一種直提式石英舟舟叉的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及到電子行業(yè)退火爐、擴(kuò)散爐、氧化爐等使用的石英舟取放舟叉，具體的說是一種直提式石英舟舟叉。
【背景技術(shù)】
[0002]石英舟做為硅片的載體，被廣泛應(yīng)用于太陽能、集成電路的高溫設(shè)備中，通常的工藝溫度多為700°C -1lOOtC之間。但大多數(shù)設(shè)備因?yàn)榕涮椎淖詣友b卸石英舟的機(jī)構(gòu)價格高昂而沒有配備。通常使用手工操作方式進(jìn)行裝卸石英舟，其方法是使用一個或一對不銹鋼的舟叉，插入石英舟兩側(cè)的插管中對石英舟進(jìn)行搬運(yùn)。目前的石英舟舟叉的都是簡單的直桿形狀，前部是叉桿，后部有一個手柄。該操作對腕力的要求較高，特別是女性員工在搬運(yùn)大尺寸較多硅片時，容易因?yàn)榱α坎蛔?，造成摔片。同時因?yàn)樵诓嫒∈⒅蹠r手柄距離石英舟很近，容易被出爐的高溫石英舟溫度燙傷。
[0003]舟叉的叉桿為了保證強(qiáng)度使用不銹鋼材料制作，有些廠家為了避免舟叉桿與石英舟硬碰硬造成石英舟破損，在不銹鋼材料外套四氟套管；對材料的潔凈度要求很高的廠家，在叉桿上套石英套管。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]為解決現(xiàn)有的直桿式舟叉對腕力要求高導(dǎo)致的容易造成摔片問題，本實(shí)用新型提供了一種直提式石英舟舟叉，該舟叉改變了叉起石英舟時石英舟的受力方式，使操作人員能夠輕松操作。
[0005]本實(shí)用新型為解決上述技術(shù)問題采用的技術(shù)方案為:一種直提式石英舟舟叉，包括操作手柄和插入石英舟兩側(cè)插管中的叉桿，所述操作手柄和叉桿之間設(shè)置有與兩者垂直的提拉桿，且操作手柄和叉桿均位于提拉桿的同側(cè)，以使操作手柄遠(yuǎn)離叉桿的同時，通過操作手柄提起叉桿及叉桿上的石英舟。
[0006]所述操作手柄和提拉桿之間設(shè)置有隔熱塊，隔熱塊用四氟材料制作。
[0007]所述叉桿為兩根并通過連接桿連接形成雙叉桿，且兩根叉桿對稱設(shè)置在連接桿同側(cè)的兩端，所述提拉桿一端與操作手柄垂直連接，另一端與連接桿垂直連接。
[0008]所述叉桿的外部套設(shè)有四氟套管，從而避免了叉桿與石英舟碰撞造成石英舟的破損。
[0009]所述叉桿的外部套設(shè)有石英套管，以防止叉桿上沾染的污染物污染石英舟。
[0010]本實(shí)用新型中，叉桿、操作手柄、提拉桿和連接桿均可以用不銹鋼材料制作，以提高其強(qiáng)度的同時降低其重量。
[0011]有益效果:本實(shí)用新型通過在叉桿和操作手柄之間設(shè)置提拉桿，使得工人在操作時，將端起石英舟的操作改為提起石英舟，從而使操作更加便利，也更加省力和平穩(wěn)，防止了操作工人由于腕力不夠?qū)е碌乃て瑔栴}；同時，由于提拉桿的存在，使得叉桿和操作手柄之間的距離變得更長，從而遠(yuǎn)離了溫度很高的石英舟，防止石英舟在轉(zhuǎn)移過程中燙傷。
【附圖說明】
[0012]圖1為現(xiàn)有的單叉桿舟叉；
[0013]圖2為現(xiàn)有的雙叉桿舟叉；
[0014]圖3為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖4為本實(shí)用新型中雙叉桿的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]附圖標(biāo)記:1、叉桿，2、操作手柄，3、隔熱塊，4、連接桿，5、提拉桿。
【具體實(shí)施方式】
[0017]如圖3所示，一種直提式石英舟舟叉，包括操作手柄2和插入石英舟兩側(cè)插管中的叉桿1，所述操作手柄2和叉桿I之間設(shè)置有與兩者垂直的提拉桿5，且操作手柄2和叉桿I均位于提拉桿5的同側(cè)，以使操作手柄2遠(yuǎn)離叉桿I的同時，通過操作手柄2提起叉桿I及叉桿I上的石英舟。
[0018]以上為本實(shí)用新型的基本實(shí)施方式，可在以上基礎(chǔ)上作進(jìn)一步的改進(jìn)和優(yōu)化:
[0019]如，在所述操作手柄2和提拉桿5之間設(shè)置隔熱塊3，從而降低石英舟的熱量通過叉桿I傳遞給操作手柄2 ;
[0020]又如，所述叉桿I為兩根并通過連接桿4連接形成雙叉桿，且兩根叉桿I對稱設(shè)置在連接桿4同側(cè)的兩端，從而形成現(xiàn)有的雙叉桿舟叉，所述提拉桿5 —端與操作手柄2垂直連接，另一端與連接桿4垂直連接，操作手柄5與兩根叉桿I位于同側(cè)；
[0021]再如，為了避免舟叉桿與石英舟硬碰硬造成石英舟破損，在所述叉桿I的外部套設(shè)有四氟套管；
[0022]再如，若對材料的潔凈度要求很高時，在所述叉桿I的外部套設(shè)有石英套管。
[0023]本實(shí)用新型中，叉桿1、操作手柄2、提拉桿5和連接桿4均可以用不銹鋼材料制作，以提高其強(qiáng)度的同時降低其重量；所述隔熱塊3采用四氟材料制作。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種直提式石英舟舟叉，包括操作手柄(2)和插入石英舟兩側(cè)插管中的叉桿(1)，其特征在于:所述操作手柄(2)和叉桿(I)之間設(shè)置有與兩者垂直的提拉桿(5)，且操作手柄(2 )和叉桿(I)均位于提拉桿(5 )的同側(cè)，以使操作手柄(2 )遠(yuǎn)離叉桿(I)的同時，通過操作手柄(2 )提起叉桿(I)及叉桿(I)上的石英舟。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種直提式石英舟舟叉，其特征在于:所述操作手柄(2)和提拉桿(5)之間設(shè)置有隔熱塊(3)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種直提式石英舟舟叉，其特征在于:所述叉桿(I)為兩根并通過連接桿(4)連接形成雙叉桿，且兩根叉桿(I)對稱設(shè)置在連接桿(4)同側(cè)的兩端，所述提拉桿(5) —端與操作手柄(2)垂直連接，另一端與連接桿(4)垂直連接。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種直提式石英舟舟叉，其特征在于:所述叉桿(I)的外部套設(shè)有四氟套管。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種直提式石英舟舟叉，其特征在于:所述叉桿(I)的外部套設(shè)有石英套管。
【專利摘要】一種直提式石英舟舟叉，包括操作手柄和插入石英舟兩側(cè)插管中的叉桿，所述操作手柄和叉桿之間設(shè)置有與兩者垂直的提拉桿，且操作手柄和叉桿均位于提拉桿的同側(cè)，以使操作手柄遠(yuǎn)離叉桿的同時，通過操作手柄提起叉桿及叉桿上的石英舟。本實(shí)用新型通過在叉桿和操作手柄之間設(shè)置提拉桿，使得工人在操作時，將端起石英舟的操作改為提起石英舟，從而使操作更加便利，也更加省力和平穩(wěn)，防止了操作工人由于腕力不夠?qū)е碌乃て瑔栴}；同時，由于提拉桿的存在，使得叉桿和操作手柄之間的距離變得更長，從而遠(yuǎn)離了溫度很高的石英舟，防止石英舟在轉(zhuǎn)移過程中燙傷。
【IPC分類】H01L31/18
【公開號】CN204834660
【申請?zhí)枴緾N201520609245
【發(fā)明人】孟娟峰, 苗利剛, 史舸, 田獻(xiàn)立, 焦二強(qiáng), 李海濤, 王曉飛
【申請人】麥斯克電子材料有限公司
【公開日】2015年12月2日
【申請日】2015年8月14日