專利名稱：密封式線性電機(jī)電樞和密封式線性電機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種密封式(canned)線性電機(jī)電樞和一種密封式線 性電機(jī)，用于半導(dǎo)體制造設(shè)備中的步進(jìn)驅(qū)動或者機(jī)床的工作臺進(jìn)給， 該密封式線性電機(jī)電樞和密封式線性電機(jī)需要降低線性電機(jī)主體內(nèi)的 溫度升高并且提高絕緣的可靠性。
背景技術(shù)：
在密封式線性電機(jī)電樞和密封式線性電機(jī)中，這里該密封式線性 電機(jī)電樞和密封式線性電機(jī)用于半導(dǎo)體制造設(shè)備中的步進(jìn)驅(qū)動或者用 于機(jī)床的工作臺進(jìn)給，并且需要降低線性電機(jī)主體內(nèi)的溫度升高并且 提高絕緣的可靠性，電樞繞組被密封罐覆蓋，并且提供的制冷劑流動 穿過設(shè)置在電樞繞組和密封罐之間的制冷劑通道，由此通過制冷劑回 收由電樞繞組所產(chǎn)生的熱并且減少線性電機(jī)表面的溫度升高(例如， 參考專利文獻(xiàn)1和2)。
圖1是具有可移動元件的通用密封式線性電機(jī)的整體透視圖，在 該密封式線性電機(jī)中，電樞被密封罐覆蓋，圖中示出了與后面將要說 明的本發(fā)明的第一實(shí)施例和相關(guān)技術(shù)中的整體構(gòu)造所共有的整體構(gòu) 造。
圖1中，參考數(shù)字100指示定子，101指示外殼，102指示密封罐， 103指示密封罐固定螺栓，104指示壓板，105指示電樞繞組，106指 示端子基座，107指示制冷劑供給端口， 108指示制冷劑排放端口， 111 指示連接基板，112指示繞組容納框架，200指示可移動元件，201指 示磁軛支撐構(gòu)件，202指示磁軛，及203指示永磁體，一個(gè)可移動元件200包括磁軛202;用于產(chǎn)生磁場的多個(gè)永磁體 203，該永磁體相鄰地布置在磁軛202的內(nèi)表面上，從而磁極交替地變 化；以及磁軛支撐構(gòu)件201，該磁軛支撐構(gòu)件具有口-形截面。進(jìn)一步， 另一個(gè)定子100被構(gòu)造為，使電樞繞組105被密封罐102覆蓋，并且 插進(jìn)可移動元件內(nèi)的空腔中，從而通過間隙與永磁體的磁體陣列相對。
在這種構(gòu)造中，可移動元件200通過未示出的線性滾動導(dǎo)軌或者 未示出的流體靜力的軸承導(dǎo)軌來支撐，從而可移動元件200可以在箭 頭的方向相對于定子100移動。制冷劑從設(shè)置在外殼101內(nèi)的制冷劑 供給端口107供給，從制冷劑排放端口 108排出。
圖12示出了相關(guān)技術(shù)中的密封式線性電機(jī)，對應(yīng)于沿著圖1中的 線A-A的內(nèi)側(cè)截取的前截面的視圖(1/2模式)。
在圖12中，參考數(shù)字109指示0形圈，110指示制冷劑通道，113 指示成型樹脂。
定子100包括框架形的金屬外殼101;板形密封罐102，該板形密 封罐具有外殼101的形狀，從而以氣密地方式閉合外殼101的兩個(gè)開 口部；密封罐固定螺栓103，用于將密封罐102固定到外殼101;壓板 104，該壓板104具有用于密封罐固定螺栓103的通孔，并且利用相同 的負(fù)載擠壓密封罐102;電樞繞組105，該電樞繞組被布置在該外殼102 的空心部分；連接基板lll，用于接線電樞繞組105;繞組容納框架112， 用于在其內(nèi)容納電樞繞組105;以及O形圈109，該0形圈109形成為 比外殼101的空心部分略大。連接基板111的外形和繞組容納框架112 的外形分別形成為比外殼101的空心部分略小，連接基板111是由薄 板形成，而繞組容納框架112是由厚板形成。進(jìn)一步，繞組容納框架 112形成為比電樞繞組105的外形略大，從而在其內(nèi)容納電樞繞組105, 并且具有開口底部的凹陷的形狀。在容納進(jìn)繞組容納框架112之后，電樞繞組105被連接基板111 緊密地覆蓋，并且覆蓋部分的內(nèi)側(cè)是由成型樹脂113模制。進(jìn)一步， 電樞繞組105和連接基板111彼此電性連接。周圍由此構(gòu)造而成的電 樞繞組105利用連接基板111或繞組容納框架112通過螺栓(未示出) 固定到外殼101。在外殼101的前后側(cè)的邊緣上設(shè)置有流通槽，在流通 槽內(nèi)設(shè)置有O形圈109。然后，密封罐102被布置在外殼101的前部 分和后部分。壓板104沿著外殼101的邊緣鋪設(shè)在密封罐102上，并 且通過密封罐固定螺栓103緊固，從而密封罐102被固定到外殼101。 同時(shí)，在密封罐102和連接基板111之間以及密封罐102和繞組容納 框架112之間，分別形成固定間隙，并且該間隙用作制冷劑通道110。 制冷劑從設(shè)置在外殼101內(nèi)的制冷劑供給端口 107供給，并且從制冷 劑排放端口 108排出。制冷劑在制冷劑通道110內(nèi)流動，以冷卻由于 銅損耗而產(chǎn)生熱量的電樞繞組105。進(jìn)一步，按照慣例，使用基于氟的 惰性制冷劑(例如，由Sumitomo 3M有限公司制造的氟代烴，HFE) 作為制冷劑，該基于氟的惰性制冷劑具有極其小的電傳導(dǎo)性和絕緣特 性。近年來，由于進(jìn)一步減小溫度升高的需求，開始使用水(包括純 凈水和超純水)，而水具有大的熱傳導(dǎo)性和比熱，以及非常高的熱回 收能力。
圖13示出了相關(guān)技術(shù)中的密封式線性電機(jī)，對應(yīng)于沿著圖1中的 線B-B的內(nèi)側(cè)截取的側(cè)截面的視圖(1/2模式)。
在圖13中，參考數(shù)字120指示引導(dǎo)線，121指示塊，122指示引 導(dǎo)線蓋，而130指示樹脂。用于連接電樞繞組105和引導(dǎo)線120的箔 式樣(未示出)被設(shè)置用于連接基板lll，塊121被設(shè)置在銅箔式樣的 終端。引導(dǎo)線120的一端被通過焊料連接到塊121，而另一端被連接到 端子基座106。進(jìn)一步，與塊121的上部相對應(yīng)的凹陷部分填充有樹脂 130，而引導(dǎo)線蓋122被布置在凹陷部分和制冷劑通道110之間的邊界。
在由此構(gòu)造的密封式線性電機(jī)中，對應(yīng)于可移動元件200和定子100的電相關(guān)位置的三相交流電被供應(yīng)到電樞繞組105，在由永磁體203 所形成的磁場的作用下，可移動元件200由此會產(chǎn)生推動力。此時(shí)， 由于因銅損耗而產(chǎn)生熱的電樞繞組105被在制冷劑通道110內(nèi)流動的 制冷劑冷卻，密封罐102的表面溫度的升高可以被抑制。進(jìn)一步，由 于可以使用大的熱傳導(dǎo)性和比熱，以及高的熱回收能力的水(包括純 凈水和超純凈水)，因此，密封罐102的表面溫度的升高可以抑制得 非常低。
專利文獻(xiàn)l:日本專利申請No. 2004-148203 (說明書第7頁，和 圖l至5)。
專利文獻(xiàn)2: JP-A-2004-312877(說明書第4頁至第5頁，和圖2)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題
然而，在常規(guī)的密封式線性電機(jī)電樞和常規(guī)的密封式線性電機(jī)中， 當(dāng)水在靠近引導(dǎo)線的制冷劑通道內(nèi)流動時(shí)，會出現(xiàn)下面的問題。
艮口，在連接基板和樹脂之間會出現(xiàn)粘結(jié)分離，從而存在著水滲透 進(jìn)其分離部分可能致使引導(dǎo)線和連接基板之間的接合部分的絕緣阻抗 下降或者絕緣擊穿的擔(dān)心。引起該問題的機(jī)制如下
(1) 當(dāng)電流流到電樞繞組時(shí)，電樞繞組會產(chǎn)生熱量，由此，作為 處于電樞繞組周圍的部件構(gòu)件的連接基板和繞組容納框架的溫度會變 高，并且覆蓋引導(dǎo)線的樹脂由于熱傳導(dǎo)溫度也會變高。由于樹脂與在 引導(dǎo)線蓋的外圍部分的制冷劑的水相接觸，因此從其該部分吸收制冷 劑。樹脂溫度升高和水吸收同時(shí)出現(xiàn)，由此，連接基板和填充樹脂之 間的粘結(jié)力會大大下降。
(2) 由于樹脂的熱膨脹系數(shù)比連接基板的熱膨脹系數(shù)大，因此， 產(chǎn)生了致使樹脂想要從連接基板剝離的內(nèi)應(yīng)力(以下稱為剝離力)。(3) 通過(1)中的粘結(jié)力的下降和(2)中剝離力的產(chǎn)生，在連 接基板和樹脂之間產(chǎn)生了粘結(jié)分離。
進(jìn)一步，為了防止出現(xiàn)上面的粘結(jié)分離，想到將樹脂改變?yōu)榫哂?強(qiáng)粘結(jié)力的樹脂的措施。然而，即使在使用具有強(qiáng)粘結(jié)力的樹脂的情 況下，由于樹脂變厚，與樹脂的體積成比例變大的剝離力并沒有減小。 因此，由于隨著溫度升高出現(xiàn)的剝離力，在連接基板和樹脂之間出現(xiàn) 粘結(jié)分離，從而存在著水滲透進(jìn)其分離部分可能致使絕緣阻抗下降或 者絕緣擊穿的擔(dān)心。
進(jìn)一步，在形成在連接基板或繞組容納框架的周圍和外殼之間的 制冷劑通道內(nèi)的間隙部分中產(chǎn)生制冷劑的停滯。在使用純凈水或超純 水用作制冷劑的情況下，制冷劑的特定阻抗在其間隙部分迅速地降低， 因此絕緣阻抗下降。
(4) 當(dāng)填充樹脂的水吸收繼續(xù)進(jìn)行時(shí)，水還滲透到端子基座的端 子和引導(dǎo)部分的接合部分，因此，存在著絕緣阻抗可能會下降并且可 能發(fā)生絕緣擊穿的擔(dān)心。
(5) 在引導(dǎo)線的涂層上出現(xiàn)銷孔或者裂痕的情況下，引導(dǎo)線和外 殼的接觸會產(chǎn)生接地故障，因此，存在著可能發(fā)生絕緣擊穿的擔(dān)心。
進(jìn)一步，在存在著多個(gè)引導(dǎo)線的情況下，由于它們在彼此纏繞的 同時(shí)以復(fù)雜的形式布置，因此，填充樹脂不能填充在引導(dǎo)線之間被并 且會產(chǎn)生空氣層。當(dāng)填充樹脂吸收水時(shí)，水停留在空氣層部分，因此， 存在著絕緣阻抗可能會下降并且可能發(fā)生絕緣擊穿的擔(dān)心。
(6) 在填充樹脂的供給操作中，首先，將密封帶貼到外殼上，以 使填充樹脂不會貼到用于O形圈的槽中，然后，通過目測填充樹脂被 供給到以達(dá)到指定的高度水平。進(jìn)一步，在填充操作的硬化操作中，填充樹脂長時(shí)間在指定的溫度硬化。即，在密封式線性電機(jī)電樞的制 造中，填充樹脂的可加工性非常差。
做出本發(fā)明的目的是解決上述問題，因此，本發(fā)明的目的是提供 一種密封式線性電機(jī)電樞和一種密封式線性電機(jī)，其中，提高了水冷 型密封式線性電機(jī)的絕緣可靠性，并且具有良好的裝配加工性。
解決問題的技術(shù)方案
為了解決上述問題，本發(fā)明的構(gòu)成如下。
根據(jù)本發(fā)明的第一方面，提供了一種密封式線性電機(jī)電樞，該密 封式線性電機(jī)電樞包括-
電樞繞組，該電樞繞組形成為扁平板的形狀并且包括線圈；
繞組容納框架，該繞組容納框架形成為凹陷形狀，該凹陷具有用 于容納所述電樞繞組的開口底部；
扁平板形連接基板，該連接基板氣密地閉合所述繞組容納框架的 開口部并且連接所述電樞繞組；
金屬外殼，該金屬外殼形成為框架的形狀，從而包圍被所述繞組 容納框架和所述連接基板密封的所述電樞繞組；
密封罐，該密封罐氣密地閉合所述外殼的兩個(gè)開口部；
制冷劑通道，該制冷劑通道分別形成在所述密封罐和所述繞組容 納框架之間以及所述密封罐和所述連接基板之間；以及
引導(dǎo)線，該引導(dǎo)線連接所述連接基板，其中
在所述連接基板和所述引導(dǎo)線之間的連接部分周圍設(shè)置帶有粘結(jié) 樹脂的涂層，以包括所述連接部分，和
所述粘結(jié)樹脂的周圍被填充樹脂填充。
進(jìn)一步，根據(jù)本發(fā)明的第二方面，提供了一種根據(jù)第一方面的密 封式線性電機(jī)電樞，其中
在形成在所述連接基板和所述外殼之間的間隙內(nèi)以及在形成在所述繞組容納框架和所述外殼之間的間隙內(nèi)設(shè)置有密封樹脂，以密封所 述間隙。
進(jìn)一步，根據(jù)本發(fā)明的第三方面，提供了一種根據(jù)第一方面的密 封式線性電機(jī)電樞，其中
所述粘結(jié)樹脂包括環(huán)氧樹脂并且所述填充樹脂包括硅樹脂。
進(jìn)一步，根據(jù)本發(fā)明的第四方面，提供了一種根據(jù)第二方面的密 封式線性電機(jī)電樞，其中
所述密封樹脂包括硅樹脂。
進(jìn)一步，根據(jù)本發(fā)明的第五方面，提供了一種密封式線性電機(jī)電 樞，該密封式線性電機(jī)電樞包括
電樞繞組，該電樞繞組形成為扁平板的形狀并且包括線圈；
繞組容納框架，該繞組容納框架形成為凹陷的形狀，該凹陷具有 用于容納所述電樞繞組的開口底部；
扁平板形連接基板，該連接基板氣密地閉合所述繞組容納框架的 開口部并且連接所述電樞繞組；
金屬外殼，該金屬外殼被設(shè)置為包圍框架形狀的所述繞組容納框
架；
密封罐，該密封罐氣密地閉合所述外殼的兩個(gè)開口部； 制冷劑通道，該制冷劑通道分別形成在所述密封罐和所述繞組容 納框架之間以及所述密封罐和所述連接基板之間；以及 引導(dǎo)線，該引導(dǎo)線連接所述連接基板，其中
所述連接基板和所述引導(dǎo)線之間的連接部分被布置在所述繞組容 納框架的凹陷部分，和
所述凹陷部分的內(nèi)部填充有成型樹脂。
進(jìn)一步，根據(jù)本發(fā)明的第六方面，提供了一種根據(jù)第五方面的密 封式線性電機(jī)電樞，其中所述引導(dǎo)線朝著所述繞組容納框架和所述外殼之間的接合表面從 所述繞組容納框架拉出，以及
橡膠密封構(gòu)件被設(shè)置在所述接合表面上，以包括所述引導(dǎo)線的周圍。
進(jìn)一步，根據(jù)本發(fā)明的第七方面，提供了一種根據(jù)第五或第六方 面的密封式線性電機(jī)電樞，其中
用于機(jī)，地緊固所述外殼和所述繞組容納框架的框架固定螺栓被 設(shè)置在所述;卜殼和所述繞組容納框架之間，以及
所述接合表面被構(gòu)造為相對于所述框架固定螺栓的緊固方向傾斜。
進(jìn)一步，根據(jù)本發(fā)明的第八方面，提供了一種根據(jù)第五或第六方 面的密封式線性電機(jī)電樞，包括
印制電路板，在該印制電路板中，所述引導(dǎo)線是由銅箔構(gòu)成。
進(jìn)一步，根據(jù)本發(fā)明的第九方面，提供了一種密封式線性電機(jī)， 該密封式線性電機(jī)包括
根據(jù)本發(fā)明的第一至第八方面中的任一方面所述的密封式線性電 機(jī)電樞；以及
場磁鐵，該場磁鐵被布置為通過磁間隙與所述電樞相對，并且包 括相鄰布置的多個(gè)永磁體，以使磁極交替的變化，其中
將所述電樞和所述場磁鐵中的一個(gè)作為定子，而另一個(gè)作為可移 動元件，所述場磁鐵和所述電樞相對彼此移動。
本發(fā)明的技術(shù)效果
根據(jù)本發(fā)明的第一方面，由于帶有粘結(jié)樹脂的涂層被設(shè)置為包括 連接基板和引導(dǎo)線之間的連接部分，因此，粘結(jié)樹脂和連接基板之間 的粘結(jié)力在溫度升高時(shí)得以提高。進(jìn)一步，由于粘結(jié)樹脂的周圍填充 有填充樹脂，因此，粘結(jié)樹脂不會與作為制冷劑的水直接接觸，因此，由于水吸收而引起的粘結(jié)力的下降被抑制。進(jìn)一步，由于用于涂層的 粘結(jié)樹脂被應(yīng)用得很薄，因此與樹脂的體積成比例的剝離力被減小。 通過如上所述的提高溫度升高時(shí)的粘結(jié)力、抑制由于水吸收而引起的 粘結(jié)力的下降、減小剝離力，能夠防止出現(xiàn)在相關(guān)技術(shù)中發(fā)生的粘結(jié) 分離，從而能夠解決由于水滲透而引起的絕緣阻抗下降和絕緣擊穿的 問題，并且能夠迅速地提高了絕緣性能的可靠性。
根據(jù)本發(fā)明的第二方面，在形成在連接基板或繞組容納框架周圍 和外殼之間的制冷劑通道內(nèi)的間隙被密封樹脂密封。因此，能夠減小 在制冷劑通道內(nèi)的制冷劑停滯。特別地，在使用純凈水或超純水作為 制冷劑的情況下，能夠抑制純凈水或超純水的特定阻抗的下降。
因此，制冷劑的特定阻抗在制冷劑通道內(nèi)的任意部分都能長時(shí)間 的保持恒定，從而能夠提髙絕緣性能的可靠性。
根據(jù)本發(fā)明的第三和第四方面，由于即使在溫度升高時(shí)具有很強(qiáng) 的粘結(jié)力，因此使用環(huán)氧樹脂被用作粘結(jié)樹脂，且由于在硬化后具有 彈性，因此硅樹脂被用作填充樹脂和密封樹脂。因此，粘結(jié)樹脂能夠 提高連接基板的粘結(jié)力，而填充樹脂和密封樹脂能夠減小由于熱膨脹 而產(chǎn)生與外圍構(gòu)件相關(guān)的剝離力。
因此，能夠防止構(gòu)件之間的粘結(jié)分離，由此，能夠解決由于水滲 入在樹脂分離部分引起的絕緣阻抗的下降和絕緣擊穿的問題，并且能 夠提高絕緣性能的可靠性。
根據(jù)本發(fā)明的第五方面，連接基板和引導(dǎo)線之間的連接部分被布 置在繞組容納框架的凹陷部分內(nèi)，并且凹陷部分的內(nèi)側(cè)被成型樹脂填 充。因此，繞組容納框架、連接基板和引導(dǎo)線被成型樹脂模塑為整體， 從而提高了構(gòu)件之間的粘結(jié)力。進(jìn)一步，這些部件是環(huán)氧基礎(chǔ)的低吸 水構(gòu)件，其中，很難出現(xiàn)由于水吸收而引起的粘結(jié)力下降的問題。如上所述，通過提高粘結(jié)力并且抑制由于水吸收而引起的粘結(jié)力 下降，能夠防止在相關(guān)技術(shù)中出現(xiàn)的粘結(jié)分離，從而能夠解決由于水 滲透而引起的絕緣阻抗下降和絕緣擊穿問題，并且能夠迅速提高絕緣 性能的可靠性。
根據(jù)本發(fā)明的第六方面，引導(dǎo)線朝著所述繞組容納框架和所述外 殼之間的接合表面從所述繞組容納框架拉出，并且橡膠密封構(gòu)件被設(shè) 置在所述接合表面上，以包括所述引導(dǎo)線的周圍。因此，能夠防止水 從接合表面滲透進(jìn)繞組容納框架內(nèi)側(cè)并且進(jìn)入端子基座。
因此，能更好的解決由于水滲透而引起的絕緣阻抗下降和絕緣擊 穿問題，并且能夠迅速提高絕緣性能的可靠性。進(jìn)一步，由于消除了 填充操作，使用容易并且短時(shí)間地執(zhí)行操作的橡膠密封構(gòu)件，因此， 還提高了裝配加工性。
根據(jù)本發(fā)明的第七方面，設(shè)置有用于機(jī)械地緊固所述外殼和所述 繞組容納框架的框架固定螺栓，并且所述接合表面被構(gòu)造為相對于所 述框架固定螺栓的緊固方向傾斜。因此，與第六方面的構(gòu)造相比，接 合表面的粘結(jié)性能夠通過簡單的裝配得以保持，并且能夠確保橡膠密 封構(gòu)件的密封性能。因此，與第六方面相似，能夠提高絕緣性能的可 靠性和裝配加工性。
根據(jù)本發(fā)明的第八方面，由于引導(dǎo)線是由印制電路板構(gòu)成，該印 刷版中形成有銅箔，因此能夠防止印制電路板和外殼之間的接觸，絕 緣空間的加寬能夠提高絕緣性能的可靠性。進(jìn)一步，即使在存在多個(gè) 引導(dǎo)線的情況下，也不會產(chǎn)生之前在引導(dǎo)線之間產(chǎn)生的空氣層。
因此，即使橡膠密封構(gòu)件不設(shè)置為像第六方面的情況中的結(jié)構(gòu)， 也能夠解決由于水滲透進(jìn)空氣層而引起的絕緣阻抗下降和絕緣擊穿的問題，并且提高了絕緣性能的可靠性。
根據(jù)本發(fā)明的第九方面，具有永磁體的場磁鐵被布置為與所述電 樞相對，其中，所述電樞和所述場磁鐵中的一個(gè)被構(gòu)造為定子，而另
一個(gè)構(gòu)造為可移動元件。因此，能夠提供具有第一至第八方面的所有 優(yōu)點(diǎn)的密封式線性電機(jī)。


圖1是包括可移動元件的通用密封式線性電機(jī)的整體透視圖，其 中在相關(guān)技術(shù)和本發(fā)明的第一實(shí)施例中所共有的電樞被密封罐蓋住。
圖2示出了本發(fā)明的第一實(shí)施例的密封式線性電機(jī)，該圖對應(yīng)于
沿著圖1中的線A-A的內(nèi)側(cè)截取的前剖面圖。
圖3示出了本發(fā)明的第一實(shí)施例的密封式線性電機(jī)，該圖對應(yīng)于 沿著圖1中的線B-B的內(nèi)側(cè)截取的側(cè)剖面圖。
圖4示出了本發(fā)明的第二實(shí)施例的密封式線性電機(jī)，其中，(a) 對應(yīng)于密封式線性電機(jī)的整體透視圖，而(b)對應(yīng)于沿著(a)中的線 A-A的內(nèi)側(cè)截取的前剖面圖(1/2模式)。
圖5示出了本發(fā)明的第二實(shí)施例的密封式線性電機(jī)，該圖對應(yīng)于 沿著圖4中的線B-B的內(nèi)側(cè)截取的側(cè)剖面圖。
圖6是在第二實(shí)施例中沿著圖5中的線C-C的內(nèi)側(cè)截取的平面剖 面圖。
圖7示出了本發(fā)明的第三實(shí)施例的密封式線性電機(jī)，該圖對應(yīng)于 沿著圖4中的線B-B的內(nèi)側(cè)截取的側(cè)剖面圖。
圖8是在第三實(shí)施例中沿著圖7中的線C-C的內(nèi)側(cè)截取的平面剖 面圖。
圖9示出了本發(fā)明的第四實(shí)施例的密封式線性電機(jī)，該圖對應(yīng)于 沿著圖4中的線B-B的內(nèi)側(cè)截取的側(cè)剖面圖。
圖10是在第四實(shí)施例中沿著圖9中的線C-C的內(nèi)側(cè)截取的平面剖 面圖。
圖11示出了本發(fā)明的第五實(shí)施例的密封式線性電機(jī)，該圖對應(yīng)于沿著圖4中的線B-B的內(nèi)側(cè)截取的側(cè)剖面圖。
圖12示出了相關(guān)技術(shù)中的密封式線性電機(jī)，該圖對應(yīng)于沿著圖l 的線A-A的內(nèi)側(cè)截取的前剖面圖。
圖13示出了相關(guān)技術(shù)中的密封式線性電機(jī)，該圖對應(yīng)于沿著圖1 的線B-B的內(nèi)側(cè)截取的側(cè)剖面圖。
附圖標(biāo)記說明
100定子
101外殼
102密封罐
103密封罐固定螺栓
104壓板
105電樞繞組
106端子基座
107制冷劑供給端口
108制冷劑排放端口
109 O形圈
110制冷劑通道
111連接基板
112、 140、 140a、 140b、 140c繞組容納框架 113成型樹脂 120、 120a引導(dǎo)線 121塊
122引導(dǎo)線蓋 130樹脂 131粘結(jié)樹脂 132填充樹脂 133密封樹脂 141框架固定螺栓 142引導(dǎo)部O形圈143 O形圈螺栓
144 0形圈擠壓構(gòu)件 145印制電路板 200可移動元件 201磁軛支撐構(gòu)件 202磁軛
203永磁體
具體實(shí)施例方式
參考附圖，下面將對本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明。
實(shí)施例1
圖2示出了本發(fā)明的第一實(shí)施例的密封式線性電機(jī)，該圖對應(yīng)于 沿著圖1中的線A-A的內(nèi)側(cè)截取的前剖面圖。圖3示出了本發(fā)明的第 一實(shí)施例的密封式線性電機(jī)，該圖對應(yīng)于沿著圖1中的線B-B的內(nèi)側(cè) 截取的側(cè)剖面圖。本發(fā)明中與相關(guān)技術(shù)中相同的部件用相同的參考數(shù) 字指示，這些部件的說明將省略，僅說明不同點(diǎn)。進(jìn)一步，由于之前 在圖1中已經(jīng)對現(xiàn)有技術(shù)和本發(fā)明中共同的部件進(jìn)行了說明，因此， 省略了具有可移動元件并且其中電樞被密封罐蓋住的通用密封式線性
電機(jī)的整體構(gòu)造的說明。
在圖2和3中，參考數(shù)字131指示粘結(jié)樹脂，132指示填充樹脂， 而133指示密封樹脂。
第一實(shí)施例與相關(guān)技術(shù)的不同點(diǎn)在于下列幾點(diǎn)。
艮卩，在圖2中，形成在連接基板111和外殼101之間的間隙中和 形成在繞組容納框架112和外殼101之間的間隙中，設(shè)置有用于密封 間隙的密封樹脂133。具有中度粘性的硅樹脂被用作密封樹脂133，硅 樹脂具有這樣的特性，該特性具有在硬化后能夠吸收外圍構(gòu)件的熱膨脹的彈性，并且在硬化期間，可以容易地應(yīng)用到密封部分，而不會流 落。
進(jìn)一步，在圖3中，塊121和位于連接基板111上的引導(dǎo)線用粘 結(jié)樹脂131涂層，從而將連接部分包括，該塊121被設(shè)置在構(gòu)成用于 連接電樞繞組的連接部分的銅式樣(未示出)終點(diǎn)處，并且粘結(jié)樹脂 131的周圍填充有填充樹脂132。環(huán)氧樹脂被用作粘結(jié)樹脂131，環(huán)氧 樹脂具有非常高的粘結(jié)力并粘結(jié)到連接基板lll。具有低粘性的硅樹脂
被用作填充樹脂132，硅膠樹脂具有這樣的特性，該特性具有在硬化后 能夠吸收粘結(jié)樹脂131、粘結(jié)樹脂131周圍的外殼101和繞組容納框架 112的熱膨脹的彈性，并且在硬化期間很難在在填充樹脂132中產(chǎn)生空 氣層，并且具有優(yōu)異的流動性和去泡沬特性。
接著，將參考圖l至3對操作進(jìn)行說明。
當(dāng)電動力從外界供應(yīng)到線性電機(jī)定子100的端子基座106并且電 流流到電樞繞組105時(shí)，電樞繞組由于銅消耗而產(chǎn)生熱量。在該操作 的同時(shí)，制冷劑被供應(yīng)到設(shè)置在定子100的外殼110內(nèi)的制冷劑供給 端口 107，在形成在密封罐102和連接基板111之間以及密封罐102和 繞組容納框架112之間的恒定氣間隙的制冷劑通道110內(nèi)流動，然后， 朝著制冷劑排放端口 108被排出。制冷劑在制冷劑通道110內(nèi)流通， 由此冷卻由于銅損耗而產(chǎn)生熱量的電樞繞組105。此時(shí)，通過使用填充 樹脂132和粘結(jié)樹脂131覆蓋在用于連接電樞繞組105和位于連接基 板111上的引導(dǎo)線120的連接部分的周圍，防止制冷劑直接滲透進(jìn)粘 結(jié)樹脂131，從而不會產(chǎn)生絕緣阻抗下降或者絕緣擊穿的問題。進(jìn)一步， 通過使用密封了形成在連接基板111或繞組容納框架112的周圍和外 殼101之間的制冷劑通道110內(nèi)的間隙的密封樹脂133，消除了制冷劑 在制冷劑通道110內(nèi)的停滯，并且制冷劑在制冷劑通道110內(nèi)平滑地 流通，從而能夠降低密封罐表面上的溫度升高，并且提高了冷卻能力。因此，在本發(fā)明的第一實(shí)施例中，由于設(shè)置具有粘結(jié)樹脂的涂層 以包括連接基板和引導(dǎo)線之間的連接部分，因此，連接部分的熱膨脹 由于粘結(jié)樹脂的存在而變小，從而能夠減少樹脂和連接基板之間的熱 膨脹差異而產(chǎn)生的張力強(qiáng)度，并且能夠防止粘結(jié)分離。
進(jìn)一步，由于密封式線性電機(jī)被構(gòu)造為，粘結(jié)樹脂的周圍填充有 填充樹脂，因此，借助填充樹脂能夠防止粘結(jié)樹脂與用作制冷劑的水 直接接觸，以減少填充樹脂的水吸收，并且還消除由于水吸收而產(chǎn)生 的粘結(jié)力下降。
因此，由于水滲入粘結(jié)分離部分而產(chǎn)生的絕緣阻抗下降和絕緣擊 穿的問題可以得以解決，并且提高了絕緣的可靠性。
進(jìn)一步，由于密封樹脂密封了形成在連接基板和外殼之間以及繞 組容納框架周圍和外殼之間的制冷劑通道內(nèi)的間隙，因此，能夠減小 制冷劑通道內(nèi)的制冷劑的停滯。特別地，在純凈水或者超純水被用作 制冷劑的情況下，可以抑制純凈水或超純水的特定阻抗的減小。因此， 即使是在循環(huán)型冷卻裝置中，制冷劑自身的特定阻抗可以長時(shí)間的保 持恒定，從而提高了絕緣性能的可靠性。
另外，由于環(huán)氧樹脂被用作粘結(jié)樹脂，并且使用硬化后具有彈性 的硅樹脂用作填充樹脂和密封樹脂，因此，粘結(jié)樹脂可以提高構(gòu)件之 間的粘結(jié)力，能夠吸收外圍構(gòu)件的熱膨脹。
因此，能夠防止由于熱膨脹而產(chǎn)生在構(gòu)件之間的粘結(jié)分離，能夠 解決由于水滲入粘結(jié)分離部件而導(dǎo)致絕緣阻抗下降和絕緣擊穿問題， 并且提高了絕緣可靠性。
另外，電樞被布置為與具有永磁體的場磁鐵(fieldmagnet)相對， 其中，電樞和場磁鐵中的任意一個(gè)構(gòu)成為定子，而另一個(gè)構(gòu)成為可移動元件。因此，能夠提供具有上述優(yōu)點(diǎn)的密封式線性電機(jī)。 實(shí)施例2
接著，將說明本發(fā)明的第二實(shí)施例。
圖4示出了本發(fā)明的第二實(shí)施例的密封式線性電機(jī)，其中，(a) 對應(yīng)于密封式線性電機(jī)的整體透視圖，而(b)對應(yīng)于沿著(a)中的線 A-A的內(nèi)側(cè)截取的前剖面圖(1/2模式)。圖5示出了本發(fā)明的第二實(shí) 施例的密封式線性電機(jī)，該圖對應(yīng)于沿著圖4中的線B-B的內(nèi)側(cè)截取 的側(cè)剖面圖，而圖6是在第二實(shí)施例中沿著圖5中的線C-C的內(nèi)側(cè)截 取的平面剖面圖。這里，圖4 (a)的整體透視圖與將要說明的第三至 第五實(shí)施例相同。
第二實(shí)施例中與相關(guān)技術(shù)和第一實(shí)施例中相同的部件用相同的參 考數(shù)字指示，這些部件的說明將省略，僅說明不同點(diǎn)。
圖5中，參考數(shù)字140指示繞組容納框架。
本發(fā)明的第二實(shí)施例與相關(guān)技術(shù)的不同之處在于定子100的結(jié)構(gòu)， 下面將說明其結(jié)構(gòu)。
艮P，如圖4所示，定子100包括金屬的外殼101,該金屬外殼形成 為字符口的形狀并且具有空心內(nèi)部；板形密封罐102，該板形密封罐具 有外殼101的外部形狀，從而氣密封地閉合外殼101的空心部分；密 封罐固定螺栓103，用于將密封罐102固定到外殼101;壓板104，該 壓板具有用于密封罐固定螺栓103的通孔并且用相同的負(fù)載擠壓密封 罐102;電樞繞組105，該電樞繞組被布置在外殼101的空心部；連接 基板lll;繞組容納框架140，形成為具有開口底部的凹陷形狀；以及 0形圈109，形成為比外殼101的空心部略大。連接基板111的外部形狀和繞組容納框架112的外部形狀分別形 成為比外殼101的空心部略小。連接基板111是由薄板構(gòu)成，而繞組 容納框架140是由厚板構(gòu)成，并且具有通過在厚度方向切割框架形成 的凹陷部，這樣切割部分比電樞繞組105的外形略大。電樞繞組105 被容納在電樞容納框架140的凹陷部內(nèi)，并且被連接基板111緊密地 覆蓋，且覆蓋部分的內(nèi)側(cè)是由成型樹脂113模塑而成。進(jìn)一步，電樞 繞組105被電性連接到連接基板111。
由此構(gòu)造而成的電樞繞組105通過連接基板111或繞組容納框架 140借助作為機(jī)械緊固裝置的框架固定螺栓141被固定到外殼101。在 外殼IOI的前部和后部的邊緣上，設(shè)置有流通槽，并且O形圈109被 布置在該流通槽內(nèi)。然后，密封罐102被布置在外殼101的前部和后 部上。壓板104沿著外殼101的邊緣被鋪設(shè)到密封罐102上，并且被 密封罐固定螺栓103緊固，由此，密封罐102被固定到外殼101。
此時(shí)，在密封罐102和連接基板之間以及密封罐102和繞組容納 框架140之間形成恒定的間隙，并且該間隙用作制冷劑通道110。制冷 劑從設(shè)置在外殼101內(nèi)的制冷劑供給端口 107供給，并且從制冷劑排 放端口 108排出。在這期間，制冷劑在制冷劑通道110內(nèi)流動，以冷 卻由于銅損耗而產(chǎn)生熱量的電樞繞組105。迸一步，使用具有大的熱傳 導(dǎo)性和比熱，以及非常高的熱回收能力的水(包括純凈水和超純水) 作為制冷劑。
在另一方面，用于連接電樞繞組105和引導(dǎo)線120的銅箔式樣(未 示出)被設(shè)置用于連接基板lll，且塊121被設(shè)置在銅箔式樣的終點(diǎn)。 引導(dǎo)線120的一端通過焊料連接到塊121。塊121部分被容納在繞組容 納框架140的凹陷部分內(nèi)，而引導(dǎo)線120朝著繞組容納框架140和外 殼101之間的接合表面被拉出。繞組容納框架140的凹陷部分的內(nèi)側(cè) 填充有成型樹脂，從而引導(dǎo)線120、線圈150和連接基板111通過成型 樹脂被整體固定在繞組容納框架140內(nèi)。從接合表面拉出的引導(dǎo)線120被連接到端子基座106。在引導(dǎo)線120和外殼101之間的部分被填充樹 脂132填充。具有這種良好流動性和這種充足彈性的硅樹脂被用作填 充樹脂132,這種良好的流動性能夠在引導(dǎo)線120被布置在外殼101內(nèi) 之后填充填充樹脂，這種充足的彈性能夠使填充樹脂能夠吸收外殼的 熱膨脹。
因此，在本發(fā)明的第二實(shí)施例中，由于繞組容納框架、連接基板 和引導(dǎo)線可以由成型樹脂整體模制，因此提高了各個(gè)構(gòu)件之間的粘結(jié) 力。進(jìn)一步，由于這些部件構(gòu)件是環(huán)氧基的低吸水的構(gòu)件，即使在這 些部件產(chǎn)生溫度升高的情況下，由于吸收水而引起的粘結(jié)力下降的情 況不容易出現(xiàn)。因此，顯著地提高了粘結(jié)力，由此，能夠防止在相關(guān) 技術(shù)中出現(xiàn)的粘結(jié)分離，能夠解決由于水滲透而引起的絕緣阻抗下降 和絕緣擊穿的問題，并且能夠迅速提高絕緣性能的可靠性。
實(shí)施例3
接下來，將說明本發(fā)明的第三實(shí)施例。
圖7示出了本發(fā)明的第三實(shí)施例的密封式線性電機(jī)，該圖對應(yīng)于 沿著圖4中的線B-B，的內(nèi)側(cè)截取的側(cè)剖面圖，而圖8是在第三實(shí)施例 中沿著圖7中的線C-C'的內(nèi)側(cè)截取的平面剖面圖。
在圖7和8中，參考數(shù)字101a指示外殼，140a指示繞組容納框架， 142指示引導(dǎo)部0形圈，143指示0形圈螺栓，及144指示0形圈擠 壓構(gòu)件。
本發(fā)明的第三實(shí)施例與第二實(shí)施例的不同在于引導(dǎo)部O形圈142， 該引導(dǎo)部O形圈是橡膠密封構(gòu)件，并且被設(shè)置在外殼101a和繞組容納 框架140a之間的接合表面上，從而包括引導(dǎo)線120。因此，用于引導(dǎo) 部O形圈142的槽和用于O形圈螺栓143的通孔以新方法設(shè)置在外殼 101a內(nèi)。在繞組容納框架140a中，設(shè)置有其中嵌設(shè)O形圈擠壓構(gòu)件144的槽。當(dāng)O形圈螺栓142被轉(zhuǎn)動時(shí)，O形圈擠壓構(gòu)件144被夾緊， 并且繞組容納框架140a和外殼101a彼此緊密接觸。此時(shí)，引導(dǎo)部O 形圈142以預(yù)設(shè)量被擠壓，并且密封繞組容納框架140a和外殼101a。 進(jìn)一步，由于繞組容納框架140a的內(nèi)側(cè)被引導(dǎo)部O形圈142密封，不 需要設(shè)置在相關(guān)技術(shù)中設(shè)置的填充樹脂。
因此，根據(jù)具有上述構(gòu)造的本發(fā)明的第三實(shí)施例，可以防止水從 接合表面滲入繞組容納框架且滲到端子基座上，從而能夠更好的解決 絕緣阻抗下降和絕緣擊穿的問題，并且能夠提高絕緣性能的可靠性。 進(jìn)一步，由于去除了填充操作，可在短時(shí)間內(nèi)且容易地執(zhí)行操作的橡 膠密封構(gòu)件的O形圈替代了填充樹脂，因此，還提高了裝配加工性。
實(shí)施例4
接下來，將說明本發(fā)明的第四實(shí)施例。
圖9示出了本發(fā)明的第四實(shí)施例的密封式線性電機(jī)，該圖對應(yīng)于 沿著圖4中的線B-B的內(nèi)側(cè)截取的側(cè)剖面圖，而圖IO是在第四實(shí)施例 中沿著圖9中的線C-C的內(nèi)側(cè)截取的平面剖面圖。
在圖9和10中，參考數(shù)字101b指示外殼，140b指示繞組容納框架。
第四實(shí)施例與第一至第三實(shí)施例的不同之處在于，外殼101b和繞 組容納框架104b之間的接合表面被構(gòu)成為傾斜地。
這里，用作外殼101b和繞組容納框架140b的緊固裝置的框架固 定螺栓141在垂直方向被緊固。進(jìn)一步，不包括設(shè)置在第二實(shí)施例中 的O形圈螺栓和O形圈擠壓構(gòu)件。當(dāng)繞組容納框架140b和外殼101b 通過緊固框架固定螺栓141被固定時(shí)，它們在它們的接合表面彼此緊 密接觸，并且引導(dǎo)部O形圈142以預(yù)設(shè)量被擠壓，以確保接合表面的密封性能。
因此，根據(jù)具有該種構(gòu)成的本發(fā)明的第四實(shí)施例，與在第三實(shí)施 例中的情況相比，接合表面的緊密接觸性能通過簡單的裝配得以保持， 能夠確保作為橡膠密封構(gòu)件的引導(dǎo)部0形圈的密封性能。因此，在提 高絕緣可靠性的同時(shí)，裝配加工性比在第三實(shí)施例中有了更大的提高。
實(shí)施例5
接下來，將說明本發(fā)明的第五實(shí)施例。
圖ll示出了本發(fā)明的第五實(shí)施例的密封式線性電機(jī)，該圖對應(yīng)于
沿著圖4中的線B-B的內(nèi)側(cè)截取的側(cè)剖面圖。
在圖11中，參考數(shù)字120a指示引導(dǎo)線，140c指示繞組容納框架， 及145指示印制電路板。
第五實(shí)施例與第三實(shí)施例的不同之處在于，從繞組容納框架140c 拉出的引導(dǎo)線被改變?yōu)橛≈齐娐钒?45。在繞組容納框架140c的凹陷 部分中，短引導(dǎo)線120a通過焊料被連接到塊121，而引導(dǎo)線的另一端 通過焊料被連接到印制電路板145。印制電路板145使用扁平板形玻璃 環(huán)氧樹脂作為基礎(chǔ)材料，并且在其表面上或者其內(nèi)具有銅箔式樣。從 繞組容納框架140c拉出的印制電路板145的一端被電性連接到端子基 座106。
因此，根據(jù)具有該種構(gòu)造的第五實(shí)施例，能夠防止印制電路板和 外殼之間的接觸，并且絕緣空間的擴(kuò)展能夠提高絕緣的可靠性。進(jìn)一 步，即使是在存在多個(gè)引導(dǎo)線的情況下，不會產(chǎn)生此前在引導(dǎo)線之間 產(chǎn)生的空氣層。因此，即使是在像第二實(shí)施例的情況中沒有引導(dǎo)部0 形圈的結(jié)構(gòu)的情況下，能夠解決由于水滲透進(jìn)空氣層而引起的絕緣阻 抗下降和絕緣擊穿的問題，并且能夠提高絕緣性能的可靠性。盡管在第一至第五實(shí)施例中，說明了其中定子具有電樞繞組而可 移動元件具有場永磁體的結(jié)構(gòu)，但是可以采用其中定子具有場永磁體 而可移動元件具有電樞繞組的結(jié)構(gòu)。
進(jìn)一步，盡管在第一至第五實(shí)施例中，可移動元件形成為口-形，
但是顯然的是，可移動元件可以形成為凹陷的形狀，或者可移動元件 可以具有其中永磁體僅布置在一側(cè)的結(jié)構(gòu)。
進(jìn)一步，盡管上述的電樞繞組被說明為由多個(gè)集中繞組線圈構(gòu)成
的三相AC線性電機(jī)，但是可以是設(shè)置有一個(gè)集中繞組線圈的音圈馬達(dá) (Voice coil motor, VCM),或者可以是這樣的VCM，在該VCM中， 為一個(gè)電樞設(shè)置有多個(gè)集中繞組線圈并且該VCM可以驅(qū)動多個(gè)可移 動元件。
進(jìn)一步，盡管在第三至第五實(shí)施例中，上述橡膠密封構(gòu)件被說明 為0形圈，但是可以是扁平板形包裝。
進(jìn)一步，盡管在第五實(shí)施例中印制電路板被說明作為扁平板形玻 璃環(huán)氧樹脂，但可以是能夠彎曲的撓性印制電路板。
進(jìn)一步，盡管線圈的基板連接和印制電路板被單獨(dú)說明，但是可 以釆用這些部件集成為一體的構(gòu)造。
工業(yè)實(shí)用性
根據(jù)本發(fā)明，可以采用其中執(zhí)行帶有粘結(jié)樹脂的涂層從而包括線 性電機(jī)電樞的連接基板和引導(dǎo)線之間的連接部分的構(gòu)造，或者釆用其 中繞組容納框架、連接基板和引導(dǎo)線通過成型樹脂被模塑為整體的構(gòu) 造。因此，能夠防止粘結(jié)分離，能夠解決由于水滲透而引起的絕緣阻 抗下降和絕緣擊穿的問題，并且能夠迅速提高絕緣性能的可靠性。因此，本發(fā)明能夠應(yīng)用于需要降低線性電機(jī)主體的溫度升高且提高絕緣 可靠性的半導(dǎo)體曝光裝置和檢測裝置。
權(quán)利要求
1.一種密封式線性電機(jī)電樞，包括電樞繞組，該電樞繞組形成為扁平板的形狀并且包括線圈；繞組容納框架，該繞組容納框架形成為凹陷形狀，該凹陷具有用于容納所述電樞繞組的開口底部；扁平板形連接基板，該連接基板氣密地閉合所述繞組容納框架的開口部并且連接所述電樞繞組；金屬外殼，該金屬外殼形成為框架的形狀，從而包圍被所述繞組容納框架和所述連接基板密封的所述電樞繞組；密封罐，該密封罐氣密地閉合所述外殼的兩個(gè)開口部；制冷劑通道，該制冷劑通道分別形成在所述密封罐和所述繞組容納框架之間以及所述密封罐和所述連接基板之間；以及引導(dǎo)線，該引導(dǎo)線連接所述連接基板，其中在所述連接基板和所述引導(dǎo)線之間的連接部分周圍設(shè)置帶有粘結(jié)樹脂的涂層，以包括所述連接部分，并且所述粘結(jié)樹脂的周圍被填充樹脂填充。
2. 如權(quán)利要求l所述的密封式線性電機(jī)電樞，其中 在形成在所述連接基板和所述外殼之間的間隙內(nèi)以及形成在所述繞組容納框架和所述外殼之間的間隙內(nèi)設(shè)置有密封樹脂，以密封所述 間隙。
3. 如權(quán)利要求l所述的密封式線性電機(jī)電樞，其中 所述粘結(jié)樹脂包括環(huán)氧樹脂，且所述填充樹脂包括硅樹脂。
4. 如權(quán)利要求2所述的密封式線性電機(jī)電樞，其中 所述密封樹脂包括硅樹脂。
5. —種密封式線性電機(jī)電樞，包括電樞繞組，該電樞繞組形成為扁平板的形狀并且包括線圈；繞組容納框架，該繞組容納框架形成為凹陷的形狀，該凹陷具有 用于容納所述電樞繞組的開口底部；扁平板形連接基板，該連接基板氣密地閉合所述繞組容納框架的 開口部并且連接所述電樞繞組；金屬外殼，該金屬外殼被設(shè)置為包圍框架形狀的所述繞組容納框架；密封罐，該密封罐氣密地閉合所述外殼的兩個(gè)開口部； 制冷劑通道，該制冷劑通道分別形成在所述密封罐和所述繞組容 納框架之間以及所述密封罐和所述連接基板之間；以及 引導(dǎo)線，該引導(dǎo)線連接所述連接基板，其中所述連接基板和所述引導(dǎo)線之間的連接部分被布置在所述繞組容 納框架的凹陷部分中，并且所述凹陷部分的內(nèi)部填充有成型樹脂。
6. 如權(quán)利要求5所述的密封式線性電機(jī)電樞，其中 所述引導(dǎo)線朝著所述繞組容納框架和所述外殼之間的接合表面從所述繞組容納框架拉出，并且橡膠密封構(gòu)件被設(shè)置在所述接合表面上，以包括所述引導(dǎo)線的周圍。
7. 如權(quán)利要求5或6所述的密封式線性電機(jī)電樞，其中 用于機(jī)械地緊固所述外殼和所述繞組容納框架的框架固定螺栓被設(shè)置在所述外殼和所述繞組容納框架之間，并且所述接合表面被構(gòu)造為相對于所述框架固定螺栓的緊固方向傾斜。
8. 如權(quán)利要求5或6所述的密封式線性電機(jī)電樞，包括 印制電路板，在該印制電路板中，所述引導(dǎo)線由銅箔構(gòu)成。
9. 一種密封式線性電機(jī)，包括如權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的密封式線性電機(jī)電樞；以及場磁鐵，該場磁鐵被布置為穿過磁間隙與所述電樞相對，并且包 括相鄰布置的多個(gè)永磁體，以使磁極交替地變化，其中將所述電樞和所述場磁鐵中的一個(gè)作為定子，而另一個(gè)作為可移 動元件，所述場磁鐵和所述電樞相對于彼此移動。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種密封式線性電機(jī)電樞和一種密封式線性電機(jī)，其中，提高了水冷型密封式線性電機(jī)的絕緣可靠性，并且具有良好的裝配加工性。該密封式線性電機(jī)電樞包括形成為凹陷形狀用于容納電樞繞組(105)的繞組容納框架(112)；用于連接電樞繞組(105)的扁平板形的連接基板(111)；氣密地閉合外殼(101)的兩個(gè)開口部的密封罐(102)；分別形成在密封罐(102)和繞組容納框架(112)之間以及密封罐(102)和連接基板(111)之間的制冷劑通道(110)；以及用于連接連接基板(111)和端子基座(106)的引導(dǎo)線(120)。該密封式線性電機(jī)電樞的構(gòu)造為帶有粘結(jié)樹脂(131)涂層被設(shè)置在作為用于連接電樞繞組(105)和位于連接基板(111)上的引導(dǎo)線(120)的連接部分的塊(121)的周圍，以包括該連接部分，并且該粘結(jié)樹脂(131)的周圍填充有填充樹脂(132)。
文檔編號H02K41/03GK101292412SQ20068003902
公開日2008年10月22日 申請日期2006年9月8日 優(yōu)先權(quán)日2005年10月18日
發(fā)明者吉田秀作, 坂井明雄, 浜尾聰和, 貞包健一, 鹿山透 申請人:株式會社安川電機(jī)