的工作時間,從而將180度相位翻轉(zhuǎn)信息加載至脈沖微波功率的不同時間點。
[0036]功率分配器20用于將功率源系統(tǒng)輸出的脈沖微波功率饋入混合式行波加速結(jié)構(gòu),其具有一個與速調(diào)管14連接的輸入口及兩個輸出口。
[0037]混合式行波加速結(jié)構(gòu)具體包括:分別與功率分配器20的兩個輸出口連接的前波加速段31和反波加速段32,該前波加速段31和反波加速段32分別接收平均分配的脈沖微波功率,建立具有第一強度的第一加速電場,以將注入的第一個電子束團加速至第一能量水平,并分別將剩余的脈沖微波功率通過各自的輸出口輸出至微波功率回收系統(tǒng)。
[0038]微波功率回收系統(tǒng)具體包括:依次連接的第一功率合成器41、能量倍增器42、移相器43和第二功率合成器44,其中:
[0039]第一功率合成器41用于將前波加速段31和反波加速段32輸出的脈沖微波功率合成,其具有兩個分別與前波加速段31和反波加速段32的輸出口連接的輸入口,還具有一個與能量倍增器42連接的輸出口 ;
[0040]能量倍增器42用于存儲第一功率合成器41輸出的脈沖微波功率,并在接收到從速調(diào)管14輸出并經(jīng)過功率分配器20、混合式行波加速結(jié)構(gòu)以及第一功率合成器41的180度相位翻轉(zhuǎn)信號后,將存儲的脈沖微波功率成倍地釋放;
[0041]移相器43用于對能量倍增器42釋放出的脈沖微波功率進行相位匹配;
[0042]第二功率合成器44(具體為鐵氧體功率合成器)具有兩個輸入口和一個輸出口,其中一個輸入口與移相器43連接,另一個輸入口與功率分配器20的連接至前波加速段31的輸出口相連,第二功率合成器44的輸出口與前波加速段31相連,第二功率合成器44用于將從功率分配器20提供的脈沖微波功率以及從移相器43輸出的脈沖微波功率進行合成,并輸出至前波加速段31,以使該前波加速段31建立具有第二強度的第二加速電場,以將注入的第二個電子束團加速至第二能量水平,其中,第二強度大于第一強度,第二能量水平高于第一能量水平。
[0043]本發(fā)明的主要工作原理如下:
[0044]首先,由微波信號源11產(chǎn)生連續(xù)微波信號(即激勵信號),在預(yù)設(shè)時刻經(jīng)過180度相位開關(guān)12進行相位翻轉(zhuǎn),激勵信號饋入速調(diào)管14進行激勵,產(chǎn)生高水平脈沖微波功率,并在預(yù)設(shè)時刻附帶有180度相位翻轉(zhuǎn)信號;接著,脈沖微波功率由3dB功率分配器20進行平均分配,分別饋入混合式行波加速結(jié)構(gòu)的前波加速段31和反波加速段32,在一個填充時間之后,脈沖微波功率完全填充加速結(jié)構(gòu),完成第一階段加速梯度狀態(tài);然后,加速結(jié)構(gòu)兩端輸出功率通過3dB第一功率合成器41匯集,注入緊湊型能量倍增器42,在180度相位翻轉(zhuǎn)信號到達之前,進行功率儲存,提高脈沖微波功率水平,待180度相位翻轉(zhuǎn)信號到達,能量倍增器42由儲能狀態(tài)變?yōu)榉拍軤顟B(tài),釋放更高水平的脈沖微波功率;最后,脈沖微波功率通過第二功率合成器44,與功率源系統(tǒng)提供的脈沖微波功率合成后,饋入前波加速段,進而大幅度提高其內(nèi)部的加速梯度,并經(jīng)過一個填充時間后,脈沖微波功率完全填充前波加速段,完成第二階段加速梯度狀態(tài)。
[0045]由此,在單個微波脈沖周期內(nèi),既保證了相同聚束過程,又實現(xiàn)了不同能量的雙電子束團加速。具體來說,在單個微波脈沖周期內(nèi),實現(xiàn)兩個階段的加速梯度狀態(tài)。在第一階段中,整個加速結(jié)構(gòu)處于低加速梯度狀態(tài),待脈沖微波功率剛完成填充狀態(tài)時,第一個電子束團注入加速結(jié)構(gòu),首先被反波加速段進行聚束俘獲,并迅速加速至光速狀態(tài);在第二階段中,反波加速段的加速梯度未受影響,而前波加速段的加速梯度得到大幅提升,在一個填充時間之后,脈沖微波功率完全填充前波加速段,第二個電子束團注入加速結(jié)構(gòu),由于反波加速段未受影響,因此聚束效果與第一個電子束團保持一致,無需進行幅相調(diào)節(jié),而經(jīng)過更高加速梯度的前波加速段,電子束團經(jīng)過更高的加速梯度,從而獲得比第一個電子束團更高的能量。
[0046]通過改變上述180度相位翻轉(zhuǎn)時間點,就可以在脈沖與脈沖間,對第二個電子束團的能量進行快速調(diào)節(jié)。具體來說,180度相位翻轉(zhuǎn)時間點可以控制能量倍增器的輸出功率水平,而觸發(fā)信號源輸出的控制信號可以控制180度相位開關(guān)的作用時間,因此通過數(shù)字電路調(diào)節(jié)該控制信號的作用時間,可以調(diào)節(jié)能量倍增器的輸出功率水平。目前微波脈沖的重復(fù)周期大約在毫秒級,數(shù)字電路完全可以滿足毫秒級的響應(yīng)速度,因此可以利用數(shù)字電路對能量倍增器輸出功率進行脈沖間快速調(diào)節(jié),進而調(diào)節(jié)第二個電子束團的能量。而在整個過程中,第一個電子束團保持加速過程和能量不變。
[0047]在本發(fā)明中,利用外觸發(fā)控制的180度相位開關(guān),結(jié)合能量倍增器的儲能和放能特征,可以在微波脈沖內(nèi)階躍式調(diào)節(jié)輸入功率,實現(xiàn)不同能量雙電子束團加速,其中,該180度相位開關(guān)由電子學(xué)控制實現(xiàn),可以較快的實現(xiàn)切換,一般切換速度可以達到十納秒級別,遠遠快于機械能量開關(guān)。
[0048]同時,在未達到飽和狀態(tài)前,能量倍增器的輸出功率與儲能時間相關(guān),儲能時間越長,在電子相位開關(guān)作用后,能量倍增器的輸出功率越高。通過控制電子相位開關(guān)的作用時間,以此調(diào)節(jié)能量倍增器的儲能時間,進而調(diào)節(jié)輸出功率水平,最終可以加速獲得不同能量的電子束團。由于該方案由數(shù)字電路實現(xiàn)控制,因此具有自動化控制、響應(yīng)速度快以及微波功率幅相穩(wěn)定等優(yōu)點,且易于維護,可以實現(xiàn)pulse-to-pulse的能量快速調(diào)節(jié)。
[0049]另外,本發(fā)明采用混合式行波加速結(jié)構(gòu),具有聚束過程穩(wěn)定、分路阻抗高和填充時間短等優(yōu)點,其中,前端為反波加速段,阻抗高,作為聚束段,將電子快速加速至光速,聚束效果明顯;同時該聚束段獨立于微波功率回收系統(tǒng),在雙能量和能量調(diào)節(jié)過程中聚束過程及效果保持不變,因此聚束效果非常穩(wěn)定,無需進行其他幅相調(diào)節(jié);而且兩段加速段均采用行波式結(jié)構(gòu),填充時間極短,因此可以在極短時間內(nèi)完成功率填充,進行第一電子束團的加速,然后留有足夠長的時間進行功率儲存和釋放,實現(xiàn)雙能量和能量調(diào)節(jié)方案。
[0050]進一步地,本發(fā)明利用緊湊型能量倍增器的儲能特征,結(jié)合第一功率合成器,進行功率回收,將功率節(jié)省至少50%。并且在脈沖內(nèi)實現(xiàn)雙能量電子束加速,而傳統(tǒng)方案中至少需要兩個脈沖才能實現(xiàn),因此功率至少節(jié)省了 50%。
[0051]綜上所述,本發(fā)明具有以下優(yōu)點:
[0052]1、本發(fā)明能夠在微波脈沖時間尺度范圍內(nèi)(微秒尺度),利用180相位開關(guān)進行時間分割,并利用能量倍增器對第二階段的脈沖微波功率進行增強,從而在兩階段內(nèi)建立不同強度的加速電場,分別將兩注電子束加速至不同的能量水平,因此具有自動化控制和響應(yīng)極快等優(yōu)點;
[0053]2、本發(fā)明通過控制180相位開關(guān)的作用時間,可將經(jīng)過能量倍增器儲存并增強的回收的脈沖微波功率按預(yù)設(shè)時刻釋放并耦合至前波加速段,由此可調(diào)節(jié)能量倍增器輸出的脈沖微波功率水平,在不影響第二個電子束團聚束狀態(tài)情況下,對第二個電子束團的能量水平進行調(diào)節(jié),因此具有響應(yīng)迅速和脈沖間調(diào)節(jié)等優(yōu)點。
[0054]3、本發(fā)明采用的混合式行波加速結(jié)構(gòu)結(jié)合了前波結(jié)構(gòu)的優(yōu)良束流品質(zhì)以及反波結(jié)構(gòu)的高阻抗等優(yōu)點,其中,加速結(jié)構(gòu)上游的反波加速段擔(dān)任聚束段角色,將電子束團進行聚束并加速至光速;在整個微波脈沖范圍內(nèi)加速電場分布保持不變,因此在雙能量方案和能量調(diào)節(jié)方案中,不改變兩個電子束團的聚束效果;而前波加速段則擔(dān)任加速段角色,將反波加速段輸出的電子束加速至更高能量,在180度相位開關(guān)作用后的第二階段中,將加速電場提升至更高水平,將第二個電子束團加速至更高能量水平,從而實現(xiàn)了雙能量電子加速。
[0055]以上所述的,僅為本發(fā)明的較佳實施例,并非用以限定本發(fā)明的范圍,本發(fā)明的上述實施例還可以做出各種變化。即凡是依據(jù)本發(fā)明申請的權(quán)利要求書及說明書內(nèi)容所作的簡單、等效變化與修飾,皆落入本發(fā)明專利的權(quán)利要求保護范圍。本發(fā)明未詳盡描述的均為常規(guī)技術(shù)內(nèi)容。
【主權(quán)項】
1.一種基于混合式行波加速結(jié)構(gòu)的雙能量電子直線加速器,其特征在于,該加速器包括依次連接的: 功率源系統(tǒng),其提供脈沖微波功率,并在預(yù)設(shè)時刻同時輸出一 180度相位翻轉(zhuǎn)信號; 功率分配器,其具有一個與所述功率源系統(tǒng)連接的輸入口以及兩個輸出口 ; 混合式行波加速結(jié)構(gòu),其包括分別與所述功率分配器的兩個輸出口連接的前波加速段和反波加速段,該前波加速段和反波加速段分別接收所述功率分配器平均分配的脈沖微波功率,建立具有第一強度的第一加速電場,以將注入的第一個電子束團加速至第一能量水平;以及 微波功率回收系統(tǒng),其包括依次連接的:第一功率合成器,其將所述前波加速段和反波加速段輸出的脈沖微波功率進行合成;能量倍增器,其存儲所述第一功率合成器輸出的脈沖微波功率,并在接收到從所述功率源系統(tǒng)輸出的所述180度相位翻轉(zhuǎn)信號后,將存儲的脈沖微波功率成倍地釋放;以及第二功率合成器,其具有兩個輸入口和一個輸出口,其中一個輸入口與所述能量倍增器連接,另一個輸入口與所述功率分配器的連接至所述前波加速段的輸出口相連,且該第二功率合成器的輸出口與所述前波加速段相連; 其中,所述第二功率合成器配置為將從所述功率分配器輸出的脈沖微波功率以及從所述能量倍增器釋放的脈沖微波功率進行合成,并輸出至所述前波加速段,以使該前波加速段建立具有第二強度的第二加速電場,以將注入的第二個電子束團加速至第二能量水平,其中,所述第二強度大于第一強度,所述第二能量水平高于第一能量水平。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于混合式行波加速結(jié)構(gòu)的雙能量電子直線加速器,其特征在于,所述微波功率回收系統(tǒng)還包括連接在所述能量倍增器的輸出口與第二功率合成器的一個輸入口之間的移相器,其對所述能量倍增器釋放的脈沖微波功率進行相位匹配。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基于混合式行波加速結(jié)構(gòu)的雙能量電子直線加速器,其特征在于,所述功率源系統(tǒng)包括依次連接的: 微波信號源,其提供一連續(xù)微波信號; 180度相位開關(guān),其根據(jù)一外部輸入的控制信號,在所述預(yù)設(shè)時刻將所述連續(xù)微波信號的相位翻轉(zhuǎn)180度,并產(chǎn)生所述180度相位翻轉(zhuǎn)信號;以及 速調(diào)管,其根據(jù)所述連續(xù)微波信號,產(chǎn)生所述脈沖微波功率,并在所述預(yù)設(shè)時刻同時輸出所述180度相位翻轉(zhuǎn)信號。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于混合式行波加速結(jié)構(gòu)的雙能量電子直線加速器,其特征在于,所述功率源系統(tǒng)還包括: 與所述180度相位開關(guān)連接的觸發(fā)信號源,其在所述預(yù)設(shè)時刻向所述180度相位開關(guān)輸出所述控制信號; 連接在所述180度相位開關(guān)與調(diào)速管之間的固態(tài)放大器,其根據(jù)所述觸發(fā)信號源輸出的另一控制信號,將所述連續(xù)微波信號放大并輸出至所述速調(diào)管;以及 連接在所述觸發(fā)信號源與速調(diào)管之間的調(diào)制器,其根據(jù)所述觸發(fā)信號源輸出的又一控制信號,向所述速調(diào)管輸出一直流高壓信號。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于混合式行波加速結(jié)構(gòu)的雙能量電子直線加速器,其特征在于,所述第二功率合成器為鐵氧體功率合成器。
【文檔編號】H05H9/02GK105916285SQ201610504937
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2016年6月30日
【發(fā)明人】趙振堂, 方文程, 趙明華, 顧強
【申請人】中國科學(xué)院上海應(yīng)用物理研究所
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