元件制造方法以及元件制造裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉以及用于制造有機(jī)半導(dǎo)體元件等元件的元件制造方法以及元件制造裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]為了防止雜質(zhì)混入元件中，制造有機(jī)半導(dǎo)體元件或者無機(jī)半導(dǎo)體元件等元件的工序一般情況下在真空環(huán)境下實(shí)施。例如，作為用于在基材上形成陰極電極、陽極電極或者半導(dǎo)體層的方法，使用濺射法或者蒸鍍法等在真空環(huán)境下實(shí)施的成膜技術(shù)。真空環(huán)境是通過使用真空栗等耗費(fèi)規(guī)定的時間對元件制造裝置的內(nèi)部進(jìn)行脫氣而實(shí)現(xiàn)的。
[0003]但是在元件的制造工序中，除了成膜工序以外還實(shí)施各種工序。其中，以往也存在在大氣壓下實(shí)施的工序。另一方面，為了實(shí)現(xiàn)真空環(huán)境，如上所述需要規(guī)定的時間。因此，在元件的制造工序除了包含在真空環(huán)境下實(shí)施的成膜工序之外還包含在大氣壓下實(shí)施的工序的情況下，對元件制造裝置的內(nèi)部進(jìn)行脫氣、以及將元件制造裝置的內(nèi)部的環(huán)境置換為大氣所需要的時間增加。因此，期望在比大氣壓低壓的環(huán)境下實(shí)施元件的各制造工序。由此，能夠降低得到1個元件所需要的時間以及成本。
[0004]作為成膜工序以外的工序，能夠列舉出例如專利文獻(xiàn)1所述的那樣的去除位于輔助電極上的有機(jī)半導(dǎo)體層的去除工序。輔助電極是在設(shè)于有機(jī)半導(dǎo)體層上的電極為薄膜狀的共用電極的情況下，為了對產(chǎn)生于共用電極的電壓下降根據(jù)位置而不同的情況進(jìn)行抑制而設(shè)置的。即，通過使共用電極與輔助電極在各種位置連接，能夠降低共用電極中的電壓下降。另一方面，由于有機(jī)半導(dǎo)體層一般情況下遍以及基材的整個區(qū)域而設(shè)置，因此為了將共用電極與輔助電極連接，需要實(shí)施去除輔助電極上的有機(jī)半導(dǎo)體層的上述的去除工序。
[0005]作為去除輔助電極上的有機(jī)半導(dǎo)體層的方法，公知有對有機(jī)半導(dǎo)體層照射激光等光的方法。在這種情況下，由于構(gòu)成有機(jī)半導(dǎo)體層的有機(jī)半導(dǎo)體材料因磨蝕而飛散，因此優(yōu)選為了防止因飛散的有機(jī)半導(dǎo)體材料造成的污染而通過某些部件覆蓋基材。例如在專利文獻(xiàn)1中，提案如下方法:首先，在真空環(huán)境下將對置基材疊合到基材上來構(gòu)成疊合基材，接下來，在維持對置基材與基材之間的空間為真空氛圍的狀態(tài)下將疊合基材取出到大氣中，此后，對有機(jī)半導(dǎo)體層照射激光。在這種情況下，能夠基于真空氛圍與大氣之間的壓差使對置基材與基材牢固地緊貼，由此，能夠可靠地防止因飛散的有機(jī)半導(dǎo)體材料造成的污染。
[0006]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)
[0008]專利文獻(xiàn)1:日本特許第4340982號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]但是，對有機(jī)半導(dǎo)體層照射激光的工序一般情況下是對基材上的多個輔助電極上的有機(jī)半導(dǎo)體層的各個依次實(shí)施的。例如，使朝向基材引導(dǎo)激光的光學(xué)系統(tǒng)或者基材的任意一方相對于另一方移動，并且對輔助電極上的有機(jī)半導(dǎo)體層依次照射激光。因此，不僅可以防止有機(jī)半導(dǎo)體材料飛散，而且不需要通過對置基材在整個區(qū)域內(nèi)覆蓋基材，只要至少通過對置基材覆蓋基材中的被激光照射的部分即可。另一方面，在如專利文獻(xiàn)1中記載的發(fā)明那樣利用真空氛圍與大氣之間的壓差的情況下，基材在整個區(qū)域內(nèi)被對置基材覆蓋。這導(dǎo)致裝置結(jié)構(gòu)變得過于復(fù)雜。此外，在專利文獻(xiàn)1中記載的發(fā)明中，對元件制造裝置的內(nèi)部進(jìn)行脫氣以及將元件制造裝置的內(nèi)部的環(huán)境置換為大氣所需要的時間增加。
[0010]本發(fā)明是考慮這一點(diǎn)而完成的，其目的在于提供能夠高效地覆蓋基材中的被激光照射的部分的元件制造方法以及元件制造裝置。
[0011]本發(fā)明是一種元件制造方法，用于在基材上形成元件，其中，該元件制造方法包含:準(zhǔn)備中間制品的工序，該中間制品包含所述基材以及設(shè)于所述基材上的多個突起部；準(zhǔn)備具有第1面的蓋材，并使所述第1面朝向所述中間制品的所述突起部側(cè)的工序；以及蓋材按壓工序，使所述蓋材的所述第1面的一部分緊貼在所述中間制品的一部分上，在所述蓋材按壓工序中，在所述蓋材的所述第1面形成有以朝向所述中間制品突出的方式彎曲的彎曲形狀，并且，所述蓋材中的形成有所述彎曲形狀的部分緊貼在所述中間制品的一部分上。
[0012]在本發(fā)明的元件制造方法中，可以是:所述蓋材具有所述第1面以及位于所述第1面的相反側(cè)的第2面。在這種情況下，可以是:在所述蓋材按壓工序中，使用蓋材按壓機(jī)構(gòu)將所述蓋材的所述第2面的一部分朝向所述中間制品按壓，由此，所述蓋材的所述第1面的一部分緊貼在所述中間制品的一部分上。
[0013]在本發(fā)明的元件制造方法中，可以是:所述蓋材按壓機(jī)構(gòu)具有以旋轉(zhuǎn)軸為中心而旋轉(zhuǎn)的輥。在這種情況下，可以是:在所述蓋材按壓工序中，所述輥將所述蓋材的所述第2面的一部分朝向所述中間制品按壓，由此，在所述蓋材的與所述第2面對應(yīng)的所述第1面形成沿著所述輥的外周面的彎曲形狀。
[0014]在本發(fā)明的元件制造方法中，可以是:所述蓋材按壓機(jī)構(gòu)具有長條狀的加壓膜，該長條狀的加壓膜在以形成彎曲部分的方式被保持的狀態(tài)下被輸送，其中，該彎曲部分以朝向所述蓋材突出的方式彎曲。在這種情況下，可以是:在所述蓋材按壓工序中，所述加壓膜的所述彎曲部分將所述蓋材的所述第2面的一部分朝向所述中間制品按壓，由此，在所述蓋材的與所述第2面對應(yīng)的所述第1面形成沿著所述加壓膜的所述彎曲部分的彎曲形狀。
[0015]本發(fā)明的元件制造方法可以還包含照射工序，在該照射工序中，朝向所述蓋材中的形成有所述彎曲形狀的部分照射光。在這種情況下，可以是:在照射工序中，光透過所述蓋材中的形成有所述彎曲形狀的部分到達(dá)所述中間制品。此外，可以是:在照射工序中，從所述中間制品的所述基材側(cè)朝向緊貼在所述中間制品上的所述蓋材照射光。
[0016]本發(fā)明的元件制造方法可以還包含照射工序，在該照射工序中，朝向所述蓋材中的形成有所述彎曲形狀的部分照射光，在所述照射工序中，光被光學(xué)系統(tǒng)引導(dǎo)而透過所述蓋材到達(dá)所述中間制品，其中，該光學(xué)系統(tǒng)相對于所述輥的旋轉(zhuǎn)被固定。
[0017]在這種情況下，可以是:所述輥包含由使光透過的透光性材料構(gòu)成的主體部，所述主體部構(gòu)成所述輥的所述外周面，在所述照射工序中，光穿過形成于所述輥的內(nèi)部的空間之后透過所述輥的所述主體部以及所述蓋材到達(dá)所述中間制品。進(jìn)而，可以是:在形成于所述輥的內(nèi)部的空間中配置有具有多個開口部的掩模，在所述照射工序中，所述光通過所述掩模的所述開口部之后透過所述輥的所述主體部以及所述蓋材到達(dá)所述中間制品。
[0018]此外，可以是:所述輥包含在內(nèi)部形成有空間的主體部，所述主體部構(gòu)成所述輥的所述外周面，在所述主體部上形成有從所述外周面直至內(nèi)部的空間的多個貫通孔，在所述照射工序中，所述光通過所述主體部的所述貫通孔之后透過所述蓋材到達(dá)所述中間制品。
[0019]在本發(fā)明的元件制造方法中，可以是:所述元件包含:所述基材；設(shè)于所述基材上的多個第1電極；設(shè)于所述第1電極之間的輔助電極以及所述突起部；設(shè)于所述第1電極上的有機(jī)半導(dǎo)體層；以及設(shè)于所述有機(jī)半導(dǎo)體層上以及所述輔助電極上的第2電極，所述中間制品包含:所述基材；設(shè)于所述基材上的多個所述第1電極；設(shè)于所述第1電極之間的所述輔助電極以及所述突起部；以及設(shè)于所述第1電極上以及所述輔助電極上的所述有機(jī)半導(dǎo)體層，在所述蓋材中的形成有所述彎曲形狀的部分緊貼在所述中間制品的一部分上的期間，將設(shè)于所述輔助電極上的所述有機(jī)半導(dǎo)體層去除。
[0020]本發(fā)明是一種元件制造裝置，用于在基材上形成元件，其中，該元件制造裝置包含:輸送機(jī)構(gòu)，其輸送包含所述基材以及設(shè)于所述基材上的多個突起部的中間制品；蓋材供給機(jī)構(gòu)，其供給具有第1面的蓋材，以使得所述第1面朝向所述中間制品的所述突起部偵h以及蓋材按壓機(jī)構(gòu)，其使所述蓋材的所述第1面的一部分緊貼在所述中間制品的一部分上，在被所述蓋材按壓機(jī)構(gòu)按壓的所述蓋材的所述第1面形成有以朝向所述中間制品突出的方式彎曲的彎曲形狀，并且，所述蓋材中的形成有所述彎曲形狀的部分緊貼在所述中間制品的一部分上。
[0021]在本發(fā)明的元件制造裝置中，可以是:所述蓋材具有所述第1面以及位于所述第1面的相反側(cè)的第2面。在這種情況下，可以是:所述蓋材按壓機(jī)構(gòu)將所述蓋材的所述第2面的一部分朝向所述中間制品按壓，由此，所述蓋材的所述第1面的一部分緊貼在所述中間制品的一部分上。
[0022]在本發(fā)明的元件制造裝置中，可以是:所述蓋材按壓機(jī)構(gòu)具有以旋轉(zhuǎn)軸為中心而旋轉(zhuǎn)的輥。在這種情況下，可以是:在被所述輥按壓的所述蓋材的與所述第2面對應(yīng)的所述第1面形成有沿著所述輥的外周面的彎曲形狀。
[0023]在本發(fā)明的元件制造裝置中，可以是:所述蓋材按壓機(jī)構(gòu)具有長條狀的加壓膜，該長條狀的加壓膜在以形成彎曲部分的方式被保持的狀態(tài)下被輸送，其中，該彎曲部分以朝向所述蓋材突出的方式彎曲。在這種情況下，可以是:所述加壓膜的所述彎曲部分將所述蓋材的所述第2面的一部分朝向所述中間制品按壓，由此，在所述蓋材的與所述第2面對應(yīng)的所述第1面上形成沿著所述加壓膜的所述彎曲部分的彎曲形狀。
[0024]本發(fā)明的元件制造裝置可以還包含照射機(jī)構(gòu)，該照射機(jī)構(gòu)朝向所述蓋材中的形成有所述彎曲形狀的部分照射光。在這種情況下，可以是:光透過所述蓋材中的形成有所述彎曲形狀的部分到達(dá)所述中間制品。此外，可以是:從所述中間制品的所述基材側(cè)朝向緊貼在所述中間制品上的所述蓋材照射光。
[0025]本發(fā)明的元件制造裝置可以還包含照射機(jī)構(gòu)，該照射機(jī)構(gòu)朝向所述蓋材中的形成有所述彎曲形狀的部分照射光，所述照射機(jī)構(gòu)具有光學(xué)系統(tǒng)，該光學(xué)系統(tǒng)引導(dǎo)光，使得該光透過所述蓋材到達(dá)所述中間制品，所述光學(xué)系統(tǒng)相對于所述輥的旋轉(zhuǎn)被固定。
[0026]在這種情況下，可以是:所述輥包含主體部，該主體部由使光透過的透光性材料構(gòu)成并且在內(nèi)部形成有空間，所述主體部構(gòu)成所述輥的所述外周面，所述照射機(jī)構(gòu)構(gòu)成為:使得光穿過形成于所述主體部的內(nèi)部的空間之后透過所述主體部以及所述蓋材到達(dá)所述中間制品。進(jìn)而，可以是:在形成于所述主體部的內(nèi)部的空間中配置有具有多個開口部的掩模，所述照射機(jī)構(gòu)構(gòu)成為:使得光通過所述掩模的所述開口部之后透過所述主體部以及所述蓋材到達(dá)所述中間制品。
[0027]此外，可以是:所述輥包含在內(nèi)部形成有空間的主體部，所述主體部構(gòu)成所述輥的所述外周面，在所述主體部上形成有從所述外周面直至內(nèi)部的空間的多個貫通孔，所述照射機(jī)構(gòu)構(gòu)成為:使得光通過所述貫通孔之后透過所述蓋材到達(dá)所述中間制品。
[0028]在本發(fā)明的元件制造裝置中，可以是:所述輥包含在所述第2方向上隔開間隔排列的第1輥以及第2輥，所述蓋材的所述第2面被所述第1輥以及所述第2輥按壓，由此，所述蓋材中的位于所述第1輥與所述第2輥之間的部分具有沿著所述第1輥的外周面以及所述第2輥的外周面的彎曲形狀。
[0029]根據(jù)本發(fā)明，能夠使用簡單的結(jié)構(gòu)的裝置高效地覆蓋基材。
【附圖說明】
[0030]圖1是示出本發(fā)明的實(shí)施方式的有機(jī)半導(dǎo)體元件的縱剖視圖。
[0031]圖2A是示出圖1所示的有機(jī)半導(dǎo)體元件的輔助電極、突起部以及有機(jī)半導(dǎo)體層的布局的一