元件結(jié)構(gòu)體及其制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種具有保護(hù)器件等免受氧氣、水分等的侵害的層積結(jié)構(gòu)的元件結(jié)構(gòu)體及其制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]作為包含易受水分或者氧氣等侵害而劣化的化合物的元件，人們公知例如有機(jī)EL (Electro Luminescence:電致發(fā)光)等。對(duì)于像這樣的元件，人們?cè)囍ㄟ^(guò)與覆蓋包含該化合物的層的保護(hù)層形成層積結(jié)構(gòu)，來(lái)抑制水分等侵入到元件內(nèi)。例如，在下述專(zhuān)利文獻(xiàn)1中，記載有一種在上部電極層上具有由層積膜構(gòu)成的保護(hù)膜的發(fā)光元件，該層積膜由無(wú)機(jī)膜和有機(jī)膜層積而成。
[0003]【專(zhuān)利文獻(xiàn)1】日本發(fā)明專(zhuān)利公開(kāi)公報(bào)特開(kāi)2013-73880號(hào)
[0004]然而，具有防止水蒸氣等侵入的阻隔性能的無(wú)機(jī)膜的覆蓋范圍較小，如果具有器件層的基板表面呈凹凸形狀的話，無(wú)機(jī)膜則不能夠充分地覆蓋該凹凸區(qū)域，例如可能會(huì)在凹凸的分界部處發(fā)生覆蓋不良的情況。如果出現(xiàn)無(wú)機(jī)膜覆蓋不良，則無(wú)法防止水分從無(wú)機(jī)膜覆蓋不良的部位侵入，因而難以確保充分的阻隔性能。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]有鑒于此，本發(fā)明的目的在于提供一種具有防止水蒸氣等侵入的阻隔性能的元件結(jié)構(gòu)體及其制造方法。
[0006]為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的一個(gè)技術(shù)方案所涉及的元件結(jié)構(gòu)體具有基體、器件層、凸部以及第1樹(shù)脂材料部。
上述基體具有第1表面和位于與上述第1表面相反一側(cè)的第2表面。
上述器件層至少配置在上述第1表面和上述第2表面中的上述第1表面上。
上述凸部形成于上述第1表面。
上述第1樹(shù)脂材料部形成在上述凸部的周?chē)?br>[0007]本發(fā)明的一個(gè)技術(shù)方案所涉及的元件結(jié)構(gòu)體的制造方法包括如下步驟:
形成由第1無(wú)機(jī)材料層構(gòu)成的凸部，該第1無(wú)機(jī)材料層覆蓋設(shè)置在基板的表面上的器件層；
將液體狀的有機(jī)材料提供到上述基板的表面上，使上述有機(jī)材料凝結(jié)在上述凸部的側(cè)面與上述基板的表面之間的分界部；
在上述基板的表面上形成覆蓋上述凸部和上述有機(jī)材料的第2無(wú)機(jī)材料層。
【附圖說(shuō)明】
[0008]圖1是大致表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式所涉及的元件結(jié)構(gòu)體的剖視圖。
圖2是上述元件結(jié)構(gòu)體的俯視圖。
圖3是上述元件結(jié)構(gòu)體的局部放大剖視圖。 圖4是說(shuō)明上述元件結(jié)構(gòu)體中的第1樹(shù)脂材料部的形成方法的工序圖。
圖5是大致表示上述元件結(jié)構(gòu)體的結(jié)構(gòu)的變形例的剖視圖。
圖6是大致表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式所涉及的元件結(jié)構(gòu)體的剖視圖。
圖7是大致表示上述第1實(shí)施方式所涉及的元件結(jié)構(gòu)體的結(jié)構(gòu)的變形例的剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0009]本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的元件結(jié)構(gòu)體具有基體、器件層、凸部以及第1樹(shù)脂材料部。
上述基體具有第1表面和位于與上述第1表面相反一側(cè)的第2表面。
上述器件層至少配置在上述第1表面和上述第2表面中的上述第1表面上。
上述凸部形成于上述第1表面。
上述第1樹(shù)脂材料部形成在上述凸部的周?chē)?br>[0010]在上述元件結(jié)構(gòu)體中，由于在基體的配置有器件層的表面(第1表面)上形成有凸部，在該凸部的周?chē)纬捎械?樹(shù)脂材料部，因而能夠防止水分等從凸部的周?chē)秩搿Ａ硐Σ?，由于?樹(shù)脂材料部形成在凸部的周?chē)蚨?，即使因該凸部的存在而在器件層的?cè)面出現(xiàn)覆蓋不良的情況，也能夠由第1樹(shù)脂材料部覆蓋該覆蓋不良部。
[0011]上述基體的材料和形態(tài)并沒(méi)有特別限定，可以采用由玻璃或半導(dǎo)體等構(gòu)成的基板，也可以采用由塑料或金屬等構(gòu)成的薄膜。上述凸部可以包含器件層，也可以覆蓋器件層。在凸部包含器件層的結(jié)構(gòu)中，包括凸部中包含器件層的結(jié)構(gòu)體、器件層的一部分露出于凸部的表面的結(jié)構(gòu)體等。凸部可以覆蓋器件層的側(cè)面，也可以在器件層的上表面形成有多個(gè)。
[0012]上述凸部可以由覆蓋上述器件層的第1無(wú)機(jī)材料層構(gòu)成。并且，上述元件結(jié)構(gòu)體還可以具有第2無(wú)機(jī)材料層，上述第2無(wú)機(jī)材料層覆蓋上述第1樹(shù)脂材料部和上述第1無(wú)機(jī)材料層。
[0013]第1無(wú)機(jī)材料層設(shè)在基體的表面(第1表面)上，并且覆蓋器件層的表面和側(cè)面。第1無(wú)機(jī)材料層典型的是由氮化硅、氧化硅、氮氧化硅、氧化鋁等這樣的具有水蒸氣阻隔性能的無(wú)機(jī)材料構(gòu)成。第1無(wú)機(jī)材料層典型的是通過(guò)濺射法、ALD法、CVD法等形成，然而，由于通過(guò)這些方法形成的第1無(wú)機(jī)材料層的覆蓋范圍較小，因而，有時(shí)可能無(wú)法適當(dāng)?shù)馗采w例如器件層的側(cè)面與基體的表面的分界部。但是，在本實(shí)施方式中，由于在凸部的周?chē)⒓雌骷拥膫?cè)面與基體的表面的分界部形成有第1樹(shù)脂材料部，因而能夠由第1樹(shù)脂材料部適當(dāng)?shù)馗采w該分界部。
[0014]第2無(wú)機(jī)材料層典型的是由氮化硅、氧化硅、氮氧化硅、氧化鋁等這樣的具有水蒸氣阻隔性能的無(wú)機(jī)材料構(gòu)成。第2無(wú)機(jī)材料層典型的是通過(guò)濺射法、ALD法、CVD法等形成(形成膜、成膜)。此時(shí)，由于第2無(wú)機(jī)材料層層積于形成在上述分界部的第1樹(shù)脂材料部上，因而能夠提高第1無(wú)機(jī)材料層對(duì)凸部的覆蓋率。從而可以構(gòu)成能夠防止氧氣、水分等侵入到元件內(nèi)部的元件結(jié)構(gòu)體。
[0015]第1樹(shù)脂材料部的形成方法并沒(méi)有特別限定，典型的是，通過(guò)噴霧法、旋涂法、蒸鍍法等適當(dāng)?shù)耐磕し?，將液體狀、氣體狀或者霧狀的有機(jī)材料涂敷在基體的表面上。涂覆后的有機(jī)材料根據(jù)毛細(xì)管現(xiàn)象進(jìn)入到微小的間隙內(nèi)，或者在其自身的表面張力的作用下滴狀化或者凝結(jié)，偏聚在凸部的側(cè)表面與基體的表面之間的分界部。之后，通過(guò)使該有機(jī)材料固化，從而能夠在凸部的周?chē)?、即上述分界部形成上述?樹(shù)脂材料部。
[0016]構(gòu)成第1樹(shù)脂材料部的有機(jī)材料并沒(méi)有特別限定，典型的是，使用可以在自身的表面張力作用下在基體上滴狀化、凝集，于基板上移動(dòng)，偏聚在凸部的周?chē)牟牧?。例如，作為有機(jī)材料，可以使用例如丙烯酸樹(shù)脂、聚脲樹(shù)脂等。另外，通過(guò)使用在紫外線等能量線的照射下固化的有機(jī)材料，能夠容易進(jìn)行樹(shù)脂的固化處理。有機(jī)材料的涂覆條件并沒(méi)有特別限定，為了防止對(duì)有機(jī)材料滴狀化造成妨礙或者不使得有機(jī)材料成膜，限制有機(jī)材料的涂覆量為好。另外，必要時(shí)，為了促使有機(jī)材料向凸部周?chē)苿?dòng)，可以使基體傾斜，或者使基體振動(dòng)等。
[0017]上述元件結(jié)構(gòu)體還可以具有第2樹(shù)脂材料部。上述第2樹(shù)脂材料部形成在上述第1無(wú)機(jī)材料層與上述第2無(wú)機(jī)材料層之間，獨(dú)立于上述第1樹(shù)脂材料部形成在上述凸部的表面上。
第1無(wú)機(jī)材料層的表面不一定是平坦的面，例如，在成膜時(shí)，有時(shí)因?yàn)轭w粒混入到膜中而使第1無(wú)機(jī)材料層的表面形成凹凸形狀。如果顆粒混入到第1無(wú)機(jī)材料層內(nèi)，可能會(huì)使第1無(wú)機(jī)材料層對(duì)器件層的覆蓋范圍減小，而無(wú)法得到所期望的阻隔特性。
因此，上述元件結(jié)構(gòu)體具有在因顆粒的混入等而形成的第1無(wú)機(jī)材料層的覆蓋不良部填充形成第2樹(shù)脂材料部的結(jié)構(gòu)。典型的是，第2樹(shù)脂材料部形成在第1無(wú)機(jī)材料層的表面與顆粒的外周面之間的分界部。從而，能夠提高對(duì)器件層的覆蓋率，并且，由于第2樹(shù)脂材料部具有第2無(wú)機(jī)材料層的基礎(chǔ)層的功能，因而能夠適當(dāng)?shù)匦纬傻?無(wú)機(jī)材料層(膜)。
[0018]第2樹(shù)脂材料部由與第1樹(shù)脂材料部的形成方法相同的方法形成。第2樹(shù)脂材料部可以由與第1樹(shù)脂材料部相同的有機(jī)材料構(gòu)成。這種情況下，可以在同一工序中同時(shí)形成第1樹(shù)脂材料部和第2樹(shù)脂材料部。此時(shí)，偏聚在凸部的側(cè)面與基體的表面之間的分界部的有機(jī)材料構(gòu)成第1樹(shù)脂材料部，偏聚在凸部的表面的有機(jī)材料構(gòu)成第2樹(shù)脂材料部。
[0019]本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的元件結(jié)構(gòu)體的制造方法包括如下步驟:
形成由第1無(wú)機(jī)材料層構(gòu)成的凸部，該第1無(wú)機(jī)材料層覆蓋設(shè)置在基板的表面上的器件層；
將液體狀的有機(jī)材料提供到上述基板的表面上，使上述有機(jī)材料凝結(jié)在上述凸部的側(cè)面與上述基板的表面之間的分界部；
在上述基板的表面上形成覆蓋上述凸部和上述有機(jī)材料的第2無(wú)機(jī)材料層。
[0020]在上述制造方法中，涂覆在基板的表面上的有機(jī)材料根據(jù)毛細(xì)管現(xiàn)象進(jìn)入到微小的間隙內(nèi)，并且在其自身的表面張力的作用下滴狀化或者凝結(jié)，偏聚在凸部的周?chē)c基板的表面的分界部。之后，通過(guò)使該有機(jī)材料固化，從而能夠在上述分界部形成有機(jī)材料的凝結(jié)體(樹(shù)脂材料部)。由于第2無(wú)機(jī)材料層層積于形成在上述分界部的樹(shù)脂材料部上，因而能夠提高