傳感器的安裝機構(gòu)及半導(dǎo)體加工設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種傳感器的安裝機構(gòu)及半導(dǎo)體加工設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]在各種自動化設(shè)備中，經(jīng)常使用傳感器對機構(gòu)的動作和位置進行檢測并反饋給控制系統(tǒng)，而且較多的采用非接觸式的光電感應(yīng)型傳感器。非接觸式光電傳感器分為反射式光電傳感器和對射式光電傳感器，其中，反射式光電傳感器是把發(fā)射器和接收器裝入同一個裝置內(nèi)，利用反射原理完成光電控制作用的一種光電傳感器；而對射式光電傳感器是將發(fā)射器和接收器分別裝入相對的兩個裝置內(nèi)，由發(fā)光器發(fā)出光信號，并在無阻礙的情況下由接收器接收該信號。在安裝光電傳感器時，通常需要調(diào)節(jié)光電傳感器的角度，以確保其發(fā)射器能夠朝向指定的方向發(fā)射光信號，以及其接收器能夠接收到光信號。
[0003]如圖1所示，是一種常見的傳感器安裝機構(gòu)，其包括傳感器窗口框101 (或設(shè)備上的可用來固定傳感器的其它結(jié)構(gòu))、安裝塊109、發(fā)射器(和/或接收器)110、角度調(diào)節(jié)塊105、彈性片107和頂開螺釘104。其中，傳感器窗口框101具有窗口 ；安裝塊109通過螺釘106與傳感器窗口框101固定連接，且位于窗口的下方；角度調(diào)整塊105位于安裝塊109的上方，發(fā)射器(和/或接收器)110固定在角度調(diào)整塊105上，且位于正對窗口的位置處。而且，角度調(diào)整塊105和安裝塊109不直接接觸，而是通過彈性片107連接在一起，即，彈性片107通過四個螺釘106分別與角度調(diào)整塊105和安裝塊109連接，該彈性片107是一個厚度0.5mm左右的薄片，且選用彈性好、韌性高的彈簧鋼材料制作，并且，如圖2A所示，彈性片107的上端在原始狀態(tài)下向內(nèi)(朝向靠近窗口的方向)傾斜。頂開螺釘104沿垂直于彈性片107的方向穿過角度調(diào)整塊105上部的螺紋通孔，并頂住傳感器窗口框101，通過旋緊或旋松彈性片107，可以使彈性片107向外(朝向遠離窗口的方向)的彎曲。如圖2A所示，當需要俯角調(diào)整，即，使發(fā)射器(和/或接收器)110的朝向自水平面向下傾斜時，先旋松頂開螺釘104，使得彈性片107向內(nèi)變形b°，從而使得傳感器向下傾斜b°。如圖2B所示，當需要仰角調(diào)整，即，使發(fā)射器(和/或接收器)110的朝向自水平面向上傾斜時，旋緊頂開螺釘104，使得彈性片107向外變形a°，從而使得傳感器向上傾斜a°。
[0004]上述傳感器的安裝機構(gòu)在實際應(yīng)用中不可避免地存在以下問題，S卩:由于上述安裝機構(gòu)用來實現(xiàn)傳感器的角度調(diào)整所需的相關(guān)零件數(shù)量較多，導(dǎo)致加工上所產(chǎn)生的累積誤差較多，從而影響了調(diào)節(jié)的準確性。此外，較多的零件數(shù)量還會造成加工成本的增加。
【實用新型內(nèi)容】
[0005]為至少解決上述技術(shù)問題之一，本實用新型提供一種傳感器的安裝機構(gòu)及半導(dǎo)體加工設(shè)備，其不僅可以調(diào)節(jié)傳感器的發(fā)射/接收信號的角度，而且使用的零件少，從而可以提高調(diào)節(jié)的準確性，降低加工成本。
[0006]本實用新型還提供一種傳感器的安裝機構(gòu)，所述傳感器為具有發(fā)射/接收器的非接觸式傳感器，所述安裝機構(gòu)包括安裝板、調(diào)節(jié)板、安裝螺釘和頂開螺釘，其中，所述安裝板與需要安裝所述傳感器的相應(yīng)設(shè)備連接；所述調(diào)節(jié)板設(shè)置在所述安裝板上，且具有用于安裝所述發(fā)射/接收器的安裝面，所述安裝面與所述發(fā)射/接收器水平發(fā)射/接收信號的方向之間的夾角呈銳角；在所述調(diào)節(jié)板的安裝面上，且分別對應(yīng)于所述發(fā)射/接收器的上部和下部設(shè)置有螺紋通孔和安裝通孔，所述安裝螺釘穿過所述安裝通孔并與所述發(fā)射/接收器螺紋連接；所述頂開螺釘與所述螺紋通孔相配合，并頂住所述發(fā)射/接收器。
[0007]優(yōu)選的，所述安裝通孔包括在同一圓周上對稱分布的至少兩個長圓弧形通孔，并且穿過該圓周圓心的軸線與所述發(fā)射/接收器水平發(fā)射/接收信號的方向相互平行；所述安裝螺釘?shù)臄?shù)量與所述長圓弧形通孔的數(shù)量相對應(yīng)，且各個安裝螺釘一一對應(yīng)地穿過各個長圓弧形通孔，并與所述發(fā)射/接收器螺紋連接；所述安裝螺釘在旋松時可沿所述長圓弧形通孔移動，而在旋緊時相對于所述長圓弧形通孔固定不動。
[0008]優(yōu)選的，所所述長圓弧形通孔的數(shù)量為兩個，所述螺紋通孔的數(shù)量為兩個；各個螺紋通孔一一對應(yīng)地設(shè)置在各個長圓弧形通孔的正上方。
[0009]優(yōu)選的，所所述長圓弧形通孔的數(shù)量為兩個，所述螺紋通孔的數(shù)量為一個；所述螺紋通孔設(shè)置在兩個所述長圓弧形通孔上方的中間位置處。
[0010]優(yōu)選的，所述安裝通孔包括一個中心通孔和至少一個固定通孔，其中，所述中心通孔對應(yīng)于所述發(fā)射/接收器的中心位置處；各個固定通孔與所述中心通孔間隔設(shè)置；所述安裝螺釘?shù)臄?shù)量為至少兩個，其中一個安裝螺釘穿過所述中心通孔并與所述發(fā)射/接收器螺紋連接，通過相對于所述調(diào)節(jié)板轉(zhuǎn)動該安裝螺釘，調(diào)節(jié)所述發(fā)射/接收器的角度；其余安裝螺釘一一對應(yīng)地穿過各個固定通孔，并與所述發(fā)射/接收器螺紋連接，以鎖定所述發(fā)射/接收器的位置。
[0011]優(yōu)選的，所述固定通孔的數(shù)量為兩個，所述螺紋通孔的數(shù)量為兩個；兩個所述固定通孔位于所述中心通孔的兩側(cè)，且各個螺紋通孔一一對應(yīng)地設(shè)置在各個固定通孔的正上方。
[0012]優(yōu)選的，所述固定通孔的數(shù)量為兩個，所述螺紋通孔的數(shù)量為一個；所述螺紋通孔設(shè)置在兩個所述固定通孔上方的中間位置處。
[0013]優(yōu)選的，所述調(diào)節(jié)板可旋轉(zhuǎn)地連接在所述安裝板上，通過相對于所述安裝板轉(zhuǎn)動所述調(diào)節(jié)板，來調(diào)節(jié)所述安裝面與第一方向之間的夾角的大小。
[0014]優(yōu)選的，所述安裝機構(gòu)還包括傳感器窗框，所述傳感器窗框具有開口 ；所述安裝板通過所述傳感器窗框安裝在需要安裝所述傳感器的所述相應(yīng)設(shè)備上；并且，所述發(fā)射/接收器通過所述開口發(fā)射/接收信號。
[0015]作為另一個技術(shù)方案，本實用新型還提供一種半導(dǎo)體加工設(shè)備，其包括傳感器和其安裝機構(gòu)，所述安裝機構(gòu)采用本實用新型提供的上述安裝機構(gòu)。
[0016]本實用新型具有以下有益效果:
[0017]本實用新型提供的傳感器的安裝機構(gòu)，其僅借助調(diào)節(jié)板和安裝在其上的安裝螺釘和頂開螺釘來實現(xiàn)對傳感器的發(fā)射/接收信號的角度的調(diào)節(jié)，不僅可以調(diào)節(jié)傳感器的發(fā)射/接收信號的角度，而且使用的零件少，從而可以提高調(diào)節(jié)的準確性，降低加工成本。具體來說，頂開螺釘與調(diào)節(jié)板上的螺紋通孔相配合，并頂住發(fā)射器和/或接收器，通過旋松或旋緊頂開螺釘，可以改變該頂開螺釘與螺紋通孔在其軸向上的相對位置，從而頂開螺釘可以使發(fā)射/接收器的上部遠離或靠近安裝板的安裝面，即調(diào)節(jié)發(fā)射/接收器發(fā)射/接收信號的仰角或俯角大小。此外，上述安裝板的安裝面與發(fā)射/接收器水平發(fā)射/接收信號的方向之間的夾角呈銳角，用以允許發(fā)射/接收器發(fā)射/接收信號的角度呈仰角。通過使安裝螺釘穿過調(diào)節(jié)板上的安裝通孔并與發(fā)射器和/或接收器螺紋連接，可以起到向外頂住或向內(nèi)拉近的作用，從而可以在調(diào)節(jié)的同時始終鎖緊發(fā)射/接收器。
[0018]本實用新型提供的半導(dǎo)體加工設(shè)備，其通過采用本實用新型提供的上述傳感器的安裝機構(gòu)，不僅可以調(diào)節(jié)傳感器的發(fā)射/接收信號的角度，而且使用的零件少，從而可以提高調(diào)節(jié)的準確性，降低加工成本。
【附圖說明】
[0019]圖1為常見的傳感器安裝機構(gòu)的立體圖；
[0020]圖2A為傳感器呈